JP2010169424A - 光学性能評価装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 像側の焦点面に撮像素子を備えた被検光学系に像側から光を導く光源装置と、前記被検光学系を通過した光を偏向させて前記焦点面に導く反射素子とを有し、前記光源装置は、前記焦点面に微小光源からの光を集光させる照明光学系と、前記被検光学系の波面状態を検出する検出手段と、前記波面状態に基づいて前記微小光源からの光の波面状態を補正する補正手段とを有していることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
(第1の実施形態)
図1は、本発明の光学性能評価装置の第1の実施形態を示している。
以下、本発明の光学性能評価装置の第2の実施形態を説明する。なお、この実施形態において第1の実施形態と同一の要素には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
撮像素子13Aの所定位置A’,B’,C’に対する反射素子21の傾き角θx、θyは、撮像素子13Aの所定画素の信号より設定することで、所定位置A’,B’,C’に光を導くことができる。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
Claims (4)
- 像側の焦点面に撮像素子を備えた被検光学系に像側から光を導く光源装置と、
前記被検光学系を通過した光を偏向させて前記焦点面に導く反射素子とを有し、
前記光源装置は、
前記焦点面に微小光源からの光を集光させる照明光学系と、
前記被検光学系の波面状態を検出する検出手段と、
前記波面状態に基づいて前記微小光源からの光の波面状態を補正する補正手段と、
を有していることを特徴とする光学性能評価装置。 - 請求項1記載の光学性能評価装置において、
前記微小光源は、点光源とスリット光源とに切り換え可能であることを特徴とする光学性能評価装置。 - 請求項1または請求項2記載の光学性能評価装置において、
前記反射素子の反射角をステップ的または連続的に変更する第1の変更手段を有していることを特徴とする光学性能評価装置。 - 請求項1または請求項2記載の光学性能評価装置において、
前記スリット光源の位置をステップ的または連続的に変更する第2の変更手段を有していることを特徴とする光学性能評価装置。
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