JP7241986B2 - 波面測定装置、および波面測定方法 - Google Patents
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Description
以下、実施の形態1に係る波面測定装置10について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下の実施の形態1は、一具体例を示すものである。したがって、各構成要素の形状、配置および材料などは一例であり、限定する趣旨はない。また、各図は模式図であり、厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成要素については同じ符号を付している。
波面測定装置10は、レンズアレイ3、検出部5、および処理部6を備える。波面測定装置10は、レンズ2、およびレンズ4を備えてもよい。
レンズアレイ3は、複数のレンズを並列に並べたものである。レンズアレイ3は、例えば、複数のレンズが入射光を集光するため、複数の焦点スポットを生成する。
検出部5は、光を検出する。検出部5は、例えば、撮像素子である。検出部5は、例えば、投射される画像を検出する。
処理部6は、検出部5から出力される情報から波面収差を算出する。処理部6は、例えば、プロセッサーとメモリを備える。処理部6は、例えば、PCである。
レンズ2,4は、光を収束もしくは発散させる。レンズ2は、例えば、凸レンズである。レンズ4は、例えば、凹レンズである。
≪被検光学系1≫
被検光学系1は、波面形状を測定する対象となる光学系である。被検光学系1は、例えば、レンズを備える。被検光学系1は、望遠鏡のような複数枚のレンズで構成されるものであっても良い。また、被検光学系1は、アフォーカル系でも結像光学系でも良い。
光源部7は、被検光学系1に光を照射する。光源部7は、光源20およびレンズ21を備える。光源部7は、レンズ22およびその他のレンズを備えても良い。光源20は、光束40を出射する。レンズ21,22は、光束40を所望の光束に整形する。光源20から出射された光束40はレンズ21,22によって、被検光学系1の入射側の光学仕様に調整される。レンズ21,22から出射される光束40は、コリメート光でも集光光でも良い。
次に、波面測定装置10の動作について説明する。
図3は、波面測定装置10の処理フローの一例を示すフローチャートである。図3に基づいて、波面測定装置10の動作を説明する。
レンズアレイ付きの検出部を用いた例を示す。図4は、実施の形態1の変形例1に係る波面測定装置11を用いて波面測定を行う場合の一例を示す構成図である。
波面測定装置11は、レンズアレイ3,8、検出部5、および処理部6を備える。波面測定装置11は、レンズ2、およびレンズ4を備えてもよい。
レンズアレイ8は、複数のレンズ50を並列に並べたものである。レンズアレイ8は、例えば、複数のレンズ50が入射光を集光するため、複数の焦点スポットを生成する。レンズアレイ8は、検出部5へ光束40が入射する前段に備える。レンズアレイ8は検出部5に装着される。変形例1において、レンズアレイ3を第1のレンズアレイ、レンズアレイ8を第2のレンズアレイとする。
波面測定装置11は、基本的に波面測定装置10と同じように動作する。検出部5は、レンズアレイ8から伝搬された集光光線のスポット像を撮像する。検出部5にはレンズアレイ3の分割数に応じたスポット像が生成される。スポット像の重心位置変化から被検光学系1の透過波面収差を算出できる。
Claims (5)
- 被検光学系から出射され結像した後に広がりながら伝搬する光束を分割し、分割した光束をそれぞれ集光する第1のレンズアレイと、
前記第1のレンズアレイからの複数の光束をさらに放射状に広げる凹レンズと、
前記第1のレンズアレイから放射状に広がる複数の光束の集光スポットが形成される位置に配置する検出部と、
前記第1のレンズアレイが前記被検光学系と共役となる位置に配置された場合に、前記集光スポットの位置より前記被検光学系の透過波面を算出する制御部と
を備えた波面測定装置。 - 被検光学系から出射され結像した後に広がりながら伝搬する光束を分割し、分割した光束をそれぞれ集光する第1のレンズアレイと、
前記第1のレンズアレイから放射状に広がる複数の光束の集光スポットが形成される位置に配置する検出部と、
前記検出部へ光束が入射する前段に設けられた第2のレンズアレイと、
前記第1のレンズアレイが前記被検光学系と共役となる位置に配置された場合に、前記集光スポットの位置より前記被検光学系の透過波面を算出する制御部と
を備えた波面測定装置。 - 前記第2のレンズアレイは、前記検出部の表面積よりも小さい請求項2記載の波面測定装置。
- 被検光学系と共役となる位置において、前記被検光学系からの光束を分割してそれぞれ集光する分割集光ステップと、
放射状に広がる複数の分割・集光された光束をさらに放射状に広げるステップと、
放射状に広がる複数の分割・集光された光束を検出する検出ステップと、
前記検出ステップで検出する光束の位置より前記被検光学系の透過波面を算出する処理ステップと
を備えた波面測定方法。 - 被検光学系と共役となる位置において、第1のレンズアレイにより、前記被検光学系からの光束を分割してそれぞれ集光する分割集光ステップと、
放射状に広がる複数の分割・集光された光束を、画素と1対1で対応する複数のレンズを有する第2のレンズアレイを通して前記画素に入射させるステップと、
前記画素に入射された光束を検出する検出ステップと、
前記検出ステップで検出する光束の位置より前記被検光学系の透過波面を算出する処理ステップと
を備えた波面測定方法。
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