JP2010168274A - Iii族窒化物半導体の製造方法およびテンプレート基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】a面サファイア基板10の表面10aに、ICPエッチングで長手方向がサファイア基板10のm軸方向に平行なストライプ状に凹部11を形成する(図1(a))。次に、サファイア基板10をMOCVD装置に搬入し、水素とアンモニアを含む雰囲気中で、1020〜1060℃まで昇温する。続いて、凹部11の側面11aにGaN結晶13をエピタキシャル成長させる(図1(b))。成長が進むと、サファイア基板10の表面10aはGaN結晶13に覆われていき、平坦なGaN結晶13が形成される(図1(c))。このGaN結晶13の主面はm面である。
【選択図】図1
Description
まず、a面を主面とするサファイア基板10(本発明の成長基板に相当)の表面10aに、マスクを用いてICPエッチングすることで、長手方向がサファイア基板10のm軸方向に平行なストライプ状に凹部11を形成する(図1(a))。凹部11のc軸に平行な面での断面は矩形であり、凹部11の側面11aにはサファイアのc面が露出し、凹部11の底面11bには、サファイアのa面が露出する。
次に、サファイア基板10をMOCVD装置に搬入し、水素とアンモニアを含む雰囲気中で、成長温度まで昇温する。
続いて、MOCVD装置内にTMG(トリメチルガリウム)を導入し、凹部11の側面11aにGaN結晶13をエピタキシャル成長させる。GaN結晶13は、サファイア基板10のc軸方向と、GaN結晶13のc軸方向が一致するように成長する。このGaN結晶13のc軸方向の極性については、凹部11の側面11aから凹部11内側(中心側)へと向かう方向が−c方向である。すなわち、側面11aから垂直に、GaNは−c軸方向に成長することになり、その成長面は、−c面となる。
11:凹部
13:GaN結晶
Claims (18)
- 成長基板の表面に、エッチングによって凹部を形成する凹部形成工程と、
前記凹部形成工程の後、前記成長基板を水素とアンモニアを含む雰囲気中で、III 族窒化物半導体の成長温度まで昇温する昇温工程と、
前記凹部側面に、前記成長温度でIII 族窒化物半導体をエピタキシャル成長させる結晶成長工程と、
を有し、
前記成長温度は、前記III 族窒化物半導体が主として前記凹部側面から前記成長基板の主面に平行な方向へ成長する値である、
ことを特徴とするIII 族窒化物半導体の製造方法。 - 前記成長温度は、III 族窒化物半導体を、平面状の成長基板に一様に、成長基板に垂直な方向へエピタキシャル成長させる際の成長温度よりも低い温度である、
ことを特徴とする請求項1に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。 - 前記成長基板は、サファイア基板であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記凹部側面のうち、少なくとも1つの面は、サファイアのc面であり、
前記結晶成長工程は、サファイアのc面である前記凹部側面に前記III 族窒化物半導体をエピタキシャル成長させることを特徴とする請求項3に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。 - 前記成長基板は、a面を主面とするサファイア基板であることを特徴とする請求項4に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記成長基板は、m面を主面とするサファイア基板であることを特徴とする請求項4に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。
- 長手方向側面をサファイアのc面とするストライプ状に前記凹部を形成することを特徴とする請求項4ないし請求項6のいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記成長温度は、1020〜1100℃であることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記凹部側面のうち、少なくとも1つの面は、サファイアのa面であり、
前記結晶成長工程は、サファイアのa面である前記凹部側面に前記III 族窒化物半導体を主としてエピタキシャル成長させることを特徴とする請求項3に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。 - 前記成長基板は、c面を主面とするサファイア基板であることを特徴とする請求項9に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。
- 長手方向側面をサファイアのa面とするストライプ状に前記凹部を形成することを特徴とする請求項9または請求項10に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記エッチングは、ドライエッチングであることを特徴とする請求項1ないし請求項11のいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。
- 前記ドライエッチングは、ICPエッチングであることを特徴とする請求項12に記載のIII 族窒化物半導体の製造方法。
- 表面に凹部が形成された、a面を主面とするサファイア基板と、
前記サファイア基板表面上に形成されたIII 族窒化物半導体層と、
を備え、
前記凹部の少なくとも1つの面は、サファイアのc面であり、
前記III 族窒化物半導体層の主面は、m面である、
ことを特徴とするテンプレート基板。 - 表面に凹部が形成された、m面を主面とするサファイア基板と、
前記サファイア基板表面上に形成されたIII 族窒化物半導体層と、
を備え、
前記凹部の少なくとも1つの面は、サファイアのc面であり、
前記III 族窒化物半導体層の主面は、a面である、
ことを特徴とするテンプレート基板。 - 長手方向側面をサファイアのc面とするストライプ状に前記凹部が形成されていることを特徴とする請求項14または請求項15に記載のテンプレート基板。
- 表面に凹部が形成された、c面を主面とするサファイア基板と、
前記サファイア基板表面上に形成されたIII 族窒化物半導体層と、
を備え、
前記凹部の少なくとも1つの面は、サファイアのa面であり、
前記III 族窒化物半導体層の主面は、a面である、
ことを特徴とするテンプレート基板。 - 長手方向側面をサファイアのa面とするストライプ状に前記凹部が形成されていることを特徴とする請求項17に記載のテンプレート基板。
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