JP5645887B2 - 半極性窒化物を備え、窒化物核生成層又はバッファ層に特徴を有するデバイス構造 - Google Patents
半極性窒化物を備え、窒化物核生成層又はバッファ層に特徴を有するデバイス構造 Download PDFInfo
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Description
関連出願の相互参照関係
本出願は米国特許法第119条(e)に基づいて、本発明の譲受人に譲渡された以下の同時係属の米国特許出願の利益を主張するものである。
マイケル・イザ(MichaelIza)、トロイ・J.ベーカー(TroyJ.Baker)、ベンジャミン・A.ハスケル(BenjaminA.Haskell)、スティーブン・P.デンバース(StevenP.DenBaars)、および中村修二(ShujiNakamura)による米国特許仮出願第60/715,491号、2005年9月9日出願、発明の名称「有機金属化学気相成長法による半極性(Al,In,Ga,B)Nの成長促進法(METHOD FOR ENHANCING GROWTH OF SEMIPOLAR (Al,In,Ga,B)N VIA METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION)」、代理人整理番号30794.144−US−P1(2005−722);
この出願は参照として本明細書中に組み込まれているものとする。
トロイ・J.ベーカー、ベンジャミン・A.ハスケル、ポール・T.フィニ(Paul T.Fini)、スティーブン・P.デンバース、ジェームス・S.スペック、および中村修二による米国実用特許出願第11/372,914号、2006年3月10日出願、発明の名称「平坦な半極性窒化ガリウムの成長技術(TECHNIQUE FOR THE GROWTH OF PLANAR SEMIPOLAR GALLIUM NITRIDE)」、代理人整理番号30794.128−US−Ul(2005−471−2);
上記出願は米国特許法第119条(e)に基づいて、次の特許文献の利益を主張している。
トロイ・J.ベーカー、ベンジャミン・A.ハスケル、ポール・T.フィニ、スティーブン・P.デンバース、ジェームス・S.スペック、および中村修二による米国特許仮出願第60/660,283号、2005年3月10日出願、発明の名称「平坦な半極性窒化ガリウムの成長技術(TECHNIQUE FOR THE GROWTH OF PLANAR SEMI−POLAR GALLIUM NITRIDE)」、代理人整理番号30794.128−US−P1(2005−471−1);
ロバート・M.ファレル(Robert M.Farrell)、トロイ・J.ベーカー、アーパン チャクラボーティ(Arpan Chakraborty)、ベンジャミン・A.ハスケル、P.モルガン・パチソン(P.Morgan Pattison)、ラジャット・シャーマ(Rajat Sharma)、ウメシュ・K.ミシュラ(Umesh K. Mishra)、スティーブン・P.デンバース、ジェームス・S.スペック、および中村修二による米国実用特許出願第11/444,946号、2006年6月1日出願、発明の名称「半極性(Ga,Al,In,B)N薄膜、ヘテロ構造およびデバイスの成長と作製のための方法及び装置(TECHNIQUEFOR THE GROWTH AND FABRICATION OF SEMIPOLAR(Ga,Al,In,B)N THIN FILMS,HETEROSTRUCTURES,AND DEVICES)」代理人整理番号30794.140−US−U1( 2005−668−2) ;
上記出願は米国特許法第119条(e)に基づいて、次の特許文献の利益を主張している。
ロバート・M.ファレル、トロイ・J.ベーカー、アーパン チャクラボーティ、ベンジャミン・A.ハスケル、P.モルガン・パチソン、ラジャット・シャーマ、ウメシュ・K.ミシュラ、スティーブン・P.デンバース、ジェームス・S.スペック、および中村修二による米国特許仮出願第60/686,244号、2005年6月1日出願、発明の名称「半極性(Ga,Al,In,B)N薄膜、ヘテロ構造およびデバイスの成長と作製のための方法及び装置(TECHNIQUEFOR THE GROWTH AND FABRICATION OF SEMIPOLAR (Ga,Al,In,B)N THIN FILMS,HETEROSTRUCTURES,AND DEVICES)」代理人識別番号30794.140 US−P1(2005−668−1);
トロイ・J.ベーカー、ベンジャミン・A.ハスケル、ジェームス・S.スペック、および中村修二による米国実用特許出願第11/486,224、2006年7月13日出願、発明の名称「半極性窒化物薄膜の欠陥低減のための横方向成長方法(LATERAL GROWTH METHOD FOR DEFECT REDUCTION OF SEMI−POLAR NITRIDE FILMS)」代理人整理番号30794.141−US−U1(2005−672−2);
上記出願は米国特許法第119条(e)に基づいて、次の特許文献の利益を主張している。
トロイ・J.ベーカー、ベンジャミン・A.ハスケル、ジェームス・S.スペック、および中村修二による米国特許仮出願第60/698,749号、2005年7月13日出願、発明の名称「半極性窒化物薄膜の欠陥低減のための横方向成長方法(LATERAL GROWTH METHOD FOR DEFECT REDUCTION OF SEMIPOLAR NITRIDE FILMS)」、代理人整理番号30794.141−US−P1(2005−672−1);
ジョン・F.ケディング(JohnF.Kaeding)、マイケル・イザ、トロイ・J.ベーカー、サトー・ヒロシ(HiroshiSato)、ベンジャミン・A.ハスケル、ジェームス・S.スペック、スティーブン・P.デンバース、および中村修二による米国特許仮出願第60/760,739号、2006年1月20日出願、発明の名称「半極性(Al,In,Ga,B)Nの改良成長法(METHOD FOR IMPROVED GROWTH OF SEMIPOLAR (Al,In,Ga,B)N)」、代理人整理番号30794.150−US−P1(2006−126−1);
サトー・ヒロシ、ジョン・F.ケディング、マイケル・イザ、トロイ・J.ベーカー、ベンジャミン・A.ハスケル、スティーブン・P.デンバース、および中村修二による米国特許仮出願第60/760,628号、2006年1月20日出願、発明の名称「有機金属化学気相成長法による半極性(Al,In,Ga,B)Nの成長促進方法(METHOD FOR ENHANCING GROWTH OF SEMIPOLAR (Al,In,Ga,B)N VIA METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION)」、代理人識別番号30794.159−US−P1(2006−178−1);
ジョン・F.ケディング、サトー・ヒロシ、マイケル・イザ、アサミズ・ヒロクニ(HirokuniAsamizu)、ホン・ゾーン(HongZhong)、スティーブン・P.デンバース、および中村修二による米国特許仮出願第60/772,184号、2006年2月10日出願、発明の名称「半極性(Al,In,Ga,B)Nの導電性制御の方法(METHOD FOR CONDUCTIVITY CONTROL OF SEMIPOLAR (Al,In,Ga,B)N)」、代理人整理番号30794.166−US−P1(2006−285−1);
ホン・ゾーン、ジョン・F.ケディング、ラジャット・シャーマ、ジェームス・S.スペック、スティーブン・P.デンバース、および中村修二による米国特許仮出願第60/774,467号、2006年2月17日出願、発明の名称「半極性(Al,ln,Ga,B)N光電子デバイスの成長方法(METHODFOR GROWTH OF SEMIPOLAR (Al,ln,Ga,B)N OPTOELECTRONICS DEVICES)」、代理人識別番号30794.173−US−P1(2006−422−1);
これらの出願は全て参照として本明細書中に組み込まれているものとする。
(注意:この出願は、本明細書を通じて、括弧で囲まれる1つ以上の参照番号、たとえば[参考文献x]で示された、多くの異なる刊行物を参照する。参照番号順に並べられたこれらの文献のリストは、以下の[参考文献]と書かれたセクションに示す。これらの刊行物はそれぞれ本明細書中に組み込まれる。)
窒化ガリウム(GaN)およびそのアルミニウムとインジウムを含む3元および4元化合物(AlGaN,InGaN,AlInGaN)の有用性は、可視光および紫外光の光電子デバイスおよび高出力電子デバイスの作製において十分に確立された。これらのデバイスは、通常は分子線エピタキシー(MBE)、有機金属化学気相成長法(MOCVD)、およびハイドライド気相エピタキシー(HVPE)を含む技術を用いてエピタキシャルに成長される。
GaN光電子デバイスにおける自発分極および圧電分極の影響を除去する方法の1つは、結晶の無極性面上にデバイスを成長することである。そのような面は同数のGaとN原子を含み、電荷中性である。さらに、その次の無極性層は結晶学的にお互いに等価であるため、結晶は成長方向に沿って分極することはない。GaNにおける対称等価な無極性面の2つのファミリーは、まとめてa面として知られる{11−20}ファミリーと、まとめてm面として知られる{1−100}ファミリーである。本発明の譲受人であるカリフォルニア大学の研究者らによってなされた進歩にもかかわらず、残念ながら、無極性窒化物の成長は依然として挑戦課題であり、III族窒化物の工業界に広く採用されるまでにいたっていない。
GaNのバルク結晶は容易には入手できないので、結晶を単純に切断して引き続くデバイスの再成長に用いる表面を提供することはできない。一般的に、GaN薄膜は、まずヘテロエピタキシャルに、すなわちGaNにおおよそ格子整合する異種基板上に成長される。
しかしながら、半極性面を実現するこの方法はエピタキシャル横方向オーバーグロス(ELO)技術の副産物であり、本発明とは著しく異なる。ELOは、GaNと他の半導体における欠陥を低減するために用いられる厄介な処理工程と成長方法であり、マスク材料のストライプをパターン化するステップを含む。マスク材料は、GaNに対してはSiO2 の場合が多い。そこでGaNは、マスク間の開き窓から成長し、その後マスク上に成長する。そこで、連続した薄膜を形成するために、GaNは横方向成長によって会合する。このストライプの結晶面は、成長パラメータによって制御できる。ストライプが会合する前に成長を止めると、小面積の半極性面が露出する。この面積はおよそ10μm幅程度である。半極性面は、基板表面に平行ではない。このように、実現できる表面面積は小さすぎて半極性LEDを作製するために処理することは困難である。更に、傾いた面上にデバイス構造を形成することは、通常の面上にその構造を形成するのに比べるとはるかに困難である。また、全ての窒化物組成がELOプロセスに適合するわけではなく、広く行なわれているのはGaNのELOのみである。
核生成層あるいは緩衝層はAlx Iny Ga1-x-y N(x=1およびy=0)を含むものである。
半極性窒化物半導体薄膜の成長表面は、基板表面に平行であり、成長表面は幅10μmの面積よりも大きい。例えば、半極性窒化物半導体薄膜は、直径2インチの基板をカバーするように成長される。
以下、図面を参照し、対応する部分には一貫して同じ参照番号を付与する。
概要
本発明は、<011>方向にミスカットした{100}MgAl2 O4 (スピネル)基板上にMOCVDを用いてデバイス品質の半極性で平坦な{10−11}窒化物半導体薄膜を成長するための方法を記述する。半極性窒化物半導体、たとえば{10−11}および{10−13}のGaNの成長は、ウルツ鉱型構造III族窒化物デバイス構造における分極の影響を低減する手段を提供する。窒化物という用語はGan Alx Iny Bz N(0≦n≦1、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、n+x+y+z=1)という化学式を持つ(Ga,Al,In,B)N半導体の任意の合金組成を指している。
技術的に関する説明
本発明は、緩衝層あるいは核生成層を用いることによって半極性窒化物薄膜の成長を促進する方法である。この例は{10−11}GaN薄膜である。この実施例では、<011>方向にミスカットした{100}MgAl2 O4 スピネル基板が成長プロセスのために用いられる。平坦な半極性GaNを実現するためには、GaNの成長の前に高いアルミニウム組成を持つAlx Iny Ga1-x-y N核生成層を用いることが決定的に重要である。
処理工程
図1は、以下に記述する本発明の好ましい実施例による、スピネル基板上の半極性窒化ガリウム(GaN)薄膜の成長のためのMOCVD工程のステップを示すフローチャートである。
ブロック12は、基板を加熱するステップを表す。反応装置のヒータに通電され、基板の表面の窒化を促進する条件で、設定点である温度1150℃に向かって昇温する。一般に、窒素および/または水素および/またはアンモニアが大気圧下で基板上を流れる。
ブロック18は、基板を降温するステップを表す。GaNが望ましい厚さに到達すると、TMGaのガス流を遮断し、GaN薄膜を保護する目的でアンモニアまたは窒素を流したまま反応装置を降温する。
デバイスは図1の方法を用いて作製される。
可能な変更と変形
本発明の技術範囲は、言及した特定の例だけでなくそれ以外も含まれる。図1に示した方法は、任意の半極性面上の全ての半導体窒化物に適合する。例えば、ブロック16では、ミスカット(100)スピネル基板上に{10−11}AlN、InN、AlGaN、InGaNあるいはAlInNを成長することが出来る。他の例は、ブロック16で{10−14}4H−SiCのような適当な基板を用いれば{10−12}窒化物を成長することができ、また、ミスカットm面Al2 O3 基板上に半極性で平坦な{11−22}を成長することが出来るということである。これらの例および他の可能性はまた、平坦な半極性薄膜の利点の全てを享受するものである。図1の方法は、ブロック14の窒化物の緩衝層あるいは核生成層を用いることにより半導体半極性窒化物薄膜を生成する任意の成長技術を含んでいる。
図1の成長工程において変形可能な他のステップがある。基板を窒化するステップは、いくつかの薄膜の表面形態を改良し、他の薄膜では成長する実際の面を決定することがわかった。しかしながら、これは任意の特定の成長技術に対して必要な場合と、必要でない場合がある。
利点と改良点
現行の実施形態は、表面に垂直なc面を持つGaNを成長することである。この面は、デバイス特性にとっては致命的な自発分極と圧電分極を持っている。c面窒化物薄膜に対して半極性窒化物薄膜の利点は分極の低減とそれに関連するある種のデバイスの内部量子効率の上昇である。
結論
これで本発明の好ましい実施形態の説明を終える。本発明の1つ以上の実施形態に関する上記の記述は、例示と記載のために示された。開示の形態そのものによって本発明を包括または限定することを意図するものではない。多くの変更と変形が上記の教示に照らして可能である。本発明の範囲は、この詳細な説明によってではなく、本明細書に添付の請求項によって限定されるものである。
Claims (11)
- 基板上の、または該基板を覆う窒化物の核生成層または緩衝層と、
前記窒化物の核生成層または緩衝層上の、またはそれらを覆う半極性III族窒化物膜であって、該半極性III族窒化物膜の成長表面は該基板の表面に平行である半極性III族窒化物膜とを備え、
前記窒化物核生成層または緩衝層の一つ以上の特徴が、
前記半極性III族窒化物膜の5μm×5μmの面積あたりの表面凹凸が7nm未満であり、
前記半極性III族窒化物膜の微小構造品質は、x線回折で測定された0.43°未満の半値全幅(FWHM)を有するロッキング・カーブにより特徴づけられることを特徴とするデバイス構造。 - 前記成長表面は平坦で、前記半極性III族窒化物膜は窒化ガリウムであることを特徴とする、請求項1に記載のデバイス構造。
- 前記半極性III族窒化物膜は{10−11}III族窒化物であることを特徴とする、請求項2に記載のデバイス構造。
- 前記半極性III族窒化物膜は{10−12}III族窒化物であることを特徴とする、請求項2に記載のデバイス構造。
- 前記半極性III族窒化物膜は{10−14}III族窒化物であることを特徴とする、請求項2に記載のデバイス構造。
- 前記半極性III族窒化物膜は{10−13}III族窒化物であることを特徴とする、請求項2に記載のデバイス構造。
- 前記半極性III族窒化物膜は{20−21}III族窒化物であることを特徴とする、請求項2に記載のデバイス構造。
- 前記半極性III族窒化物膜は{11−22}III族窒化物であることを特徴とする、請求項2に記載のデバイス構造。
- 前記窒化物の核生成層あるいは緩衝層は、アルミニウム含有窒化物またはAlx Iny Ga1-x-y N(x>0および0≦y≦1)核生成層または緩衝層であることを特徴とする、請求項1に記載のデバイス構造。
- 前記成長表面上に作製される電子または光電子デバイスをさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載のデバイス構造。
- 前記表面凹凸が4nm未満であることを特徴とする、請求項1に記載のデバイス構造。
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