JP7350477B2 - 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体成長用基板の製造方法 - Google Patents
半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体成長用基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7350477B2 JP7350477B2 JP2018207042A JP2018207042A JP7350477B2 JP 7350477 B2 JP7350477 B2 JP 7350477B2 JP 2018207042 A JP2018207042 A JP 2018207042A JP 2018207042 A JP2018207042 A JP 2018207042A JP 7350477 B2 JP7350477 B2 JP 7350477B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- aln buffer
- semiconductor
- layer
- semiconductor growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/0242—Crystalline insulating materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/18—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/38—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02428—Structure
- H01L21/0243—Surface structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02433—Crystal orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02455—Group 13/15 materials
- H01L21/02458—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02494—Structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02516—Crystal orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02609—Crystal orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02631—Physical deposition at reduced pressure, e.g. MBE, sputtering, evaporation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02658—Pretreatments
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/12—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a stress relaxation structure, e.g. buffer layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/16—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular crystal structure or orientation, e.g. polycrystalline, amorphous or porous
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
- H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system containing nitrogen
Description
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付すものとし、適宜重複した説明は省略する。図1は、本発明の第1実施形態における半導体成長用基板を示す模式図であり、図1(a)は模式断面図であり、図1(b)は模式平面図である。
はじめに、r面を主面とするサファイア基板1を用意し、主面上にナノサイズの凸形状1aを複数形成する。ナノサイズの凸形状1aを形成する方法は限定されないが、主面上にレジストを塗布した後に、ナノインプリントおよびパターニングを行い、BCl3等の塩素系ガスを用いてサファイア基板1をドライエッチングする方法を用いることができる。このときエッチングの進行とともに、ナノインプリントで形成されたレジスト膜の凸形状もエッチングされて徐々に小さくなり、サファイア基板1にはエッチング面はテーパー形状の凸形状1aが形成される。
次に、ナノサイズの凸形状1aを複数形成したサファイア基板1(NPSS)上に、スパッタ法を用いてAlNバッファ層2を形成する。AlNバッファ層2を形成するスパッタ法としては、Alをターゲット材としてN2およびArガスを用いる反応性スパッタ法を採用してもよいが、AlNをターゲット材としてArガスを用いることがより好ましい。ターゲット材となるAlNとしては単結晶基板であっても粉末焼体であってもよく、その状態や形態は限定されない。
図3は、実施形態における重ね合わせ工程を示す模式図である。図3(a)に示したように、r面を主面とするサファイア基板1には、主面にナノサイズの凸形状1aが複数形成されており、AlNバッファ層2の表面にも凸形状1aに起因した凸形状2aが形成されている。
次に、重ね合わせ工程で重ね合わせた2枚のサファイア基板1をアニール炉に入れ、AlNバッファ層2のアニール処理を実施し、AlNバッファ層2の再結晶化を促進する。アニール処理としては、例えば高周波誘導加熱方式による熱処理装置を用いることができる。アニール条件としては、不活性ガス(例えば窒素やAr)雰囲気中において1300℃以上1700℃未満の基板温度を0.5~3.0時間継続することが好ましい。より好ましくは1300℃以上1600℃以下である。アニール温度が1700℃以上であると、サファイア基板1が熱分解して劣化するため好ましくない。また、アニール温度が1300℃未満であると、AlNバッファ層2の再結晶化が不十分となる。
次に、重ね合わせた2枚のサファイア基板1を剥がし、AlNバッファ層2の表面を洗浄した後に、MOCVD法でa面GaN層3を成長させる。MOCVD法では、キャリアガスとして水素、窒素を用い、V族原料としてアンモニア(NH3)を用い、III族原料としてTMG(TrimethylGallium)を用いる。このとき、成長シーケンスは2段階で構成し、昇温した後に成長温度を一定とし、リアクタ圧力とV/III比および成長時間を変更している。例えば、昇温直後の第1ステップではV/III比を4000~5000程度とし、圧力を900~1000hPaとして10~20分程度維持する。第2ステップでは例えばV/III比を100~200程度とし、圧力を100~150hPaとして90~120分維持する。a面GaN層3を成長した後に室温まで冷却して取り出すことで、図1に示した本実施形態の半導体成長用基板を得ることができる。
スパッタ工程で、RF出力450W、10rpm、Ar流量5.0sccm、N2流量5.0sccm、基板温度を300℃、到達真空度1.53×10-5Paの条件で、膜厚が30nmのAlNバッファ層2を形成した。次に半導体素子成長工程で、温度を1010℃まで昇温した後に成長温度を1010℃で一定とし、第1段階ではV/III比4400、圧力933hPa、成長時間を10分とし、第2段階ではV/III比100、圧力100hPa、成長時間を90分でa面GaN層3を成長させて実施例1の半導体成長用基板を得た。
スパッタ工程での基板温度を500℃とし、到達真空度が4.47×10-4Paである他は実施例1と同様の条件で比較例1の半導体成長用基板を得た。
図4は、AlNバッファ層2中の不純物濃度と、a面GaN層3の結晶性を示す表である。AlNバッファ層2中の不純物濃度はSIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)により測定し、a面GaN層3の結晶性はSEM(Scanning Electron Microscope)像とX線回折により評価した。図中左側に実施例1の結果を示し、図中右側に比較例1の結果を示している。
スパッタ法でAlNバッファ層2を形成した後に、減圧環境下で重ね合わせ工程とアニール工程を実施した以外は実施例1と同様にして、実施例2、比較例2,3の半導体成長用基板を作成した。アニール工程では、熱処理装置のカーボンサセプタ内に基板をセットし、減圧した後にN2封入して380torrにし、昇温レート20℃/minで1600℃まで昇温して一時間アニールした。AlNバッファ層2の膜厚が30nm、90nm、180nmのものをそれぞれ実施例2、比較例2,3とした。
スパッタ工程を用いず、r面を主面とするサファイア基板1上に、MOCVD法を用いて膜厚180nmのAlNバッファ層2をエピタキシャル成長させた他は、実施例1と同様にして比較例4の半導体成長用基板を得た。成長条件は、成長温度1340℃、V/III比6300であった。
図5は、AlNバッファ層2の<1-100>方向から観察した明視野断面TEM(Transmission Electron Microscope)像と、電子回折パターンを示す表であり、(a)は実施例2を示し、(b)~(d)は比較例2~4を示している。図5中に挿入した電子回折パターンでは、(I)で示した位置では<1-100>AlNのみが確認され、(II)で示した位置では<1-100>AlNと<11-21>AlNが確認された。
次に、本発明の第2実施形態について図6を用いて説明する。第1実施形態と重複する内容は説明を省略する。図6は、本実施形態における半導体成長用基板の製造方法を示す工程図である。
本実施形態では、グローブボックス内にサファイア基板1を2枚用意し、AlNバッファ層2同士を対向させて、所定距離空けて保持し、チャンバー内をAr等の不活性ガスで充填して加熱する。加熱時の温度は100~250℃の範囲が好ましい。2枚のサファイア基板1の間隔を空けた状態で加熱を行うため、それぞれのAlNバッファ層2表面近傍に存在していた雰囲気が希薄化し、凸形状2aの間に残留する酸素を低減することができる。
次に、本発明の第3実施形態について図7を用いて説明する。図7は第3実施形態の半導体装置であるLED10を示す模式断面図である。図7に示すようにLED10は、r面を主面とするサファイア基板11、ナノサイズの凸形状11a、AlNバッファ層12、a面GaN層13、n型半導体層14、発光層15、p型半導体層16、n側電極17、p側電極18を有している。
本発明の半導体装置であるLED10は、上述したようにピエゾ電界によるドループが少なく、且つa面内での異方性が小さく良好な結晶品質であることから高輝度化を実現できるので、車両用灯具などの灯具に用いることでチップ数の低減や高出力化を図ることが可能となる。
1,11…サファイア基板
1a,11a,2a…凸形状
2,12…AlNバッファ層
3,13…a面GaN層
14…n型半導体層
15…発光層
16…p型半導体層
17…n側電極
18…p側電極
Claims (10)
- r面を主面とし、前記主面にナノサイズの凸形状が複数形成されたサファイア基板と、
前記主面上に形成されたAlNバッファ層を備え、
前記AlNバッファ層に含まれる酸素の不純物濃度が、7.0×1020atoms/cm3未満であり、
前記AlNバッファ層の表面には、a面を傾けた半極性面のファセットが複数形成されていることを特徴とする半導体成長用基板。 - 請求項1に記載の半導体成長用基板であって、
前記半極性面は、{11-22}面または{11-2-2}面であることを特徴とする半導体成長用基板。 - 請求項1または2に記載の半導体成長用基板であって、
前記AlNバッファ層上にa面GaN層を備えることを特徴とする半導体成長用基板。 - 請求項1から3の何れか一つに記載の半導体成長用基板であって、
前記AlNバッファ層に含まれる炭素の不純物濃度が、2.5×1019atoms/cm3未満であることを特徴とする半導体成長用基板。 - 請求項1から4の何れか一つに記載の半導体成長用基板を用い、
前記半導体成長用基板上に機能層を備えることを特徴とする半導体素子。 - 請求項1から4の何れか一つに記載の半導体成長用基板を用い、
前記半導体成長用基板上に活性層を備えることを特徴とする半導体発光素子。 - r面を主面とするサファイア基板の前記主面上にナノサイズの凸形状を複数形成する基板加工工程と、
前記主面上にスパッタ法を用いてAlNバッファ層を形成するスパッタ工程と、
複数の前記サファイア基板に形成された前記AlNバッファ層を対向させて、前記AlNバッファ層同士を接触させる重ね合わせ工程と、
重ね合わせた前記AlNバッファ層をアニールするアニール工程を備え、
前記アニール工程では、前記AlNバッファ層の表面にa面を傾けた半極性面のファセットを複数形成することを特徴とする半導体成長用基板の製造方法。 - 請求項7に記載の半導体成長用基板の製造方法であって、
前記アニール工程後に前記AlNバッファ層に含まれる酸素の不純物濃度が、7.0×1020atoms/cm3未満であることを特徴とする半導体成長用基板の製造方法。 - 請求項7または8に記載の半導体成長用基板の製造方法であって、
前記重ね合わせ工程は、10-3~10-5Paの範囲に減圧した雰囲気下で実施することを特徴とする半導体成長用基板の製造方法。 - 請求項7から9の何れか一つに記載の半導体成長用基板の製造方法であって、
前記重ね合わせ工程は、不活性ガス雰囲気下で、100~250℃の範囲の基板温度で実施することを特徴とする半導体成長用基板の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018207042A JP7350477B2 (ja) | 2018-11-02 | 2018-11-02 | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体成長用基板の製造方法 |
PCT/JP2019/042370 WO2020090814A1 (ja) | 2018-11-02 | 2019-10-29 | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体成長用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018207042A JP7350477B2 (ja) | 2018-11-02 | 2018-11-02 | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体成長用基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020070221A JP2020070221A (ja) | 2020-05-07 |
JP7350477B2 true JP7350477B2 (ja) | 2023-09-26 |
Family
ID=70463710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018207042A Active JP7350477B2 (ja) | 2018-11-02 | 2018-11-02 | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体成長用基板の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7350477B2 (ja) |
WO (1) | WO2020090814A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111607824A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-09-01 | 无锡吴越半导体有限公司 | 基于ScAlMgO4衬底的氮化镓单晶及其制备方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010177552A (ja) | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 極性面を有する窒化物半導体成長基板 |
WO2011040012A1 (ja) | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 国立大学法人北海道大学 | トンネル電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
JP2011082570A (ja) | 2011-01-11 | 2011-04-21 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
WO2014058069A1 (ja) | 2012-10-12 | 2014-04-17 | エルシード株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
WO2014115830A1 (ja) | 2013-01-28 | 2014-07-31 | エルシード株式会社 | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2016111354A (ja) | 2014-11-26 | 2016-06-20 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | Led用半導体テンプレート基板、及び、それを用いたled素子 |
JP2018056568A (ja) | 2015-09-11 | 2018-04-05 | 国立大学法人三重大学 | 窒化物半導体基板の製造方法 |
JP2018065733A (ja) | 2016-03-02 | 2018-04-26 | 株式会社小糸製作所 | 半導体基板、半導体発光素子および灯具 |
-
2018
- 2018-11-02 JP JP2018207042A patent/JP7350477B2/ja active Active
-
2019
- 2019-10-29 WO PCT/JP2019/042370 patent/WO2020090814A1/ja active Application Filing
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010177552A (ja) | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 極性面を有する窒化物半導体成長基板 |
WO2011040012A1 (ja) | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 国立大学法人北海道大学 | トンネル電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
JP2011082570A (ja) | 2011-01-11 | 2011-04-21 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
WO2014058069A1 (ja) | 2012-10-12 | 2014-04-17 | エルシード株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
WO2014115830A1 (ja) | 2013-01-28 | 2014-07-31 | エルシード株式会社 | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2016111354A (ja) | 2014-11-26 | 2016-06-20 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | Led用半導体テンプレート基板、及び、それを用いたled素子 |
JP2018056568A (ja) | 2015-09-11 | 2018-04-05 | 国立大学法人三重大学 | 窒化物半導体基板の製造方法 |
JP2018065733A (ja) | 2016-03-02 | 2018-04-26 | 株式会社小糸製作所 | 半導体基板、半導体発光素子および灯具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020070221A (ja) | 2020-05-07 |
WO2020090814A1 (ja) | 2020-05-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4888857B2 (ja) | Iii族窒化物半導体薄膜およびiii族窒化物半導体発光素子 | |
JP4371202B2 (ja) | 窒化物半導体の製造方法及び半導体ウエハ並びに半導体デバイス | |
US7973322B2 (en) | Nitride semiconductor light emitting device and method for forming the same | |
US7951617B2 (en) | Group III nitride semiconductor stacked structure and production method thereof | |
JP2008285364A (ja) | GaN基板、それを用いたエピタキシャル基板及び半導体発光素子 | |
JP2009147305A (ja) | 半極性窒化物単結晶薄膜の成長方法及びこれを用いた窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
WO2013042297A1 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子及びそれを用いた光源装置 | |
WO2011058682A1 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 | |
JP6925141B2 (ja) | 半導体基板、半導体発光素子および灯具 | |
KR100841269B1 (ko) | Ⅲ족 질화물 반도체 다층구조물 | |
JP5293592B2 (ja) | Iii族窒化物半導体の製造方法およびテンプレート基板 | |
JP4974635B2 (ja) | Iii族窒化物化合物半導体積層構造体の成膜方法 | |
KR101355086B1 (ko) | 나노 필러 구조를 이용한 반극성 질화물층의 제조방법 | |
JP7350477B2 (ja) | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体成長用基板の製造方法 | |
JP5814131B2 (ja) | 構造体、及び半導体基板の製造方法 | |
JP5265404B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
WO2020075849A1 (ja) | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法 | |
JP2008118048A (ja) | GaN系半導体発光素子 | |
JP7430316B2 (ja) | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法 | |
WO2019235459A1 (ja) | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法 | |
WO2019039240A1 (ja) | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子、および半導体素子の製造方法 | |
JP7345286B2 (ja) | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法 | |
JP2019212904A (ja) | 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法 | |
JP2007201151A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体の製造方法 | |
JP2002075880A (ja) | 窒化物系半導体層の形成方法および窒化物系半導体素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80 Effective date: 20181109 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220607 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221011 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230905 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230913 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7350477 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |