JP6925141B2 - 半導体基板、半導体発光素子および灯具 - Google Patents
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前記r面サファイア基板上に設けられたAlNバッファ層と、前記AlNバッファ層上に設けられたa面GaN結晶層を有し、前記a面GaN結晶層は、X線ロッキングカーブ測定での半値幅のa面内角度依存性において、前記半値幅の最大値が最小値の1.6倍以下の範囲であり、前記半値幅の最大値が800arcsec以下であることを特徴とする。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付すものとし、適宜重複した説明は省略する。
次に本実施形態の半導体基板の実施例について製造方法とともに説明する。まず、r面を主面とするr面サファイア基板1を用意し、表面を洗浄した後にRFスパッタ装置の基板ホルダーにr面サファイア基板1を載置し、ターゲット材であるAlNにr面を対向させる。次に、チャンバー内を真空ポンプで10−5Pa以下の真空到達度とし、r面サファイア基板1の表面温度が600℃になるまで加熱する。
次に、半導体基板の比較例1について説明する。まず、r面を主面とするr面サファイア基板1を用意し、MOCVD装置のリアクタに載置する。次に、キャリアガスとして水素、窒素を用い、V族原料としてアンモニア(NH3)を用い、III族原料としてTMG(TrimethylGallium)を用いてa面GaN層3を4500nm成長させ、比較例1の半導体基板を得た。このとき、成長シーケンスは実施例と同様に[表1]に示した2段階構成とした。
次に、半導体基板の比較例2について説明する。まず、r面を主面とするr面サファイア基板1を用意し、MOCVD装置のリアクタに載置する。次に、キャリアガスとして水素、窒素を用い、V族原料としてアンモニア(NH3)を用い、III族原料としてTMA(Trimethylaluminium)を用いてAlNバッファ層を成長させる。次に、キャリアガスとして水素、窒素を用い、V族原料としてアンモニア(NH3)を用い、III族原料としてTMG(TrimethylGallium)を用いてa面GaN層3を4500nm成長させ、比較例2の半導体基板を得た。このとき、成長シーケンスは実施例と同様に[表1]に示した2段階構成とした。
次に、本発明の第2実施形態について図7を用いて説明する。図7は本実施形態の半導体装置であるLED10を示す模式断面図である。図7に示すようにLED10は、r面サファイア基板1、AlNバッファ層2、a面GaN層3、n型半導体層4、発光層5、p型半導体層6、n側電極7、p側電極8を有している。
本発明の半導体装置であるLED10は、上述したようにピエゾ電界によるドループが少なく、且つa面内での異方性が小さく良好な結晶品質であることから高輝度化を実現できるので、車両用灯具などの灯具に用いることでチップ数の低減や高出力化を図ることが可能となる。
第2実施形態では、LED10としてr面サファイア基板1とAlNバッファ層2を含めた構造のものを示したが、基板裏面側から研磨やエッチング、レーザーアブレーションなどの技術を用いて、r面サファイア基板1とAlNバッファ層2を除去するとしてもよい。また、r面サファイア基板1を除去した側にn側電極7を設け、p側電極8とn側電極7とを対向させてもよい。
次に、本発明の第4実施形態について図10〜図18を用いて説明する。本実施形態では、r面サファイア基板1上にスパッタ法を用いてAlNバッファ層2を形成し、1600℃でアニール処理を施した後の厚さと結晶品質について検討を行った。図10は、r面サファイア基板1上に形成されたAlNバッファ層2の結晶品質を測定するout−of−plane測定とin−plane測定を説明する模式図である。
Dd=1/(21/2・2π・λ―1・f(θi))
ただし、f(θi)=[{(θc2−θi2)2+4β2}1/2+θc2−θi2]1/2
β=λμ/(4π)
2…AlNバッファ層
3…a面GaN層
4…n型半導体層
5…発光層
6…p型半導体層
7…n側電極
8…p側電極
10…LED
Claims (9)
- r面サファイア基板と、
前記r面サファイア基板上に設けられたAlNバッファ層と、
前記AlNバッファ層上に設けられたa面GaN結晶層を有し、
前記a面GaN結晶層は、X線ロッキングカーブ測定での半値幅のa面内角度依存性において、前記半値幅の最大値が最小値の1.6倍以下の範囲であり、
前記半値幅の最大値が800arcsec以下であることを特徴とする半導体基板。 - 請求項1に記載の半導体基板であって、
前記X線ロッキングカーブ測定のピーク回折角度での理論値からの最大のずれが±3%以内であることを特徴とする半導体基板。 - 請求項1または2に記載の半導体基板であって、
前記AlNバッファ層の厚みが5〜300nmの範囲であることを特徴とする半導体基板。 - 請求項1から3の何れか1つに記載の半導体基板であって、
前記AlNバッファ層は、スパッタ法で形成されていることを特徴とする半導体基板。 - 請求項1から4の何れか1つに記載の半導体基板を用いた半導体発光素子。
- 請求項5に記載の半導体発光素子を用いた灯具。
- r面サファイア基板上にスパッタ法を用いてAlNバッファ層を形成する工程と、
前記AlNバッファ層上にa面GaN結晶層を成長する工程を有し、
前記a面GaN結晶層は、X線ロッキングカーブ測定での半値幅のa面内角度依存性において、前記半値幅の最大値が最小値の1.6倍以下の範囲であり、
前記半値幅の最大値が800arcsec以下であることを特徴とする半導体基板の製造方法。 - 請求項7に記載の半導体基板の製造方法であって、
前記a面GaN結晶層を成長する工程は、MOCVD法を用いることを特徴とする半導体基板の製造方法。 - 請求項7または8に記載の半導体基板の製造方法であって、
前記AlNバッファ層の厚みが5〜300nmの範囲であることを特徴とする半導体基板の製造方法。
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