JP2010166125A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ヒューズの切断と検出を安定的に高い信頼性で行う。
【解決手段】半導体集積回路にトリミング用のヒューズF3と参照用のヒューズF1、F2を設ける。ヒューズF3の切断時には、外部端子V2にヒューズ切断用の高電圧Vhhを印加しながら、トランジスタN6をオン状態に制御してノードV5に接地電圧GNDを印加する。ヒューズF3の検出時には、トランジスタN1で構成されたクランプ回路と抵抗R1を用いてヒューズF1に流れる電流I1の量を決定し、カレントミラー回路M1〜M3を用いて電流I1を電流I2〜I4にコピーする。好適なカレントミラー比を設定し、ヒューズF3に流れる電流をヒューズF1に流れる電流よりも少なくする。
【選択図】図1
【解決手段】半導体集積回路にトリミング用のヒューズF3と参照用のヒューズF1、F2を設ける。ヒューズF3の切断時には、外部端子V2にヒューズ切断用の高電圧Vhhを印加しながら、トランジスタN6をオン状態に制御してノードV5に接地電圧GNDを印加する。ヒューズF3の検出時には、トランジスタN1で構成されたクランプ回路と抵抗R1を用いてヒューズF1に流れる電流I1の量を決定し、カレントミラー回路M1〜M3を用いて電流I1を電流I2〜I4にコピーする。好適なカレントミラー比を設定し、ヒューズF3に流れる電流をヒューズF1に流れる電流よりも少なくする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置に関し、特に、回路の動作を調整するためにヒューズを備えた半導体装置に関する。
ヒューズを用いた回路技術として、ヒューズが切断されているか否かを検出し、検出結果を受け取る後段回路の動作を調整するトリミング回路(冗長回路とも呼ばれる)が知られている。トリミング回路は、各種の半導体集積回路(例えば、ロジックICやメモリICなど)に内蔵して使用される。
例として、トリミング回路を内蔵した電源ICについて説明する。電源ICでは、製造ばらつきによって出力電圧が設計値から大きく乖離することがある。例えば、出力電圧が4.9〜5.1Vの範囲内に入るように設計した電源ICでも、実際の出力電圧が4.5Vや5.5Vになることがある。このような場合でも電源ICがトリミング回路を内蔵していれば、トリミング回路を用いて電源IC内部の回路の動作を調整することにより、出力電圧を5Vに近づけることができる。
出力電圧の調整は、トリミング回路と同じ信号を出力するメモリICを用いても実現できる。しかしながら、出力電圧の調整に必要なデータ量(メモリ容量)は、数ビットから10数ビットに過ぎない。このような少量のデータを記憶するためにメモリICを使用すると、コストや実装の点で問題が生じる。電源ICにメモリICを外付けするよりも、電源ICにトリミング回路を内蔵するほうが、コストや実装の点で有利である場合が多い。
図5は、従来のトリミング回路の回路図である。図5において、トリミングヒューズF0が切断されていないときには、ノードV0の電圧は電源電圧Vccにほぼ等しくなり、出力電圧OUT0はインバータC0の作用によってローレベルになる。トリミングヒューズF0が切断されているときには、ノードV0の電圧は接地電圧GNDに等しくなり、出力電圧OUT0はインバータC0の作用によってハイレベルになる。トリミングヒューズF0は、スイッチS0をオン状態にしてノードV0にヒューズ切断用の高電圧Vhhを印加することにより切断される。
ヒューズの切断には、上記のようにヒューズの一端に外部から高電圧を直接印加して、ヒューズに大きな電流を流す方法(例えば、特許文献1参照)や、ヒューズにレーザーを照射する方法(例えば、特許文献2参照)などが用いられる。後者の方法は、DRAMなど各種のメモリICの欠陥救済にも利用されている。ヒューズが切断されているか否かを検出するためには、例えばインバータを含む検出回路が利用される(例えば、特許文献3参照)。
ヒューズを含むトリミング回路には、以下の3つの課題がある。第1の課題は、ヒューズの切断を確実に行うことである。外部から高電圧を印加してヒューズを切断する場合、印加電圧や電源制御のばらつきがヒューズ切断の歩留まりに影響を与える。このため、ヒューズを確実に切断するためには、外部からヒューズに高電圧を高い精度で印加すると共に、大電流を瞬時に流す電源制御を行う必要がある。また、周辺回路への印加電圧をトランジスタ耐圧以下に保ちながらレイアウト面積の増大を抑えるためには、ヒューズ切断時の電圧を低く、電流を少なくすることが好ましい。このためには、例えばヒューズの線幅を細くするなど、少ない電流でヒューズを切断できるように回路を工夫する必要がある。
第2の課題は、ヒューズ自身の信頼性を高くすることである。例えば、検出回路の起動時などに予期しない電流がヒューズに流れた場合、切断電圧に近い電圧がヒューズに印加された場合、あるいは、そのような状態が続いた場合には、検出時に切断電圧よりも低い電圧を印加しただけでも、ヒューズが切断されることがある。このようなヒューズの誤切断が起こると、トリミング回路の信頼性は著しく損なわれる。
第3の課題は、ヒューズの検出を確実に行うことである。例えば、ヒューズを確実に検出するためにヒューズの線幅を細くすると、ヒューズを検出するときの電流ばらつきが大きくなり、ヒューズを正しく検出できなくなることがある。
それ故に、本発明は、ヒューズの切断と検出を安定的に高い信頼性で行える半導体装置を提供することを目的とする。
第1の発明は、半導体基板上に形成された1以上のヒューズと、
前記ヒューズの一端に接続され、前記ヒューズの切断時にヒューズ切断用の第1の電圧が印加される切断電圧印加用の外部端子と、
前記ヒューズに対応して設けられ、前記ヒューズの切断時に前記ヒューズの他端にヒューズ切断用の第2の電圧を選択的に印加する切断制御トランジスタと、
前記ヒューズが切断されているか否かを電気的に検出し、検出結果を示す論理信号を出力する検出回路とを備える。
前記ヒューズの一端に接続され、前記ヒューズの切断時にヒューズ切断用の第1の電圧が印加される切断電圧印加用の外部端子と、
前記ヒューズに対応して設けられ、前記ヒューズの切断時に前記ヒューズの他端にヒューズ切断用の第2の電圧を選択的に印加する切断制御トランジスタと、
前記ヒューズが切断されているか否かを電気的に検出し、検出結果を示す論理信号を出力する検出回路とを備える。
第2の発明は、第1の発明において、
前記切断制御トランジスタは、対応するヒューズの他端と前記第2の電圧を有する節点との間に設けられ、当該ヒューズの切断時にオン状態になることを特徴とする。
前記切断制御トランジスタは、対応するヒューズの他端と前記第2の電圧を有する節点との間に設けられ、当該ヒューズの切断時にオン状態になることを特徴とする。
第3の発明は、第2の発明において、
前記切断制御トランジスタの制御端子は、外部端子に接続されていることを特徴とする。
前記切断制御トランジスタの制御端子は、外部端子に接続されていることを特徴とする。
第4の発明は、第2の発明において、
前記切断制御トランジスタを選択的にオン状態に制御する選択回路をさらに備える。
前記切断制御トランジスタを選択的にオン状態に制御する選択回路をさらに備える。
第5の発明は、第1の発明において、
前記検出回路は、
前記ヒューズと共に前記半導体基板上に形成された参照用ヒューズと、
前記参照用ヒューズに流れる電流の量を決定する電流量決定回路と、
前記参照用ヒューズに流れる電流をコピーして、前記ヒューズに流れる電流を生成するカレントミラー回路とを含み、
前記カレントミラー回路のカレントミラー比で、前記ヒューズに流れる電流の量を調整できることを特徴とする。
前記検出回路は、
前記ヒューズと共に前記半導体基板上に形成された参照用ヒューズと、
前記参照用ヒューズに流れる電流の量を決定する電流量決定回路と、
前記参照用ヒューズに流れる電流をコピーして、前記ヒューズに流れる電流を生成するカレントミラー回路とを含み、
前記カレントミラー回路のカレントミラー比で、前記ヒューズに流れる電流の量を調整できることを特徴とする。
第6の発明は、第5の発明において、
前記電流量決定回路は、前記参照用ヒューズの両端の電位差を制限するクランプ回路を含み、
前記ヒューズの両端には、前記参照用ヒューズの両端とほぼ同じ電位差が与えられることを特徴とする。
前記電流量決定回路は、前記参照用ヒューズの両端の電位差を制限するクランプ回路を含み、
前記ヒューズの両端には、前記参照用ヒューズの両端とほぼ同じ電位差が与えられることを特徴とする。
第7の発明は、第6の発明において、
前記クランプ回路は、ゲートとドレインが互いに接続され、ソースが前記参照用ヒューズの一端に接続されたNMOSトランジスタを含む。
前記クランプ回路は、ゲートとドレインが互いに接続され、ソースが前記参照用ヒューズの一端に接続されたNMOSトランジスタを含む。
第8の発明は、第5の発明において、
前記電流量決定回路は、前記参照用ヒューズに流れる電流の量を制限する抵抗を含む。
前記電流量決定回路は、前記参照用ヒューズに流れる電流の量を制限する抵抗を含む。
第9の発明は、第5の発明において、
前記ヒューズには、前記カレントミラー回路のカレントミラー比に応じて、前記参照用ヒューズに流れる電流よりも少ない電流が流れることを特徴とする。
前記ヒューズには、前記カレントミラー回路のカレントミラー比に応じて、前記参照用ヒューズに流れる電流よりも少ない電流が流れることを特徴とする。
第10の発明は、第5の発明において、
前記検出回路は、最終段にインバータを含むことを特徴とする。
前記検出回路は、最終段にインバータを含むことを特徴とする。
第11の発明は、第5の発明において、
前記検出回路は、最終段にラッチ構成を含むことを特徴とする。
前記検出回路は、最終段にラッチ構成を含むことを特徴とする。
上記第1の発明によれば、ヒューズに対応して切断制御トランジスタを設け、切断電圧印加用の外部端子を用いてヒューズの一端に第1の電圧を印加しながら、切断制御トランジスタを用いてヒューズの他端に第2の電圧を選択的に印加することにより、切断すべきヒューズのみに切断ストレスを与えてこれを確実に切断すると共に、切断すべきでないヒューズの誤切断を防止することができる。また、検出回路を用いて、ヒューズが切断されているか否かを電気的に検出することができる。したがって、ヒューズの切断と検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。
上記第2の発明によれば、ヒューズの他端と第2の電圧を有する節点との間にトランジスタを設けることにより、ヒューズの他端に第2の電圧を選択的に印加する切断制御トランジスタを容易に構成し、これを用いてヒューズの切断を安定的に高い信頼性で行うことができる。また、切断制御トランジスタをオン状態に制御するだけでヒューズを切断できるので、ヒューズの切断を簡単な制御で行うことができる。
上記第3の発明によれば、外部端子を用いて切断制御トランジスタの状態を直接制御することにより、ヒューズの切断を簡単な制御で安定的に高い信頼性で行うことができる。
上記第4の発明によれば、選択回路を用いて切断制御トランジスタを選択的にオン状態に制御することにより、ヒューズの切断を安定的に高い信頼性で行いながら、切断制御トランジスタの状態制御に必要な外部端子の個数を減らすことができる。
上記第5の発明によれば、切断対象となり得るヒューズ(以下、トリミングヒューズという)とは別に参照用ヒューズを設け、電流量決定回路を用いて参照用ヒューズに流れる電流の量を決定し、カレントミラー回路を用いて参照用ヒューズに流れる電流に基づきトリミングヒューズに流れる電流を生成することにより、トリミングヒューズに流れる電流の量を好適に制御することができる。これにより、トリミングヒューズの検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。また、電流量決定回路とカレントミラー回路を用いてトリミングヒューズに流れる電流の量を好適に制御することにより、トリミングヒューズへのストレスを緩和して、低電圧動作を可能とし、使用可能な電源電圧範囲を広くすることができる。また、参照用ヒューズを設けることにより、検出時のヒューズ抵抗値の絶対ばらつきを吸収し、ヒューズ抵抗値のばらつきによる回路調整を不要とすることができる。
上記第6の発明によれば、クランプ回路を用いて、トリミングヒューズと参照用ヒューズの両端の電位差を好適に制限することができる。これにより、電源電圧が変動したときでも、これらヒューズの両端の電位差の変動を抑制し、トリミングヒューズの検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。
上記第7の発明によれば、NMOSトランジスタを用いて参照用ヒューズの両端の電位差を制限するクランプ回路を構成し、これを用いてトリミングヒューズの検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。
上記第8の発明によれば、抵抗を用いて参照用ヒューズに流れる電流の量を制限し、カレントミラー回路を用いて参照用ヒューズに流れる電流に基づきトリミングヒューズに流れる電流を生成することにより、トリミングヒューズに流れる電流の量を好適に制御し、トリミングヒューズの検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。
上記第9の発明によれば、好適なカレントミラー比を有するカレントミラー回路を用いてトリミングヒューズに流れる電流を生成することにより、当該電流の量をカレントミラー比に応じて減らすことができる。したがって、製造ばらつきを考慮してトリミングヒューズに流れる電流の量を減らし、トリミングヒューズの検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。また、製造プロセスを変更するときでも、カレントミラー比だけを変更すれば、同じ構成の回路を用いてトリミングヒューズの検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。
上記第10の発明によれば、検出回路の最終段にインバータを設けることにより、ヒューズが切断されているか否かを示す論理信号を容易に生成することができる。
上記第11の発明によれば、検出回路の最終段にラッチ構成を設けることにより、ヒューズが切断されているか否かを示す論理信号を容易にデータ保持することができる。これにより、例えばヒューズ切断状態の検出後に検出回路の電源をオフにする、あるいは、スイッチングトランジスタなどを非検出状態にしたときに、ラッチ構成部分で論理信号をデータ保持して出力しながら、検出回路における消費電流を削減することができる。
図1は、本発明の実施形態に係るトリミング回路の回路図である。図1に示すトリミング回路は、ヒューズF1〜F3、PMOSトランジスタP1〜P3、NMOSトランジスタN1〜N6、CMOSインバータC1、抵抗R1、および、スイッチS1〜S4を備えている。このトリミング回路は、回路の動作を調整するために、各種の半導体集積回路に内蔵して使用される。
ヒューズF1〜F3は、半導体集積回路に含まれる他の回路と同じ半導体基板上に形成される。このうちヒューズF3は切断対象となり得るヒューズであり、ヒューズF1、F2はヒューズF3と抵抗値を比較するために設けられたヒューズ(切断対象となり得ないヒューズ)である。以下、前者をトリミングヒューズ、後者をリファレンスヒューズという。
トランジスタP3、N3、N5、N6およびインバータC1は、トリミングヒューズF3に対応して設けられる。トランジスタN6(以下、切断制御トランジスタという)は、トリミングヒューズF3の切断に利用される。トランジスタP1〜P3、N1〜N5は、クランプ回路とカレントミラー回路を構成し、トリミングヒューズF3の検出に利用される。図1において、トリミングヒューズF3、切断制御トランジスタN6および外部端子V2、V9以外の構成要素は、トリミングヒューズF3が切断されているか否かを電気的に検出し、検出結果を示す論理信号を出力する検出回路として機能する。検出回路の最終段には、インバータC1が設けられている。
ヒューズF1〜F3の一端は、外部端子V2に接続される。トリミングヒューズF3の他端は、トランジスタN6のドレインとトランジスタN3のソースに接続される(この接続点をノードV5という。以下同じ)。トランジスタN6のゲートは外部端子V9に接続され、ソースには接地電圧GNDが印加される。切断制御トランジスタN6は、トリミングヒューズF3の一端に接地電圧GNDを印加するか否かを切り替える。
リファレンスヒューズF1の他端は、トランジスタN1のソースに接続される(ノードV3)。トランジスタN1のドレインとゲートは互いに接続され(ノードV1)、スイッチS1を介して抵抗R1の一端に接続される。このように接続されたトランジスタN1は、クランプ回路として機能する。抵抗R1の他端には、電源電圧Vccが印加される。ノードV1はスイッチS2の一端に接続され、スイッチS2の他端には接地電圧GNDが印加される。
リファレンスヒューズF2の他端は、トランジスタN2のソースに接続される(ノードV4)。トランジスタN2のゲートはノードV1に接続され、ドレインはトランジスタP1のドレインに接続される(ノードV7)。トランジスタP1〜P3のゲートはノードV7に接続され、ソースには電源電圧Vccが印加される。ノードV7はスイッチS3の一端に接続され、スイッチS3の他端には電源電圧Vccが印加される。このように接続されたトランジスタP1〜P3は、カレントミラー回路M2を構成する。
トランジスタP2のドレインは、トランジスタN4のドレインに接続される(ノードV8)。トランジスタP3のドレインは、トランジスタN5のドレインに接続される(ノードV6)。トランジスタN4、N5のゲートはノードV8に接続され、ソースには接地電圧GNDが印加される。ノードV8はスイッチS4の一端に接続され、スイッチS4の他端には接地電圧GNDが印加される。このように接続されたトランジスタN4、N5は、カレントミラー回路M3を構成する。
トランジスタN3のゲートはノードV1に接続され、ドレインはノードV6に接続される。ノードV6はインバータC1の入力端子に接続され、インバータC1の出力端子からは出力電圧OUT1が出力される。このように接続されたトランジスタN1〜N3は、カレントミラー回路M1を構成する。なお、スイッチS1、S3は例えばPMOSトランジスタで構成され、スイッチS2、S4は例えばNMOSトランジスタで構成される。
図1に示すトリミング回路は1個のトリミングヒューズを含むが、同様の方法で、2個のトリミングヒューズを含むトリミング回路を構成することができる(第1変形例;図2を参照)。図2に示すトリミング回路は、図1に示すトリミング回路に破線部内の素子(トリミングヒューズF3a、PMOSトランジスタP3a、NMOSトランジスタN3a、N5a、N6aおよびCMOSインバータC1a)を追加したものである。これらの素子は、図1に示すトリミング回路内の対応する素子(トリミングヒューズF3、PMOSトランジスタP3、NMOSトランジスタN3、N5、N6およびCMOSインバータC1)と同様の形態に接続される。また、破線部内の素子を必要な個数だけ同様の形態に接続することにより、3個以上のトリミングヒューズ含むトリミング回路を構成することもできる。
以下、図1に示すトリミング回路の動作を説明する。トリミング回路は、トリミングヒューズF3を切断するとき(以下、切断時という)と、トリミングヒューズF3が切断されているか否かを検出するとき(以下、検出時という)とで異なる動作を行う。切断時には、スイッチS1はオフ状態に、スイッチS2〜S4はオン状態に制御され、外部端子V2にはヒューズ切断用の高電圧Vhhが印加される。外部端子V9には、最初は接地電圧GNDが印加され、その後に切断制御トランジスタN6の閾値電圧よりも高い電圧(ハイレベル電圧)が印加される。検出時には、スイッチS1はオン状態に、スイッチS2〜S4はオフ状態に制御され、外部端子V2、V9には接地電圧GNDが印加される。
まず、切断時の動作を説明する。切断時にはスイッチS2〜S4はオン状態であるので、ノードV1、V8には接地電圧GNDが印加され、ノードV7には電源電圧Vccが印加される。このため、トランジスタP1〜P3、N1〜N5はすべてオフ状態となり、これらのトランジスタで構成される回路に電流は流れない。
外部端子V9に接地電圧GNDが印加されている間、切断制御トランジスタN6はオフ状態にある。また、外部端子V2にはヒューズ切断用の高電圧Vhhが印加されるので、ヒューズF1〜F3の両端にはいずれも高電圧Vhhが印加される。この時点でヒューズF1〜F3の両端の電位差はゼロであるので、いずれのヒューズにも電流は流れず、いずれのヒューズも切断されない。
外部端子V2に高電圧Vhhが印加された後に、外部端子V9にハイレベル電圧が印加される。外部端子V9にはパルス状に瞬間的にハイレベル電圧を印加してもよく、所定の時間だけ固定的にハイレベル電圧を印加してもよい。外部端子V9にハイレベル電圧が印加されている間、切断制御トランジスタN6はオン状態になり、ノードV5には接地電圧GNDが印加される。このとき、外部端子V2からトリミングヒューズF3と切断制御トランジスタN6を経由して接地に至る経路が形成され、この経路に大電流が流れる。この大電流によって、トリミングヒューズF3は熱溶断する。このようにトリミングヒューズF3の一端に高電圧Vhhを印加しながら、切断制御トランジスタN6をオン状態に制御してトリミングヒューズF3の他端に接地電圧GNDを印加することにより、トリミングヒューズF3に大電流を流して、トリミングヒューズF3を切断することができる。
なお、複数のトリミングヒューズを含むトリミング回路においてトリミングヒューズを切断するときには、切断すべきでないトリミングヒューズに対応した切断制御トランジスタをオフ状態にしたままで、切断すべきトリミングヒューズに対応した切断制御トランジスタをオン状態に制御すればよい。例えば図2に示すトリミング回路においてトリミングヒューズF3を切断するときには、外部端子V9aに接地電圧GNDを印加したままで、外部端子V9にハイレベル電圧を印加すればよい。
次に、検出時の動作を説明する。検出時にはスイッチS2〜S4はオフ状態であるので、ノードV1、V7、V8に固定電圧は印加されない。また、外部端子V2、V9には接地電圧GNDが印加される。このため、切断制御トランジスタN6が誤ってオン状態になっても、トリミングヒューズF3の両端には接地電圧GNDが印加されるだけで、トリミングヒューズF3は切断されない。このように外部端子V2と切断制御トランジスタN6のソースに検出時に同じ電圧を印加することにより、検出時におけるトリミングヒューズF3の誤切断を防止することができる。
検出時にはスイッチS1がオン状態になり、電源電圧Vccが供給されるので、ノードV1は接地電圧GNDから充電される。ノードV1の電圧が上昇してトランジスタN1の閾値電圧VthN1に等しくなると、トランジスタN1はオン状態になり、ノードV1の電圧は概ねそれ以上昇しなくなる。このようにトランジスタN1で構成されたクランプ回路によって、ノードV1の電圧は概ねトランジスタN1の閾値電圧VthN1にクランプされる。このときリファレンスヒューズF1には、抵抗R1の抵抗値に応じた量の電流I1が流れる。また、トランジスタN1〜N3のゲートは同電位であるので、トランジスタN2、N3もオン状態になる。このときリファレンスヒューズF2とトリミングヒューズF3には、電流I1と同量の電流を流すことができる。
この時点でのヒューズF1〜F3の両端の電位差は、いずれもVthN1程度である。トランジスタN1の閾値電圧VthN1は、半導体集積回路に供給される電源電圧Vccよりも低く、ヒューズ切断用の高電圧Vhhよりも十分に低い。このため、ヒューズF1〜F3の両端の電位差がVthN1になっても、ヒューズF1〜F3は切断されない。また、抵抗R1はトランジスタN1に流れる電流I1の量を制限するために設けられており、抵抗R1の抵抗値は電流I1が流れてもリファレンスヒューズF1が切断されないように決定される。
トランジスタN2がオン状態になると、ノードV7からトランジスタN2を経由して電流が流れ出し、ノードV7の電圧は下降する。ノードV7の電圧は概ね、最終的には電源電圧VccよりもトランジスタP1の閾値電圧VthP1だけ低い電圧に等しくなる。このため、トランジスタP1〜P3はオン状態になる。
トランジスタN1〜N3で構成されたカレントミラー回路M1によって、トランジスタN1に流れる電流I1は、トランジスタP1に流れる電流I2にコピーされる。また、トランジスタP1〜P3で構成されたカレントミラー回路M2によって、電流I2は、トランジスタP2に流れる電流I3とトランジスタP3に流れる電流I4にさらにコピーされる。
トランジスタP2がオン状態になると、トランジスタP2を経由してノードV8に電流が流れ込み、ノードV8の電圧は上昇する。ノードV8の電圧は概ね、最終的には接地電圧GNDよりもトランジスタN4の閾値電圧VthN4だけ高い電圧(すなわち、トランジスタN4の閾値電圧)になる。このため、トランジスタN4、N5はオン状態になる。
トランジスタN4、N5のゲートはいずれもノードV8に接続されているので、トランジスタN5にはトランジスタN4に流れる電流I3と同量の電流が流れる。トランジスタN5は、トリミングヒューズF3が切断されているときに、ノードV6がハイインピーダンス状態になり、ノードV6の電圧が変動することを防止するために設けられる。
カレントミラー回路M1〜M3を構成する8個のトランジスタP1〜P3、N1〜N5のうち、トランジスタP2、P3には他のトランジスタよりも能力が低いものが使用される。ここでは、トランジスタP1〜P3の能力比を10:1:2とする。上述したように、電流I1の量は抵抗R1の抵抗値に応じて定まり、電流I1と電流I2は同量である。したがって、能力比を上記のように定めた場合、電流I1〜I4の比はI1:I2:I3:I4=10:10:1:2となる。このようにトリミングヒューズF3には、カレントミラー回路M1〜M3のカレントミラー比に応じて、リファレンスヒューズF1に流れる電流よりも少ない電流が流れる。なお、トランジスタP1〜P3の能力比は、ヒューズF1〜F3の特性のばらつきなどを考慮して任意に決定される。
トリミングヒューズF3の一端は、トランジスタN3を介してトランジスタP3、N5のドレインに接続されている。また、トランジスタN3は電流I1と同量の電流を流す能力を有し、この能力はトランジスタP3の能力の5倍である。このようにトランジスタN3は、トランジスタP3を通過した電流のすべてを十分に流すだけの能力を有する。したがって、トリミングヒューズF3が切断されていない場合、トランジスタP3を通過した電流はすべてトランジスタN3、N5に流れるので、ノードV6の電圧は安定的に接地電圧GNDに等しくなり、インバータC1の出力電圧OUT1はハイレベルになる。
これに対してトリミングヒューズF3が切断されている場合、トランジスタN3を通過した電流を接地に流す経路は存在しない。このため、トランジスタP3を通過した電流は、トランジスタN5のみに流れる。ところが、トランジスタN5に流れる電流の量は、トランジスタP2、N4に流れる電流I3の量に等しく、トランジスタP3に流れる電流の量の半分である。このため、トランジスタP3がノードV6の電圧を上昇させる能力は、トランジスタN5がノードV6の電圧を下降させる能力よりも大きい。したがって、ノードV6の電圧は上昇して最終的には電源電圧Vccに等しくなり、インバータC1の出力電圧OUT1はローレベルになる。
このようにインバータC1の出力電圧OUT1は、トリミングヒューズF3が切断されていない場合にはハイレベルになり、トリミングヒューズF3が切断されている場合にはローレベルになる。したがって、図1に示すトリミング回路によれば、リファレンスヒューズF1、F2、トランジスタP1〜P3、N1〜N5およびインバータC1などで構成された検出回路を用いて、トリミングヒューズF3が切断されているか否かを検出し、検出結果を示す論理信号を出力することができる。
以下、本実施形態に係るトリミング回路の効果を説明する。上述したように、本実施形態に係るトリミング回路は、トリミングヒューズF3と、トリミングヒューズF3の一端に接続され、トリミングヒューズF3の切断時にヒューズ切断用の高電圧Vhhが印加される外部端子V2と、トリミングヒューズF3に対応して設けられ、トリミングヒューズF3の切断時にトリミングヒューズF3の他端に接地電圧GNDを選択的に印加する切断制御トランジスタN6と、トリミングヒューズF3が切断されているか否かを電気的に検出し、検出結果を示す論理信号を出力する検出回路とを備えている。
したがって、外部端子V2を用いてトリミングヒューズF3の一端にヒューズ切断用の高電圧Vhhを印加しながら、切断制御トランジスタN6を用いてトリミングヒューズF3の他端に接地電圧GNDを選択的に印加することにより、切断すべきときには切断ストレスを与えてトリミングヒューズF3を確実に切断すると共に、切断すべきでないときにはトリミングヒューズF3の誤切断を防止することができる。一般的に言うと、切断すべきトリミングヒューズのみに切断ストレスを与えてこれを確実に切断すると共に、切断すべきでないトリミングヒューズの誤切断を防止することができる。
また、トリミングヒューズF3の一端と接地電圧GNDを有する節点との間にトランジスタを設けることにより、切断制御トランジスタN6を容易に構成することができる。また、切断制御トランジスタN6をオン状態に制御するだけでトリミングヒューズF3を切断できるので、トリミングヒューズF3の切断を簡単な制御で行うことができる。なお、切断制御トランジスタN6のサイズが大きく、ヒューズ切断用の高電圧Vhhが高いほど、トリミングヒューズF3の切断を安定的に行うことができる。
また、切断制御トランジスタN6のゲート(制御端子)は、外部端子V9に接続されている。したがって、外部端子V9を用いて切断制御トランジスタN6の状態を直接制御することにより、トリミングヒューズF3の切断を簡単な制御で安定的に高い信頼性で行うことができる。
また、検出回路は、リファレンスヒューズF1、F2と、リファレンスヒューズF1に流れる電流の量を決定する電流量決定回路(抵抗R1とトランジスタN1)と、リファレンスヒューズF1に流れる電流I1をコピーしてトリミングヒューズF3に流れる電流を生成するカレントミラー回路M1〜M3とを含んでいる。したがって、電流量決定回路を用いてリファレンスヒューズF1に流れる電流の量を決定し、カレントミラー回路M1〜M3を用いてリファレンスヒューズF1に流れる電流に基づきトリミングヒューズF3に流れる電流を生成することにより、トリミングヒューズF3に流れる電流の量を好適に制御することができる。これにより、トリミングヒューズF3の検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。また、電流量決定回路とカレントミラー回路M1〜M3を用いてトリミングヒューズF3に流れる電流の量を好適に制御することにより、トリミングヒューズF3へのストレスを緩和して、低電圧動作を可能とし、使用可能な電源電圧範囲を広くすることができる。また、リファレンスヒューズF1、F2を設けることにより、検出時のヒューズ抵抗値の絶対ばらつきを吸収し、ヒューズ抵抗値のばらつきによる回路調整を不要とすることができる。
また、電流量決定回路はリファレンスヒューズF1の両端の電位差を制限するクランプ回路(トランジスタN1)を含み、トリミングヒューズF3の両端にはリファレンスヒューズF1の両端とほぼ同じ電位差が与えられる。したがって、クランプ回路を用いて、トリミングヒューズF3とリファレンスヒューズF1、F2の両端の電位差を好適に制限することができる。これにより、電源電圧が変動したときでも、ヒューズF1〜F3の両端の電位差の変動を抑制し、トリミングヒューズF3の検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。
また、電流量決定回路は、リファレンスヒューズF1に流れる電流I1の量を制限する抵抗R1を含んでいる。したがって、抵抗R1を用いてリファレンスヒューズF1に流れる電流の量を制限し、カレントミラー回路M1〜M3を用いてリファレンスヒューズF1に流れる電流に基づきトリミングヒューズF3に流れる電流を生成することにより、トリミングヒューズF3に流れる電流の量を好適に制御し、トリミングヒューズF3の検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。
また、トリミングヒューズF3には、カレントミラー回路M1〜M3のカレントミラー比に応じて、リファレンスヒューズF1に流れる電流I1よりも少ない電流(電流I4の一部)が流れる。したがって、好適なカレントミラー比を有するカレントミラー回路M1〜M3を用いて、リファレンスヒューズF1に流れる電流に基づきトリミングヒューズF3に流れる電流を生成することにより、トリミングヒューズF3に流れる電流の量をカレントミラー比に応じて減らすことができる。よって、製造ばらつきがある場合でも、製造ばらつきを考慮してトリミングヒューズF3に流れる電流の量を減らし、トリミングヒューズF3の検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。また、製造プロセスを変更するときでも、カレントミラー比だけを変更すれば、同じ構成の回路を用いてトリミングヒューズF3の検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。
また、外部端子V2に印加する電圧を切り換えることにより、トリミングヒューズF3に対して切断用の電圧(高電圧Vhh)と検出用の電圧(接地電圧GND)を同じ経路を用いて供給することができる。また、トリミングヒューズF3の検出を低電圧で行うことにより、トリミングヒューズF3に対するストレスを緩和し、信頼性をさらに高めることができる。また、トリミングヒューズを1個ずつ増減可能な構成を有するので、回路全体のコストを低減し、信頼性と安定性を向上させることができる。
また、検出回路の最終段にインバータC1を設けることにより、トリミングヒューズF3が切断されているかを示す論理信号(出力電圧OUT1)を容易に生成することができる。
なお、検出回路の最終段にインバータC1に代えてラッチ構成を設けてもよい(第2変形例;図3を参照)。図3に示すトリミング回路は、図1に示すトリミング回路にCMOSインバータC2を追加したものである。インバータC2の入力はインバータC1の出力に接続され、インバータC2の出力はインバータC1の入力に接続される。このように接続されたインバータC1、C2はラッチ回路LATを構成する。このように検出回路の最終段にラッチ構成を設けることにより、トリミングヒューズF3が切断されているか否かを示す論理信号(出力電圧OUT1)を容易にデータ保持することができる。これにより、例えばヒューズ切断状態の検出後に検出回路の電源をオフにする、あるいは、トランジスタP1〜P3、N1〜N5を非検出状態にしたときに、ラッチ構成部分で論理信号をデータ保持して出力しながら、検出回路における消費電流を削減することができる。
また、トリミングヒューズの個数が多いときには、トリミング回路に切断制御トランジスタを選択的にオン状態に制御する選択回路を設けてもよい(第3変形例;図4を参照)。図4は、本発明の実施形態の第3変形例に係るトリミング回路の一部を示す回路図である。図4に示す選択回路SELは、外部端子V12にハイレベル電圧が印加されたときに、外部端子V10、V11から入力された2ビットの信号をデコードし、デコード結果に応じて切断制御トランジスタN6、N6a〜N6cの中から1個のトランジスタをオン状態に制御する。外部端子V2にヒューズ切断用の高電圧Vhhを印加しながら、切断制御トランジスタN6、N6a〜N6cのうちいずれかをオン状態に制御することにより、トリミングヒューズF3、F3a〜F3cのうちいずれかを切断することができる。このような選択回路を用いることにより、トリミングヒューズの切断を安定的に高い信頼性で行いながら、切断制御トランジスタの状態制御に必要な外部端子の個数を減らすことができる。
また、製造プロセスを変更したときに、ヒューズの特性に大きなばらつきが発生する場合には、トリミング回路にヒューズの特性の差を検出する回路を追加し、追加した回路におけるヒューズの特性の差の許容値を自動的に変更することとしてもよい。
以上に示すように、本発明の半導体装置によれば、ヒューズの切断と検出を安定的に高い信頼性で行うことができる。
F1、F2…リファレンスヒューズ
F3、F3a〜F3c…トリミングヒューズ
P1〜P3、P3a〜P3c…PMOSトランジスタ
N1〜N6、N3a、N5a、N6a〜N6c…NMOSトランジスタ
C1〜C2、C1a…CMOSインバータ
R1…抵抗
S1〜S4…スイッチ
V2、V9〜V12…外部端子
M1〜M3…カレントミラー回路
LAT…ラッチ回路
SEL…選択回路
F3、F3a〜F3c…トリミングヒューズ
P1〜P3、P3a〜P3c…PMOSトランジスタ
N1〜N6、N3a、N5a、N6a〜N6c…NMOSトランジスタ
C1〜C2、C1a…CMOSインバータ
R1…抵抗
S1〜S4…スイッチ
V2、V9〜V12…外部端子
M1〜M3…カレントミラー回路
LAT…ラッチ回路
SEL…選択回路
Claims (11)
- 半導体基板上に形成された1以上のヒューズと、
前記ヒューズの一端に接続され、前記ヒューズの切断時にヒューズ切断用の第1の電圧が印加される切断電圧印加用の外部端子と、
前記ヒューズに対応して設けられ、前記ヒューズの切断時に前記ヒューズの他端にヒューズ切断用の第2の電圧を選択的に印加する切断制御トランジスタと、
前記ヒューズが切断されているか否かを電気的に検出し、検出結果を示す論理信号を出力する検出回路とを備えた、半導体装置。 - 前記切断制御トランジスタは、対応するヒューズの他端と前記第2の電圧を有する節点との間に設けられ、当該ヒューズの切断時にオン状態になることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記切断制御トランジスタの制御端子は、外部端子に接続されていることを特徴とする、請求項2に記載の半導体装置。
- 前記切断制御トランジスタを選択的にオン状態に制御する選択回路をさらに備えた、請求項2に記載の半導体装置。
- 前記検出回路は、
前記ヒューズと共に前記半導体基板上に形成された参照用ヒューズと、
前記参照用ヒューズに流れる電流の量を決定する電流量決定回路と、
前記参照用ヒューズに流れる電流をコピーして、前記ヒューズに流れる電流を生成するカレントミラー回路とを含み、
前記カレントミラー回路のカレントミラー比で、前記ヒューズに流れる電流の量を調整できることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記電流量決定回路は、前記参照用ヒューズの両端の電位差を制限するクランプ回路を含み、
前記ヒューズの両端には、前記参照用ヒューズの両端とほぼ同じ電位差が与えられることを特徴とする、請求項5に記載の半導体装置。 - 前記クランプ回路は、ゲートとドレインが互いに接続され、ソースが前記参照用ヒューズの一端に接続されたNMOSトランジスタを含む、請求項6に記載の半導体装置。
- 前記電流量決定回路は、前記参照用ヒューズに流れる電流の量を制限する抵抗を含む、請求項5に記載の半導体装置。
- 前記ヒューズには、前記カレントミラー回路のカレントミラー比に応じて、前記参照用ヒューズに流れる電流よりも少ない電流が流れることを特徴とする、請求項5に記載の半導体装置。
- 前記検出回路は、最終段にインバータを含むことを特徴とする、請求項5に記載の半導体装置。
- 前記検出回路は、最終段にラッチ構成を含むことを特徴とする、請求項5に記載の半導体装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2009
- 2009-01-13 JP JP2009004503A patent/JP2010166125A/ja active Pending
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