JP2010165740A - ウェーハマウント方法及びウェーハマウント装置 - Google Patents
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Abstract
表面に凹凸形状を備えたウェーハであっても高い接着固定力を発揮するウェーハマウント方法及びウェーハマウント装置を提供すること。
【解決手段】
押さえ板3でウェーハWを押圧するとともに吸引手段により、ウェーハWと粘着層TBとの間のエアを吸引してウェーハWを粘着シートTへ貼着する
【選択図】図2
Description
Claims (3)
- 少なくとも一方の面に凹凸形状を備えた板状部材であって一方の面と他方の面との間でエアの通過が可能な孔が形成されているウェーハの前記一方の面を、粘着層を備えた粘着シートに載置し、外周部にシール部材を備えた押さえ板で前記他方の面を押圧するとともに前記抑え板に設けられた吸引手段により、前記一方の面と前記粘着層との間のエアを吸引して前記ウェーハを前記粘着シートへ貼着することを特徴とするウェーハマウント方法。
- 前記ウェーハは微小電気機械素子を備えたウェーハであることを特徴とする請求項1に記載のウェーハマウント方法。
- 粘着層を備えた粘着シートが載置され、少なくとも一方の面に凹凸形状を備えた板状部材であって一方の面と他方の面との間でエアの通過が可能な孔が形成されているウェーハの前記一方の面が前記粘着シートの上に載置されるマウントテーブルと、
外周部にシール部材を備え、前記シール部材を介して前記ウェーハの前記他方の面を押圧する押さえ板と、
前記押さえ板に設けられ、前記一方の面と前記粘着層との間のエアを吸引する吸引手段と、を備えたことを特徴とするウェーハマウント装置。
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