JP2010165730A - 高周波帯用esd保護回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体回路30における静電破壊の保護を高周波帯に対して行う回路として、1/4λ結合線路21で構成したバンドパスフィルタ20、あるいはハイパスフィルタ、または1/4λのショートスタブを用いる。これにより、ダイオードを用いない構成による高周波帯での静電破壊保護効果を実現でき、ESD保護回路の小型化、低損失化を図ることができる。
【選択図】図2
Description
例えば、ミリ波帯用のESD保護回路としては、ミリ波帯でESD保護回路が性能に影響しないように、LPFのカットオフ周波数を高周波帯以上にする必要がある。ここで、容量を小さくするためには、ダイオードを小型化する必要があるが、小型化には限界がある。
図1は、本発明の実施の形態1に係る高周波帯用ESD保護回路の構成図である。本実施の形態1における高周波帯用ESD保護回路は、入出力パッド(I/O−PAD)10、バンドパスフィルタ(BPF)20、および半導体回路30で構成されている。
本実施の形態2では、先の実施の形態1で説明したBPF20の具体的な構成について説明する。図2は、本発明の実施の形態2に係る高周波帯用ESD保護回路の構成図である。基本的な構成は、先の実施の形態1の図1と同様である。さらに、本実施の形態2の図2の構成では、BPF20が1/4λ結合線路21で構成されている。
本実施の形態3では、先の実施の形態1で説明したBPF20の具体的な構成について、先の実施の形態2とは異なる構成を説明する。図3は、本発明の実施の形態3に係る高周波帯用ESD保護回路の構成図である。基本的な構成は、先の実施の形態1の図1と同様である。さらに、本実施の形態3の図3の構成では、BPF20がカップルドラインフィルタ22で構成されている。
先の実施の形態1〜3では、BPFを用いてESD保護回路を構成する場合について説明した。これに対して、本実施の形態4では、BPF20の代わりにハイパスフィルタ(HPF)40を用いる場合について説明する。
本実施の形態5では、先の実施の形態4で説明したHPF40の具体的な構成について説明する。図5は、本発明の実施の形態5に係る高周波帯用ESD保護回路の構成図である。基本的な構成は、先の実施の形態4の図4と同様である。さらに、本実施の形態5の図5の構成では、HPF40がギャップコンデンサ41で構成されている。
本実施の形態6では、先の実施の形態4で説明したHPF40の具体的な構成について、先の実施の形態5とは異なる構成を説明する。図6は、本発明の実施の形態6に係る高周波帯用ESD保護回路の構成図である。基本的な構成は、先の実施の形態4の図4と同様である。さらに、本実施の形態6の図6の構成では、HPF20がインタディジタルキャパシタ42で構成されている。
先の実施の形態1〜3では、BPFを用いてESD保護回路を構成する場合について説明した。また、先の実施の形態4〜6では、HPFを用いてESD保護回路を構成する場合について説明した。これに対して、本実施の形態7では、BPF20あるいはHPF40の代わりに、1/4λショートスタブおよびDCカットコンデンサを含む回路を用いる場合について説明する。
本実施の形態8では、1/4λショートスタブおよびDCカットコンデンサを含む保護回路50として、先の実施の形態7とは異なる構成について説明する。図9は、本発明の実施の形態8に係る高周波帯用ESD保護回路の構成図である。本実施の形態8における保護回路50は、2つの1/4λショートスタブ51a、51b、3つのDCカットコンデンサ52a、52b、53、および1/4λ線路54で構成されている。
本実施の形態9では、1/4λ線路とダイオードを組合せた保護回路について説明する。図11は、本発明の実施の形態9に係る高周波帯用ESD保護回路の構成図である。本実施の形態9における保護回路50は、先の実施の形態7における図7の回路構成に加え、電源とグランド間に接続されたダイオード55a、55bが、1/4λショートスタブ51を介して接続される構成をさらに備えている。
本実施の形態10では、先の実施の形態9の構成に対して、さらにバイアス回路を付加した場合について説明する。図12は、本発明の実施の形態10に係る高周波帯用ESD保護回路の構成図である。先の実施の形態9における図11の構成と比較すると、本実施の形態10における図12の構成は、バイアス回路56a、56bをさらに備えている点が異なっている。
Claims (10)
- 半導体集積回路における静電破壊(ESD)の保護を高周波帯に対して行う回路として、バンドパスフィルタを用いたことを特徴とする高周波帯用ESD保護回路。
- 請求項1に記載の高周波帯用ESD保護回路において、
前記バンドパスフィルタを1/4λ結合線路で構成したことを特徴とする高周波帯用ESD保護回路。 - 請求項1に記載の高周波帯用ESD保護回路において、
前記バンドパスフィルタをカップルドラインフィルタで構成したことを特徴とする高周波帯用ESD保護回路。 - 半導体集積回路における静電破壊の保護を高周波帯に対して行う回路として、ハイパスフィルタを用いたことを特徴とする高周波帯用ESD保護回路。
- 請求項4に記載の高周波帯用ESD保護回路において、
前記ハイパスフィルタをギャップコンデンサで構成したことを特徴とする高周波帯用ESD保護回路。 - 請求項4に記載の高周波帯用ESD保護回路において、
前記ハイパスフィルタをインタディジタルキャパシタで構成したことを特徴とする高周波帯用ESD保護回路。 - 半導体集積回路における静電破壊の保護を高周波帯に対して行う回路として、1/4λのショートスタブを用いたことを特徴とする高周波帯用ESD保護回路。
- 請求項7に記載の高周波帯用ESD保護回路において、
前記回路として、1/4λのショートスタブを用いたπ形構成のフィルタを用いたことを特徴とする高周波帯用ESD保護回路。 - 半導体集積回路における静電破壊の保護を高周波帯に対して行う回路として、1/4λ線路を介してダイオードを接続したことを特徴とする高周波帯用ESD保護回路。
- 請求項9に記載の高周波帯用ESD保護回路において、
前記半導体集積回路にバイアスを供給するためのバイアス回路をさらに接続したことを特徴とする高周波帯用ESD保護回路。
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