JP2010161290A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 散乱過程とドリフト過程を交互に繰り返してキャリアの運動を模倣するモンテカルロ・シミュレーション方法であって、
   前記散乱過程の処理において、ドルーデの公式による緩和時間を散乱時間として計算するステップと、
   前記散乱時間に到達したキャリアの状態を熱平衡状態の分布関数に基づいて決定するステップと
   を具備し、前記ドリフト過程において、界面散乱及びグレインバウンダリ散乱を含む構造起因の散乱を処理するステップを含み、
   散乱時間に到達したキャリアの状態を決定した後、キャリアがドリフト運動するとして、ドリフト過程を処理する工程を有し、
   熱平衡状態にある第１の領域と熱平衡状態にない第２の領域との間をキャリアが運動する場合において、
   前記第１の領域にキャリアが存在するときには、散乱時間に到達したキャリアの状態を熱平衡状態の分布関数に基づいて決定し、
   前記第２の領域にキャリアが存在するときには、散乱種の選択を行い、選択された散乱種に基づき、処理することを特徴とするシミュレーション方法。
2. 散乱過程とドリフト過程を交互に繰り返してキャリアの運動を模倣するモンテカルロ・
   シミュレーション方法であって、
   前記散乱過程の処理において、ドルーデの公式による緩和時間を散乱時間として計算す
   るステップと、
   前記散乱時間に到達したキャリアの状態を熱平衡状態の分布関数に基づいて決定するス
   テップと
   を具備することを特徴とするシミュレーション方法。
3. 前記ドリフト過程において、界面散乱及びグレインバウンダリ散乱を含む構造起因の散
   乱を処理するステップを含むことを特徴とする請求項２に記載のシミュレーション方法。
4. 散乱過程とドリフト過程を交互に繰り返してキャリアの運動を模倣するモンテカルロ・シミュレーション装置であって、
   散乱についてのパラメータの初期値を入力する入力装置と、
   シミュレーションプログラム、計算式、デバイスのモデル式、前記入力装置から入力した散乱についてのパラメータの初期値、及び演算結果を記憶する記憶装置と、
   前記散乱についてのパラメータの初期値と、前記記憶装置に記憶されている計算式に基づいて、前記散乱過程においてドルーデの公式による緩和時間を散乱時間として計算し、前記散乱時間に到達したキャリアの状態を熱平衡状態の分布関数に基づいて決定する演算装置と、
   前記記憶装置に記憶されているシミュレーションプログラムにしたがって、前記入力装置及び前記演算装置を制御する処理装置と、
   前記処理装置により制御され、前記演算装置による演算で得られたシミュレーション結果を出力する出力装置と
   を具備することを特徴とするシミュレーション装置。
5. 散乱過程とドリフト過程を交互に繰り返してキャリアの運動を模倣するモンテカルロ・シミュレーション方法をコンピュータ上で実行させるプログラムであって、
   前記散乱過程を処理する部分において、ドルーデの公式による緩和時間を散乱時間として計算する手順と、
   前記散乱時間に到達したキャリアの状態を熱平衡状態の分布関数に基づいて決定する手順と
   を具備することを特徴とするプログラム。