JP2010161271A - 半導体パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材11と、基材の上に形成された容量部12と、容量部を覆うように、基材の上に形成された側壁部と上面部を有するカバー14を備え、基材には、容量部を囲うように、基材とカバーを接続する接合パターンが形成されており、接合パターンは、実質的に均一なパターン幅Aを有する部位Aと、パターン幅Aよりもパターン幅が拡張されたパターン幅Bを有する部位Bを有していることを特徴とする半導体パッケージ。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の第1の実施形態について、図1〜図6を参照して詳細に説明する。また、本発明で使用している、材料、数値は好ましい例を例示しているだけであり、この形態に限定されることはない。また、本発明の思想の範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。さらに加えるならば、他の実施形態との組み合わせなども可能である。尚、ここでは、容量部は、MEMSデバイスであるとして説明する。MEMSデバイスとは、後述するが、半導体プロセスを用いて形成されたコンデンサを指している。MEMSデバイスの例としては、マイクロホン(MEMSマイク)、圧力センサー、加速度センサー、角速度センサーなどが挙げられる。以上のことは、本発明に共通して言えることである。
図7(a)、(b)は、カバー接合パターンの第1変形例を示す図である。図7(a)、(b)に示すように、部位Bは、2箇所に形成されていてもよい。部位Bが2箇所に形成されていることにより、前述の接合強度の効果と電気的ショートを抑制する効果がさらに高まる。また、接合材の加熱硬化時に発生する位置修正効果が損なわれる場合には、拡張部位を複数個以上設けることにより、リフロー時に発生するセルフアライメント効果がさらに十分に得られる。また、この際、1対の部位Bが、基材11の各辺の垂直二等分線を軸として、それぞれほぼ対称の位置に配置されることが好ましい。対称な位置に拡張部位が形成されている方が、リフロー時に発生するセルフアライメント効果がさらに得られるからである。
図8(a)〜(c)は、カバー接合パターンの第2変形例を示す図である。図8(a)〜(c)に示すように、長方形形状ではない拡張部位Bが形成されていてもよい。図8(a)〜(c)に示すように、拡張部位は、長方形形状ではなく、半楕円形状であってもよい。拡張部位を半楕円形状とすることにより、MEMSデバイスパターンや増幅器パターンなどと余剰な接合部材とが接触しにくいような設計に適宜変更可能だからである。また、拡張部位は、正方形形状でも構わない。尚、拡張部位が複数あることによる効果は、第1の実施形態の第1変形例と同様の効果が期待できる。
図9は、カバー接合パターンの第3変形例を示す図である。図9に示すように、長方形形状の拡張部位Bと半楕円形状の拡張部位Cの両者が形成されていてもよい。尚、拡張部位が複数あることによる効果などは、第1の実施形態の第1変形例及び第2の変形例と同様の効果が期待できる。
図10(a)、(b)は、カバー接合パターンの第4変形例を示す図である。図10(a)、(b)に示すように、拡張部位Bは、2個以上あってもよい。尚、拡張部位が複数あることによる効果などは、第1の実施形態の第1変形例〜第3の変形例と同様の効果が期待できる。
図11(a)、(b)は、カバー接合パターンの第5変形例を示す図である。図11(a)、(b)に示すように、拡張部位Bは、基材に対して線対称となる位置に配置されていてもよい。ここで、図11(b)のように、レイアウト上、問題無いのなら、カバー接合パターンの外側に出るように、拡張部位が形成されていても構わない。ただし、内側に形成されている方が、半導体パッケージ全体の小型化のために、望ましい。尚、拡張部位が複数あることによる効果などは、第1の実施形態の第1変形例〜第4の変形例と同様の効果が期待できる。
以下、本発明の第2の実施形態について、図12(a)〜図12(e)を参照して詳細に説明する。また、本発明で使用している、材料、数値は好ましい例を例示しているだけであり、この形態に限定されることはない。また、本発明の思想の範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。さらに加えるならば、他の実施形態との組み合わせなども可能である。尚、特に、第1の実施形態及び変形例と組み合わせることが効果的である。ここで、図12(a)〜図12(e)は、カバーと基材の接合部位を説明するための図である。
11 基材
12 MEMSデバイス
13 接合材
14 カバー
15 回路
16 ボンディングワイヤー
17 空間
18 貫通孔
19 電子機器実装基板
20 接合部品
21 金属膜
22 レジストパターン
24 カバー接合パターン
25 デバイス接合パターン
26 回路接合パターン
27 ボンディングワイヤー接合パターン
51 MEMSデバイス接合パターンの中心部
52 金属膜が中心部に形成されたMEMSデバイス接合パターン
53 MEMSデバイス接合パターンの周縁部
54 金属膜が全体に形成されたMEMSデバイス接合パターン
Claims (18)
- 基材と、
前記基材の上に形成された容量部と、
前記容量部を覆うように、前記基材の上に形成された側壁部と上面部を有するカバーとを備え、
前記基材には、前記容量部を囲うように、前記基材と前記カバーを接続する接合パターンが形成されており、
前記接合パターンは、実質的に均一なパターン幅Aを有する部位Aと、前記パターン幅Aよりもパターン幅が拡張されたパターン幅Bを有する部位Bを有していることを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記部位Bの前記接合パターンに占める割合は、10%以上30%以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記接合パターンは、金属材料からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体パッケージ。
- 前記接合パターンは、前記基材にレジストにより形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記部位Bの一部は、前記カバーの側壁部の内側に形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記部位Aの一部は、前記カバーの側壁部の内側に形成されており、
前記部位Bの一部は、前記カバーの側壁部の内側に形成されており、
前記部位Bの一部の方が、前記部位Aの一部よりもさらに内側に形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。 - 前記部位Bは、2箇所に形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記2箇所に形成された前記部位Bは、それぞれ前記基材に対して点対象になるように配置されていることを特徴とする請求項7に記載の半導体パッケージ。
- 前記部位Bは、前記基材接合パターン内側に隣接するように配置されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記パターン幅Bは、前記パターン幅Aの1.2倍以上且つ2倍以下であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記容量部は、半導体デバイスであることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記容量部は、MEMSマイクであることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記基材又は前記カバーのどちらか一方に、貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記カバーにおける前記接合パターンと接触する面は、
前記接合パターンにおける前記カバーと接触する面に対して平行になるように形成されていることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。 - 前記カバーの側壁部は、前記基材と前記カバーの接続部分近傍において、前記基材の外側方向に折れ曲がっていることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記カバーの側壁部は、前記基材と前記カバーの接続部近傍である部位C及び前記部位C以外の部位Dから構成されており、
前記部位Cは、前記部位Dと比較して、幅が短いことを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。 - 前記カバーの側壁部は、前記基材と前記カバーの接続部近傍である部位E及び前記部位E以外の部位Fから構成されており、
前記部位Eは、前記部位Fと比較して、接続部近傍に向かい幅が細くなることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。 - 前記カバーと前記基材との接合は導電性を持った接合材を使用し、接合させることを特徴とする請求項1〜17のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
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