JP2010153694A - セラミック基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】低温焼結セラミック材料をシート状に成形し焼成してなるセラミック層2を有するセラミック基板1であって、セラミック層2は、厚みが4〜10μm、空隙率が3体積%以下であり、かつ、上記低温焼結セラミック材料は、その焼結助剤成分として、B2O3およびR2O(R:アルカリ金属)を実質的に含有しない。好ましくは、低温焼結セラミック材料は、主成分として、47〜67重量%のSiO2、21〜41重量%のBaO、および10〜18重量%のAl2O3を含有し、焼結助剤成分として、2.5〜5.5重量%のMnOを含有する。
【選択図】図1
Description
(1)SiO2を47〜67重量%、BaCO3を27〜52重量%、Al2O3を10〜18重量%含むとともに、これらSiO2、BaCO3およびAl2O3の合計100重量部に対して、CeO2を1〜5重量部含む、混合物を仮焼し、それによって仮焼粉を作製する工程と、
(2)上記仮焼粉に、MnCO3を、SiO2、BaCO3、Al2O3およびCeO2の合計100重量部に対して、4〜9重量部添加する工程と
を経て製造される。
(1)SiO2を47〜67重量%、BaCO3を27〜52重量%、Al2O3を10〜18重量%含むとともに、これらSiO2、BaCO3およびAl2O3の合計100重量部に対して、CeO2を1〜5重量部含む、混合物を仮焼し、それによって仮焼粉を作製する工程と、
(2)上記仮焼粉に、MnCO3を、SiO2、BaCO3、Al2O3およびCeO2の合計100重量部に対して、4〜9重量部添加するとともに、有機バインダを添加し、それによってセラミックスラリーを作製する工程と、
(3)前記セラミックスラリーを成形し、それによってセラミックグリーン層を形成する工程と
を経て製造される。
2 セラミック層
3 積層体
4,5 外部導体膜
6 内部導体膜
7 ビアホール導体
Claims (9)
- 低温焼結セラミック材料をシート状に成形し焼成してなるセラミック層を有するセラミック基板であって、前記セラミック層は、厚みが4〜10μm、空隙率が3体積%以下であり、かつ、前記低温焼結セラミック材料は、その焼結助剤成分として、B2O3およびR2O(R:アルカリ金属)を実質的に含有しないことを特徴とする、セラミック基板。
- 前記低温焼結セラミック材料は、主成分として、47〜67重量%のSiO2、21〜41重量%のBaO、および10〜18重量%のAl2O3を含有する、請求項1に記載のセラミック基板。
- 前記低温焼結セラミック材料は、前記焼結助剤成分として、2.5〜5.5重量%のMnOを含有する、請求項2に記載のセラミック基板。
- 前記低温焼結セラミック材料は、前記主成分であるSiO2、BaOおよびAl2O3を仮焼してなる仮焼粉に、前記焼結助剤成分であって仮焼されていないMnOを混合してなる材料である、請求項3に記載のセラミック基板。
- 前記低温焼結セラミック材料は、前記主成分の合計100重量部に対し、添加成分として、1〜5重量部のCeO2を含有する、請求項2ないし4のいずれかに記載のセラミック基板。
- 前記低温焼結セラミック材料は、前記主成分の合計100重量部に対し、添加成分として、ZrO2、TiO2、ZnO、Nb2O5、MgOおよびFe2O3からなる群より選ばれる少なくとも1種を0.1〜5重量部含有する、請求項2ないし5のいずれかに記載のセラミック基板。
- 前記低温焼結セラミック材料は、前記主成分の合計100重量部に対し、添加成分として、CoOおよびV2O5のうち少なくとも一方を0.1〜5重量部含有する、請求項2ないし6のいずれかに記載のセラミック基板。
- 前記低温焼結セラミック材料に含まれる主成分および焼結助剤成分の平均粒径(D50)が0.8μm以下である、請求項1ないし7のいずれかに記載のセラミック基板。
- 複数の前記セラミック層を積層してなるもので、表面および内部にAu、AgまたはCuを主成分とする導体パターンを有する多層セラミック基板である、請求項1ないし8のいずれかに記載のセラミック基板。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005015284A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-20 | Kyocera Corp | 低温焼成磁器およびその製造方法、並びに配線基板 |
JP2005298259A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Murata Mfg Co Ltd | ガラスセラミック原料組成物、ガラスセラミック焼結体およびガラスセラミック多層基板 |
JP2006066741A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | 電子部品の製造方法 |
JP2008031025A (ja) * | 2005-12-20 | 2008-02-14 | Sanyo Electric Co Ltd | セラミックグリーンシート及びセラミック基板 |
JP2008117815A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Kyocera Corp | ガラスセラミック回路基板およびその製造方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005015284A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-20 | Kyocera Corp | 低温焼成磁器およびその製造方法、並びに配線基板 |
JP2005298259A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Murata Mfg Co Ltd | ガラスセラミック原料組成物、ガラスセラミック焼結体およびガラスセラミック多層基板 |
JP2006066741A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | 電子部品の製造方法 |
JP2008031025A (ja) * | 2005-12-20 | 2008-02-14 | Sanyo Electric Co Ltd | セラミックグリーンシート及びセラミック基板 |
JP2008117815A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Kyocera Corp | ガラスセラミック回路基板およびその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2020085148A1 (ja) * | 2018-10-22 | 2021-09-16 | 日本碍子株式会社 | セラミック素地 |
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