JP2010144232A - メタルマスクのテンション測定方法およびメタルマスクのテンションゲージ - Google Patents

Abstract

【課題】メタルマスク全体としてのテンション値を正確に測定でき、メタルマスクに載置した状態でゼロ点を設定した後、テンション値を測定でき、定盤が不要で、取り扱いが容易なメタルマスクのテンション測定方法およびメタルマスクのテンションゲージを提供する。
【解決手段】ベースプレート４のほぼ中央部に上下方向にスライド移動可能な測定子をメタルマスクに当接させることができるように取付けられた測定子の収納ケース７と、測定子収納ケースの上部に取付けられた、測定子に取付けられたスピンドル軸８をスピンドル９に接続されたアナログあるいはデジタル表示器１０を備えるテンションゲージ１１と、測定子収納ケースに設けられた測定子をメタルマスクに当接させ、ゼロ点を設定後に測定子に測定荷重を加える手段とでメタルマスクのテンションゲージ１を構成する。
【選択図】図３

Description

本発明は、エッチングメタル、アディティブメタル、レーザーメタル、サスペンドメタル等を枠体に直接張設した直張りマスクと、エッチングメタル、アディティブメタル、レーザーメタル、サスペンドメタル等を枠体の略中央部分に、支持シートを介して前記枠体に張設したコンビネーションマスクの両方を含むメタルマスクの引張り強さを測定する測定方法、および該メタルマスクの引張り強さを測定するテンションゲージに関する。

従来、メタルマスクは、メタルを使用しないスクリーン版と同様に定盤上でテンションゲージのベース板の両端部の支点と中央部の測定子とでゼロ点を設定した後、測定するスクリーン版の上面に載置して一定の荷重を与え、その時に生じるベース板の両端部の支点と中央部の測定子の変位値（沈み量）を測定して、引張り強さを測定している。

このため、テンションゲージをメタルマスクの上面に載置すると、メタル部位にベース板の両端部の支点と中央部の測定子が位置した状態となる。このため、メタルの硬度の影響が強く、版全体としてのテンション値に信頼性が欠けるという欠点があった。
意匠第７４６０９８

本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、メタルマスクのメタルマスク全体としてのテンション値を正確に測定することができるとともに、メタルマスクに載置した状態でゼロ点を設定した後、テンション値を測定でき、従来のように定盤が不要で、取り扱いが容易なメタルマスクのテンション測定方法およびメタルマスクのテンションゲージを提供することを目的としている。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、より完全に明らかになるであろう。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。

上記目的を達成するために、本発明はコンビネーションマスクを含むメタルマスクの対向するフレームにテンションゲージのベースプレートを支持させるベースプレートの支持工程と、このベースプレートの支持工程後にテンションゲージのゼロ点設定用ウエイトを兼ねた測定子がメタルマスクに当接しているので、テンションゲージの測定値をゼロにリセットするテンションゲージのリセット工程と、このテンションゲージのリセット工程後に、前記測定子に測定荷重を加えて測定を行なう測定工程とでメタルマスクのテンション測定方法を構成している。

本発明はコンビネーションマスクを含むメタルマスクの対向するフレームに支持させることができるベースプレートと、このベースプレートのほぼ中央部に上下方向にスライド移動可能な前記測定子を前記メタルマスクに当接させることができるように取付けられた測定子収納ケースと、この測定子収納ケースの上部に取付けられた、前記測定子に取付けられたスピンドル軸をスピンドルに接続されたアナログあるいはデジタル表示器を備えるテンションゲージと、前記測定子収納ケースに設けられた前記測定子をメタルマスクに当接させ、ゼロ点を設定後に前記測定子に測定荷重を加える手段とでメタルマスクのテンションゲージを構成している。

以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。

（１）コンビネーションマスクを含むメタルマスクの対向するフレームにテンションゲージのベースプレートを支持させるベースプレートの支持工程と、このベースプレートの支持工程後にテンションゲージのゼロ点設定用ウエイトを兼ねた測定子がメタルマスクに当接しているので、テンションゲージの測定値をゼロにリセットするテンションゲージのリセット工程と、このテンションゲージのリセット工程後に、前記測定子に測定荷重を加えて測定を行なう測定工程とからなるので、メタルマスクの対向するフレームにベースプレートを支持させた状態でゼロ点を設定した後、メタルマスク全体のテンション値を測定することができる。
したがって、コンビネーションマスクを含むメタルマスクの全体のテンション値を正確に測定することができる。

（２）前記（１）によって、メタルマスクの対向するフレームにベースプレートを支持させた状態で、ゼロ点の設定やメタルマスク全体のテンション値を測定することができる。
したがって、従来のように定盤上でゼロ点を設定後、メタルマスクの上面に載置して測定するものに比べ、正確に、楽な測定作業を行なうことができる。

（３）前記（１）によって、メタルマスクの対向するフレームにベースプレートを支持させた後、リセット工程、測定工程を行なってメタルマスクのテンション値を測定することができる。
したがって、メタルマスク上でゼロにリセットするとともに、前記測定子に測定荷重を加えて測定することができ、その測定作業を容易に行なうことができる。

（４）請求項２も前記（１）〜（３）と同様な効果が得られる。

（５）請求項３、４、５も前記（１）〜（３）と同様な効果が得られるとともに、前記測定子に測定荷重を簡単な操作で加えることができる。

以下、図面に示す本発明を実施するための最良の形態により、本発明を詳細に説明する。

図１ないし図７に示す本発明を実施するための最良の第１の形態において、１は本発明のメタルマスクのテンションゲージで、このメタルマスクのテンションゲージ１はメタルマスク２の対向するフレーム３に支持させることができるベースプレート４と、このベースプレート４のほぼ中央部に形成した透孔５より上下方向にスライド移動可能な測定子６を、前記メタルマスク２に当接させることができるように取付けられた円筒状の測定子収納ケース７と、この測定子収納ケース７の上部を覆う天板７ａの中央部に取付けられた、前記測定子６の中央部に取付けられたスピンドル軸８をスピンドル９に接続されたアナログあるいはデジタル表示器、本発明の実施の形態ではデジタル表示器１０を備える既存のテンションゲージ１１と、前記測定子収納ケース７に設けられた前記測定子６をメタルマスク２に当接させ、ゼロ点を測定後に前記測定子６に測定荷重を加える手段１２とで構成されている。

前記測定荷重を加える手段１２は前記測定子収納ケース７内に、前記測定子６に測定荷重を加えることができるようにスライド移動可能に収納されたリング状の測定ウエイト１３と、前記測定子収納ケース７の対向する側壁７ｂに形成された一対の逆Ｌ字状の切欠き部１４、１４と、前記測定ウエイト１３に固定された前記一対の逆Ｌ字状の切欠き部１４、１４に挿入され、測定ウエイト１３で測定子６に測定荷重を加えられるように切欠き部１４、１４の垂直部位１４ａ、１４ａに位置させたり、加わらないように切欠き部１４、１４の水平部位１４ｂ、１４ｂに位置できる一対の係合ピン１５、１５と、この一対の係合ピン１５、１５の先端部に固定された、前記測定子収納ケース７の外周部を回転可能な操作リング１６とで構成されている。
なお、前記ベースプレート４は前記測定子６をメタルマスク２に当接させ、ゼロ点を測定後に前記測定子６に測定荷重を加えてもメタルマスク２の対向するフレーム３より離れることがないような自重となるように設定されている。

上記構成のメタルマスクのテンションゲージ１を用いてメタルマスク２のテンションを測定する場合、図１および図２に示すようにメタルマスク２の対向するフレーム３にベースプレート４の両端部寄りの下面を密着状態で支持させるベースプレートの支持工程１７を行なう。
このベースプレートの支持工程１７後に、図６に示すようにテンションゲージ１のゼロ点設定用ウエイトを兼ねた測定子６がメタルマスク２に当接しているので、テンションゲージ１１のゼロ設定釦１８を操作して測定値をゼロにリセットするテンションゲージのリセット工程１９を行なう。
この時、測定荷重を加える手段１２の一対の係合ピン１５、１５は一対の切欠き部１４、１４の水平部位１４ｂ、１４ｂに位置して、測定荷重が測定子６に加わらないようにセットして行なう。
前記テンションゲージのリセット工程１９後に、図７に示すようにテンションゲージ１１の測定子６に測定荷重である測定ウエイト１３を、操作リング１６を回動させ、一対の係合ピン１５、１５を一対の切欠き部１４、１４の垂直部位１４ａ、１４ａに位置させることにより、測定子６に測定ウエイト１３が加わり、デジタル表示器１０に測定値が表示され、その測定値を読み取ることにより測定工程２０を行なう。

このため、測定するメタルマスク２の対向するフレーム３にベースプレート４を支持させ、その状態でテンションゲージのリセット工程１９および測定子６に測定荷重を加える測定工程２０を行なうので、測定作業を、定盤を用いることなく容易に行なうことができる。
なお、メタルマスク２のフレーム３の大きさの異なるメタルマスク２に使用する場合、メタルマスク２のフレーム３の大きさに応じた長さのベースプレート４を用いたメタルマスクのテンションゲージ１を用いる。
[発明を実施するための異なる形態]

次に、図８ないし図２１に示す本発明を実施するための異なる形態につき説明する。なお、これらの本発明を実施するための異なる形態の説明に当って、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。

図８ないし図１１に示す本発明を実施するための第２の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、リング状の測定ウエイト１３に押し圧力を付与するコイルスプリング２１を用いた測定荷重を加える手段１２Ａを使用した点で、このような測定荷重を加える手段１２Ａを用いて構成したメタルマスクのテンションゲージ１Ａにしても、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同様な作用効果が得られる。

図１２ないし図１５に示す本発明を実施するための第３の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、円筒状の測定子収納ケース７内に、測定ウエイトの代わりにコイルスプリング２２を用いるとともに、このコイルスプリング２２の下端部を収納する測定子収納ケース７内をスライド移動し、外周部に一対の係合ピン１５、１５を備えるコイルスプリング収納ケース２３を用いた測定荷重を加える手段１２Ｂを使用した点で、このような測定荷重を加える手段１２Ｂを用いて構成したメタルマスクのテンションゲージ１Ｂにしても、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同様な作用効果が得られる。

図１６ないし図１８に示す本発明を実施するための第４の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、長方形枠状のベースプレート本体２４と、このベースプレート本体２４のメタルマスク２の対向するフレーム３と当接する両側枠部材２４ａ、２４ａの底面に下方へ突出するように固定された一対の丸棒部材で形成された脚部材２４ｂ、２４ｂと、前記ベースプレート本体２４の両端枠部材２４ｃ、２４ｃの上面に固定された一対の取っ手２４ｄ、２４ｄと、前記ベースプレート本体２４の両側枠部材２４ａ、２４ａの一方側にプリントした、大きさの異なるメタルマスク２でも中央部に測定子６を位置させることができる目盛り２４ｅ、２４ｆとで構成したベースプレート４Ａを用いるとともに、測定子収納ケース７と操作リング１６とに測定荷重を加えた状態か、測定荷重を加えていない状態かを識別することができる目印２５，２６を設けた点で、このようなベースプレート４Ａや目印２５，２６を用いて構成したメタルマスクのテンションゲージ１Ｃにしても、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同様な作用効果が得られるとともに、ベースプレート４Ａの脚部材２４ｂ、２４ｂがメタルマスク２の対向するフレーム３に支持されるため、確実に支持させることができる。

図１９ないし図２１に示す本発明を実施するための第５の形態において、前記本発明を実施するための第４の形態と主に異なる点は、ベースプレート本体２４の両側枠部材２４ａ、２４ａの一方側の底面に一対の脚部材２４ｂ、２４ｂを設けるとともに、ベースプレート本体２４の両側枠部材２４ａ、２４ａの他方側の中央部に支持枠部材２７を設け、この支持枠部材２７の底面に脚部材２４ｂを設け、メタルマスク２の対向するフレーム３に３点で支持されるベースプレート４Ｂを用いた点で、このようなベースプレート４Ｂを用いて構成したメタルマスクのテンションゲージ１Ｄにしても、前記本発明を実施するための第４の形態と同様な作用効果が得られるとともに、より確実にベースプレート４Ｂを３個の脚部材２４ｂ、２４ｂ、２４ｂでメタルマスク２の対向するフレーム３に支持させることができる。

なお、前記本発明の各実施の形態ではデジタル表示器１０を備える既存のテンションゲージ１１を用いるものについて説明したが、本発明はこれに限らず、アナログ表示器を備える既存のテンションゲージを用いてもよい。

本発明はコンビネーションマスクや直張りマスクといったメタルマスクの製造産業およびコンビネーションマスクや直張りマスクといったメタルマスクのテンションゲージを製造する産業で利用される。

本発明を実施するための最良の第１の形態の使用状態の正面図。 本発明を実施するための最良の第１の形態の使用状態の平面図。 本発明を実施するための最良の第１の形態の要部拡大一部破断正面図。 本発明を実施するための最良の第１の形態の要部拡大一部破断側面図。 本発明を実施するための最良の第１の形態の工程図。 本発明を実施するための最良の第１の形態のテンションゲージのリセット工程の説明図。 本発明を実施するための最良の第１の形態の測定工程の説明図。 本発明を実施するための第２の形態の使用状態の正面図。 本発明を実施するための第２の形態の要部拡大一部破断正面図。 本発明を実施するための第２の形態の要部拡大一部破断側面図。 本発明を実施するための第２の形態の測定工程の説明図。 本発明を実施するための第３の形態の使用状態の正面図。 本発明を実施するための第３の形態の要部拡大一部破断正面図。 本発明を実施するための第３の形態の要部拡大一部破断側面図。 本発明を実施するための第３の形態の測定工程の説明図。 本発明を実施するための第４の形態の平面図。 本発明を実施するための第４の形態の底面図。 本発明を実施するための第４の形態の側面図。 本発明を実施するための第5の形態の平面図。 本発明を実施するための第5の形態の底面図。 本発明を実施するための第5の形態の側面図。

符号の説明

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ：メタルマスクのテンションゲージ、
２：メタルマスク、
３：フレーム、 ４、４Ａ、４Ｂ：ベースプレート、
５：透孔、 ６：測定子、
７：測定子の収納ケース、 ８：スピンドル軸、
９：スピンドル、 １０：デジタル表示器、
１１：テンションゲージ、
１２、１２Ａ、１２Ｂ：測定荷重を加える手段、
１３：測定ウエイト、 １４：切欠き部、
１５：係合ピン、 １６：操作リング、
１７：ベースプレートの支持工程、
１８：ゼロ設定釦、
１９：テンションゲージのリセット工程、
２０：測定工程、 ２１：コイルスプリング、
２２：コイルスプリング、 ２３：スプリング収納ケース、
２４：ベースプレート本体、 ２４ａ：側枠部材、
２４ｂ：脚部材、 ２４ｃ：端枠部材、
２４ｄ：取っ手、 ２４ｅ：目盛り、
２４ｆ：目盛り、 ２５：目印、
２６：目印、 ２７：支持枠部材。

Claims (5)

1. コンビネーションマスクを含むメタルマスクの対向するフレームにテンションゲージのベースプレートで支持させるベースプレート支持工程と、前記ベースプレート支持工程後にテンションゲージのゼロ点設定用ウエイトを兼ねた測定子が前記メタルマスクに当接しているので、前記テンションゲージの測定値をゼロにリセットするテンションゲージのリセット工程と、前記テンションゲージのリセット工程後に、前記測定子に測定荷重を加えて測定を行なう測定工程とからなるメタルマスクのテンション測定方法。
2. コンビネーションマスクを含むメタルマスクの対向するフレームに支持させることができるベースプレートと、前記ベースプレートのほぼ中央部に上下方向にスライド移動可能な前記測定子を前記メタルマスクに当接させることができるように取付けられた前記測定子の収納ケースと、前記測定子収納ケースの上部に取付けられた、前記測定子に取付けられたスピンドル軸をスピンドルに接続されたアナログあるいはデジタル表示器を備えるテンションゲージと、前記測定子収納ケースに設けられた前記測定子を前記メタルマスクに当接させ、ゼロ点を設定後に前記測定子に測定荷重を加える手段とからなることを特徴とするメタルマスクのテンションゲージ。
3. 前記測定荷重を加える手段は、円筒状の前記測定子収納ケース内に前記測定子に測定荷重を加えることができるように収納されたリング状の測定ウエイトと、前記測定子収納ケースの対向する側壁に形成された一対の逆Ｌ字状の切欠き部と、前記測定ウエイトに固定された、前記一対の逆Ｌ字状の切欠き部に挿入され、前記測定ウエイトで前記測定子に測定荷重を加えたり、加わらないように位置する一対の係合ピンと、前記一対の係合ピンの先端部に固定された操作リングとで構成されていることを特徴とする請求項２記載のメタルマスクのテンションゲージ。
4. 前記測定荷重を加える手段は、円筒状の前記測定子収納ケース内に前記測定子に測定荷重を加えることができるように収納されたリング状の測定ウエイトおよび前記測定ウエイトに押し圧力を付与するコイルスプリングと、前記測定子収納ケースの対向する側壁に形成された一対の逆Ｌ字状の切欠き部と、前記測定ウエイトに固定された、前記-一対の逆Ｌ字状の切欠き部に挿入され、前記測定ウエイトの前記測定子に測定荷重を加えたり、加わらないように位置する一対の係合ピンと、前記一対の係合ピンの先端部に固定された操作リングとで構成されていることを特徴とする請求項２記載のメタルマスクのテンションゲージ。
5. 前記測定荷重を加える手段は、円筒状の前記測定子収納ケース内に前記測定子に測定荷重を加えることができるように収納されたコイルスプリングと、前記測定子収納ケースの対向する側壁に形成された一対の逆Ｌ字状の切欠き部と、前記コイルスプリングの下端部を収納し、前記測定子収納ケース内をスライド移動するコイルスプリング収納ケースと、前記コイルスプリング収納ケースの外周部に固定された、前記一対の逆Ｌ字状の切欠き部に挿入され、前記コイルスプリングの荷重を前記測定子に加えたり、加わらないように位置する一対の係合ピンと、前記一対の係合ピンの先端部に固定された操作リングとで構成されていることを特徴とする請求項２記載のメタルマスクのテンションゲージ。

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