JP2010143012A

JP2010143012A - 静電アクチュエーター並びにそれを備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置

Info

Publication number: JP2010143012A
Application number: JP2008321069A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Komatsu; 洋小松; Masahiro Fujii; 正寛藤井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2008-12-17
Filing date: 2008-12-17
Publication date: 2010-07-01

Abstract

【課題】静電アクチュエーターの能力をさらに向上させるために駆動電圧を上げた場合でも、表面層の帯電を軽減しその駆動を安定化させ、信頼性を向上させた静電アクチュエーター並びにそれを備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得ることを目的とする。
【解決手段】振動板４に形成された振動板側絶縁膜６上に振動板側ＤＬＣ膜８、そして、固定電極５に形成された固定電極側絶縁膜７上に固定電極側ＤＬＣ膜９を形成し、かつ、これらのＤＬＣ膜を、セグメント形状に形成した。
【選択図】図３

Description

本発明は、静電駆動方式のインクジェットヘッド等に用いられる静電アクチュエーター並びにそれを備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関するものである。

インクジェット記録装置におけるインク吐出方式として、駆動手段に静電気力を利用した、いわゆる静電駆動方式によるものが知られている。静電駆動方式のインクジェット記録装置は、可動電極である振動板と、その対向電極である固定電極との間で電圧を供給や遮断することにより、振動板を固定電極に吸引や隔離させる動作を行い、それによって生じる圧力変化を利用してインク孔からインクを吐出している。従って、振動板と固定電極はインクが貯えられた吐出室の圧力を変動させる静電アクチュエーターとして作用している。このような静電アクチュエーターを適用した装置では、一般的に帯電した振動板と固定電極との間に絶縁破壊やショートが発生するのを防止するためにシリコン酸化膜等の絶縁膜が形成されている。しかしながら、その絶縁膜は、絶縁膜表面での残留電荷の影響によって静電吸引圧力が安定せず、アクチュエーターの安定駆動が確保できないという課題があり、その対策として絶縁膜が形成された振動板と固定電極との対向面の少なくとも一方の面にＤＬＣ(ダイヤモンドライクカーボン)等のカーボン材料からなる表面層を形成したものや振動板又は固定電極の接触面に表面処理を施したもの等がある。

例えば、振動板と対向電極との間の残留電荷の影響の低減を実現して、安定した駆動が可能となる静電アクチュエーターを得るために、絶縁膜が形成された振動板と対向電極との対向面の少なくとも一方の面に、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）等のカーボン材料からなる表面層を形成しているものがある（例えば、特許文献１参照）。

また、振動板と対向電極が接触した時の振動板と対向電極との吸着力が振動板の弾性に基づく復元力と等しくなる時の表面粗さをＲａ（ｔｈ）とする場合に、電極の保護膜である酸化膜表面を表面粗さがＲａ（ｔｈ）以上となるようにエッチング等によって粗面化し、振動板と対向電極との間に生じるファンデルワールス力、静電引力、液架橋力又は水素結合力等を原因とする振動板と対向電極との付着を防止するものがある（例えば、特許文献２参照）。

また、振動板と対向電極との間の接触部に微小突起を設け、さらに接触部に疎水化処理を行い、接触した際に働くファンデスワールス力、吸着水又は残留電荷による吸着力を実質的に抑制し、スティッキングを抑え安定した動作を可能とするものがある（例えば、特許文献３参照）。

そして、振動板材料を可能な限り禁止帯幅(バンドギャップ)の広い材料を用いて、かつそれ以外の材料はメッシュパターンにする等工夫して酸素分子に吸収され易い２５０ｎｍ以下の波長の紫外線透過率を向上させることによって犠牲層除去によって形成された微小ギャップ内への保護膜形成前処理をオゾンガスにより効率的に行えるようにし、耐久性の優れた表面保護膜を形成するものがある（例えば、特許文献４参照）。

さらに、弾性表面波リニアモータの磨耗の問題を解決するために、摩擦駆動面へのセグメント構造ダイヤモンド状炭素（ｓｅｇｍｅｎｔ−ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄｄｉａｍｏｎｄ−ｌｉｋｅｃａｒｂｏｎ：Ｓ−ＤＬＣ）膜を適用し、シリコンスライダと置き換えたものがある（例えば、非特許文献１参照）。

特開２００７−１３６８５６号公報（第６頁、図１）特開２００２−２５４６３３号公報（第６頁、図１１）特開２００４−０９８１７８号公報（第６頁、図４）特開２００８−０９９３６４号公報（第６頁、図３）精密工学会誌７月号「セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ（第１報）」

しかしながら、特許文献１においては、比較的低い駆動電圧においては、安定した駆動が可能であるが、静電アクチュエーターの能力をさらに向上させるために、駆動電圧を上げると、表面層の帯電（異種材料接触による接触帯電）によって、駆動電圧を解除した状態でも振動板が対向電極側に貼り付いてしまい、アクチュエーターの安定駆動が確保できないという問題がある。

また、特許文献２においては、静電アクチュエーターの能力をさらに向上させるために、駆動電圧を上げた場合において、上記の表面粗さの規定だけでは吸着防止対策としては不十分であるという問題がある。

また、特許文献３においては、接触部に疎水膜を設ける構成が記載されており、その疎水膜の形成においては、その前処理にＯ２プラズマ処理等が実施されることが一般的であるが、その記載は無く、十分な耐久性、信頼性が得られる構成にはなっていない。

また、特許文献４においては、静電アクチュエーターの能力をさらに向上させるために、駆動電圧を上げた場合において、表面疎水化膜が異物化することによる振動板当接阻害が発生し、吐出特性を著しく低下させてしまうという問題がある。

そして、非特許文献１においては、ＤＬＣ膜が基材変形時にひずみが生じると、膜にクラックが発生するため、破壊や剥離を生じやすいことへの対応、及び弾性表面波リニアモータ接触面への対応であり、静電アクチュエーター構造とは分野も用途も異なり、特に、本願発明におけるＤＬＣ膜の膜厚やその体積抵抗率についての技術的特徴等については触れられていない。

本発明は、上記のような問題を解決するためになされたものであり、静電アクチュエーターの能力をさらに向上させるために駆動電圧を上げた場合でも、表面層の帯電を軽減しその駆動を安定化させ、信頼性を向上させた静電アクチュエーター並びにそれを備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得ることを目的とする。

本発明に係る静電アクチュエーターは、基板上に形成された固定電極と、この固定電極に所定のギャップを介して対向配置された可動電極と、固定電極と可動電極との間に静電気力を発生させて可動電極に変位を生じさせる駆動手段とを備え、固定電極が対向する可動電極と接触する面及び可動電極が対向する固定電極と接触する面の少なくとも一方の面に、カーボン材料からなる表面層が形成され、このカーボン材料からなる表面層は、固定電極と可動電極とが接触する場合、その接触面積が低減するように形成されているものである。
本発明によれば、表面層をカーボン材料とすることによって、振動板又は固定電極の表面残留電荷が抑制され、安定した駆動が可能となり耐久性が向上する。また、固定電極及び可動電極の両方の接触面にカーボン材料からなる表面層が形成されている場合は、接触面が同材質となり接触帯電は発生しないため、接触帯電による静電気力で吸着してしまう現象をなくすことができる。さらに、接触面積を低減することで、接触面において移動する電荷量を軽減することができ、電荷の偏りによる吸引力を抑制し、高電圧駆動における安定駆動を確保することができる。

また、本発明に係る静電アクチュエーターは、カーボン材料からなる表面層が、固定電極に形成されており、セグメント形状、列形状及び千鳥形状のいずれかの形状に形成されているものである。
本発明によれば、固定電極に形成されるカーボン材料からなる表面層をセグメント形状、列形状及び千鳥形状のいずれかの形状とすることによって、固定電極と可動電極との接触面積が低減され、接触面で移動する電荷量を軽減することができ、電荷の偏りによる吸引力を抑制し、高電圧駆動における安定駆動を確保することができる。

また、本発明に係る静電アクチュエーターは、カーボン材料からなる表面層は、可動電極に形成されており、セグメント形状、列形状及び千鳥形状のいずれかの形状に形成されているものである。
本発明によれば、可動電極に形成されるカーボン材料からなる表面層をセグメント形状、列形状及び千鳥形状のいずれかの形状とすることによって、固定電極と可動電極との接触面積が低減され、接触面で移動する電荷量を軽減することができ、電荷の偏りによる吸引力を抑制し、高電圧駆動において、安定駆動を確保することができる。

また、本発明に係る静電アクチュエーターは、カーボン材料からなる表面層をＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜とするものである。
本発明によれば、ＤＬＣ膜は引張応力が強いため、可動電極である振動板にＤＬＣ膜が形成されている場合、可動電極である振動板の剛性が向上し、電極同士が表面帯電による静電気力により吸着してしまう現象を軽減することができる。また、ＤＬＣ膜は高潤滑性を有しているため、凝着摩耗等による固定電極と可動電極の接触部の膜劣化（異物化）を防止することができる。

また、本発明に係る静電アクチュエーターは、ＤＬＣ膜の体積抵抗率が１０¹⁴Ω・ｃｍ以上であるものである。
本発明によれば、可動電極のＤＬＣ膜と固定電極のＤＬＣ膜が接触した場合、ＤＬＣ膜間で移動する電荷量を軽減することができるため、比較的低いパルス駆動電圧の解除後、電荷の偏りによる吸引力を抑制し、安定駆動を確保することができる。

また、本発明に係る静電アクチュエーターは、ＤＬＣ膜の膜厚が３０ｎｍ以下であるものである。
本発明によれば、可動電極又は固定電極に形成するＤＬＣ膜の膜厚を３０ｎｍ以下とすることによって、ＤＬＣ膜の表面残留電荷の抑制という性質を有しつつ、静電アクチュエーターの安定駆動を確保することができる。

また、本発明に係る静電アクチュエーターは、ＤＬＣ膜がＣＶＤ（ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法又はスパッタリング法によって形成されるものである。
本発明によれば、ＣＶＤ法の場合、密着性を確保し、緻密、均質かつ均一な厚さでＤＬＣ膜を形成することが可能であり、さらに高速で形成することができる。また、スパッタリング法の場合、基板への付着力の強い緻密なＤＬＣ膜の形成が可能となる。

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、上記いずれかに記載の静電アクチュエーターを備えたものである。
本発明によれば、上記いずれかに記載の静電アクチュエーターを備えたものであるので、振動板と固定電極との表面帯電による吸引力を低減し、アクチュエーターの安定駆動を確保した液滴吐出ヘッドを得ることができる。

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、上記の液滴吐出ヘッドを備えたものである。
本発明によれば、上記の液滴吐出ヘッドを備えたものであるので、アクチュエーターの安定駆動によってインクの吐出性能が向上したインクジェットプリンター等の液滴吐出装置を得ることができる。

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドの分解外観斜視図であり、図２は、同インクジェットヘッドの断面図である。
本実施の形態に示すインクジェットヘッド５０は、図１及び図２で示されるように、３枚の基板を貼り合わされて構成される積層構造体である。その３枚の基板とは、複数のノズル孔１１が所定のピッチで設けられたノズル基板１、各ノズル孔１１に対して独立にインク流路が形成されたキャビティ基板２、そして、各インク流路に設けられた吐出室２１の底部を構成する可動電極である振動板４に対向して固定電極５が配置された電極基板３である。

（ノズル基板１）
ノズル基板１は、単結晶のシリコン基板からなり、エッチングによりキャビティ基板２における吐出室２１に連通し、ノズル基板１に対し垂直に貫通するように形成されたノズル孔１１と、吐出室２１とキャビティ基板２におけるリザーバー部２３（後述）とを連通させるために下面に細溝上に形成された供給口１２と、リザーバー部２３の圧力変動を補償するためのダイヤフラム部１３とを有する構成となっている。ノズル孔１１は、径の小さい噴射口部とこれより径の大きい導入口部とから２段に構成されることによってインク滴の直進性を向上させることができる。なお、ノズル孔１１は、図１において２列の形成された構成となっており、その列ごと左右に１個ずつヘッド部分をもつ構成となっているが、これに限られるものではなく、当該ヘッド部分は１個ずつで構成されるものとしてもよく、また、ノズル孔１１の数は制限されるものでもない。

（キャビティ基板２）
キャビティ基板２は、例えば面方位が（１１０）の単結晶のシリコン基板からなり、その表面には、複数のインクの流路となる溝又は凹部がエッチングによって形成されている。その個々の流路は、底部を可動電極である振動板４とする凹状の吐出室２１が形成されており、振動板４は、ボロン拡散層によって極めて薄い厚みで高精度に形成されている。また、各流路に共通に連通する凹状のリザーバー部２３が形成されている。キャビティ基板２の振動板４の下面には、電極基板３における固定電極５との短絡や絶縁破壊を防止するために、シリコン酸化膜（ＳｉＯ₂）、シリコン窒化物（ＳｉＮ）又はＡｌ₂Ｏ₃及びＨｆＯ₂等のいわゆるＨｉｇｈ−ｋ材等が用いられた振動板側絶縁膜６が形成されている。

（電極基板３）
電極基板３は、ガラス基板によって形成されている。電極基板３は、キャビティ基板２と陽極接合によって接合されるので、剥離のない接合強度を確保するために、熱膨張係数がシリコンのそれに近いホウ珪酸珪ガラスが一般的に用いられる。電極基板３には、一般的にＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄｅ：インジウム錫酸化物）からなる固定電極５が形成されている。各固定電極５は、振動板４と対向する位置にエッチングによって区画形成された凹部３１内に形成されている。振動板４と固定電極５とは所定の間隔（以下、ギャップという）Ｇを隔てて対向配置される。電極基板３の固定電極５の表面には前述した振動板側絶縁膜６と同様の材質の固定電極側絶縁膜７が形成されている。また、電極基板３には、インク供給孔３２が１つ若しくは複数が形成されている。このインク供給孔３２は、研削加工又はマイクロブラスト加工によって形成され、前述のリザーバー部２３に連通するようにキャビティ基板２の底部を貫通している。インク供給孔３２は、インクタンク（図示せず）に接続されている。

（封止剤２８）
振動板４と固定電極５との間に形成されるギャップＧの開放端部はエポキシ樹脂等による封止剤２８によって気密に封止される。これによって、湿気や塵埃等がギャップＧに浸入することを防止することができ、インクジェットヘッド５０の信頼性を高く保持することができる。

（ＤＬＣ膜）
図３は、本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドのセグメント形状の振動板側ＤＬＣ膜と固定電極側ＤＬＣ膜との接触時の拡大状態概略図である。振動板４に形成された振動板側絶縁膜６上には、さらに振動板側ＤＬＣ膜８、そして、固定電極５に形成された固定電極側絶縁膜７上には、さらに固定電極側ＤＬＣ膜９が形成されており、かつ、これらのＤＬＣ膜は、図３で示されるようにセグメント形状に形成されている。

これらのＤＬＣ膜等のカーボン材料を表面層として形成することによって、振動板４又は固定電極５の表面残留電荷が抑制され、安定した駆動が可能となり耐久性が向上する。
また、振動板４と固定電極５がＤＬＣ膜を介して接触する場合の接触面が同材質となり接触帯電が発生しないため、接触帯電による静電気力で吸着してしまう現象をなくすことができる。
そして、振動板側ＤＬＣ膜８及び固定電極側ＤＬＣ膜９がセグメント形状で形成されていることによって、振動板４と固定電極５とがこれらのＤＬＣ膜を介して接触する場合、そのＤＬＣ膜の配置を好適化することによって接触面積を低減させ、その際の接触面において移動する電荷量を軽減することができ、電荷の偏りによる吸引力を抑制し、高電圧駆動における安定駆動を確保することができる。
さらに、ＤＬＣ膜は引張応力が強いため、可動電極である振動板４に振動板側ＤＬＣ膜８が形成される場合、振動板４の剛性が向上し、電極同士が表面帯電による静電気力により吸着してしまう現象を軽減することができる。

次に、ＤＬＣ膜の形成方法を説明する。
成膜の原料としては、例えば、メタン（ＣＨ₄）、エタン（Ｃ₂Ｈ₆）、プロパン（Ｃ₃Ｈ₈）、ブタン（Ｃ₄Ｈ₁₀）、アセチレン（Ｃ₂Ｈ₂）、ベンゼン（Ｃ₆Ｈ₆）又はトルエン（Ｃ₇Ｈ₈）等を用いる。まず、プラズマＣＶＤ法によって、ＤＬＣ膜の体積抵抗率が１０¹⁴Ω・ｃｍとなるように、高周波出力、ガス流量及びチェンバー内圧力等の成膜条件によって原料ガスをプラズマ化し、振動板側絶縁膜６及び固定電極側絶縁膜７上に蒸着させ、数ｎｍ〜３０ｎｍの膜厚となるように成膜する。そして、フォトリソグラフィによって図３で示されるようなセグメント形状にパターニングし、ドライエッチングによってその形状に加工する。また、本実施の形態においては、ＤＬＣ膜のセグメント同士のスリット幅は、振動板側ＤＬＣ膜８と固定電極側ＤＬＣ膜９の接触面積を極力小さくすること、そして、振動板４が固定電極５に当接する場合における振動板４におけるクラック発生等の不具合が生じない範囲で任意に決定する。

以上のＤＬＣ膜の形成方法のように、ＤＬＣ膜の体積抵抗率を１０¹⁴Ω・ｃｍ以上とするように形成することによって振動板側ＤＬＣ膜８と固定電極側ＤＬＣ膜９が接触した場合、ＤＬＣ膜間で移動する電荷量を軽減することができるため、比較的低いパルス駆動電圧の解除後、電荷の偏りによる吸引力を抑制し、安定駆動を確保することができる。
また、ＤＬＣ膜の膜厚を３０ｎｍ以下となるように形成することによって、ＤＬＣ膜の表面残留電荷の抑制という性質を有しつつ、静電アクチュエーターの安定駆動を確保することができる。
また、ＤＬＣ膜の形成方法としてＣＶＤ法、特に本実施の形態においてはプラズマＣＶＤ法を採用したことによって、密着性を確保し、緻密、均質かつ均一な厚さでＤＬＣ膜を形成することが可能であり、さらに高速で生成することができる。

なお、図３においては、セグメント形状に形成された振動板側ＤＬＣ膜８と固定電極側ＤＬＣ膜９との接触時の例を示しているが、これに限られるものではなく、セグメントの形状を異なるものとしてもよいし、異なる接触形態となるようにしてもよい。
また、上記のＤＬＣ膜は、セグメント形状に形成されているが、これに限られるものではなく、例えば、図４の（ａ）〜（ｃ）で示されるような列形状、又は、図５の（ａ）及び（ｂ）で示されるような千鳥形状になるように、前述の形成方法によって形成されるものとしてもよく、いずれの場合も、振動板４と固定電極５とがＤＬＣ膜を介して接触する場合、そのＤＬＣ膜の配置を好適化することによって接触面積を低減することができ、接触面において移動する電荷量を軽減し、電荷の偏りによる吸引力を抑制し、高電圧駆動における安定駆動を確保することができる。
また、ＤＬＣ膜の形成は、上記で説明したＣＶＤ法によるものに限られるものではなく、スパッタリング法によって形成するものとしてもよい。
このスパッタリング法によって、振動板側絶縁膜６及び固定電極側絶縁膜７上に付着力の強い緻密なＤＬＣ膜の形成が可能となる。
また、上記においてＤＬＣ膜に限らず、ダイヤモンド、フラーレンＣ６０又はカーボンナノチューブ等のその他のカーボン材料であってもよい。

（駆動制御回路４０）
キャビティ基板２及び電極基板３の後端部は、図１及び図２で示されるように、エッチングによって開口された電極取り出し部３４となっている。そして、電極基板３上に形成された固定電極５は、リード部５ａと端子部５ｂとを有し、このうち端子部５ｂが電極取り出し部３４において露出するように形成されている。また、キャビティ基板２の後端部における片側又は両側に金属膜からなる共通電極２６が形成されている。そして、静電アクチュエーターの駆動手段として、振動板４と固定電極５との間にパルス電圧を印加するためのドライバーＩＣ等の駆動制御回路４０が、各固定電極５の端子部５ｂ及び共通電極２６に例えば導電性接着剤も用いて接着されている。

（インクジェットヘッド５０の動作）
インクは、キャビティ基板２に設けられたリザーバー部２３及び吐出室２１、そしてノズル基板１のノズル孔１１の先端に至るまで、気泡を生じることなく満たされており、図２で示される矢印で示す方向にインクは流れる。印刷が実施される際には、駆動制御回路４０によって振動板４と固定電極５との間に所定のパルス電圧が印加されることによって静電引力が発生し、振動板４は固定電極５側へ引き寄せられて撓み、固定電極５に当接して、吐出室２１に負圧が発生する。これによって、リザーバー部２３内のインクが吐出室２１内に吸引され、インクの振動（メニスカス振動）が発生する。このインクの振動が略最大となった時点で、印加電圧を解除すると、振動板４は固定電極５から離脱して、その復元力によってインクがノズル孔１１から押し出され、その押し出されたインク滴が記録紙（図示せず）に向けて吐出される。

実施の形態２．
図６は、本発明の実施の形態１にかかる液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド５０を備えた実施の形態２に係る液滴吐出装置の一例を示す外観図である。
図６で示される液滴吐出装置１００は、液滴としてインクを吐出するインクジェットプリンターである。この液滴吐出装置１００は、実施の形態１に係るインクジェットヘッド５０を備えることによって、静電アクチュエーター部分の残留電荷影響が低減されるため、安定した駆動による高精度のインク吐出が可能となり吐出性能が向上する。実施の形態１の液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド５０は、ここに示したインクジェットプリンターの他に、吐出する液滴を種々変更することで、カラーフィルターのマトリクスパターンの形成、有機ＥＬ表示装置の発行部の形成、そして、生体液体試料の吐出等を実施する液滴吐出装置にも適用することができる。

ミラーデバイス等のアクチュエーター、バイオチップ製造装置又は液晶カラーフィルター製造装置等に応用できる。

本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドの分解外観斜視図である。同インクジェットヘッドの断面図である。本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドのセグメント形状の振動板側ＤＬＣ膜と固定電極側ＤＬＣ膜との接触時の拡大状態概略図である。本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドの列形状の振動板側ＤＬＣ膜と固定電極側ＤＬＣ膜との接触時の拡大状態概略図である。本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドの千鳥形状の振動板側ＤＬＣ膜と固定電極側ＤＬＣ膜との接触時の拡大状態概略図である。本発明の実施の形態１にかかる液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド５０を備えた実施の形態２に係る液滴吐出装置の一例を示す外観図である。

符号の説明

１ノズル基板、２キャビティ基板、３電極基板、４振動板、５固定電極、５ａリード部、５ｂ端子部、６振動板側絶縁膜、７固定電極側絶縁膜、８振動板側ＤＬＣ膜、９固定電極側ＤＬＣ膜、１１ノズル孔、１２供給口、１３ダイヤフラム部、２１吐出室、２３リザーバー部、２６共通電極、２８封止剤、３１凹部、３２インク供給孔、３４電極取り出し部、４０駆動制御回路、５０インクジェットヘッド、１００液滴吐出装置。

Claims

基板上に形成された固定電極と、
該固定電極に所定のギャップを介して対向配置された可動電極と、
前記固定電極と前記可動電極との間に静電気力を発生させて前記可動電極に変位を生じさせる駆動手段と、
を備え、
前記固定電極が対向する前記可動電極と接触する面及び前記可動電極が対向する前記固定電極と接触する面の少なくとも一方の面に、カーボン材料からなる表面層が形成され、
該カーボン材料からなる表面層は、前記固定電極と前記可動電極とが接触する場合、その接触面積が低減するように形成されている
ことを特徴とする静電アクチュエーター。
前記カーボン材料からなる表面層は、前記固定電極に形成されており、セグメント形状、列形状及び千鳥形状のいずれかの形状に形成されている
ことを特徴とする請求項１記載の静電アクチュエーター。
前記カーボン材料からなる表面層は、前記可動電極に形成されており、セグメント形状、列形状及び千鳥形状のいずれかの形状に形成されている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の静電アクチュエーター。
前記カーボン材料からなる表面層は、ＤＬＣ膜である
ことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の静電アクチュエーター。
前記ＤＬＣ膜の体積抵抗率は、１０¹⁴Ω・ｃｍ以上である
ことを特徴とする請求項４記載の静電アクチュエーター。
前記ＤＬＣ膜の膜厚は、３０ｎｍ以下である
ことを特徴とする請求項４又は請求項５記載の静電アクチュエーター。
前記ＤＬＣ膜は、ＣＶＤ法又はスパッタリング法によって形成される
ことを特徴とする請求項４〜請求項６のいずれかに記載の静電アクチュエーター。
請求項１〜請求項７のいずれかに記載の静電アクチュエーターを備える
ことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
請求項８記載の液滴吐出ヘッドを備える
ことを特徴とする液滴吐出装置。