JP2010141367A - ダイシング用固定シート及びダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基材フィルム上に接着層が設けられたダイシング用固定シートにおいて、前記接着層を形成する接着剤のベースポリマーがホットメルト型熱可塑性樹脂であり、接着層の貯蔵弾性率が、20℃において1×106 〜1×109 Paのダイシング用固定シートを用いる。
【選択図】 図1
Description
実施例1
接着層を形成するホットメルト型熱可塑性樹脂としてエチレン−酢酸ビニル共重合体(貯蔵弾性率2×107 Pa,酢酸ビニル含量30重量%,融点50℃)を、基材フィルムを形成する低密度ポリエチレン(融点110℃)と共にTダイ押出機により共押出しした後、形成した接着層にセパレータを貼り合わせてダイシング用固定シートを作製した。接着層の厚みは10μmと基材フィルムの厚みは80μmとした。
実施倒2
実施例1において、接着層の形成に、ホットメルト型熱可塑性樹脂としてスチレン系エラストマー(貯蔵弾性率7×108 Pa,スチレン−エチレン−ブタジエン−スチレン重合体,スチレンセグメントの融点約93℃)100重量部と粘着付与剤(石油系樹脂)10重量部の混合物を用いたほかは実施例1に準じてダイシング用固定シートを作製した。接着層の貯蔵弾性率は8×106 Pa、融点はスチレンセグメントで93℃であった。
実施例3
実施例1において、接着層の形成に、ホットメルト型熱可塑性樹脂としてスチレン系エラストマー(貯蔵弾性率7×108 Pa,スチレン−エチレン−ブタジエン−スチレン,スチレンセグメントの融点約93℃)を用いたほかは実施例1に準じてダイシング用固定シートを作製した。
比較例1
アクリル酸ブチル95重量部及びアクリル酸5重量部を常法により共重合させて得られたアクリル系共重合体を含有する溶液にポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」,日本ポリウレタン製)5量部を加えて、アクリル系粘着剤溶液を調製した。上記で調製した粘着剤溶液を、低密度ポリエチレン製基材フィルム(融点110℃,80μm)のコロナ処理面に塗布した後、80℃で10分間加熱架橋して、厚さ10μmアクリル系接着層(貯蔵弾性率2×105 Pa)を形成した。次いで、当該接着層面にセパレータを貼り合せてダイシング用固定シートを作製した。
(評価試験)
実施例及び比較例で得られたダイシング用固定シートを下記の方法により評価した。結果を表1に示す。
(1)引き剥がし力
ダイシング用固定シートを25mm幅で短冊状にサンプリングし、セパレータを剥した後、50℃のホツトプレート上でSus430BA板に貼付した。前記貼付サンプルを常温(23℃)雰囲気下で約30分静置し、充分に常温雰囲気に慣らした後、万能引張圧縮試験機によって下記の条件で引き剥がし力を測定した。
<引き剥がし力測定条件>
剥離角度:180゜
引き剥がし速度:300mm/分。
(2)チップ飛び評価
ダイシング用固定シートに、50℃で、厚さ350μmの6インチウエハをマウントし、以下の条件でダイシングした。ダイシング後、目視によりチップの飛びの数をカウントした。
<ダイシング条件>
ダイサー:DISCO社製,DFD−651
ブレード:DISCO社製,27HECC
ブレード回転数:40000rpm
ダイシング速度:100mm/秒
ダイシング深さ:シート表面から30μm
ダイシングサイズ:3mm×3mm
カットモード:ダウンカット。
(3)チッピング評価
ダイシング用固定シートに、50℃で、厚さ150μmの6インチウエハをマウントし、以下の条件でダイシングした。ダイシング後、任意のチップ50個をサンプリングし、チップ側面のチッピングを光学顕微鎖で観察し、チッピングのウエハ深さ方向(μm)の大きさごとにカウントした。
<ダイシング条件>
ダイサ−:DISCO社製,DFD−651
ブレード:DISCO社製,27HECC
ブレード回転数:40000rpm
ダイシング速度:100mm/秒
ダイシング深さ:シート表面から30μm
ダイシングサイズ:3mm×3mm
カットモード:ダウンカット。
12:接着層
13:セパレータ
Claims (4)
- 基材フィルム上に接着層が設けられたダイシング用固定シートにおいて、前記接着層を形成する接着剤のベースポリマーがホットメルト型熱可塑性樹脂であり、接着層の貯蔵弾性率が、20℃において1×106 〜1×109 Paであることを特徴とするダイシング用固定シート。
- 50℃以上の温度で、接着層をSus304BA板に貼り付けたときの、23℃におけるSus304BA板に対する接着層の引き剥がし力が、0.5N/25mm以上であることを特徴とする請求項1記載のダイシング用固定シート。
- 基材フィルムの融点が、接着層の融点よりも20℃以上高いことを特徴とする請求項1または2記載のダイシング用固定シート。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のダイシング用固定シートの接着層を、50℃以上の温度においてダイシング対象の被切断体へ貼り付けた後、被切断体をダイシングすることを特徴とするダイシング方法。
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