JP2010140070A - 基板製造・検査装置およびそのウイルスチェック方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ホストコンピュータと基板製造・検査装置との連係動作に不都合が生じることなく、可搬記憶メディア記憶データのウイルスチェックを行うことが可能になる。
【解決手段】基板製造・検査装置１の装置制御コンピュータ５０は、可搬記憶メディア装着検知部５０２１により可搬記憶メディアの装着を検知したときには、まず、ＬＡＮ４の間の接続状態を非接続状態に設定する旨をホストコンピュータ２に通知する（ネットワーク接続設定通知部５０３２）。次に、装置制御コンピュータ５０は、製造・検査機構部６の稼動を停止させ、ＬＡＮ４との間の接続状態を非接続状態に設定し（ネットワーク接続状態設定部５０３１）、その後、可搬記憶メディア記憶データのウイルスチェックを実行する（ウイルスチェック部５０１１）。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体基板、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）基板、ディスク基板などの基板の製造・検査に用いられる基板製造・検査装置およびそのウイルスチェック方法に関する。

近年、パソコンおよびブロードバンドネットワークの普及に伴い、コンピュータウイルス（以下、単に「ウイルス」という）と呼ばれる不正プログラムに遭遇する危険性が増大している。ウイルスは、コンピュータの正常な動作を妨害するように設計された小型のプログラムであり通信ネットワークやＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk））などの可搬記憶メディアを介して取り込まれるデータやプログラムなどに隠れてコンピュータに侵入する。コンピュータは、ウイルスに感染すると、データやプログラムを記憶しているファイルが改変されたり、削除されたりするだけでなく、コンピュータ自身が動作不能の状況に陥ることがある。

一方、ウイルスを検出し、除去し、可能な場合には、ウイルスにより改変されたファイルを修復するなどの機能を有するウイルス対策プログラム（アンチウィルスプログラム、ワクチンプログラムとも呼ばれる）がある。また、多くのウイルス対策プログラムは、他のコンピュータとの通信状況を監視し、ウイルスの侵入を防止する機能を有している。従って、ウイルス対策プログラムを用いることにより、ウイルスの感染を未然に防止し、また、感染してもその被害を最小限に止めることが可能となる。

ところで、例えば、集積回路装置は、シリコンウェーハなどの半導体基板上に活性層が形成され、さらに、その上部に複数の配線層、絶縁層などが形成されて製造される。従って、その集積回路装置基板の製造工程は、多数の工程からなり、各工程では様々な製造装置や検査装置（以下、製造装置および検査装置を総称して、製造・検査装置という）が用いられている。そして、その製造・検査装置は、ＬＡＮ（Local Area Network）などで相互に通信可能に接続されたコンピュータを備え、所定の生産計画、製造手順、検査手順などを保持したホストコンピュータからの指示に従って、通常は、作業者の操作を多く必要としない形で稼働している。

このような製造・検査装置制御用のコンピュータの１つにウイルスが侵入すると、ＬＡＮを介して、他のコンピュータにもウイルスが拡散し、最悪の場合には、製造工程全体の稼働が停止しないとも限らない。そこで、従来は、製造・検査装置制御用のコンピュータに対し、以下、図９および図１０を用いて説明するような手順でウイルス対策プログラムを適用することによって、ウイルスがＬＡＮを介して拡散するのを防止していた。

図９は、基板製造・検査ラインにおけるコンピュータネットワークの構成の例を示した図である。図９に示すように、集積回路装置などを製造する基板製造・検査ラインにおけるコンピュータネットワークは、その基板製造・検査ラインに敷設されたＬＡＮ４ａに対し、複数の基板製造・検査装置１ａのそれぞれに含まれた装置制御コンピュータ５ａ、所定の生産計画、製造手順、検査手順などを保持した少なくとも１台のホストコンピュータ２ａ、製造・検査の結果のデータなどを取得し、表示する事務所パソコン３ａなどが接続されて構成される。

ここで、基板製造・検査装置１ａは、基板の製造・検査を実際に行う製造・検査機構部６ａと、その製造・検査機構部６ａの動作を制御する装置制御コンピュータ５ａと、を含んで構成されるものとし、また、ＬＡＮ４ａは、ウイルスの侵入防止やセキュリティを確保するために、不特定のコンピュータが接続されるインターネットからは切り離されているものとしている。

ウイルスは、ネットワークを介して侵入するだけではなく、ＵＳＢメモリ、ＤＶＤ、フレキシブルディスクなど、外部で作成されたデータを記憶した可搬記憶メディアを介して侵入することがある。そこで、基板製造・検査装置１ａの装置制御コンピュータ５ａは、多くの場合、可搬記憶メディアからデータを読み込むときに、可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックを実行することによって、ウイルスからの被害防止が図られていた。

ところが、ウイルスによっては、可搬記憶メディアに記憶されているウイルスを含んだデータが読み出されただけで、装置制御コンピュータ５ａへ侵入するものもある。そして、そのウイルスがＬＡＮ４ａを介して、さらに、他の装置制御コンピュータ５ａやホストコンピュータ２ａへ侵入する恐れ、つまり、ウイルスが拡散する恐れもある。

それにもかかわらず、従来は、なんらの対策も採られずに、単に、可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックが行われるだけであった。または、ＬＡＮ４ａを介してウイルスが拡散するのを防止することを目的に、基板製造・検査装置１ａの作業者が、可搬記憶メディアから外部で作成されたデータを読み込むとき、その装置制御コンピュータ５ａに接続されているＬＡＮ４ａのＬＡＮケーブルを取り外してから、可搬記憶メディアを可搬記憶メディアドライブへセットし、その後、可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックを行っていた。

図１０は、基板製造・検査装置１ａの作業者が従来から行っている可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックの手順の例を示した図である。

図１０に示すように、作業者は、まず、基板製造・検査装置１ａの稼働（製造・検査の動作）を停止させる（ステップＰ１１）。次に、作業者は、基板製造・検査装置１ａの動作モードをオフラインモードに設定し（ステップＰ１２）、装置制御コンピュータ５ａに接続されているＬＡＮ４ａのＬＡＮケーブルを取り外す（ステップＰ１３）。

そして、その後、作業者は、当該可搬記憶メディアをその可搬記憶メディアのドライブにセットし（ステップＰ１４）、ウイルススキャンを起動する（ステップＰ１５）。ここで、ウイルススキャンは、可搬記憶メディアを含め記憶装置に記憶されているデータを読み出し、事前に定義されたウイルス定義ファイルに基づき、ウイルス感染の有無をチェックするプログラムである。

ウイルススキャンが起動されると、装置制御コンピュータ５ａの表示装置などに、そのウイルススキャンで用いられるウイルス定義ファイルのファイル名、バージョン番号、作成年月日などが表示されるので、作業者は、そのウイルス定義ファイルが最新のものであるか否かを確認する（ステップＰ１６）。その結果、ウイルス定義ファイルが最新であった場合には（ステップＰ１７でＹｅｓ）、作業者は、指紋やパスワードなどを入力するなどして、可搬記憶メディアの利用者であることの認証作業を行う（ステップＰ１８）、ウイルススキャン対象のドライブを指定し（ステップＰ１９）、そのドライブに記憶されたデータのウイルススキャンの実行を指示する（ステップＰ２０）。

ウイルススキャンが終了すると、装置制御コンピュータ５ａの表示装置などに、そのウイルススキャンの結果が表示されるので、作業者は、そのウイルススキャンの結果を確認し（ステップＰ２１）、そのウイルススキャンの結果がＯＫ（ウイルス感染なし）であった場合には（ステップＰ２２でＹｅｓ）、装置制御コンピュータ５ａに、それまで取り外していたＬＡＮケーブルを再接続する（ステップＰ２３）。

そして、作業者は、基板製造・検査装置１ａの動作モードをオンラインモードに設定し（ステップＰ２４）、適宜、基板製造・検査装置１ａの稼働（製造・検査の動作）を再開させる（ステップＰ２５）。

なお、ステップＰ１７において、ウイルス定義ファイルが最新でなかった場合には（ステップＰ１７でＮｏ）、作業者は、何らかの方法により（例えば、ＬＡＮケーブルを再接続し、ホストコンピュータ２または事務所パソコン３ａなどに保持されている最新のウイルス定義ファイルをダウンロードする）、ウイルス定義ファイルを最新のものに更新する（ステップＰ２６）。

また、ステップＰ２２において、ウイルススキャンの結果がＮＧ（ウイルス感染あり）であった場合には（ステップＰ２２でＮｏ）、作業者は、例えば、ウイルス対策プログラムのウイルス除去プログラムなどを起動するなど、ウイルスを除去するための処置を行う（ステップＰ２７）。

以上、図１０に示した手順によれば、ある基板製造・検査装置１ａの装置制御コンピュータ５ａに可搬記憶メディアを接続するときには、その装置制御コンピュータ５ａをＬＡＮ４ａから外すわけであるから、たとえ、その可搬記憶メディアにウイルスが含まれていたとしても、ウイルスは、その装置制御コンピュータ５ａ内に留まり、他の装置制御コンピュータ５ａに拡散することはない。

しかしながら、図１０に示した手順には、装置制御コンピュータ５ａに可搬記憶メディアを接続するたびに、作業者がＬＡＮケーブルを物理的に取り外したり、再接続したりする必要がある。このような行為は、作業者にとって大きな負担であるので、作業者がＬＡＮケーブルを取り外すのを忘れたり、その煩わしさのために怠けてＬＡＮケーブルを取り外さなかったりするような場合も起こり得る。このように作業者にウイルスチェックの実行手順を任せるようでは、ウイルス拡散のリスクを除去することができない。

そこで、例えば、特許文献１には、ネットワークとの接続・非接続を制御する手段と、可搬記憶メディアドライブからの可搬記憶メディアの装填を検知する手段を備え、可搬記憶メディアの装填を検知したときには、ネットワークとの接続を非接続状態（通信不可の状態）にしてから、ウイルススキャンを行うようにしたコンピュータの例が開示されている。このコンピュータでは、可搬記憶メディアをコンピュータに接続し、そのウイルススキャンを行うに当たって、作業者がＬＡＮケーブルを物理的に取り外したり、再接続したりする必要がなくなる。従って、作業者の作業負担を減ずることができる。
特開平１１−７３３８４号公報

しかしながら、特許文献１に開示されたコンピュータを、図９に示したような基板製造・検査装置１ａの装置制御コンピュータ５ａに適用した場合には、不都合が生じる場合がある。

半導体ウェーハに集積回路装置を形成した集積回路装置基板などを製造する基板製造・検査ラインにおいては、ある基板製造・検査装置１ａは、例えば、ホストコンピュータ２ａに保持されている所定の生産計画や製造手順などに基づき、ホストコンピュータ２ａから送信される指示情報に従って、他の基板製造・検査装置１ａや基板搬送装置（図９に図示せず）などと連係して動作している。

従って、ある装置制御コンピュータ５ａに可搬記憶メディアが任意のタイミングで接続された場合には、ウイルスチェックを行うためにではあるが、その装置制御コンピュータ５ａは、ＬＡＮ４ａおよびホストコンピュータ２ａから突然切り離されることになる。その場合には、ホストコンピュータ２ａが装置制御コンピュータ５ａに製造・検査の指示情報を送信するタイミングと、装置制御コンピュータ５ａがＬＡＮ４ａから切り離されるタイミングの関係によっては、装置制御コンピュータ５ａは、ホストコンピュータ２ａからの指示情報を受け損うような事態が生じる恐れがある。

その結果、基板製造・検査装置１ａの動作は、ホストコンピュータ２ａからの指示情報とは異なる動作をすることになるので、基板製造・検査装置１ａの動作は、ホストコンピュータ２ａとの連係動作だけでなく、他の基板製造・検査装置１ａや、複数の基板製造・検査装置１ａ間をつなぐ基板搬送装置（図示せず）などとの連係動作に齟齬が生じることになる。

そこで、本発明の目的は、複数の基板製造・検査装置がホストコンピュータに制御されて、それらが互いに連係して動作する環境下においても、その製造・検査の動作や他の装置との連係動作に不都合をきたすことなく、可搬記憶メディアに記憶されたデータのウイルスチェックを行うことができる基板製造・検査装置およびそのウイルスチェック方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明の基板製造・検査装置の装置制御コンピュータは、可搬記憶メディアの装着を検知する可搬記憶メディア装着検知部と、通信ネットワークとの間の接続状態を、通信可または通信不可のいずれかの状態に設定するネットワーク接続状態設定部と、を備えるだけでなく、通信ネットワークとの間の接続状態を通信可の状態に設定した旨、または、通信不可の状態に設定する旨を、ホストコンピュータに通知するネットワーク接続設定通知部を備える。

そして、その装置制御コンピュータは、可搬記憶メディア装着検知部により、可搬記憶メディアの装着を検知したときには、通信ネットワークとの間の接続状態を通信不可の状態に設定する（ネットワーク接続状態設定部）前に、通信ネットワークとの間の接続状態を通信不可の状態に設定する旨を、ホストコンピュータに通知し（ネットワーク接続設定通知部）、その後、装着された可搬記憶メディアに記憶されたデータのウイルスチェックを実行する。

すなわち、ホストコンピュータは、装置制御コンピュータが通信ネットワークから切り離される旨の通知を事前に受けることになるので、その通知を受けた時点で、その切り離される装置制御コンピュータに対する製造・検査のための指示情報の送信を停止する。従って、装置制御コンピュータが通信ネットワークから切り離されるときには、その装置制御コンピュータにはホストコンピュータからの指示情報が送信されることはないので、その装置制御コンピュータは、ホストコンピュータからの指示情報を受け損なうようなことない。また、ホストコンピュータは、その装置制御コンピュータが通信不可の状態にあり、装置制御コンピュータを含む基板製造・検査装置が稼働中でないことを把握しているので、適宜、生産計画や製造手順などを変更することにより、他の基板製造・検査装置や基板搬送装置などとの連係動作を調整することができる。

本発明によれば、複数の基板製造・検査装置がホストコンピュータに制御されて、それらが互いに連係して動作する環境下においても、その製造・検査の動作や他の装置との連係動作に不都合が生じることなく、可搬記憶メディアに記憶されたデータのウイルスチェックを行うことができるようになる。

以下、本発明の実施形態について、適宜、図面を参照しながら詳細に説明する。

図１は、本発明の実施形態に係る基板製造・検査装置の構成の例を示した図である。図１に示すように、基板製造・検査装置１は、所定の基板の製造または検査を行う製造・検査機構部６と、ＬＡＮ４を介してホストコンピュータ２に接続され、ホストコンピュータ２からの指示情報などに基づき、その製造・検査機構部６を制御する情報制御部５を含んで構成される。

図１において、情報制御部５は、ＬＣＤなどからなる表示装置５１、キーボードやマウスなどからなる入力装置５２、ＵＳＢメモリ、ＤＶＤ、ＣＤ（Compact Disk）、フレキシブルディスク、ＭＯ（Magneto-Optical disk）などの可搬記憶メディアのリーダ・ライタからなるメディアドライブ５３、ＮＩＣ（Network Interface Card）などからなる通信装置５４などが接続された装置制御コンピュータ５０によって構成される。

また、装置制御コンピュータ５０は、その内部にウイルスチェック処理制御部５０１、入出力制御処理部５０２、通信制御処理部５０３、製造・検査装置稼働制御部５０４などの機能ブロックを含んで構成される。なお、これらの機能ブロック５０１〜５０４の機能は、装置制御コンピュータ５０を構成するＣＰＵ（Central Processing Unit）がＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置に記憶された所定のプログラムを実行することによって実現される。

ここで、ウイルスチェック処理制御部５０１は、さらに、ウイルススキャンなどからなるウイルスチェック部５０１１を含んで構成され、メディアドライブ５３にＵＳＢメモリやＤＶＤなどの可搬記憶メディアがセットされたときに、その可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックの処理を制御する。その処理の詳細については、別途、図５を参照して詳しく説明する。

入出力制御処理部５０２は、いわゆるＢＩＯＳ（Basic Input Output System）や表示装置５１、入力装置５２、メディアドライブ５３などのドライバプログラムなどによって構成され、本実施形態では、メディアドライブ５３に可搬記憶メディアが装着（セット、装填などの動作を含む）されたことを検知する可搬記憶メディア装着検知部５０２１を、その一部に含んでいる。

通信制御処理部５０３は、通信ネットワーク（ＬＡＮ４）に対するアダプタプログラムや通信プロトコルの制御プログラムなどによって構成され、本実施形態では、ネットワーク接続状態設定部５０３１およびネットワーク接続設定通知部５０３２を、その一部に含んでいる。

ここで、ネットワーク接続状態設定部５０３１は、ＬＡＮ４に対する論理的な接続状態を、「接続」または「非接続」のいずれかの状態に設定するプログラム、具体的には、例えば、ＬＡＮ４に対するアダプタプログラムを「有効化」または「無効化」するプログラムによって実現される。従って、ネットワーク接続状態設定部５０３１により、ＬＡＮ４に対する接続状態が「非接続」状態に設定されると、装置制御コンピュータ５０は、ＬＡＮ４を介してホストコンピュータ２など他のコンピュータとの通信ができなくなる、つまり、通信不可の状態になる。

また、ネットワーク接続設定通知部５０３２は、ネットワーク接続状態設定部５０３１によって設定されたＬＡＮ４に対する論理的な接続状態を、ホストコンピュータ２に通知するプログラムによって実現される。ただし、ネットワーク接続設定通知部５０３２は、ネットワーク接続状態設定部５０３１によりＬＡＮ４に対する接続状態が「非接続」に設定されると、その接続状態をホストコンピュータ２に通知することができないので、実際には、ＬＡＮ４に対する論理的な接続状態が「非接続」に設定される前に、その接続状態が「非接続」に設定される旨の予告をホストコンピュータ２に通知する。

製造・検査装置稼働制御部５０４は、製造・検査機構部６を動作させる様々なサブプログラムおよびそのサブプログラムを用いた製造または検査プログラムによって構成され、そのプログラムが実行されることによって、製造・検査機構部６が動作し、所定の基板の製造・検査が行われる。

なお、図１は、集積回路装置基板などを製造する基板製造・検査ラインにおける複数の基板製造・検査装置１のネットワーク接続構成を示した図でもある。集積回路装置基板などの基板製造・検査ラインは、不純物注入工程、成膜工程、リソグラフィ工程、エッチング工程など複数の製造工程からなり、それぞれの製造工程には、１つ以上の基板製造・検査装置１が設けられている。図１では、基板製造・検査装置１は、すべて同じ製造・検査装置であるように描かれているが、それぞれ異なる製造・検査装置であってもよい。ただし、その異なる構成要素部分は、各基板製造・検査装置１のうち、製造・検査機構部６および製造・検査装置稼働制御部５０４の部分である。

基板製造・検査ラインには、イーサネット（登録商標）などからなるＬＡＮ４が敷設され、そのＬＡＮ４には、複数の基板製造・検査装置１および１つ以上のホストコンピュータ２が接続される。ホストコンピュータ２は、当該基板製造・検査ラインにおける基板の生産計画、製造手順、検査手順などを保持し、その計画や手順に従って、基板製造・検査装置１を、適宜、制御し、稼働させる。

なお、ＬＡＮ４は、セキュリティ確保のため、また、通信ネットワークからのウイルス侵入を防止するために、不特定多数のコンピュータが接続されるインターネットなどからは隔離されているものとする。

次に、図２および図３を参照して、基板製造・検査装置１が基板表面に付着した異物などを検査する異物検査装置であるとした場合について、製造・検査機構部６の構成およびその動作の例について説明する。ここで、図２は、異物検査装置の製造・検査機構部６の平面図の例を示した図、図３は、異物検査を行う検査手順の例を示した図である。

図２に示すように、異物検査装置１５は、１つ以上のロードポート１０、搬送部２０、プリアライメント部３０、検査機構部４０およびデータ処理部６０を含んで構成される。ここで、データ処理部６０は、図１の基板製造・検査装置１の情報制御部５に対応し、データ処理部６０を除いた部分は、製造・検査機構部６に対応している。なお、データ処理部６０が、検査機構部４０などの製造・検査機構部６から独立した筐体に収納され、製造・検査機構部６とは、所定のインタフェースを有する通信線で接続される構成であってもよい。

以下、異物検査装置１５の各部の構成要素およびその動作について、図３の検査手順に従って説明する。

異物検査装置１５は、検査対象の複数のウェーハ７が収納された１つ以上のウェーハカセット１１がロードポート１０に載置されると、その稼働を開始する。データ処理部６０は、ウェーハカセット１１の載置を検知すると、搬送部２０の搬送ロボット２１に対し、ウェーハ７の搬入を指示する。搬送ロボット２１は、データ処理部６０からの指示を受けると、次のようにしてウェーハ７の搬入を行う（ステップＳ０１）。

搬送ロボット２１は、まず、ハンドリングアーム２２をウェーハカセット１１の指定された棚段の下方に挿入し、Ｕ字形の基板保持部２２ａの略中心がウェーハ７の略中心に一致するように、その位置を制御し、基板保持部２２ａを各棚段の上方まで上昇させ、ウェーハ７をその上面に載置する。このとき、基板保持部２２ａは、その上面に設けられた吸着穴２３でウェーハ７の裏面を真空吸着して、保持する。搬送ロボット２１は、ウェーハカセット１１からウェーハ７を基板保持部２２ａに保持した状態で取り出し、プリアライメント部３０へ搬送する。

次に、搬送ロボット２１は、ウェーハ７を基板保持部２２ａに保持した状態で、ハンドリングアーム２２をプリアライメントチャック３１上方へ移動させ、ウェーハ７とプリアライメントチャック３１の互いの略中心が一致する位置で下降させ、プリアライメントチャック３１上にウェーハ７を載置する。次いで、プリアライメントチャック３１は、ウェーハ７の裏面を真空吸着し、ウェーハ７を保持する。

続いて、プリアライメント部３０では、ウェーハ７のプリアライメント（粗位置調整）が行われる（ステップＳ０２）。

プリアライメントチャック３１は、水平面内のＸ，Ｙ方向に移動自在かつ回転軸のθ方向に回転自在に構成されている。また、位置検出器３２は、レーザダイオードなどからなる発光部と、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）ラインセンサなどからなる受光部と、を備え、発光部から受光部へ到達する光の位置と強度とを検出し、プリアライメントチャック３１上に載置されたウェーハ７の外周およびＶノッチ（または、オリフラなど）の位置データを取得する。

データ処理部６０は、位置検出器３２によって得られるウェーハ７の外周およびＶノッチの位置データに基づき、適宜、プリアライメントチャック３１を移動および回転させ、ウェーハ７のプリアライメントを行なう。

続いて、プリアライメントされたウェーハ７は、搬送ロボット２１によってプリアライメント部３０から検査機構部４０へ搬送され、検査ステージ４１上に載置される（ステップＳ０３）。

すなわち、プリアライメントが終了すると、プリアライメントチャック３１は、ウェーハ７の真空吸着を解除し、また、搬送ロボット２１は、ハンドリングアーム２２をプリアライメントチャック３１上に載置されたウェーハ７の下方から、Ｕ字形の基板保持部２２ａの中心がウェーハ７の中心と略一致する位置で上昇させることにより、ウェーハ７をプリアライメントチャック３１から持ち上げる。そして、ウェーハ７を基板保持部２２ａに保持した状態で、プリアライメント部３０から検査機構部４０へ搬送し、次のようにして、ウェーハ７を検査ステージ４１上に載置する。

ここで、検査ステージ４１には、検査ステージチャック４２が配設されており、また、検査ステージチャック４２には、自在に上下する昇降ピン４３ａ，４３ｂ，４３ｃが設けられている。そこで、搬送ロボット２１がウェーハ７を検査ステージ４１上に載置するときには、検査ステージ４１は、昇降ピン４３ａ，４３ｂ，４３ｃを上昇させ、搬送ロボット２１は、基板保持部２２ａにウェーハ７を保持した状態で、ハンドリングアーム２２を昇降ピン４３ａ，４３ｂ，４３ｃの上方に進入させ、さらに、ウェーハ７の略中心と検査ステージチャック４２の略中心とが一致する位置で、そのハンドリングアーム２２を下降させ、ウェーハ７を昇降ピン４３ａ，４３ｂ，４３ｃへ受け渡す。

次いで、搬送ロボット２１がハンドリングアーム２２を検査ステージチャック４２の上方から後退させると、検査ステージ４１は、昇降ピン４３ａ，４３ｂ，４３ｃを下降させ、ウェーハ７を検査ステージチャック４２上に載置する。検査ステージチャック４２は、ウェーハ７の裏面を真空吸着し、ウェーハ７を固定する。

ウェーハ７が検査ステージチャック４２上に固定されると、次には、検査ステージアライメントが行われる（ステップＳ０４）。検査ステージチャック４２は、水平面内のＸ，Ｙ方向に移動自在かつ回転軸のθ方向に回転自在に構成されており、検査ステージアライメントでは、その検査ステージチャック４２を、適宜、移動させ、回転させることにより、ウェーハ７上に形成されている集積回路チップ配置のＸ，Ｙ方向と検査ステージチャック４２の移動のＸ，Ｙ方向とを一致させる。

なお、データ処理部６０は、検査ステージチャック４２の移動・回転を制御するときには、レーザースケールなどの位置検出器（図示省略）により検出される検査ステージチャック４２の座標位置などに基づき、その移動、回転量を定める。さらに、ホストコンピュータ２などから提供された検査レシピデータを参照して、ウェーハ７に形成された集積回路チップの座標を算出しておき、検査ステージチャック４２の上部に設けられた撮像カメラ（図示省略）によって得られる集積回路チップの画像と比較することによって、その移動、回転量を補正する。

続いて、ウェーハ７の表面に付着している異物などを検出するウェーハ検査が実施される（ステップＳ０５）。このウェーハ検査のため、検査ステージチャック４２の上方には、図示しない投光系装置および受光系装置が配設されている。

ウェーハ検査が開始されると、投光系装置がレーザー光などの光ビームをウェーハ７の表面に照射し、一方で、検査ステージチャック４２が、投光系装置から照射された光ビームがウェーハ７の表面の全面を走査するように、適宜、Ｘ方向またはＹ方向に移動する。

受光系装置は、ウェーハ７表面から発生した反射光または散乱光を検出し、データ処理部６０は、受光系装置によって得られた検出データを処理して、ウェーハ７の表面に存在する異物などを検出する。

こうして、ウェーハ検査が終了すると、ウェーハ７は、ロードポート１０に載置されているウェーハカセット１１に搬出される（ステップＳ０６）。すなわち、ウェーハ７は、検査ステージチャック４２へ載置されたときと逆の手順により、搬送ロボット２１のハンドリングアーム２２の基板保持部２２ａに保持される。そして、そのウェーハ７は、搬送ロボット２１によりロードポート１０まで搬送され、ウェーハ７がウェーハカセット１１から搬出されたときと逆の手順により、例えば、ウェーハカセット１１のもとの棚段に収納される。

図４は、ＬＡＮ４を介して基板製造・検査装置１とホストコンピュータ２との間で送受信される製造・検査装置専用の通信コマンドの例を示した図である。製造・検査装置に特化した通信コマンドの例としては、従来からＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Material International）規格標準のＧＥＭ（Generic Equipment Model）が存在する。

ＧＥＭでは、図５に示すように、基板製造・検査装置１側からホストコンピュータ２側に送信されるコマンドとして、例えば、ロードポート１０におけるウェーハカセット１１の有無、ロードポート１０のドアの開閉状況、ウェーハカセット１１のキャリアＩＤなど、基板製造・検査装置１における様々な状態を報告するための状態報告用のコマンド、基板製造・検査装置１における検査結果、アラームなどの情報を送信するための結果報告コマンドなどがある。

また、ホストコンピュータ２側から基板製造・検査装置１側へ送信されるコマンドとして、基板製造・検査装置１に対する様々な動作指示やその動作指示に付随する条件などのデータを送信するためのシーケンス指示コマンド、動作中の基板製造・検査装置１に対して動作の中断、再開などを指示する割込指示コマンドなどがある。

なお、基板製造・検査装置１およびホストコンピュータ２のいずれも自身が「待機中」または「稼働中」であることを表示することができるが、ＧＥＭのコマンドは、自身または相手が「待機中」または「稼働中」のいずれであっても送受信が可能であるとされている。

以上のような通信コマンドを相互に送受信することによって、ホストコンピュータ２は、複数の基板製造・検査装置１の動作を管理し、制御することができる。その結果、基板製造・検査ラインにおける基板の製造・検査の効率化が図られている。

本実施形態の基板製造・検査装置１では、これらの通信コマンドは、装置制御コンピュータ５０の通信制御処理部５０３（図１参照）における処理によって実現される。なお、前記したように、通信制御処理部５０３は、ネットワーク接続設定通知部５０３２を含み、ネットワーク接続設定通知部５０３２は、ＬＡＮ４に対する接続状態が「接続」状態に設定されたこと、または、ＬＡＮ４に対する接続状態が「非接続」状態に設定されることを、ホストコンピュータ２に通知する。

このネットワーク接続設定通知部５０３２の処理は、図４に示した製造・検査装置専用の通信コマンドの処理と同種の処理ということができる。そこで、本明細書では、以下、ＬＡＮ４に対する接続状態を「非接続」状態に設定することを通知することを、「通信切断コマンドを送信する」といい、ＬＡＮ４に対する接続状態を「接続」状態に設定したことを通知することを、「通信再開コマンドを送信する」という。

続いて、図５〜図８を参照して、基板製造・検査装置１の装置制御コンピュータ５０において、可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックを行う手順について説明する。ここで、図５は、装置制御コンピュータ５０における可搬記憶メディア記憶データのウイルスチェックの実行手順の例を示した図である。また、図６は、ウイルス定義ファイルの確認画面の例を示した図、図７は、ウイルススキャンドライブ指定画面の例を示した図、図８は、ウイルス感染ファイル検出時の警告画面の例を示した図である。

可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックは、その可搬記憶メディアがメディアドライブ５３（図１参照）を介して装置制御コンピュータ５０に接続されたときに行われる。そこで、装置制御コンピュータ５０のＣＰＵは（以下、単に、ＣＰＵという）、最初に、そのメディアドライブ５３から可搬記憶メディアが装着（セット）されたことを知らせる信号を受けることにより、可搬記憶メディアの装着を検知する（ステップＳ１１）。

次に、ＣＰＵは、ＬＡＮ４に対する接続状態を「非接続」状態に設定することをホストコンピュータ２に通知するために、ネットワーク接続設定通知部５０３２の処理により、ホストコンピュータ２に通信切断コマンドを送信する（ステップＳ１２）。そして、ネットワーク接続状態設定部５０３１の処理により、ＬＡＮ４に対する接続状態を「非接続」状態に設定、つまり、ＬＡＮ４に対するＬＡＮ接続を切断し（ステップＳ１３）、さらに、製造・検査装置稼働制御部５０４の処理により、製造・検査装置１の稼働を停止させる（ステップＳ１４）。

続いて、ＣＰＵは、ウイルスチェック部５０１１の処理としてウイルススキャンを起動する（ステップＳ１５）。ＣＰＵは、ウイルススキャンを起動すると、ウイルススキャン実行の前処理として、図６に示すようなウイルス定義ファイルの確認画面を表示装置５１に表示する（ステップＳ１６）。ここでは、ウイルス定義ファイルが最新であるか否かを、ＣＰＵが判定できるか否かにより、その表示画面を変えている。

すなわち、ＣＰＵが、例えば、ウイルス定義ファイルの作成年月日などに基づき、ウイルス定義ファイルが最新であるか否かを判定することができる場合には、その判定結果に応じて、ウイルス定義ファイルが最新であったとき、図６（ａ）に示すように、ウイルス定義ファイルが最新である旨を表示し、ウイルス定義ファイルが最新でなかったときには、図６（ｂ）に示すように、最新のウイルス定義ファイルを更新することを催促する警告文を表示する。

また、ＣＰＵが、ウイルス定義ファイルが最新であるか否かを判定することができない場合には、図６（ｃ）に示すように、ウイルス定義ファイルの名称、レビジョン番号、作成年月日などを表示画面に表示し、その判定を作業者の判断に委ねる。すなわち、ＣＰＵは、図６（ｃ）の表示画面において、「ＹＥＳ」ボタンのクリックを受け付けたときには、ウイルス定義ファイルは最新であると判定し、「ＮＯ」ボタンのクリックを受け付けたときには、ウイルス定義ファイルは最新でないと判定する。なお、図６（ｃ）の表示画面では、ウイルス定義ファイルの名称、レビジョン番号、作成年月日などを表示画面に表示しないとしても構わない。

以上のようにして、ウイルス定義ファイルが最新であることが判定された場合には（ステップＳ１７でＹｅｓ）、ＣＰＵは、作業者が入力する指紋やパスワードを読み取って、当該可搬記憶メディアの利用者の認証を行ない（ステップＳ１８）、その認証が成功したときには、図７に示すようなウイルススキャンドライブ指定画面を表示する。なお、ここでは、可搬記憶メディアには利用者認証機能が設けられているものとしているが、旧来のＤＶＤなど利用者認証機能が設けられていない場合には、ステップＳ１８は実行しなくてもよいものとする。

ＣＰＵは、図７のウイルススキャンドライブ指定画面を介して、ウイルススキャンドライブを指定する情報の入力を受け付けると（ステップＳ１９）、指定されたドライブ（通常は、メディアドライブ５３に装着した可搬記憶メディア）を対象に、ウイルススキャンを実行する（ステップＳ２０）。すなわち、ＣＰＵは、指定されたドライブの記憶メディアからデータ（データファイル、プログラムファイルなど）を読み出し、ウイルスの有無をチェックする。

なお、以上の処理において、ステップＳ１５〜ステップＳ１９までの処理は、ウイルススキャンの前処理であり、ステップＳ２０の処理がウイルススキャンの本体処理（ウイルスの有無をチェックする処理）である。このウイルススキャンの前処理時には、可搬記憶メディアからデータが読み出されることはないので、ステップＳ１９の処理時点までは、必ずしも、装置制御コンピュータ５０はがＬＡＮ４から切り離される必要はない。従って、ステップＳ１２〜ステップＳ１４の処理と、ステップＳ１５〜ステップＳ１９の処理とは、マルチタスク処理環境下で、並行に実行されてもよい。

ウイルススキャンが終了すると、ＣＰＵは、図８に示すようなウイルススキャン結果の確認画面を表示する（ステップＳ２１）。すなわち、ＣＰＵは、ウイルスを検出しなかった場合には、図８（ａ）に示すように、ウイルスが検出されなかった旨を確認画面に表示し、ウイルスを検出した場合には、図８（ｂ）に示すように、ウイルスが検出された旨の警告文を確認画面に表示する。

そして、ウイルスが検出されなかった場合、つまり、ウイルススキャンの結果がＯＫであった場合には（ステップＳ２２でＹｅｓ）、ＣＰＵは、ネットワーク接続状態設定部５０３１の処理により、ＬＡＮ４に対する接続状態を「接続」状態に設定、つまり、ＬＡＮ４に対するＬＡＮ接続を再開する（ステップＳ２３）。続いて、ＣＰＵは、ネットワーク接続設定通知部５０３２の処理により、ホストコンピュータ２に通信再開コマンドを送信し（ステップＳ２４）、製造・検査装置稼働制御部５０４の処理により、製造・検査装置１の稼働を再開する（ステップＳ２５）。

なお、ステップＳ１７において、ウイルス定義ファイルが最新でなかった場合には（ステップＳ１７でＮｏ）、ＣＰＵは、所定のウイルス定義ファイルを最新する処理を実行する（ステップＳ２６）。また、ステップＳ２２において、ウイルススキャンの結果がＮＧ（ウイルス感染あり）であった場合には（ステップＳ２２でＮｏ）、ＣＰＵは、所定のウイルス除去処理を実行する（ステップＳ２７）。この場合には、ウイルスが除去され、再度のウィルススキャンの結果がＯＫになるまでは、情報制御部５はＬＡＮ４に接続されず、また、基板製造・検査装置１の稼働は開始されない。

以上、本発明の実施形態によれば、装置制御コンピュータ５０は、可搬記憶メディアが自身のメディアドライブ５３に装着された場合には、基板製造・検査装置１の稼動を停止させ、自身をＬＡＮ４から切り離すことをあらかじめホストコンピュータ２に通知した上で、ＬＡＮ４から切り離し、ウイルススキャンを実行する。

従って、装置制御コンピュータ５０におけるウイルススキャンは、装置制御コンピュータ５０がＬＡＮ４から切り離された状態で実行される。そのため、装置制御コンピュータ５０は、そのウイルススキャン時に可搬記憶メディアからデータを読み込み、万が一そのときに自身がウイルスに感染したとしても、そのウイルスを、ＬＡＮ４を介して他の装置制御コンピュータ５０やホストコンピュータ２に拡散することはない。

また、ホストコンピュータ２は、ウイルススキャンが行われる装置制御コンピュータ５０がＬＡＮ４から切り離されることを知っているので、その装置制御コンピュータ５０に対して、基板の製造・検査を行うためのコマンドを発行することはない。そのため、ホストコンピュータ２と装置制御コンピュータ５０との間で動作の齟齬が生じることはなく、その連係動作に不都合が生じることはない。

本発明は、様々な基板検査装置にも適用可能であり、検査ステージチャック４２は、基板の端部をチャックする構成であってもよいし、直進ステージやスピンドルなどを用いて、直進と回転を行ってもよい。さらに、投光系装置および受光系装置は、複数であってもよいし、レンズ、ミラー、フィルタなどの光学素子を備えてもよいし、回折光を遮光する空間フィルタを備えてもよい。検査対象は、回路パターンが形成されたウェーハであってもよく、回路パターンが形成されていないウェーハであってもよく、ハードディスク基板であってもよい。

本発明の実施形態に係る基板製造・検査装置の構成の例を示した図。 異物検査装置の製造・検査機構部の平面図の例を示した図。 異物検査を行う検査手順の例を示した図。 ＬＡＮを介して基板製造・検査装置とホストコンピュータとの間で送受信される製造・検査装置専用の通信コマンドの例を示した図。 装置制御コンピュータにおける可搬記憶メディア記憶データのウイルスチェックの実行手順の例を示した図。 ウイルス定義ファイルの確認画面の例を示した図。 ウイルススキャンドライブ指定画面の例を示した図。 ウイルススキャン結果確認画面の例を示した図。 基板製造・検査ラインにおけるコンピュータネットワークの構成の例を示した図。 基板製造・検査装置の作業者が従来から行っている可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックの手順の例を示した図。

符号の説明

１ 基板製造・検査装置
２ ホストコンピュータ
４ ＬＡＮ
５ 情報制御部
６ 検査機構部
７ ウェーハ
１０ ロードポート
１１ ウェーハカセット
１５ 異物検査装置
２０ 搬送部
２１ 搬送ロボット
２２ ハンドリングアーム
２２ａ 基板保持部
２３ 吸着穴
３０ プリアライメント部
３１ プリアライメントチャック
３２ 位置検出器
４０ 検査機構部
４１ 検査ステージ
４２ 検査ステージチャック
４３ａ 昇降ピン
５０ 製造・検査機構部
５０ 装置制御コンピュータ
５１ 表示装置
５２ 入力装置
５３ メディアドライブ
５４ 通信装置
６０ データ処理部
５０１１ ウイルスチェック処理制御部
５０２ 入出力制御処理部
５０３ 通信制御処理部
５０４ 検査装置稼働制御部
５０２１ 可搬記憶メディア装着検知部
５０３１ ネットワーク接続状態設定部
５０３２ ネットワーク接続設定通知部

Claims (4)

1. 通信ネットワークを介してホストコンピュータに接続された装置制御コンピュータからなる情報制御部と、前記情報制御部の制御のもとに、所定の基板の製造または検査を行う製造・検査機構部と、を備え、
   前記装置制御コンピュータが、
   可搬記憶メディアの装着を検知する可搬記憶メディア装着検知部と、
   前記通信ネットワークとの間の接続状態を、通信可または通信不可のいずれかの状態に設定するネットワーク接続状態設定部と、
   前記通信ネットワークとの間の接続状態を通信可の状態に設定した旨、または、通信不可の状態に設定する旨を、前記ホストコンピュータに通知するネットワーク接続設定通知部と、
   前記製造・検査機構部の稼働を開始または停止させる稼働制御部と、
   前記可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックを行うウイルスチェック部と、
   を含んで構成された基板製造・検査装置であって、
   前記装置制御コンピュータは、
   前記可搬記憶メディア装着検知部により、前記可搬記憶メディアの装着を検知したときには、
   前記ネットワーク接続設定通知部により、前記通信ネットワークとの間の接続状態を通信不可の状態に設定する旨を、前記ホストコンピュータに通知し、
   前記ネットワーク接続状態設定部により、前記通信ネットワークとの間の接続状態を通信不可の状態に設定し、
   前記稼働制御部により、前記製造・検査機構部の稼働を停止させた後、
   前記ウイルスチェック部により、前記可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックを行うこと
   を特徴とする基板製造・検査装置。
2. 前記装置制御コンピュータは、
   前記ウイルスチェックの結果、ウイルスを検出しなかった場合には、
   前記ネットワーク接続状態設定部により、前記通信ネットワークとの間の接続状態を通信可の状態に設定し、
   前記ネットワーク接続設定通知部により、前記通信ネットワークとの間の接続状態を通信可の状態に設定した旨を、前記ホストコンピュータに通知し、
   前記稼働制御部により、前記製造・検査機構部の稼働を再開させること
   を特徴とする請求項１に記載の基板製造・検査装置。
3. 通信ネットワークを介してホストコンピュータに接続された装置制御コンピュータからなる情報制御部と、前記情報制御部の制御のもとに、所定の基板の製造または検査を行う製造・検査機構部と、を備え、
   前記装置制御コンピュータが、
   可搬記憶メディアの装着を検知する可搬記憶メディア装着検知部と、
   前記通信ネットワークとの間の接続状態を、通信可または通信不可のいずれかの状態に設定するネットワーク接続状態設定部と、
   前記通信ネットワークとの間の接続状態を通信可の状態に設定した旨、または、通信不可の状態に設定する旨を、前記ホストコンピュータに通知するネットワーク接続設定通知部と、
   前記製造・検査機構部の稼働を開始または停止させる稼働制御部と、
   前記可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックを行うウイルスチェック部と、
   を含んで構成された基板製造・検査装置のウイルスチェック方法であって、
   前記装置制御コンピュータは、
   前記可搬記憶メディア装着検知部により、前記可搬記憶メディアの装着を検知したときには、
   前記ネットワーク接続設定通知部により、前記通信ネットワークとの間の接続状態を通信不可の状態に設定する旨を、前記ホストコンピュータに通知し、
   前記ネットワーク接続状態設定部により、前記通信ネットワークとの間の接続状態を通信不可の状態に設定し、
   前記稼働制御部により、前記製造・検査機構部の稼働を停止させた後、
   前記ウイルスチェック部により、前記可搬記憶メディアに記憶されているデータのウイルスチェックを行うこと
   を特徴とする基板製造・検査装置のウイルスチェック方法。
4. 前記装置制御コンピュータは、
   前記ウイルスチェックの結果、ウイルスを検出しなかった場合には、
   前記ネットワーク接続状態設定部により、前記通信ネットワークとの間の接続状態を通信可の状態に設定し、
   前記ネットワーク接続設定通知部により、前記通信ネットワークとの間の接続状態を通信可の状態に設定した旨を、前記ホストコンピュータに通知し、
   前記稼働制御部により、前記製造・検査機構部の稼働を再開させること
   を特徴とする請求項３に記載の基板製造・検査装置のウイルスチェック方法。
   

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