JP2010137338A - ウエーハの研削方法および研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエーハを保持面上に保持したチャックテーブルを回転するとともに、研削ホイールを回転しつつチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向にウエーハに向けて研削送りするウエーハの研削方法であって、研削ホイールの研削面がチャックテーブルの保持面に保持されたウエーハに接触した際に、研削ホイールとチャックテーブルを保持面と平行に相対的に所定量移動し、ウエーハの中心を該研削ホイールの研削面が通過するように位置付け、その後研削ホイールを研削送り終了位置まで研削送りする。
【選択図】図5
Description
該研削ホイールの研削面がチャックテーブルの保持面に保持されたウエーハに接触した際に、該研削ホイールと該チャックテーブルを保持面と平行に相対的に所定量移動し、ウエーハの中心を該研削ホイールの研削面が通過するように位置付け、その後該研削ホイールを研削送り終了位置まで研削送りする、
ことを特徴とするウエーハの研削方法が提供される。
ウエーハを保持面上に保持した該チャックテーブルを回転するとともに、該研削ホイールを回転しつつ該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向にウエーハに向けて研削送りする際に、
該制御手段は、該負荷電流値検出手段から入力された負荷電流値に基づいて、該研削ホイールがウエーハに接触することにより負荷電流値が所定量上昇したとき、該移動手段を作動して該研削ホイールと該チャックテーブルを保持面と平行に相対的に所定量移動し、ウエーハの中心を該研削ホイールの研削面が通過するように位置付け、その後も該研削送り手段による研削送りを研削終了位置まで実行する、
ことを特徴とする研削装置が提供される。
図1に示す研削装置は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ上方に延びる直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に研削手段としての研削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されている。
第1のカセット11に収容された研削加工前の被加工物としての半導体ウエーハ10はウエーハ搬送手段15の上下動作および進退動作により搬送され、ウエーハ仮載置手段13に載置される。ウエーハ仮載置手段13に載置された半導体ウエーハ10は、ここで中心合わせが行われた後にウエーハ搬入手段16の旋回動作によって被加工物搬入・搬出域24に位置付けられているチャックテーブル機構7のチャックテーブル52上に載置される。チャックテーブル52上に載置された被加工物としての半導体ウエーハ10は、図示しない吸引手段によってチャックテーブル52上に吸引保持される。
3:研削ユニット
32:スピンドルユニット
322:回転スピンドル
325:研削ホイール
4:研削送り手段
5:チャックテーブル機構
52:チャックテーブル
10:半導体ウエーハ
11:第1のカセット
12:第2のカセット
13:ウエーハ仮載置手段
14:洗浄手段
15:ウエーハ搬送手段
16:ウエーハ搬入手段
17:ウエーハ搬出手段
Claims (4)
- ウエーハを保持面上に保持したチャックテーブルを回転するとともに、研削ホイールを回転しつつ該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向にウエーハに向けて研削送りするウエーハの研削方法であって、
該研削ホイールの研削面がチャックテーブルの保持面に保持されたウエーハに接触した際に、該研削ホイールと該チャックテーブルを保持面と平行に相対的に所定量移動し、ウエーハの中心を該研削ホイールの研削面が通過するように位置付け、その後該研削ホイールを研削送り終了位置まで研削送りする、
ことを特徴とするウエーハの研削方法。 - 該研削ホイールと該チャックテーブルを保持面と平行に相対的に移動する所定量は、1秒の間に2〜5mmに設定されている、請求項1記載のウエーハの研削方法。
- ウエーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に保持されたウエーハを研削する研削ホイールおよび該研削ホイールを回転駆動する電動モータを備えた研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に研削送りする研削送り手段と、該研削ホイールと該チャックテーブルを保持面と平行に相対的に移動せしめる移動手段と、該研削ホイールを回転駆動する電動モータに供給する電力の負荷電流値を検出する負荷電流値検出手段と、該負荷電流値検出手段からの検出信号に基づいて該研削送り手段を制御する制御手段と、を具備する研削装置において、
ウエーハを保持面上に保持した該チャックテーブルを回転するとともに、該研削ホイールを回転しつつ該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向にウエーハに向けて研削送りする際に、
該制御手段は、該負荷電流値検出手段から入力された負荷電流値に基づいて、該研削ホイールがウエーハに接触することにより負荷電流値が所定量上昇したとき、該移動手段を作動して該研削ホイールと該チャックテーブルを保持面と平行に相対的に所定量移動し、ウエーハの中心を該研削ホイールの研削面が通過するように位置付け、その後も該研削送り手段による研削送りを研削終了位置まで実行する、
ことを特徴とする研削装置。 - 該研削ホイールと該チャックテーブルを保持面と平行に相対的に移動する所定量は、1秒の間に2〜5mmに設定されている、請求項3記載のウエーハの研削装置。
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