JP2010131677A - バレル研磨機用の研磨液回収装置及びこの研磨液回収装置を用いたバレル研磨液濾過システム - Google Patents

Abstract

【課題】スラッジのほとんどをフィルタで捕捉するのではなく、マグネットで磁性体のスラッジを効率良く捕捉すること。また、フィルタの川上でマグネットにてスラッジを捕捉して、フィルタの交換時期を遅くし、フィルタの交換作業を少なくすること。
【解決手段】バレル研磨機１から、処理対象部材、研磨材及びスラッジ１２を含んでいる研磨液が分別パン２に放出され、研磨液が第１貯留槽３に貯留される。第１貯留槽３から第２貯留槽５へスラッジ１２を含んでいる研磨液が投入され、第２貯留槽５では、磁性体のスラッジ１２はマグネット６、７により吸引され、第２貯留槽５の内面に吸着される。ほとんどのスラッジ１２が除去できなかった研磨液は濾過装置１４にてスラッジ１２が捕捉されて濾過される。濾過装置１４からの研磨液は第３貯留槽１５を介してバレル研磨機１へ送られて、研磨液といして再使用される。
【選択図】図１

Description

本発明は、バレル研磨機用の研磨液回収装置及びこの研磨液回収装置を用いたバレル研磨液濾過システムに関するものである。

ナットやボルトなどの比較的小さい金属部材の表面仕上げ加工技術としてバレル研磨が知られている。このバレル研磨は、工作物をバレル（ Barrel ＝樽）の中に粒子状の研磨材、媒材（コンパウンド）とともに入れ、バレルを回転・上下運動させることにより研磨を行なう方法である。
一般にバレル研磨では、工作物は比較的小さいものであり、バレル内に複数の工作物を入れて同時に研磨される。バレルの回転は一様ではなく、上下に動かしながら回転、あるいは振動を加えるなどして工作物と研磨材をバレル内で動かして加工を行なう。

バレル研磨では、研磨材粒子は小さく、かつ自由に動くため、段付き面など機械で研磨しにくい場所であっても仕上げが可能である。このバレル研磨は、主に切削・プレス加工品のバリ取りや、鋳物の表面仕上げなどに用いられている。
このバレル研磨は、人手を省き低コストでバラツキの少ない均一な仕上がりが得られる表面仕上がり技術として非常に有用な手段である。

バレル研磨機によるバレル研磨を行なう際には、処理対象部材（工作物）及び研磨材（研磨石）だけでなく、切削、洗浄、脱脂、防錆などの目的でバレル内に研磨液が投入される。
そして、バレル研磨機では、処理対象部材の処理が完了した後、処理対象部材は研磨材及び研磨液と共に、外部へ放出されて、処理対象部材及び研磨材だけが手作業で回収され、研磨液はそのまま廃棄されていた。

そのため、研磨材を再使用することができるものの、研磨液を再使用することができず、バレル研磨機にて研磨を行なう毎に大量の研磨液を新たに用いる必要が生じて研磨液による環境汚染を引き起こしたり、高コスト化になるという問題があった。

そこで、研磨液を再使用するための技術として、例えば、下記に挙げる特許文献１がある。

特開２００１−１２１４０１号公報

上記特許文献１では、バレルの下流側に、処理対象部材及び研磨材と、研磨液とを分別する分別パンと、この分別パンを介した研磨液に含まれている夾雑物（スラッジ）を除去するためのフィルタと、このフィルタを通過した研磨液を貯溜する貯溜パンとが設けられている。
そして、貯溜パンに貯溜されている研磨液をポンプにて吸い上げて濾過器を介してバレル内に研磨液を投入することで、研磨液の再使用を図っている。

しかしながら、上記特許文献１においては、使用後の研磨液から該研磨液に含まれている夾雑物を除去する場合に、フィルタ及び濾過器にて行なっており、このフィルタ及び濾過器は、１００μｍの夾雑物（スラッジ）を捕捉するフィルタである。
そのため、どのような大きさの夾雑物でも捕捉していき、フィルタの捕捉能力一杯に直ぐに達してしまうことになる。そのため、フィルタの交換作業が頻繁に行なわれることが余儀なくされることになる。フィルタの交換作業を頻繁に行なうと、バレル研磨の作業効率が悪く、ひいてはバレル研磨のコストが高くなってしまう。

本発明は上述の問題点に鑑みて提供したものであって、少なくとも以下の目的を持ったバレル研磨機用の研磨液回収装置及びこの研磨液回収装置を用いたバレル研磨液濾過システムを提供するものである。
（１）スラッジのほとんどをフィルタで捕捉するのではなく、マグネットで磁性体のスラッジを効率良く捕捉すること。
（２）フィルタの川上でマグネットにてスラッジを捕捉して、フィルタの交換時期を遅くし、フィルタの交換作業を少なくすること。
（３）フィルタの交換時期を遅くして、バレル研磨の作業効率を向上させること。
（４）バレル研磨の作業効率を向上させて、バレル研磨の低コスト化を図ること。
（５）スラッジを研磨液回収装置とフィルタにて捕捉し、濾過した研磨液を再使用することで、研磨液を廃棄せずに、研磨液の長寿命化を図ること。
（６）スラッジをスムーズに落下させることができて、スラッジを容易に回収することができること。

そこで、本発明の請求項１記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１が設けられていて、前記バレル研磨機１からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体１９と、前記槽本体１９の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体１９の内周面側に前記スラッジ１２を吸引し、該槽本体１９の外周面に対して接離自在なマグネットとを備え、前記槽本体１９の下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２を形成していることを特徴としている。

請求項２に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１が設けられていて、前記バレル研磨機１からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体１９と、前記槽本体１９の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体１９の内周面側に前記スラッジ１２を吸引し、該槽本体１９の外周面に対して接離自在なマグネット６、７とを備え、
前記槽本体１９の上部には前記研磨液が投入される投入口２０が設けられ、該槽本体１９の下部には前記スラッジ１２が除去された研磨液が回収される吐出口２１が設けられ、前記槽本体１９の前記吐出口２１より下方であって該槽本体１９下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２が形成されており、前記槽本体１９の下端は常時は閉塞されていて、前記マグネット６、７にて捕捉したスラッジ１２排出用の排出管２７が前記直線部６１及びテーパー部６２の下端より連続して形成されており、前記吐出口２１より下方の前記槽本体１９の外周面と、前記排出管２７の外周面との少なく共一方にマグネット６、７を接離自在に配設していることを特徴としている。

請求項３に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１が設けられていて、前記バレル研磨機１からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体１９と、前記槽本体１９の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体１９の内周面側に前記スラッジ１２を吸引し、該槽本体１９の外周面に対して接離自在なマグネット８とを備え、
前記槽本体１９の上部には前記研磨液が投入される投入口２０が設けられ、該槽本体１９の下部には前記スラッジ１２が除去された研磨液が回収される吐出口２１が設けられ、前記槽本体１９の前記吐出口２１より下方であって該槽本体１９下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２が形成されており、前記投入口２０と吐出口２１との間の前記槽本体１９の外周面に前記マグネット８を接離自在に配設していることを特徴としている。

請求項４に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１が設けられていて、前記バレル研磨機１からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体１９と、前記槽本体１９の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体１９の内周面側に前記スラッジ１２を吸引し、該槽本体１９の外周面に対して接離自在なマグネット６、７、８とを備え、
前記槽本体１９の上部には前記研磨液が投入される投入口２０が設けられ、該槽本体１９の下部には前記スラッジ１２が除去された研磨液が回収される吐出口２１が設けられ、前記槽本体１９の前記吐出口２１より下方であって該槽本体１９下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２が形成されており、前記槽本体１９の下端は常時は閉塞されていて、前記マグネット６、７、８にて捕捉したスラッジ１２排出用の排出管２７が前記直線部６１及びテーパー部６２の下端より連続して形成されており、前記投入口２０と吐出口２１との間の前記槽本体１９の外周面に前記マグネット８を接離自在に配設し、前記吐出口２１より下方の前記槽本体１９の外周面と、前記排出管２７の外周面との少なく共一方にマグネット６、７を接離自在に配設していることを特徴としている。

請求項５に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、前記槽本体１９内にマグネットにて捕捉されなかったスラッジ１２を捕捉するためのフィルタ１４を配設していることを特徴としている。

請求項６に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、前記槽本体１９の排出管２７の下端に開閉自在なバルブ１０を設け、前記マグネットを槽本体１９から引き離すと共に、前記バルブ１０を開状態として前記排出管２７からスラッジ１２を排出して、該スラッジ１２を回収するようにしていることを特徴としている。

請求項７に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１が設けられていて、前記バレル研磨機１からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んだ研磨液が投入される槽本体１９と、前記槽本体１９内に配設され、前記スラッジ１２を吸引するマグネット７４を備えたスラッジ捕捉装置７０とを備え、前記槽本体１９の下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２を形成していることを特徴としている。

請求項８に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１が設けられていて、前記バレル研磨機１からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体１９と、前記槽本体１９内に配設され、前記スラッジ１２を吸引するマグネット７４を備えたスラッジ捕捉装置７０と、前記槽本体１９の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体１９の内周面側に前記スラッジ１２を吸引し、該槽本体１９の外周面に対して接離自在なマグネット６、７とを備え、
前記槽本体１９の上部には前記研磨液が投入される投入口２０が設けられ、該槽本体１９の下部には前記スラッジ１２が除去された研磨液が回収される吐出口２１が設けられ、前記槽本体１９の前記吐出口２１より下方であって該槽本体１９下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２が形成されており、前記槽本体１９の下端は常時は閉塞されていて、前記マグネット６、７にて捕捉したスラッジ１２排出用の排出管２７が前記直線部６１及びテーパー部６２の下端より連続して形成されており、前記吐出口２１より下方の前記槽本体１９の外周面と、前記排出管２７の外周面との少なく共一方にマグネット６、７を接離自在に配設していることを特徴としている。

請求項９に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１が設けられていて、前記バレル研磨機１からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体１９と、前記槽本体１９内に配設され、前記スラッジ１２を吸引するマグネット７４を備えたスラッジ捕捉装置７０と、前記槽本体１９の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体１９の内周面側に前記スラッジ１２を吸引し、該槽本体１９の外周面に対して接離自在なマグネット８とを備え、
前記槽本体１９の上部には前記研磨液が投入される投入口２０が設けられ、該槽本体１９の下部には前記スラッジ１２が除去された研磨液が回収される吐出口２１が設けられ、前記槽本体１９の前記吐出口２１より下方であって該槽本体１９下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２が形成されており、前記投入口２０と吐出口２１との間の前記槽本体１９の外周面に前記マグネット８を接離自在に配設していることを特徴としている。

請求項１０に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１が設けられていて、前記バレル研磨機１からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体１９と、前記槽本体１９内に配設され、前記スラッジ１２を吸引するマグネット７４を備えたスラッジ捕捉装置７０と、前記槽本体１９の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体１９の内周面側に前記スラッジ１２を吸引し、該槽本体１９の外周面に対して接離自在なマグネット６、７、８とを備え、
前記槽本体１９の上部には前記研磨液が投入される投入口２０が設けられ、該槽本体１９の下部には前記スラッジ１２が除去された研磨液が回収される吐出口２１が設けられ、前記槽本体１９の前記吐出口２１より下方であって該槽本体１９下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２が形成されており、前記槽本体１９の下端は常時は閉塞されていて、前記マグネット６、７、８にて捕捉したスラッジ１２排出用の排出管２７が前記直線部６１及びテーパー部６２の下端より連続して形成されており、前記投入口２０と吐出口２１との間の前記槽本体１９の外周面に前記マグネット８を接離自在に配設し、前記吐出口２１より下方の前記槽本体１９の外周面と、前記排出管２７の外周面との少なく共一方にマグネット６、７を接離自在に配設していることを特徴としている。

請求項１１に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、前記スラッジ捕捉装置７０は、
非磁性体からなり、底部が閉塞され上面に開閉自在なフタ体７６を有し、密閉空間とした外ケース７２と、前記外ケース７２の内面側に位置するマグネット７４を配して該外ケース７２に対して出し入れ自在とした内ケース７３とで構成されていることを特徴としている。

請求項１２に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、前記槽本体１９の排出管２７の下端に開閉自在なバルブ１０を設け、前記内ケース７３を前記外ケース７２から前記フタ体７６をあけて引き出して該内ケース７３に配しているマグネット７４を該外ケース７２から引き離すと共に、前記バルブ１０を開状態として前記排出管２７からスラッジ１２を排出して、該スラッジ１２を回収するようにしていることを特徴としている。

請求項１３に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置では、前記槽本体１９の外周面に配されているマグネットを槽本体１９から引き離すと共に、前記バルブ１０を開状態として前記排出管２７からスラッジ１２を排出して、該スラッジ１２を回収するようにしていることを特徴としている。

請求項１４に記載のバレル研磨液濾過システムでは、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１と、
前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んでいる研磨液が貯留される第１貯留槽３と、
前記第１貯留槽３から前記スラッジ１２を含んでいる研磨液が投入され、前記請求項１〜請求項４、請求項６〜請求項１３のいずれかで構成される研磨液回収装置５と、
前記研磨液回収装置５から回収した研磨液に含まれている前記スラッジ１２を更に捕捉する濾過装置１４とからなり、
前記濾過装置１４を介して前記スラッジ１２を除去した研磨液を前記バレル研磨機１へ投入する研磨液として再使用していることを特徴としている。

請求項１５に記載のバレル研磨液濾過システムでは、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１と、
前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んでいる研磨液が貯留される第１貯留槽３と、
前記第１貯留槽３から前記スラッジ１２を含んでいる研磨液が投入され、前記請求項５で構成される研磨液回収装置５とからなり、
前記研磨液回収装置５にてスラッジ１２を除去した研磨液を前記バレル研磨機１へ投入する研磨液として再使用していることを特徴としている。

本発明の請求項１に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、研磨液回収装置が、バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体１９と、前記槽本体１９の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体１９の内周面側に前記スラッジ１２を吸引し、該槽本体１９の外周面に対して接離自在なマグネットとで構成されていることで、マグネットによりスラッジ１２が吸引されてスラッジ１２が除去された研磨液を吐出口２１より回収でき、この回収した研磨液を更にバレル研磨機１に投入する研磨液として再使用することができる。このように、スラッジ１２を除去した後の研磨液を再使用できるので、バレル研磨を低コストで行なうことができる。
また、槽本体１９にて多くのスラッジ１２を回収することができるので、該槽本体１９の下流側に除去できなかったスラッジ１２を回収すべくフィルタを配設する場合には、該フィルタの捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、フィルタの交換作業を少なくすることができる。
また、スラッジ１２を回収する場合には、槽本体１９からマグネットを離すことで、吸引力が除去されて、落下するスラッジ１２を容易に回収することができる。
また、槽本体１９の下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２を形成しているので、槽本体１９の下部に多くのスラッジ１２が溜まっていても、直線部６１によりスムーズにスラッジ１２を落下させることができ、スラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項２に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、槽本体１９の上部には研磨液が投入される投入口２０が設けられ、該槽本体１９の下部にはスラッジ１２が除去された研磨液が回収される吐出口２１が設けられ、前記槽本体１９の下端は常時は閉塞されていて、マグネット６、７にて捕捉したスラッジ１２排出用の排出管２７が形成されており、前記吐出口２１より下方の前記槽本体１９の外周面と、前記排出管２７の外周面との少なく共一方にマグネット６、７を接離自在に配設しているので、投入口２０から投入されたスラッジ１２が含まれている研磨液は槽本体１９の下方に勢い良く流れていき、そのため、槽本体１９の下部に設けられているマグネット６、７にてスラッジ１２が吸引されてスラッジ１２が除去された研磨液を吐出口２１より回収でき、この回収した研磨液を更にバレル研磨機１に投入する研磨液として再使用することができる。このように、スラッジ１２を除去した後の研磨液を再使用できるので、バレル研磨を低コストで行なうことができる。
また、槽本体１９にて多くのスラッジ１２を回収することができるので、該槽本体１９の下流側に除去できなかったスラッジ１２を回収すべくフィルタを配設する場合には、該フィルタの捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、フィルタの交換作業を少なくすることができる。
また、スラッジ１２を回収する場合には、槽本体１９からマグネット６、７を離すことで、吸引力が除去されて、落下するスラッジ１２を容易に回収することができる。
また、槽本体１９の下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２を形成しているので、槽本体１９の下部に多くのスラッジ１２が溜まっていても、直線部６１によりスムーズにスラッジ１２を落下させることができ、スラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項３に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、槽本体１９の上部には研磨液が投入される投入口２０が設けられ、該槽本体１９の下部にはスラッジ１２が除去された研磨液が回収される吐出口２１が設けられ、前記投入口２０と吐出口２１との間の前記槽本体１９の外周面にマグネット８を接離自在に配設しているので、投入口２０から投入されたスラッジ１２が含まれている研磨液は槽本体１９の外周面に設けられているマグネット８にてスラッジ１２が吸引されてスラッジ１２が除去された研磨液を吐出口２１より回収でき、この回収した研磨液を更にバレル研磨機１に投入する研磨液として再使用することができる。このように、スラッジ１２を除去した後の研磨液を再使用できるので、バレル研磨を低コストで行なうことができる。
また、槽本体１９にて多くのスラッジ１２を回収することができるので、該槽本体１９の下流側に除去できなかったスラッジ１２を回収すべくフィルタを配設する場合には、該フィルタの捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、フィルタの交換作業を少なくすることができる。
また、スラッジ１２を回収する場合には、槽本体１９からマグネット８を離すことで、吸引力が除去されて、落下するスラッジ１２を容易に回収することができる。
また、槽本体１９の下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２を形成しているので、槽本体１９の下部に多くのスラッジ１２が溜まっていても、直線部６１によりスムーズにスラッジ１２を落下させることができ、スラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項４に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、槽本体１９の下端は常時は閉塞されていて、マグネット６、７、８にて捕捉したスラッジ１２排出用の排出管２７が形成されており、投入口２０と吐出口２１との間の前記槽本体１９の外周面に前記マグネット８を接離自在に配設し、前記吐出口２１より下方の前記槽本体１９の外周面と、前記排出管２７の外周面との少なく共一方にマグネット６、７を接離自在に配設しているので、投入口２０から投入されたスラッジ１２が含まれている研磨液は槽本体１９の外周面に設けられているマグネット８にてスラッジ１２が吸引され、また、投入口２０から投入されたスラッジ１２を含まれている研磨液は槽本体１９の下方に勢い良く流れていき、そのため、槽本体１９の下部に設けられているマグネット６、７にてスラッジ１２が吸引されてスラッジ１２が除去された研磨液を吐出口２１より回収でき、この回収した研磨液を更にバレル研磨機１に投入する研磨液として再使用することができる。このように、スラッジ１２を除去した後の研磨液を再使用できるので、バレル研磨を低コストで行なうことができる。
また、槽本体１９にて多くのスラッジ１２を回収することができるので、該槽本体１９の下流側に除去できなかったスラッジ１２を回収すべくフィルタを配設する場合には、該フィルタの捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、フィルタの交換作業を少なくすることができる。
また、スラッジ１２を回収する場合には、槽本体１９からマグネット６、７、８を離すことで、吸引力が除去されて、落下するスラッジ１２を容易に回収することができる。
また、槽本体１９の下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２を形成しているので、槽本体１９の下部に多くのスラッジ１２が溜まっていても、直線部６１によりスムーズにスラッジ１２を落下させることができ、スラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項５に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、槽本体１９内にマグネットにて捕捉されなかったスラッジ１２を捕捉するためのフィルタ１４を配設しているので、槽本体１９の下流側に別個フィルタを設ける必要がなく、システムを構成する場合、全体を小型化することができる。
また、槽本体１９内にフィルタ１４を配設している場合でも、槽本体１９内でマグネットにより多くのスラッジ１２を捕捉でき、マグネットで捕捉できなかったスラッジ１２を該フィルタ１４で捕捉する場合に該フィルタ１４の捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、フィルタ１４の交換作業を少なくすることができる。

請求項６に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、槽本体１９の排出管２７の下端に開閉自在なバルブ１０を設け、前記マグネットを槽本体１９から引き離すと共に、前記バルブ１０を開状態として前記排出管２７からスラッジ１２を排出して、該スラッジ１２を回収するようにしているので、簡単にスラッジ１２を回収することができる。

請求項７に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んだ研磨液が投入される槽本体１９と、前記槽本体１９内に配設され、スラッジ１２を吸引するマグネット７４を備えたスラッジ捕捉装置７０とを備えているので、投入口２０から投入されたスラッジ１２が含まれている研磨液は槽本体１９内のスラッジ捕捉装置７０のマグネット７４にてスラッジ１２が吸引されてスラッジ１２が除去された研磨液を吐出口２１より回収でき、この回収した研磨液を更にバレル研磨機１に投入する研磨液として再使用することができる。このように、スラッジ１２を除去した後の研磨液を再使用できるので、バレル研磨を低コストで行なうことができる。
また、槽本体１９にて多くのスラッジ１２を回収することができるので、該槽本体１９の下流側に除去できなかったスラッジ１２を回収すべくフィルタを配設する場合には、該フィルタの捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、フィルタの交換作業を少なくすることができる。
また、槽本体１９の下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２を形成しているので、槽本体１９の下部に多くのスラッジ１２が溜まっていても、直線部６１によりスムーズにスラッジ１２を落下させることができ、スラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項８に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、槽本体１９の上部には研磨液が投入される投入口２０が設けられ、該槽本体１９の下部にはスラッジ１２が除去された研磨液が回収される吐出口２１が設けられ、前記槽本体１９の下端は常時は閉塞されていて、マグネット６、７にて捕捉したスラッジ１２排出用の排出管２７が形成されており、前記吐出口２１より下方の前記槽本体１９の外周面と、前記排出管２７の外周面との少なく共一方にマグネット６、７を接離自在に配設しているので、投入口２０から投入されたスラッジ１２が含まれている研磨液は槽本体１９内のスラッジ捕捉装置７０のマグネット７４にてスラッジ１２が吸引されてスラッジ１２が除去され、また、槽本体１９の下部に設けられているマグネット６、７にてスラッジ１２が吸引されてスラッジ１２が除去された研磨液を吐出口２１より回収でき、この回収した研磨液を更にバレル研磨機１に投入する研磨液として再使用することができる。このように、スラッジ１２を除去した後の研磨液を再使用できるので、バレル研磨を低コストで行なうことができる。
また、槽本体１９にて多くのスラッジ１２を回収することができるので、該槽本体１９の下流側に除去できなかったスラッジ１２を回収すべくフィルタを配設する場合には、該フィルタの捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、フィルタの交換作業を少なくすることができる。
また、スラッジ１２を回収する場合には、槽本体１９からマグネット６、７を離すことで、吸引力が除去されて、落下するスラッジ１２を容易に回収することができる。
また、槽本体１９の下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２を形成しているので、槽本体１９の下部に多くのスラッジ１２が溜まっていても、直線部６１によりスムーズにスラッジ１２を落下させることができ、スラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項９に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、槽本体１９の上部には研磨液が投入される投入口２０が設けられ、該槽本体１９の下部にはスラッジ１２が除去された研磨液が回収される吐出口２１が設けられ、前記投入口２０と吐出口２１との間の前記槽本体１９の外周面にマグネット８を接離自在に配設しているので、投入口２０から投入された研磨液に含まれているスラッジ１２は、槽本体１９内のスラッジ捕捉装置７０のマグネット７４と、槽本体１９の外周面に設けられたマグネット８に吸引されてスラッジ１２が除去され、スラッジ１２が除去された研磨液を吐出口２１より回収でき、この回収した研磨液を更にバレル研磨機１に投入する研磨液として再使用することができる。このように、スラッジ１２を除去した後の研磨液を再使用できるので、バレル研磨を低コストで行なうことができる。
また、槽本体１９にて多くのスラッジ１２を回収することができるので、該槽本体１９の下流側に除去できなかったスラッジ１２を回収すべくフィルタを配設する場合には、該フィルタの捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、フィルタの交換作業を少なくすることができる。
また、スラッジ１２を回収する場合には、槽本体１９からマグネット８を離すことで、吸引力が除去されて、落下するスラッジ１２を容易に回収することができる。
また、槽本体１９の下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２を形成しているので、槽本体１９の下部に多くのスラッジ１２が溜まっていても、直線部６１によりスムーズにスラッジ１２を落下させることができ、スラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項１０に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、槽本体１９の下端は常時は閉塞されていて、前記マグネット６、７、８にて捕捉したスラッジ１２排出用の排出管２７が形成されており、前記投入口２０と吐出口２１との間の前記槽本体１９の外周面に前記マグネット８を接離自在に配設し、前記吐出口２１より下方の前記槽本体１９の外周面と、前記排出管２７の外周面との少なく共一方にマグネット６、７を接離自在に配設しているので、投入口２０から投入された研磨液に含まれているスラッジ１２は、槽本体１９内のスラッジ捕捉装置７０のマグネット７４と、槽本体１９の外周面に設けられたマグネット６、７、８に吸引されてスラッジ１２が除去され、スラッジ１２が除去された研磨液を吐出口２１より回収でき、この回収した研磨液を更にバレル研磨機１に投入する研磨液として再使用することができる。このように、スラッジ１２を除去した後の研磨液を再使用できるので、バレル研磨を低コストで行なうことができる。
また、槽本体１９にて多くのスラッジ１２を回収することができるので、該槽本体１９の下流側に除去できなかったスラッジ１２を回収すべくフィルタを配設する場合には、該フィルタの捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、フィルタの交換作業を少なくすることができる。
また、スラッジ１２を回収する場合には、槽本体１９からマグネット６、７、８を離すことで、吸引力が除去されて、落下するスラッジ１２を容易に回収することができる。
また、槽本体１９の下部の一方側を直線状とした直線部６１を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部６２を形成しているので、槽本体１９の下部に多くのスラッジ１２が溜まっていても、直線部６１によりスムーズにスラッジ１２を落下させることができ、スラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項１１に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、スラッジ捕捉装置７０は、非磁性体からなり、底部が閉塞され上面に開閉自在なフタ体７６を有し、密閉空間とした外ケース７２と、前記外ケース７２の内面側に位置するマグネット７４を配して該外ケース７２に対して出し入れ自在とした内ケース７３とで構成されているので、スラッジ１２を回収する場合には、吐出口２１から研磨液を回収した後に、スラッジ捕捉装置７０のフタ体７６をあけて、マグネット７４を配した内ケース７３を引き上げると、スラッジ１２からマグネット７４が離れて、スラッジ１２は下方に落下し、これによりスラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項１２に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、槽本体１９の排出管２７の下端に開閉自在なバルブ１０を設け、前記内ケース７３を前記外ケース７２から前記フタ体７６をあけて引き出して該内ケース７３に配しているマグネット７４を該外ケース７２から引き離すと共に、前記バルブ１０を開状態として前記排出管２７からスラッジ１２を排出して、該スラッジ１２を回収するようにしているので、スラッジ１２からマグネット７４が離れて、スラッジ１２は下方に落下し、これによりスラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項１３に記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置によれば、槽本体１９の外周面に配されているマグネットを槽本体１９から引き離すと共に、前記バルブ１０を開状態として前記排出管２７からスラッジ１２を排出して、該スラッジ１２を回収するようにしているので、スラッジ１２から槽本体１９の外周面に配されているマグネットが離れて、スラッジ１２は下方に落下し、これによりスラッジ１２を容易に回収することができる。

請求項１４に記載のバレル研磨液濾過システムによれば、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１と、前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んでいる研磨液が貯留される第１貯留槽３と、前記第１貯留槽３から前記スラッジ１２を含んでいる研磨液が投入され、前記請求項１〜請求項４、請求項６〜請求項１３のいずれかで構成される研磨液回収装置５と、前記研磨液回収装置５から回収した研磨液に含まれている前記スラッジ１２を更に捕捉する濾過装置１４とからなり、前記濾過装置１４を介して前記スラッジ１２を除去した研磨液を前記バレル研磨機１へ投入する研磨液として再使用するようにしているので、ほとんどのスラッジ１２を研磨液回収装置５にて捕捉しており、そのため、研磨液回収装置５にて除去できなかったスラッジ１２を捕捉する濾過装置１４では、該濾過装置１４の捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、濾過装置１４のフィルタの交換作業を少なくすることができる。そのため、バレル研磨の作業効率を向上させることができ、バレル研磨の低コスト化を図ることができ、また、研磨液回収装置５及び濾過装置１４にて回収して濾過した研磨液を再使用することで、研磨液を廃棄せず、研磨液の長寿命化を図ることができる。

請求項１５に記載のバレル研磨液濾過システムによれば、バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機１と、前記バレル研磨機１からのスラッジ１２を含んでいる研磨液が貯留される第１貯留槽３と、前記第１貯留槽３から前記スラッジ１２を含んでいる研磨液が投入され、前記請求項５で構成される研磨液回収装置５とからなり、前記研磨液回収装置５にてスラッジ１２を除去した研磨液を前記バレル研磨機１へ投入する研磨液として再使用するようにしているので、ほとんどのスラッジ１２を研磨液回収装置５にて捕捉しており、そのため、研磨液回収装置５にて除去できなかったスラッジ１２を捕捉する濾過装置１４では、該濾過装置１４の捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、濾過装置１４のフィルタの交換作業を少なくすることができる。そのため、バレル研磨の作業効率を向上させることができ、バレル研磨の低コスト化を図ることができ、また、研磨液回収装置５及び濾過装置１４にて回収して濾過した研磨液を再使用することで、研磨液を廃棄せず、研磨液の長寿命化を図ることができる。
また、濾過装置１４を研磨液回収装置５内に配設していることで、システム全体を小型化することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明のバレル研磨液濾過システムのシステム構成図を示しており、バレル研磨機１のバレル内に処理対象部材、研磨材及び研磨液を投入し、バレルを回転させることで、処理対象部材の表面仕上げが行なわれる。ここで、本発明に用いられる処理対象部材はマグネットにより吸着可能な磁性体の場合である。

上記バレル研磨機１から研磨加工後に放出される処理対象部材、研磨材及び研磨液を分別パン２にて受けることで、処理対象部材の研磨加工により生じたスラッジを含んでいる研磨液が第１貯留槽３に貯留される。
この第１貯留槽３内のスラッジを含んでいる研磨液はポンプ４により第２貯留槽５に送給され、この第２貯留槽５にて研磨液に混じっているほとんどのスラッジをマグネット６、７にて捕捉するようにしている。この第２貯留槽５にてスラッジが除去された研磨液を回収して後段に送るようになっている。なお、この第２貯留槽５が本発明における研磨液回収装置である。

略円筒状の第２貯留槽５の下部にはバルブ１０が介装されており、通常はバルブ１０は閉状態となっていて、マグネット６、７にて捕捉したスラッジを排出する場合にバルブ１０を開状態にして、下方の容器１１へスラッジ１２を排出するようにしている。
第２貯留槽５にて貯留されている研磨液はポンプ１３にて濾過装置１４へ送給され、この濾過装置１４にて第２貯留槽５にて除去できなかったスラッジ１２を捕捉して、濾過した研磨液は第３貯留槽１５に送られる。そして、この第３貯留槽１５から濾過された研磨液がポンプ１６によりバレル研磨機１へ送られて、このバレル研磨機１にて研磨液が再使用される。なお、上記第３貯留槽１５は無くても良い。

図２は第２貯留槽５の構成図を示し、第２貯留槽５の外殻を構成している槽本体１９の上部に開口した投入口２０からスラッジを含んでいる研磨液が投入され、槽本体１９の下部に開口した吐出口２１からほとんどのスラッジ１２を除去した研磨液が吐出（回収）され、濾過装置１４へ送られる。
槽本体１９の下部は略漏斗状に形成され、さらに下端部は細径に形成された排出管２７とし、この排出管２７に、バルブ１０が介設されている。

槽本体１９の吐出口２１より下方であって、該槽本体１９の外周面には略全周にわたってマグネット６が配設されており、このマグネット６は槽本体１９の外周面に対して該槽本体１９の半径方向に接離自在に配設されている。また、バルブ１０より上方であって槽本体１９の細径部分の排出管２７の外周面にも略全周にわたってマグネット７が配設されており、このマグネット７も上記マグネット６と同様に槽本体１９の外周面に対して該槽本体１９の半径方向に接離自在に配設されている。

次に、図３〜図６により上記マグネット６、７を用いたスラッジ捕捉装置３０について説明する。なお、上下のマグネット６、７を用いたスラッジ捕捉装置３０は、マグネット６、７の大きさが異なるだけで、基本的な同じ構成なので、例えば、上部のマグネット６を用いたスラッジ捕捉装置３０を説明する。

図３及び図４に示すように、本実施形態では円弧状に形成したスラッジ捕捉装置３０を３つ第３貯留槽１５の槽本体１９の外周側に配置している。なお、このスラッジ捕捉装置３０の数は円弧方向の長さに応じて任意に設定できるものであり、３つに限定されるものではない。
第２貯留槽５の外側にスラッジ捕捉装置３０を配置するための支持台２３が設けられており、この支持台２３は、３本ないし４本の脚部２４と、この脚部２４の上縁に溶接にて固着されている略円板リング状の支持板２５とで構成されている。そして、支持板２５の上面に３等分する形で３つのスラッジ捕捉装置３０が固定されている。

なお、マグネット７を用いたスラッジ捕捉装置３０が配置される支持台２３も同様なので、大きさが異なるものの同じ番号を付している。

スラッジ捕捉装置３０は、図５に示すように、マグネット６を固定しているケーシング３１と、このケーシング３１を槽本体１９の半径方向に操作してマグネット６を槽本体１９の外周面に対して接離自在に動かすための機構部３２とで構成されている。
上記機構部３２は、支持台２３の支持板２５に固定されているベース３３と、このベース３３の一方の端部に突条に形成されている軸支部３４と、この軸支部３４の上部に軸３５により回動自在に一方の端部が連結されている第１リンク３６と、この第１リンク３６の他方の上部に下部が連結固定されている操作レバー３７と、第１リンク３６の他方の下部に一端側が軸３８により回動自在に連結されている略く字型の第２リンク３９と、この第２リンク３９の他端と軸４０により回動自在に一端が連結されているロッド４１等で構成されている。

上記ロッド４１は、ベース３３の上面の他端に設けられているガイド部４２の挿通孔４３に挿通されており、該ロッド４１はガイド部４２に対して進退自在となっている。また、ロッド４１の他端にはねじ穴４４が螺刻されていて、このねじ穴４４にケーシング３１の内側からのボルト４５が螺着されることで、機構部３２とケーシング３１とが連結固定される。
ケーシング３１の全体の形状は、図３に示すように円弧状に形成されており、断面は略コ字型に形成されている。ケーシング３１の槽本体１９側は開口されており、マグネット６の面がケーシング３１より槽本体１９側に突出するように配置されている。

ケーシング３１の内側に複数個のマグネット６が配置されており、また、本実施形態では、上下２段にてマグネット６が配置されているが、マグネット６の個数等は特に限定されるものではない。基本的には、槽本体１９の外周面の周方向に沿って列設される構成であれば良い。
図５は、操作レバー３７を槽本体１９側に倒すことで、ロッド４１にてケーシング３１が槽本体１９側に移動して、マグネット６の先端面を槽本体１９の外周面に接触させている状態を示している。槽本体１９は非磁性体の例えばオーステナイト系のステンレス、アルミ製等で構成されていて、この状態では多数の小さな磁性体のスラッジ１２は槽本体１９を介してマグネット６に吸引され、スラッジ１２は槽本体１９の内周面に吸着されることになる。また、槽本体１９は非磁性体なので、操作レバー３７を操作してマグネット６を槽本体１９から容易に引き離すことができるようになっている。

次に、スラッジ捕捉装置３０の操作レバー３７を操作して、マグネット６を槽本体１９から引き離す場合の動作について説明する。先ず、図５に示す操作レバー３７を左方に引き操作する。操作レバー３７を引き操作すると、操作レバー３７及び第１リンク３６は、軸３５を軸として反時計方向に回動する。
第１リンク３６が回動すると、この第１リンク３６に設けられている軸３８は円弧を描きながら反時計方向に軌跡を描く。軸３８が円弧の軌跡を描くことで、この軸３８と回動自在に連結している第２リンク３９の一端側が軸３８と同様に反時計方向の円弧の軌跡を描く。

第２リンク３９の他端と軸４０にて回動自在に連結しているロッド４１は、ガイド部４２によりロッド４１の軸方向に後退するだけであり、そのため、第２リンク３９の軸４０側の他端は円弧を描くことなく、ロッド４１と共に、後退させられる。操作レバー３７の引き操作を終えると図６に示すような状態となり、第２リンク３９が軸３５の上に位置することになるが、第２リンク３９は、略く字型に形成しているために、その屈曲部分が軸３５の上にきて、第２リンク３９が軸３５に接触することはない。

このように操作レバー３７の引き操作によりロッド４１が操作レバー３７側に移動（後退）させられることで、ロッド４１と連結しているケーシング３１も後退させられる。ケーシング３１が後退することで、マグネット６は槽本体１９から引き離され、マグネット６に吸引させられていたスラッジ１２は槽本体１９の下部へと落下することになる。

次に、システム全体の動作について説明する。図１に示すように、先ず、最初は新しい研磨液をバレル研磨機１内に処理対象部材及び研磨材と共に入れて、バレルを回転させて処理対象部材の表面仕上げを行なう。バレル研磨機１によるバレル研磨が終わると、処理対象部材、研磨材及びスラッジを含んでいる研磨液を分別パン２に放出し、分別パン２からはスラッジを含んでいる研磨液のみが第１貯留槽３に投入される。

次に、第１貯留槽３内に貯留されているスラッジを含んでいる研磨液はポンプ４により第２貯留槽５に投入されて、該第２貯留槽５にてスラッジ１２がマグネット６、７にて吸着される。そして、第２貯留槽５内の研磨液は、ポンプ１３にて濾過装置１４へ送られる。さらに濾過装置１４を介した研磨液は第３貯留槽１５に送られ、さらに、スラッジ１２が除去された研磨液は第３貯留槽１５からポンプ１６によりバレル研磨機１へと送られる。

第２貯留槽５においては、図７に示すように、スラッジを含んでいる研磨液は投入口２０から槽本体１９内に投入され、投入された研磨液は槽本体１９の底部付近まで勢い良く流れていき、槽本体１９内を流動しながらスラッジ１２が除去されて吐出口２１より研磨液は吐出（回収）される。
そして、槽本体１９内では、研磨液内のスラッジ１２は上下のマグネット６、７にて吸着される。マグネット６、７にて吸着されなかったスラッジ１２は研磨液と共に濾過装置１４へ送られる。

第２貯留槽５のスラッジ捕捉装置３０からスラッジ１２を回収する場合は、研磨液をすべてバレル研磨機１へ送給した後に、システムのポンプ４、１３、１６を停止させ、スラッジ捕捉装置３０の操作レバー３７を操作してマグネット６、７を槽本体１９の外周面から引き離すことで、スラッジ１２への吸引力が無くなってスラッジ１２は落下する。そして、槽本体１９内の下部には、スラッジ１２及び研磨液が貯留されており、バルブ１０を開にすることで、槽本体１９からスラッジ１２及び研磨液は容器１１内に落下し、スラッジ１２を容易に回収することができる。

一方、濾過装置１４は、表面に濾布を巻回したフィルタで構成されており、第２貯留槽５にて除去できなかったスラッジ１２を捕捉する。スラッジ１２は濾布を用いたフィルタではない第２貯留槽５のマグネット６、７にてかなりの量が捕捉されているので、濾過装置１４では、該濾過装置（フィルタ）１４での捕捉能力が一杯になるまで長時間使用し続けることができる。
そのため、濾過装置１４のフィルタの交換を頻繁に行なう必要がなく、フィルタの交換時期を遅くすることができる。そのため、フィルタの交換作業を少なくでき、バレル研磨の作業効率を向上させることができる。

また、濾過装置１４にて濾過された研磨液は、バレル研磨機１へ循環されて再使用されるので、研磨液を廃棄する必要はなく、何回も使用できて、研磨液の長寿命化を図ることができる。また、濾過装置１４のフィルタの交換時期を遅らせることができることや、研磨液の再使用により、全体としてバレル研磨の低コスト化を図ることができる。
なお、本実施形態では上下にマグネット６、７を設けていたが、上下いずれかのマグネット６、７のみでも良いが、上下にマグネット６、７を設ける方が好適例である。

（第２の実施の形態）
図８は第２の実施形態を示し、第２貯留槽５内に濾過装置（フィルタ）１４を設けたものである。本実施形態では、投入口２０を第２貯留槽５の槽本体１９の下部に設け、吐出口５１は濾過装置（フィルタ）１４からのダクト５０に設けている。
本実施形態では、槽本体１９内に投入された研磨液に含まれているスラッジ１２は上記実施形態と同様にマグネット６、７にて捕捉され、スラッジがかなり除去された研磨液はフィルタ１４の表面から内部へ吸い込まれ、この際にスラッジ１２はフィルタ１４にて捕捉される。そして、フィルタ１４の内部と連通しているダクト５０から外部へとスラッジ１２が除去された研磨液はバレル研磨機１へと送給されて再使用される。

本実施形態においては、濾過装置（フィルタ）１４を第２貯留槽５内に配設していることで、システム全体を小型化することができ、システム全体の設置スペースを小さくすることができる。
また、槽本体１９内にフィルタ１４を配設している場合でも、槽本体１９内でマグネットにより多くのスラッジ１２を捕捉でき、マグネットで捕捉できなかったスラッジ１２を該フィルタ１４で捕捉する場合に該フィルタ１４の捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、フィルタ１４の交換作業を少なくすることができる。

（第３の実施の形態）
図９は第２貯留槽５の第３の実施形態を示し、上記の実施形態では第２貯留槽５の槽本体１９の下部の形状を略漏斗状としていたが、本実施形態では、下部の形状を一方側を直線状の直線部６１とし、他方側を傾斜させたテーパー部６２としている。
この槽本体１９の下部の直線部６１及びテーパー部６２を含めた断面の形状は円形であり、下部にいくほど小径となっている。また、テーパー部６２の角度θは水平面に４５°より大きく設定している。

次に、直線部６１を設けた理由について説明する。図１０は上記の実施形態の場合を示し、槽本体１９の下部が漏斗状であり、両側のテーパー部６２の角度が同じ場合である。この場合、マグネット７にて多数のスラッジ１２が吸着されて、スラッジ１２により内部の開口部分６３が塞がれる形となり、マグネット７を引き離しても、互いのスラッジ１２が当接して下方に落下しない状態が発生する恐れがある。

そこで、本実施形態のように槽本体１９の下部にテーパー部６２に対向して直線部６１を設けていることで、図１１に示すように、マグネット７を引き離した場合、スラッジ１２は直線部６１により必ず下方に落下する。これにより、スラッジ１２が槽本体１９の下部の開口部分６３を詰まったスラッジ１２により塞がれるということもなく、槽本体１９の下部に多くのスラッジ１２が溜まっていても、直線部６１によりスムーズにスラッジ１２を落下させることができるものであり、すべてのスラッジ１２を容器１１に落下させて、スラッジ１２を容易に回収することができるものである。

（第４の実施の形態）
図１２は第４の実施形態を示し、第２貯留槽５の槽本体１９の外周面の略全面にわたってマグネット８を該槽本体１９の外周面に対して接離自在に配設したものである。先の実施形態では、槽本体１９の上下方向の寸法に対してマグネット６、７の上下方向の長さが短く、スラッジ１２が捕捉されにくいことが考えられる。
そこで、マグネット６、７が配設されている以外の箇所にもマグネット８を設けることで、このマグネット８により槽本体１９の内面の略全体にわたってスラッジ１２を吸着させるようにしたものである。

上記マグネット８を備えたスラッジ捕捉装置は、マグネット６、７を備えたスラッジ捕捉装置３０と基本的には同じ構成であり、マグネット８の大きさが異なるだけである。

このように、槽本体１９の外周面の上下方向に３つのマグネット６、７、８を設けることで、３つのマグネット６、７、８の合計の上下方向の寸法は、少なくとも槽本体１９の上下方向の寸法の半分以上となり、先の実施形態に比べて研磨液に混じっているスラッジ１２を効率良くマグネット６、７、８に吸着させることができ、且つほとんどのスラッジ１２を吸着させることができる。
そのため、第２貯留槽５の下流側の濾過装置１４におけるスラッジ１２の捕捉能力が一杯になるまでの時間が遅くなり、濾過装置１４のフィルタの交換時期を更に遅らせることができ、バレル研磨機１でのバレル研磨の作業効率を一層向上させることができる。

各マグネット６、７、８に吸着されて槽本体１９の内周面に吸引されているスラッジ１２を回収する場合には、マグネット６、７、８を槽本体１９の外周面から引き離すと共に、バルブ１０を開状態とすることで、槽本体１９の内周面に吸引されていたスラッジ１２が落下し、容器１１内にスラッジ１２を容易に回収することができる。

（第５の実施の形態）
次に、第５の実施形態を図１３及び図１４により説明する。本実施形態では、研磨液に混じっているスラッジ１２を捕捉するスラッジ捕捉装置７０を第２貯留槽５の槽本体１９内に配設したものである。

このスラッジ捕捉装置７０は、槽本体１９内の略中央部分に複数本の支持片７１により中空に浮かぶ形で配置されており、外部と密閉可能とした略円筒状の外ケース７２と、この外ケース７２内に配置される略円筒状の内ケース７３と、この内ケース７３の外周面に配置されるマグネット７４等で構成されている。
上記外ケース７２は、底板７５により底部が密閉されており、また、外ケース７２の上面に設けた開閉自在なフタ体７６が設けられており、このフタ体７６を閉じることで、外ケース７２内は槽本体１９内とは密閉されるようになっている。なお、外ケース７２は非磁性体、例えばオーステナイト系のステンレス、アルミ製等で形成されている。

なお、スラッジ捕捉装置７０の外殻を構成している外ケース７２の外面と、槽本体１９の内面との間を上記支持片７１を溶接等の手段にて架橋させていることで、スラッジ捕捉装置７０を槽本体１９の中空部分に配置している。

スラッジ捕捉装置７０の内ケース７３の外周面には、略円筒状のマグネット７４が固定されており、また内ケース７３の内側には、平板７７が架橋されていて、この平板７７に孔７８が穿孔されている。マグネット７４を装着した内ケース７３は、外ケース７２に対して上下方向に出し入れ自在に納装されており、外ケース７２のフタ体７６をあけて内ケース７３を上方へ抜くことができるようになっている。

それで、外ケース７２の内径より、マグネット７４の外径は若干小さく設定されており、内ケース７３の出し入れが容易にできるようになっている。また、内ケース７３の外周面に固定されるマグネット７４は、上述したように略円筒状のものでも良く、複数のマグネット片を内ケース７３の外周面に配置して、全体の形状を略円筒状に形成するようにしても良い。

なお、マグネット７４を装着した内ケース７３の出し入れは、平板７７に穿孔している孔７８に上方から垂下したフック等を引っ掛け係止して、手動あるいは電動にて内ケース７３を昇降させることで、内ケース７３の出し入れが行なわれる。
また、第２貯留槽５の槽本体１９の上部のフタ体２２も開閉自在に設けられており、このフタ体２２を開けて内ケース７３の出し入れを行なうようになっている。

第２貯留槽５の槽本体１９の投入口２０からスラッジを含んでいる研磨液が投入され、その勢いで研磨液は槽本体１９内で流動し、その際にスラッジ１２はマグネット７４の吸引力により外ケース７２の外面側に吸着される。
ここで、マグネット７４の直径は、槽本体１９の直径の少なくとも半分はあり、また、マグネット７４の上下方向の寸法も槽本体１９の上下方向の寸法の約半分程度あるため、研磨液に混じっているスラッジ１２のほとんどを捕捉することができる。

そのため、第２貯留槽５の下流側の濾過装置１４におけるスラッジ１２の捕捉能力が一杯になるまでの時間が遅くなり、濾過装置１４のフィルタの交換時期を更に遅らせることができ、バレル研磨機１でのバレル研磨の作業効率を一層向上させることができる。

また、マグネット７４に吸引されて外ケース７２の外周面に吸着されているスラッジ１２を回収する場合には、研磨液の回収（吐出）後、槽本体１９のフタ体２２とスラッジ捕捉装置７０の外ケース７２のフタ体７６とを開けて、フックを孔７８に係止して内ケース７３を引き上げると共に、バルブ１０を開状態とすることで、外ケース７２の外周面に吸引されていたスラッジ１２は落下し、容器１１内にスラッジ１２を容易に回収することができる。

（第６の実施の形態）
図１５は第６の実施形態を示し、図１３に示す実施形態に先の実施形態であるマグネット６、７を付加した場合である。また、マグネット６、７の内いずれか一方を設けるようにしても良い。
本実施形態では、マグネット６、７を付加した分だけ図１３の場合と比べて多くのスラッジ１２を捕捉することができる。

（第７の実施の形態）
図１６は第７の実施形態を示し、図１５の構成にマグネット８を付加した場合である。かかる場合、マグネット８にて槽本体１９の内周面にスラッジ１２を吸引させると共に、マグネット７４により外ケース７２の外周面にスラッジ１２を吸引させることができる。また、マグネット６、７にてスラッジ１２を吸引させることができる。

このようにして、槽本体１９の内部の全体にわたって研磨液に混じっているスラッジ１２をほとんど捕捉することができ、そのため、第２貯留槽５の下流側の濾過装置１４におけるスラッジ１２の捕捉能力が一杯になるまでの時間が一層遅くなり、濾過装置１４のフィルタの交換時期を更に一層遅らせることができ、バレル研磨機１でのバレル研磨の作業効率を一層向上させることができる。

なお、図１６において、マグネット６、７の両方を除去しても良く、また、マグネット６、７のいずれか一方のみを設けるようにしても良い。

ここで、図１２に示す実施形態において、図８に示すような第２貯留槽５の槽本体１９内に濾過装置１４を配設するようにしても良い。
また、図１２〜図１６において、第２貯留槽５の槽本体１９の下部を漏斗状ではなく、図９に示すような直線部６１とテーパー部６２とで構成するようにしても良い。もちろん、各実施形態の任意の組み合わせが可能である。

このように、図１に示すバレル研磨液濾過システムでは、ほとんどのスラッジ１２を研磨液回収装置である第２貯留槽５にて捕捉しており、そのため、第２貯留槽５にて除去できなかったスラッジ１２を捕捉する濾過装置１４では、該濾過装置１４の捕捉能力が一杯になるまでの時期を遅らせることができ、濾過装置１４のフィルタの交換作業を少なくすることができる。そのため、バレル研磨の作業効率を向上させることができ、バレル研磨の低コスト化を図ることができ、また、第２貯留槽５及び濾過装置１４にて回収して濾過した研磨液を再使用することで、研磨液を廃棄せず、研磨液の長寿命化を図ることができる。
また、濾過装置１４を第２貯留槽５内に配設した場合でも同様の効果を奏することができ、特に、濾過装置１４を第２貯留槽５内に配設した場合は、システム全体を小型化することができる。

本発明の第１の実施の形態におけるバレル研磨液濾過システムのシステム構成図である。 本発明の第１の実施の形態における第２貯留槽の構成図である。 本発明の第１の実施の形態におけるスラッジ捕捉装置の概略平面図である。 本発明の第１の実施の形態におけるスラッジ捕捉装置の概略正面図である。 本発明の第１の実施の形態におけるスラッジ捕捉装置を操作してマグネットを槽本体に接触させた状態を示す図である。 本発明の第１の実施の形態におけるスラッジ捕捉装置を操作してマグネットを槽本体から引き離した状態を示す図である。 本発明の第１の実施の形態における第２貯留槽における動作説明図である。 本発明の第２の実施の形態における第２貯留槽の構成図である。 本発明の第３の実施の形態における第２貯留槽の構成図である。 本発明の第３の実施の形態における動作説明図である。 本発明の第３の実施の形態における動作説明図である。 本発明の第４の実施の形態における第２貯留槽の構成図である。 本発明の第５の実施の形態における第２貯留槽の構成図である。 本発明の第５の実施の形態における第２貯留槽の横断面図である。 本発明の第６の実施の形態における第２貯留槽の構成図である。 本発明の第７の実施の形態における第２貯留槽の構成図である。

１ バレル研磨機
２ 分別パン
３ 第１貯留槽
５ 第２貯留槽（研磨液回収装置）
６ マグネット
７ マグネット
８ マグネット
１０ バルブ
１２ スラッジ
１４ 濾過装置（フィルタ）
１５ 第３貯留槽
１９ 槽本体
２０ 投入口
２１ 吐出口
２７ 排出管
３０ スラッジ捕捉装置
６１ 直線部
６２ テーパー部
７０ スラッジ捕捉装置
７２ 外ケース
７３ 内ケース
７４ マグネット
７６ フタ体

Claims (18)

1. バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機（１）が設けられていて、前記バレル研磨機（１）からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
   前記バレル研磨機（１）からのスラッジ（１２）を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体（１９）と、
   前記槽本体（１９）の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体（１９）の内周面側に前記スラッジ（１２）を吸引し、該槽本体（１９）の外周面に対して接離自在なマグネットと
   で構成されていることを特徴とするバレル研磨機用の研磨液回収装置。
2. バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機（１）が設けられていて、前記バレル研磨機（１）からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
   前記バレル研磨機（１）からのスラッジ（１２）を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体（１９）と、
   前記槽本体（１９）の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体（１９）の内周面側に前記スラッジ（１２）を吸引し、該槽本体（１９）の外周面に対して接離自在なマグネット（６）（７）と
   を備え、
   前記槽本体（１９）の上部には前記研磨液が投入される投入口（２０）が設けられ、該槽本体（１９）の下部には前記スラッジ（１２）が除去された研磨液が回収される吐出口（２１）が設けられ、
   前記槽本体（１９）の下端は常時は閉塞されていて、前記マグネット（６）（７）にて捕捉したスラッジ（１２）排出用の排出管（２７）が形成されており、
   前記吐出口（２１）より下方の前記槽本体（１９）の外周面と、前記排出管（２７）の外周面との少なく共一方にマグネット（６）（７）を接離自在に配設している
   ことを特徴とするバレル研磨機用の研磨液回収装置。
3. バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機（１）が設けられていて、前記バレル研磨機（１）からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
   前記バレル研磨機（１）からのスラッジ（１２）を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体（１９）と、
   前記槽本体（１９）の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体（１９）の内周面側に前記スラッジ（１２）を吸引し、該槽本体（１９）の外周面に対して接離自在なマグネット（８）と
   を備え、
   前記槽本体（１９）の上部には前記研磨液が投入される投入口（２０）が設けられ、該槽本体（１９）の下部には前記スラッジ（１２）が除去された研磨液が回収される吐出口（２１）が設けられ、
   前記投入口（２０）と吐出口（２１）との間の前記槽本体（１９）の外周面に前記マグネット（８）を接離自在に配設している
   ことを特徴とするバレル研磨機用の研磨液回収装置。
4. バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機（１）が設けられていて、前記バレル研磨機（１）からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
   前記バレル研磨機（１）からのスラッジ（１２）を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体（１９）と、
   前記槽本体（１９）の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体（１９）の内周面側に前記スラッジ（１２）を吸引し、該槽本体（１９）の外周面に対して接離自在なマグネット（６）（７）（８）と
   を備え、
   前記槽本体（１９）の下端は常時は閉塞されていて、前記マグネット（６）（７）（８）にて捕捉したスラッジ（１２）排出用の排出管（２７）が形成されており、
   前記投入口（２０）と吐出口（２１）との間の前記槽本体（１９）の外周面に前記マグネット（８）を接離自在に配設し、
   前記吐出口（２１）より下方の前記槽本体（１９）の外周面と、前記排出管（２７）の外周面との少なく共一方にマグネット（６）（７）を接離自在に配設している
   ことを特徴とするバレル研磨機用の研磨液回収装置。
5. 前記槽本体（１９）内にマグネットにて捕捉されなかったスラッジ（１２）を捕捉するためのフィルタ（１４）を配設していることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置。
6. 前記槽本体（１９）の排出管（２７）の下端に開閉自在なバルブ（１０）を設け、前記マグネットを槽本体（１９）から引き離すと共に、前記バルブ（１０）を開状態として前記排出管（２７）からスラッジ（１２）を排出して、該スラッジ（１２）を回収するようにしていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置。
7. 前記槽本体（１９）の下部の一方側を直線状とした直線部（６１）を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部（６２）を形成していることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置。
8. 前記槽本体（１９）内にマグネットにて捕捉されなかったスラッジ（１２）を捕捉するためのフィルタ（１４）を配設し、
   前記槽本体（１９）の下部の一方側を直線状とした直線部（６１）を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部（６２）を形成していることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置。
9. バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機（１）が設けられていて、前記バレル研磨機（１）からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
   前記バレル研磨機（１）からのスラッジ（１２）を含んだ研磨液が投入される槽本体（１９）と、
   前記槽本体（１９）内に配設され、前記スラッジ（１２）を吸引するマグネット（７４）を備えたスラッジ捕捉装置（７０）と
   を備えていることを特徴とするバレル研磨機用の研磨液回収装置。
10. バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機（１）が設けられていて、前記バレル研磨機（１）からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
    前記バレル研磨機（１）からのスラッジ（１２）を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体（１９）と、
    前記槽本体（１９）内に配設され、前記スラッジ（１２）を吸引するマグネット（７４）を備えたスラッジ捕捉装置（７０）と、
    前記槽本体（１９）の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体（１９）の内周面側に前記スラッジ（１２）を吸引し、該槽本体（１９）の外周面に対して接離自在なマグネット（６）（７）と
    を備え、
    前記槽本体（１９）の上部には前記研磨液が投入される投入口（２０）が設けられ、該槽本体（１９）の下部には前記スラッジ（１２）が除去された研磨液が回収される吐出口（２１）が設けられ、
    前記槽本体（１９）の下端は常時は閉塞されていて、前記マグネット（６）（７）にて捕捉したスラッジ（１２）排出用の排出管（２７）が形成されており、
    前記吐出口（２１）より下方の前記槽本体（１９）の外周面と、前記排出管（２７）の外周面との少なく共一方にマグネット（６）（７）を接離自在に配設している
    ことを特徴とするバレル研磨機用の研磨液回収装置。
11. バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機（１）が設けられていて、前記バレル研磨機（１）からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
    前記バレル研磨機（１）からのスラッジ（１２）を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体（１９）と、
    前記槽本体（１９）内に配設され、前記スラッジ（１２）を吸引するマグネット（７４）を備えたスラッジ捕捉装置（７０）と、
    前記槽本体（１９）の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体（１９）の内周面側に前記スラッジ（１２）を吸引し、該槽本体（１９）の外周面に対して接離自在なマグネット（８）と
    を備え、
    前記槽本体（１９）の上部には前記研磨液が投入される投入口（２０）が設けられ、該槽本体（１９）の下部には前記スラッジ（１２）が除去された研磨液が回収される吐出口（２１）が設けられ、
    前記投入口（２０）と吐出口（２１）との間の前記槽本体（１９）の外周面に前記マグネット（８）を接離自在に配設している
    ことを特徴とするバレル研磨機用の研磨液回収装置。
12. バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機（１）が設けられていて、前記バレル研磨機（１）からの前記研磨液を回収するバレル研磨機用の研磨液回収装置であって、
    前記バレル研磨機（１）からのスラッジ（１２）を含んだ研磨液が投入され、非磁性体からなる槽本体（１９）と、
    前記槽本体（１９）内に配設され、前記スラッジ（１２）を吸引するマグネット（７４）を備えたスラッジ捕捉装置（７０）と、
    前記槽本体（１９）の外周面の略全周にわたって配置されて、該槽本体（１９）の内周面側に前記スラッジ（１２）を吸引し、該槽本体（１９）の外周面に対して接離自在なマグネット（６）（７）（８）と
    を備え、
    前記槽本体（１９）の下端は常時は閉塞されていて、前記マグネット（６）（７）（８）にて捕捉したスラッジ（１２）排出用の排出管（２７）が形成されており、
    前記投入口（２０）と吐出口（２１）との間の前記槽本体（１９）の外周面に前記マグネット（８）を接離自在に配設し、
    前記吐出口（２１）より下方の前記槽本体（１９）の外周面と、前記排出管（２７）の外周面との少なく共一方にマグネット（６）（７）を接離自在に配設している
    ことを特徴とするバレル研磨機用の研磨液回収装置。
13. 前記スラッジ捕捉装置（７０）は、
    非磁性体からなり、底部が閉塞され上面に開閉自在なフタ体（７６）を有し、密閉空間とした外ケース（７２）と、
    前記外ケース（７２）の内面側に位置するマグネット（７４）を配した内ケース（７３）と
    で構成されていることを特徴とする請求項９〜請求項１２のいずれかに記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置。
14. 前記槽本体（１９）の排出管（２７）の下端に開閉自在なバルブ（１０）を設け、前記マグネットを槽本体（１９）から引き離すと共に、前記バルブ（１０）を開状態として前記排出管（２７）からスラッジ（１２）を排出して、該スラッジ（１２）を回収するようにしていることを特徴とする請求項９〜請求項１２のいずれかに記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置。
15. 前記槽本体（１９）の下部の一方側を直線状とした直線部（６１）を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部（６２）を形成していることを特徴とする請求項９〜請求項１２のいずれかに記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置。
16. 前記スラッジ捕捉装置（７０）は、
    非磁性体からなり、底部が閉塞され上面に開閉自在なフタ体（７６）を有し、密閉空間とした外ケース（７２）と、
    前記外ケース（７２）の内面側に位置するマグネット（７４）を配した内ケース（７３）と
    で構成され、
    前記槽本体（１９）の下部の一方側を直線状とした直線部（６１）を形成すると共に、他方側は下方に傾斜させたテーパー部（６２）を形成していることを特徴とする請求項９〜請求項１２のいずれかに記載のバレル研磨機用の研磨液回収装置。
17. バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機（１）と、
    前記バレル研磨機（１）からのスラッジ（１２）を含んでいる研磨液が貯留される第１貯留槽（３）と、
    前記第１貯留槽（３）から前記スラッジ（１２）を含んでいる研磨液が投入され、前記請求項１〜請求項４、請求項６、請求項７、請求項９〜請求項１６のいずれかで構成される研磨液回収装置（５）と、
    前記研磨液回収装置（５）から回収した研磨液に含まれている前記スラッジ（１２）を更に捕捉する濾過装置１４とからなり、
    前記濾過装置１４を介して前記スラッジ（１２）を除去した研磨液を前記バレル研磨機（１）へ投入する研磨液として再使用していることを特徴とするバレル研磨液濾過システム。
18. バレル内に磁性体の処理対象部材、研磨材及び研磨液が投入されて前記バレルを回転させて前記処理対象部材の表面仕上げを行なうバレル研磨機（１）と、
    前記バレル研磨機（１）からのスラッジ（１２）を含んでいる研磨液が貯留される第１貯留槽（３）と、
    前記第１貯留槽（３）から前記スラッジ（１２）を含んでいる研磨液が投入され、前記請求項５または請求項８で構成される研磨液回収装置（５）とからなり、
    前記研磨液回収装置（５）にてスラッジ（１２）を除去した研磨液を前記バレル研磨機（１）へ投入する研磨液として再使用していることを特徴とするバレル研磨液濾過システム。

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