JP2010129806A - 電力用半導体装置および製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電力用の半導体素子43又は電力用の半導体モジュール13を冷却できる電力用半導体装置11であって、使用時に発熱する電力用の半導体素子43と、半導体素子43と接触する伝熱性のモジュール基板41とを有する電力用の半導体モジュール13と、モジュール基板41に熱伝導可能に固定された伝熱性の伝熱板15と、伝熱板15を挟持する溝部20を有し、伝熱板15から伝わる熱を放散する放熱板23とを備え、各溝部20は、側壁の少なくとも一方が伝熱板15とともに塑性変形をして接触する。
【選択図】図2
Description
図1から図3は、本発明の実施の形態1に係る電力用半導体装置を示す。図1は、実施の形態1の電力用半導体装置の一部を切り欠いて示す斜視図であり、図2は、同装置の側方断面図であり、図3は、同装置の平面図である。
Claims (7)
- 電力用の半導体素子又は電力用の半導体モジュールを冷却できる電力用半導体装置であって、
使用時に発熱する電力用の半導体素子と、上記半導体素子と接触する伝熱性のモジュール基板とを有する電力用の半導体モジュールと、
上記モジュール基板に熱伝導可能に固定された伝熱性の伝熱板と、
上記伝熱板を挟持する溝部を有し、伝熱板から伝わる熱を放散する放熱板とを備え、
上記溝部は、側壁の少なくとも一方が上記伝熱板とともに塑性変形をして接触することを特徴とする電力用半導体装置。 - 上記放熱板は、上記溝の近傍を上方から押圧することによって形成された窪み部を上記溝に沿って有することを特徴とする請求項1に記載の電力用半導体装置。
- 上記窪み部は、上記溝に沿って所定の間隔で複数設けられたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電力用半導体装置。
- 前記溝部の塑性変形した側壁は、上記溝部の開口近傍に塑性変形した部分を有し、上記溝部の底部近傍において塑性変形していない部分を有することを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 上記伝熱板は、少なくとも塑性変形を生じる部分の引張強さが350MPa以下である軟質材料からなることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 上記溝部が形成する溝の幅と伝熱板の厚みの差が0.05mm〜0.20mmであり、上記溝の深さが1.5〜3.0mmであることを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 使用時に発熱する電力用の半導体素子と、上記半導体素子と接触する伝熱性のモジュール基板とを有する電力用の半導体モジュールと、
上記モジュール基板に熱伝導可能に固定された伝熱性の伝熱板と、
上記伝熱板を挟持する溝部を有し、伝熱板から伝わる熱を放散する放熱板とを備える電力用半導体装置の製造方法であって、
上記溝部が有する溝に上記伝熱板を挿入するステップと、
上記伝熱板に挿入された上記溝部の側壁の少なくとも一方を塑性変形させるステップとを含み、
上記塑性変形させるステップにおいて、上記塑性変形した側壁は、上記伝熱板に接触し、さらに上記伝熱板を押圧して塑性変形させることを特徴とする電力用半導体装置の製造方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109712950A (zh) * | 2017-10-25 | 2019-05-03 | 松下知识产权经营株式会社 | 石墨散热器及其制造方法 |
WO2020137721A1 (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電力変換装置 |
JP2021518990A (ja) * | 2018-04-09 | 2021-08-05 | レイセオン カンパニー | 回路支持および冷却構造 |
CN114258215A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-03-29 | 苏州汇川控制技术有限公司 | 控制装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0794669A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Toshiba Corp | 半導体パッケ−ジモジュ−ル |
JPH1187574A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-30 | Samsung Electron Co Ltd | 垂直実装形半導体チップパッケージ及びそれを含むパッケージモジュール |
JP2003158227A (ja) * | 2000-10-25 | 2003-05-30 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ヒートシンク、その製造方法、および、押圧治具 |
JP2004158682A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Niwano:Kk | ヒートシンク |
JP2005064382A (ja) * | 2003-08-19 | 2005-03-10 | Denso Corp | 冷却器 |
JP2005184007A (ja) * | 2003-12-23 | 2005-07-07 | Samsung Electronics Co Ltd | 鉛直実装された半導体チップパッケージを有する半導体モジュール |
JP2006100379A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Kaneka Corp | ヒートシンク |
JP2006190972A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-07-20 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
-
2008
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0794669A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Toshiba Corp | 半導体パッケ−ジモジュ−ル |
JPH1187574A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-30 | Samsung Electron Co Ltd | 垂直実装形半導体チップパッケージ及びそれを含むパッケージモジュール |
JP2003158227A (ja) * | 2000-10-25 | 2003-05-30 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ヒートシンク、その製造方法、および、押圧治具 |
JP2004158682A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Niwano:Kk | ヒートシンク |
JP2005064382A (ja) * | 2003-08-19 | 2005-03-10 | Denso Corp | 冷却器 |
JP2005184007A (ja) * | 2003-12-23 | 2005-07-07 | Samsung Electronics Co Ltd | 鉛直実装された半導体チップパッケージを有する半導体モジュール |
JP2006100379A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Kaneka Corp | ヒートシンク |
JP2006190972A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-07-20 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109712950A (zh) * | 2017-10-25 | 2019-05-03 | 松下知识产权经营株式会社 | 石墨散热器及其制造方法 |
JP2021518990A (ja) * | 2018-04-09 | 2021-08-05 | レイセオン カンパニー | 回路支持および冷却構造 |
JP7072669B2 (ja) | 2018-04-09 | 2022-05-20 | レイセオン カンパニー | 回路支持および冷却構造 |
WO2020137721A1 (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電力変換装置 |
JPWO2020137721A1 (ja) * | 2018-12-26 | 2021-11-11 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電力変換装置 |
JP7233014B2 (ja) | 2018-12-26 | 2023-03-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電力変換装置 |
CN114258215A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-03-29 | 苏州汇川控制技术有限公司 | 控制装置 |
CN114258215B (zh) * | 2021-12-23 | 2024-02-23 | 苏州汇川控制技术有限公司 | 控制装置 |
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