JP2010121777A - 真空適用のための空気静力学的にガイドされたテーブル装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空適用のためのテーブル装置は空気静力学的軸受ユニットによりガイドされた移動テーブルとベースプレートを有する。軸受ユニット(10)が、軸受ユニットの作動に必要なガスを供給及び排出する供給ライン及び吸い込みラインに連結し、各場合に少なくとも1つの段を有する、吸い込みチャネルと真空に対してシールするシーリングギャップとを有するシーリング装置を具備する。テーブル装置の特徴として、軸受ユニットが少なくとも部分的に回り継手として構成され、移動テーブルを横にガイドするドライブ(5)によって作動されるプッシュロッド(4)が、それぞれの回り継手の回転部品(21)に連結し、プッシュロッドが中空であり、作動ガスを排出するための吸い込みラインの構成部品を構成する。
【選択図】図1
Description
図1に示されたテーブル装置1は、ベースプレート2、ベースプレート2にガスガイドされた移動テーブル3及び3つのプッシュロッド4を有するガイド・駆動装置を有し、プッシュロッド4は移動テーブル3に作用し、関連したドライブ5を有する。ドライブのモーターは詳細には図示されていない。ベースプレート2、移動テーブル3及び部分的にプッシュロッド4は、メインチャンバーとして指定される第一真空室6内に受容されるのに対し、ドライブ5は、第二室7として指定された第二真空室内に少なくとも部分的に配置される。3つの第二室はドライブ5の量に応じて設けられる。第二室7内の圧力は、メインチャンバー6の圧力より大気圧に近い。プッシュロッド4の端部は第二室7内に突出している。第二室7は、ガスを吸い出すための真空ポンプ(図示せず)に連結している。
2 ベースプレート
3 移動テーブル
4 プッシュロッド
5 ドライブ
6 第一真空室、メインチャンバー
7 第二真空室、第二室
8 フレーム構造
9 ステージプレート
10 空気静力学的軸受ユニット
11 予圧ユニット
12 吸い込みライン
13 平坦な空気静力学的軸受要素
14 ベースボディ
15 連結ポート
16,16’ 第一吸い込みチャネル
17,17’ 第二吸い込みチャネル
18,18’ 第一シーリング面、シーリングギャップ
19,19’ 第二シーリング面、シーリングギャップ
20 中央部
21 回転リング
22 環状の空気静力学的軸受要素
23 軸受ブシュ
24 中空セラミックパイプ
25 結合要素
26 内側ハウジング部品
27 外側ハウジング部品
28 摩擦ホイール装置
29 ドライブシャフト
30 摩擦ホイール
31 圧力要素
33 ギャップシール
34 ギャップシール
35 連結ボアホール
36 連結ボアホール
37 吸い込みチャネル
50 切欠
51 ラジアル玉軸受
52 玉軸受
53 ソリッドステートジョイント
55 シーリングギャップ
56 ギャップシール
57 シーリング要素
58 シーリング要素
59 吸い込みチャネル
60 開口
61 壁
Claims (17)
- 空気静力学的軸受ユニットによりガイドされた移動テーブルとベースプレートを有する真空適用のためのテーブル装置であって、
軸受ユニット(10)が、軸受ユニットの作動のために必要なガスを供給及び排出する供給ライン及び吸い込みラインに連結し、それぞれの場合に少なくとも1つの段を有するシーリング装置であって、吸い込みチャネルと真空に対してシールするシーリングギャップとを有するシーリング装置を具備したテーブル装置において、
空気静力学的軸受ユニット(10)は少なくとも部分的に回り継手として構成され、移動テーブルを横にガイドするためのドライブ(5)によって作動されるプッシュロッド(4)が、それぞれの回り継手の回転部品(21)に連結し、
プッシュロッド(4)は中空であり、作動ガスを排出するための吸い込みラインの構成部品を構成することを特徴とするテーブル装置。 - 空気静力学的軸受ユニット(10)を備えた移動テーブル(3)、ベースプレート(2)及びプッシュロッド(4)の一部が、第一真空室(6)内に受容され、それぞれのドライブ(5)は、第一真空室(6)と高めの圧力を有する第二真空室(7)の間に少なくとも部分的に配置されることを特徴とする請求項1に記載のテーブル装置。
- プッシュロッド(4)の自由端はそれぞれ、圧力に関して第一真空室(6)から分離された第二真空室(7)において終端することを特徴とする請求項2に記載のテーブル装置。
- 移動テーブル(3)は、回り継手として機能する空気静力学的軸受ユニット(10)が配置された捩じり剛性を有するフレーム構造(8)を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- 回り継手を有するそれぞれの空気静力学的軸受ユニット(10)の回転部品が、空気静力学的軸受要素(22,23)によって固定部品(14)に対して支持されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- 固定部品(14)は、軸断面がT型、好ましくはダブルのT型であり、回転部品は、軸部品として中央領域の回りに配置されたリングであって、空気静力学的軸受要素(22,23)によって固定部品(14)に対して少なくとも軸方向に、好ましくは軸方向と半径方向に支持された回転リング(21)であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- 空気静力学的軸受ユニット(10)のシーリング装置の吸い込みチャネル(16,17)は、パイプライン(12)により連結されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- 異なる圧力に対してシールするための二段シーリング装置では、2つのプッシュロッド(4)は低めの圧力でガスを導き、1つのプッシュロッド(4)は高めの圧力でガスを導くことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- それぞれのプッシュロッド(4)は、回転及び捩じれを可能にする結合要素(25)によって、回り継手として構成される空気静力学的軸受ユニット(10)の回転部品(21)に連結されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- 予圧装置、好ましくは静電予圧装置(11)が、該予圧装置(11)とベースプレート(2)の間に作用する力を働かせるために、ベースプレート(2)に向きあうフレーム構造(8)に配置されることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- それぞれのプッシュロッド(4)のドライブ(5)が、モーターにより駆動される回転可能に支持された摩擦ホイールギヤユニット(26,27,28)を有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- 少なくとも1つの段と、シーリングギャップ(33)を有するシーリング装置が、第一真空室(6)と第二真空室(7)の間に形成されることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- 中間吸い込み部を有する二段シーリング装置(33,57;34,58)が、第一真空室(6)と第二真空室(7)の間に形成されることを特徴とする請求項12に記載のテーブル装置。
- 摩擦ホイールギヤユニット(26,27,28)は、内側ハウジング部品(26)と外側ハウジング部品(27)を有し、内側ハウジング部品(26)は外側ハウジング部品(27)内に回転可能に支持されることを特徴とする請求項11〜13のいずれか一項に記載のテーブル装置。
- 一段シーリング装置(55)、好ましくは中間吸い込み部を有する二段シーリング装置(55,56,59)が、内側ハウジング部品(26)と外側ハウジング部品(27)の間に設けられることを特徴とする請求項14に記載のテーブル装置。
- プッシュロッド(4)は、摩擦ホイールギヤユニットの好ましくは円筒形の内側ハウジング部品(26)を介してガイドされ、そこに回転可能に支持されることを特徴とする請求項14又は15に記載のテーブル装置。
- 少なくとも1つのプッシュロッド(4)が媒体を移動テーブル(3)に供給する機能を有し、媒体は、中空プッシュロッドを直接介して又はプッシュロッド内にガイドされた1若しくは複数のラインを介して供給されることを特徴とする請求項1〜16のいずれか一項に記載のテーブル装置。
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