JP2010119960A - 液状体吐出装置、及び液状体吐出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】吐出ヘッドごとに、連通する液状体の流路における液状体の滞留時間が異なるこ
とに起因して、液状体の特性が異なることを抑制することができる液状体吐出装置、及び
液状体吐出方法を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルが配列されたノズル列と、
液状体が配置される基材とノズル列とを相対移動させる移動手段と、を備え、ノズル列と
基材とを相対移動させると共に、吐出ノズルから選択的に液状体を吐出して、基材に配置
する液状体吐出装置であって、液状体の吐出を伴う相対移動の方向に対して、基材の面方
向における基材の方向を変える方向転換手段を備える。また、基材の方向を決定する方向
決定手段をさらに備え、方向決定手段は、基材の方向を、それぞれの基材ごとに、予め定
められた複数の指定方向のいずれかの指定方向に決定し、方向転換手段は、基材の方向を
、決定された指定方向に転換する。
【選択図】図２

Description

本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する液状体吐出装置、及び当該液状体吐出
装置における液状体吐出方法に関する。

従来から、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、液状体を吐出して
描画対象物上の任意の位置に着弾させることによって、描画対象物の任意の位置に液状体
を配置する液状体吐出装置が知られている。このような液状体吐出装置を用いることによ
って、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などのような機能膜の材料を含む液状体を、任
意の位置に任意の量だけ精度良く塗布することが可能である。塗布された液状体を固化さ
せることによって、任意の厚さ及び形状の機能膜を形成することができる。

近年、大型の液晶表示装置のように、液状体を配置する対象物の大型化がみられる。ま
た、効率良く生産するために複数種類の表示装置などを一つの基材上に形成する傾向もみ
られる。これに対応して、液状体吐出装置も多くの吐出ヘッドを備えた大型の装置が用い
られるようになってきている。多くの吐出ヘッドを用いるために、個々の液滴吐出ヘッド
ごとに配置する対象の位置が異なるために吐出するべき液状体の量が異なることに起因し
て、貯留部から液状体を供給する吐出ヘッドによって液状体の貯留部に貯留される時間が
異なるという課題があった。
液状体は、液状体吐出装置から好適に吐出できると共に、固化して特有の機能を有する
膜を形成する液状体であって、液状体吐出装置の液状体の貯留部に貯留された状態が長く
なると、特性が変化する可能性がある。
特許文献１には、液状体の消費量に応じて液状体を供給することで、液状体が貯留部に
貯留される時間を略均等にする液状体の供給方法、デバイスの製造方法、配線基板の製造
方法、カラーフィルタの製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法が開示されている。

特開２００８−８６９７０号公報

しかしながら、液状体吐出装置が大型になることによって、液状体が貯留部から吐出ヘ
ッドに至る流路も長くなっており、当該流路や吐出ヘッド内の流路においては、消費量が
少ない吐出ヘッドに連通する流路の方が滞留時間が長くなるという課題があった。これに
より、吐出ヘッドごとに、連通する液状体の流路における液状体の滞留時間が異なること
に起因して、液状体の特性が異なる可能性があるという課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形
態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する複数の吐出ノズル
が配列されたノズル列と、前記液状体が配置される基材と前記ノズル列とを相対移動させ
る移動手段と、を備え、前記ノズル列と前記基材とを相対移動させると共に、前記複数の
吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出して、前記基材に配置する液状体吐出装置であ
って、前記液状体の吐出を伴う相対移動の方向に対して、前記基材の面方向における前記
基材の方向を変える方向転換手段を備えることを特徴とする。

この液状体吐出装置によれば、方向転換手段を用いて、液状体の吐出を伴う相対移動の
方向に対して、基材の延在方向を変えることができる。基材への液状体の配置は、ノズル
列と基材とを所定の方向に相対移動させて、所定の相対位置において吐出ノズルから液状
体を吐出することで実施する。相対移動の方向に対して、基材の延在方向を変えると、吐
出ノズルにおいて、液状体を吐出する所定の相対位置に位置する頻度が変わるため、当該
吐出ノズルから吐出される液状体の量が変わる。これにより、相対移動の方向に対して、
基材の延在方向を変えることで、複数の吐出ノズルにおける吐出ノズルごとの吐出量を変
えることができる。

［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記基材を載置する基材台
をさらに備え、前記方向転換手段は、前記基材台の前記基材を載置する載置面に略垂直な
軸回りに、前記基材台を回動させる回動手段であることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、回動手段を用いて基材台を回動することで、基材台に載
置された基材の延在方向を任意の方向に変えることができる。

［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記基材を少なくとも給材
する給除材手段をさらに備え、前記方向転換手段は、前記給除材手段が保持した前記基材
を、前記基材の面に略垂直な軸回りに回動させる基材回動手段であることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、基材回動手段を用いて、給除材手段が保持した基材を、
基材の面に略垂直な軸回りに回動させることができる。これにより、給除材手段が保持し
た基材の方向を、液状体吐出装置に給材された状態の基材の延在方向が所望の方向となる
方向に調整して、基材を液状体吐出装置に給材することができる。

［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記基材の前記面方向にお
ける方向を決定する方向決定手段をさらに備え、前記方向決定手段は、前記基材の方向を
、それぞれの前記基材ごとに、予め定められた複数の指定方向のいずれかの指定方向に決
定し、前記方向転換手段は、前記基材の方向を、前記方向決定手段によって決定された前
記指定方向に転換することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、基材の面方向における基材の方向を、方向決定手段が決
定した指定方向に合わせることができる。

［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記基材における前記液状
体の配置規格を含む情報を取得する基材情報取得手段と、前記配置規格に基づいて、前記
指定方向ごとに、１又は複数の前記吐出ノズルからなる複数のノズル群におけるそれぞれ
のノズル群ごとの吐出量を算出する吐出量算出手段と、前記吐出量算出手段が算出した前
記指定方向ごとの前記ノズル群における前記吐出量に基づいて、所定の数の前記基材に対
して前記液状体を配置する際の、前記指定方向の組み合わせと前記ノズル群ごとの総吐出
量との関係を求める総吐出量算出手段と、をさらに備え、前記方向決定手段は、前記総吐
出量算出手段によって算出された前記総吐出量と前記指定方向の組み合わせとの関係に基
づいて、前記ノズル群相互の前記総吐出量のばらつきが最小となる前記指定方向の組み合
わせにおけるそれぞれの前記指定方向に、前記所定の数の前記基材におけるそれぞれの前
記基材の方向を決定することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、基材情報取得手段によって基材の情報が取得され、当該
情報に基づいて、指定方向ごとに、ノズル群ごとの吐出量が求められる。当該吐出量に基
づいて、所定の数の基材に対して液状体を配置する際の、指定方向の組み合わせとノズル
群ごとの総吐出量が求められる。基材の方向は、総吐出量のばらつきが最小となる指定方
向の組み合わせにおけるそれぞれの指定方向に決定される。これにより、所定の数の基材
に液状体を配置する際の、ノズル群ごとの総吐出量のばらつきを最小にすることができる
。

［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記液状体の配置を実施す
る対象とする前記基材の数を取得する数量取得手段をさらに備え、前記総吐出量算出手段
は、前記数量取得手段が取得した前記基材の数に対応する前記基材に対して前記液状体を
配置する際の、前記ノズル群ごとの総吐出量と前記指定方向の組み合わせとの関係を求め
ることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、液状体の配置を実施する対象とする基材の数に対応して
、当該数の基材に液状体を配置する際の、ノズル群ごとの総吐出量のばらつきを最小にす
ることができる。

［適用例７］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記ノズル群を構成する前
記吐出ノズルは、前記液状体を当該吐出ノズルに供給する供給経路の少なくとも一部を共
通にしていることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、ノズル群を構成する吐出ノズルに供給される液状体は、
共通の供給経路を通過する。当該供給経路は、ノズル群ごとの総吐出量のばらつきが最小
となるようなノズル群に液状体を供給する供給経路であるため、供給経路ごとの通過する
液状体の量のばらつきを最小にすることができる。

［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記方向決定手段は、所定
の数の前記基材に対して前記液状体を配置する際の、前記基材の方向に決定される前記指
定方向の数が最大であって、一つの前記指定方向に決定する回数の最大値が最小となる、
前記指定方向の組み合わせに、前記所定の数の前記基材におけるそれぞれの前記基材の方
向を決定することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、基材の方向は、指定方向の数が最大であって、一つの指
定方向に決定する回数の最大値が最小となる指定方向の組み合わせとなる方向となる。指
定方向の数が最大であるため、方向が分散される。これにより、方向が偏る場合に比べて
、総吐出量が平準化される可能性を高くすることができる。一つの指定方向に決定する回
数の最大値が最小となるため、基材の方向が一つの指定方向になる回数が最少となる。こ
れにより、方向が偏ることなく分散され、総吐出量が平準化される可能性を高くすること
ができる。

［適用例９］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記液状体の配置を実施す
る対象とする前記基材の数を取得する数量取得手段をさらに備え、前記方向決定手段は、
前記数量取得手段が取得した前記基材の数に対応する前記基材に対して前記液状体を配置
する際の、前記基材の方向を決定することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、液状体の配置を実施する対象とする基材の数に対応して
、当該数の基材に液状体を配置する際の、ノズル群ごとの総吐出量が平準化される可能性
を高くすることができる。

［適用例１０］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記方向決定手段は、前
記基材の方向に決定する前記指定方向が複数である場合、当該基材の指定方向を、当該基
材の直前に前記液状体を配置した前記基材の前記指定方向とは異なる前記指定方向に決定
することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、基材の方向に決定する指定方向が複数である場合、基材
の方向は、当該基材の直前に液状体を配置した基材の指定方向とは異なる指定方向に指定
される。これにより、基材が連続して同じ方向にセットされることを抑制することができ
る。

［適用例１１］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記基材における前記液
状体の配置規格を含む情報を取得する基材情報取得手段と、前記配置規格に基づいて、前
記指定方向ごとに、１又は複数の前記吐出ノズルからなる複数のノズル群におけるそれぞ
れのノズル群ごとの吐出量を算出する吐出量算出手段と、をさらに備え、前記方向決定手
段は、前記吐出量算出手段によって算出された前記ノズル群ごとの吐出量のばらつきが最
小となる前記指定方向に、前記基材の方向を決定することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、基材は、ノズル群ごとの吐出量のばらつきが最小となる
指定方向で、セットされる。これにより、他の指定方向でセットされる場合より、ノズル
群ごとの吐出量のばらつきを小さくすることができる。

［適用例１２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記ノズル群を構成する
前記吐出ノズルは、前記液状体を当該吐出ノズルに供給する供給経路の少なくとも一部を
共通にしていることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、ノズル群を構成する吐出ノズルに供給される液状体は、
共通の供給経路を通過する。当該供給経路は、ノズル群ごとの総吐出量のばらつきを抑制
できるようなノズル群に液状体を供給する供給経路であるため、供給経路ごとの通過する
液状体の量のばらつきを抑制することができる。

［適用例１３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記方向転換手段による
方向転換が可能な角度が９０°以上であることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、基材の方向を９０°以上変えることができる。方向を９
０°変えることで、座標系として用いられることが多い直交座標系における座標軸方向を
変えることができる。

［適用例１４］本適用例にかかる液状体吐出方法は、液状体を吐出する吐出ノズルを備
える吐出ヘッドと、前記液状体が配置される基材と、を相対移動させ、前記吐出ノズルか
ら選択的に前記液状体を吐出して前記基材上に配置する液状体吐出方法であって、前記基
材の面方向において、前記基材の方向を変える方向転換工程を有することを特徴とする。

この液状体吐出方法によれば、方向転換工程において、液状体の吐出を伴う相対移動の
方向に対して、基材の延在方向を変えることができる。基材への液状体の配置は、ノズル
列と基材とを所定の方向に相対移動させて、所定の相対位置において吐出ノズルから液状
体を吐出することで実施する。相対移動の方向に対して、基材の延在方向を変えると、吐
出ノズルにおいて、液状体を吐出する所定の相対位置に位置する頻度が変わるため、当該
吐出ノズルから吐出される液状体の量が変わる。これにより、相対移動の方向に対して、
基材の延在方向を変えることで、複数の吐出ノズルにおける吐出ノズルごとの吐出量を変
えることができる。

［適用例１５］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記液状体を吐出する液
状体吐出装置に、前記基材を給材する給材工程をさらに有し、前記方向転換工程は、前記
給材工程の後に実施することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、給材工程の後で方向転換工程を実施する。これにより、
液状体吐出装置に給材された基材の延在方向を任意の方向に変えることができる。

［適用例１６］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記液状体を吐出する液
状体吐出装置に、前記基材を給材する給材工程をさらに有し、前記給材工程は、前記方向
転換工程を含むことが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、給材工程において方向転換工程を実施する。給材工程の
途中で方向転換工程を実施することで、給材途中の基材の方向を、液状体吐出装置に給材
された状態の基材の延在方向が所望の方向となる方向に調整して、基材を液状体吐出装置
に給材することができる。

［適用例１７］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記基材の方向を、それ
ぞれの前記基材ごとに、予め定められた複数の指定方向のいずれかの指定方向に決定する
方向決定工程をさらに有し、前記方向転換工程では、前記基材の方向を、前記方向決定工
程において決定された前記指定方向に転換することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、基材の面方向における基材の方向を、方向決定工程にお
いて決定された指定方向に合わせることができる。

［適用例１８］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記基材における前記液
状体の配置規格を含む情報を取得する基材情報取得工程と、前記配置規格に基づいて、前
記指定方向ごとに、１又は複数の前記吐出ノズルからなる複数のノズル群におけるそれぞ
れのノズル群ごとの吐出量を算出する吐出量算出工程と、前記吐出量算出工程において算
出された前記指定方向ごとの前記ノズル群における前記吐出量に基づいて、所定の数の前
記基材に対して前記液状体を配置する際の、前記ノズル群ごとの総吐出量と前記指定方向
の組み合わせとの関係を求める総吐出量算出工程と、をさらに有し、前記方向決定工程で
は、前記総吐出量算出工程において算出された前記総吐出量と前記指定方向の組み合わせ
との関係に基づいて、前記ノズル群相互の前記総吐出量のばらつきが最小となる前記指定
方向の組み合わせにおけるそれぞれの前記指定方向に、前記所定の数の前記基材における
それぞれの前記基材の方向を決定することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、基材情報取得工程において基材の情報が取得され、当該
情報に基づいて、指定方向ごとに、ノズル群ごとの吐出量が求められる。当該吐出量に基
づいて、吐出量算出工程において、所定の数の基材に対して液状体を配置する際の、指定
方向の組み合わせとノズル群ごとの総吐出量が求められる。基材の方向は、総吐出量のば
らつきが最小となる指定方向の組み合わせにおけるそれぞれの指定方向に決定される。こ
れにより、所定の数の基材に液状体を配置する際の、ノズル群ごとの総吐出量のばらつき
を最小にすることができる。

［適用例１９］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記基材情報取得工程は
、前記液状体の配置を実施する対象とする前記基材の数を取得する数量取得工程を含み、
前記総吐出量算出工程では、前記数量取得工程において取得された前記基材の数に対応す
る前記基材に対して前記液状体を配置する際の、前記ノズル群ごとの総吐出量と前記指定
方向の組み合わせとの関係を求めることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、液状体の配置を実施する対象とする基材の数に対応して
、当該数の基材に液状体を配置する際の、ノズル群ごとの総吐出量のばらつきを最小にす
ることができる。

［適用例２０］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記ノズル群を構成する
前記吐出ノズルは、前記液状体を当該吐出ノズルに供給する供給経路の少なくとも一部を
共通にしていることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、ノズル群を構成する吐出ノズルに供給される液状体は、
共通の供給経路を通過する。当該供給経路は、ノズル群ごとの総吐出量のばらつきが最小
となるようなノズル群に液状体を供給する供給経路であるため、供給経路ごとの通過する
液状体の量のばらつきを最小にすることができる。

［適用例２１］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記方向決定工程では、
所定の数の前記基材に対して前記液状体を配置する際の、前記基材の方向に決定される前
記指定方向の数が最大であって、一つの前記指定方向に決定する回数の最大値が最小とな
る、前記指定方向の組み合わせに、前記所定の数の前記基材におけるそれぞれの前記基材
の方向を決定することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、基材の方向は、指定方向の数が最大であって、一つの指
定方向に決定する回数の最大値が最小となる指定方向の組み合わせとなる方向となる。指
定方向の数が最大であるため、方向が分散される。これにより、方向が偏る場合に比べて
、総吐出量が平準化される可能性を高くすることができる。一つの指定方向に決定する回
数の最大値が最小となるため、基材の方向が一つの指定方向になる回数が最少となる。こ
れにより、方向が偏ることなく分散され、総吐出量が平準化される可能性を高くすること
ができる。

［適用例２２］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記液状体の配置を実施
する対象とする前記基材の数を取得する数量取得工程をさらに有し、前記方向決定工程で
は、前記数量取得工程において取得された前記基材の数に対応する前記基材に対して前記
液状体を配置する際の、前記基材の方向を決定することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、液状体の配置を実施する対象とする基材の数に対応して
、当該数の基材に液状体を配置する際の、ノズル群ごとの総吐出量が平準化される可能性
を高くすることができる。

［適用例２３］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記方向決定工程では、
前記基材の方向に決定する前記指定方向が複数である場合、当該基材の指定方向を、当該
基材の直前に前記液状体を配置する工程が実施された前記基材の前記指定方向とは異なる
前記指定方向に決定することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、基材の方向に決定する指定方向が複数である場合、基材
の方向は、当該基材の直前に液状体を配置した基材の指定方向とは異なる指定方向に指定
される。これにより、基材が連続して同じ方向にセットされることを抑制することができ
る。

［適用例２４］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記基材における前記液
状体の配置規格を含む情報を取得する基材情報取得工程と、前記配置規格に基づいて、前
記指定方向ごとに、１又は複数の前記吐出ノズルからなる複数のノズル群におけるそれぞ
れのノズル群ごとの吐出量を算出する吐出量算出工程と、をさらに有し、前記方向決定工
程では、前記吐出量算出工程において算出された前記ノズル群ごとの吐出量のばらつきが
最小となる前記指定方向に、前記基材の方向を決定することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、基材は、ノズル群ごとの吐出量のばらつきが最小となる
指定方向で、セットされる。これにより、他の指定方向でセットされる場合より、ノズル
群ごとの吐出量のばらつきを小さくすることができる。

［適用例２５］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記ノズル群を構成する
前記吐出ノズルは、前記液状体を当該吐出ノズルに供給する供給経路の少なくとも一部を
共通にしていることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、ノズル群を構成する吐出ノズルに供給される液状体は、
共通の供給経路を通過する。当該供給経路は、ノズル群ごとの総吐出量のばらつきを抑制
できるようなノズル群に液状体を供給する供給経路であるため、供給経路ごとの通過する
液状体の量のばらつきを抑制することができる。

［適用例２６］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記方向転換工程におけ
る方向転換が可能な角度が９０°以上であることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、基材の方向を９０°以上変えることができる。方向を９
０°変えることで、座標系として用いられることが多い直交座標系における座標軸方向を
変えることができる。

以下、液状体吐出装置、及び液状体吐出方法の一実施形態について図面を参照して、説
明する。実施形態は、吐出ノズルを有する吐出ヘッドの一例として、液滴を吐出する吐出
ノズルを有する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を例にして説明する。なお、以下の
説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のもの
とは異なるように表す場合がある。

（第一の実施形態）
本実施形態は、液滴吐出装置を用いて、電気光学装置の一例である液晶装置の、機能膜
の一例であるカラーフィルタを製造する工程を例に説明する。本実施形態に係る液滴吐出
装置は、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、液状体を液滴として吐出する液滴吐
出ヘッドを備えている。液滴吐出装置は、当該液滴吐出ヘッドにカラーフィルタの材料を
含む機能液を導入して、描画対象物上に当該機能液を配置することで、液晶装置のカラー
フィルタのフィルタ膜などを形成するものである。

＜液滴吐出法＞
最初に、液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式
、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯
電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐
出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ²程
度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけ
ない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電
的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方
式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したも
ので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を
与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。

また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に
気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるも
のである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料
のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。ま
た、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式など
の技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置
に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液
状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えない、駆動電圧を調整することに
よって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態で
は、液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の制御性が良いことから上記ピエゾ方式
を用いる。

＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出
装置の概略構成を示す外観斜視図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、描画ユニット２と、ワークユニット３と、機能
液供給ユニット４と、保守ユニット５とを備えている。
描画ユニット２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７（
図３参照）を有している。
ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワーク
Ｗを載置するワーク載置台３０を有している。
機能液供給ユニット４は、機能液タンク８１と、サブタンク８２と、中継ユニット８４
Ａ（中継タンク８４）と、給液管８３と、給液チューブ８６（図５参照）とを有し、当該
給液チューブ８６が、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブ８６を介して
機能液が液滴吐出ヘッド１７に供給される。
保守ユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態などの検査を実施する各装置、及び
液滴吐出ヘッド１７の各種の保守を実施する各装置を備えている。
液滴吐出装置１は、また、これら各ユニットなどを総括的に制御する吐出装置制御部６
を備えている。
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設
置された定盤９とを備えている。描画ユニット２と、ワークユニット３と、保守ユニット
５とは、平面視長方形形状の定盤９の上に配設されている。

ワークユニット３は、定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている
。ワークユニット３の上方には、描画ユニット２が、配設されている。描画ユニット２は
、ワークユニット３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在している。描画ユニット２は、定
盤９に固定された２本の支持柱で支持されて、ワークユニット３の上方でワークユニット
３と交差している。また、定盤９の傍らには、機能液供給ユニット４の機能液タンク８１
などが配置されている。描画ユニット２の一方の支持柱の近傍には、保守ユニット５がワ
ークユニット３と並んで配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が
収容されている。

描画ユニット２は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニッ
ト２１を有するヘッドキャリッジ２５と、ヘッドキャリッジ２５が吊設された移動枠２２
とを備えている。描画ユニット２は、ヘッドキャリッジ２５と移動枠２２との組を６組備
えている。移動枠２２を、Ｙ軸走査機構１２によってＹ軸方向に移動させることで、液滴
吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。６個の
移動枠２２は、個別に移動させることも可能であり、２個から６個の移動枠２２を一緒に
移動させることも可能である。
ワークユニット３は、ワーク載置台３０を、Ｘ軸走査機構３６によって、Ｘ軸方向に移
動させることで、ワーク載置台３０に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる
。また、移動した位置に保持する。

描画ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止
し、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ
軸方向に移動するワークＷと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１７とを相対的に制御
することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状
の描画を実施することが可能である。

＜ワークユニット＞
次に、ワークユニット３について、図２を参照して説明する。図２は、ワークユニット
の概略構成を示す説明図である。図２（ａ）は、ワークユニットの平面図であり、図２（
ｂ）は、ワークユニットの側面図である。

図２に示すように、ワークユニット３は、ワーク載置台３０と、Ｘ軸走査機構３６とを
備えている。
ワーク載置台３０は、載置台３１と、回動機構３２と、載置台ベース３３と、スライダ
枠３４とを備えている。載置台ベース３３に固定された一対のスライダ枠３４，３４が有
するＸ軸スライダ（図示省略）を、Ｘ軸リニアモータによって駆動することによって、ワ
ーク載置台３０をＸ軸方向に移動する。また、任意の位置に保持する。
載置台３１は、載置されたワークＷを吸引して固定する吸引機構（図示省略）と、方向
規制体３１ａとを備えている。載置台３１にワークＷを給材する際は、ワークＷを方向規
制体３１ａに接触させることで、液滴吐出装置１における略所定の方向で、ワークＷを載
置台３１に載置する。続いてアライメントを実施することで、ワークＷを液滴吐出装置１
における所定の位置に所定の方向で位置させる。

載置台３１は、回動機構３２を介して、載置台ベース３３に回動自在に取付けられてい
る。回動機構３２は、載置台ベース３３に対して、載置台３１を、載置台３１のワークＷ
を載置する面に略垂直な回動軸３２ａ（図１及び図２に記載したＺ軸に略平行な軸）回り
に回動可能であり、精度良く任意の位置に保持することが可能である。
図２（ａ）に示した方向規制体３１ａ０は、アライメントを実施して載置台３１の方向
が固定された位置における方向規制体３１ａを示している。このときの載置台３１の方向
又はワークＷの方向を基準方向と表記する。図２（ａ）に示した方向規制体３１ａ１は、
載置台３１が基準方向から載置台３１の上方側からみて時計まわりに９０°回動された位
置における方向規制体３１ａを示している。このときの載置台３１の方向又はワークＷの
方向を正横方向と表記する。図２（ａ）に示した方向規制体３１ａ２は、載置台３１が基
準方向から載置台３１の上方側からみて時計まわりに１８０°回動された位置における方
向規制体３１ａを示している。このときの載置台３１の方向又はワークＷの方向を反転方
向と表記する。図２（ａ）に示した方向規制体３１ａ３は、載置台３１が基準方向から載
置台３１の上方側からみて時計まわりに２７０°回動された位置における方向規制体３１
ａを示している。このときの載置台３１の方向又はワークＷの方向を負横方向と表記する
。回動機構３２が、方向転換手段、又は回動手段に相当する。

＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図３を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図３は、液滴吐出ヘッ
ドの構成を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外
観斜視図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図で
あり、図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。

図３（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連
の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基
板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレー
ト７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接
続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブ８６（図５参照）が接続さ
れ、給液チューブ８６に接続された機能液供給ユニット４から機能液が供給される。ヘッ
ド基板７３には、一対のヘッドコネクタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネク
タ７７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐
出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケ
ーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、略
方形状のヘッド本体７４が構成されている。

ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッ
ド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフラン
ジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対
形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保
持部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定
される。

ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており
液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本の
ノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた
例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。ヘ
ッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配
設されている。

液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ軸
方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸
方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば
１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する
吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上
に着弾する。ノズル列７８Ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合
、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。

図３（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポ
ンプ部７５を構成する圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動
板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液体導入部７１から振動板５２の液供給孔５３を経由して供
給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動
板５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。ま
た、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形
成されている。振動板５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁５７とによって
囲まれた空間が圧力室５８である。

圧力室５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と
吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置
する供給口５６を介して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力
室５８と吐出ノズル７８と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり
、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図３（ｂ）では図示省
略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液たまり５５に関して
略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形
成しており、対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んで
いる。

振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定され
ている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を
支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加
することで、活性部が長手方向（図３（ｂ）又は（ｃ）においては振動板５２の厚さ方向
）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５
８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られること
で、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加する
ことから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、
電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電
素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る
。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少す
ることから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連
通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。

吐出装置制御部６は、圧電素子５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御する
ことにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より
詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴
の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、
基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノ
ズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を
選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの
範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる
。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動
させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位
置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。

＜ヘッドユニット＞
次に、描画ユニット２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図４を参照し
て説明する。図４は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図４に示したＸ軸
及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取付けられた状態において、図１に
示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図４に示したように、ヘッドユニット２１は、キャリッジプレート６１と、キャリッジ
プレート６１に搭載された９個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド
１７は、図示省略したヘッド保持部材を介してキャリッジプレート６１に固定されている
。キャリッジプレート６１に固定された液滴吐出ヘッド１７は、ヘッド本体７４がキャリ
ッジプレート６１に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド
本体７４）が、キャリッジプレート６１の面より突出している。図４は、ノズルプレート
７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方
向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組６２を３組、形
成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａは、ヘッドユニット２１が
液滴吐出装置１に取付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。

一つのヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに
隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対し
て、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置す
る位置に、配設されている。ヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、
全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に
半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液
滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出
された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。一つのヘッ
ド組６２は、例えば１８０個の６倍、１０８０個の吐出ノズル７８を有し、Ｙ軸方向にお
けるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル７８のＹ軸方向にお
ける中心間距離は、約７５．５ｍｍである。ヘッド組６２を構成する３個の液滴吐出ヘッ
ド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組６２
を構成している。ヘッド組６２が有する６本のノズル列７８Ａからなるノズル列をヘッド
組ノズル列と表記する。

ヘッドユニット２１が有する３つのヘッド組６２は、それぞれが有する１本のヘッド組
ノズル列が、Ｙ軸方向において、ノズル列７８Ａの半ノズルピッチずれて位置する位置に
、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット２１は、互いに隣り合うヘ
ッド組６２を構成する液滴吐出ヘッド１７の、一方のヘッド組６２における液滴吐出ヘッ
ド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方のヘッド組６２における液滴吐出ヘッド
１７の端の吐出ノズル７８が、Ｙ軸方向において、半ノズルピッチずれた位置に、配設さ
れている。
一つのヘッドユニット２１が備える３つのヘッド組６２における９個の液滴吐出ヘッド
１７が有する１８本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該
ノズル列は、例えば１８０個の１８倍、３２４０個の吐出ノズル７８を有し、Ｙ軸方向に
おけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル７８の中心間距離
（ノズル列長さ）は、約２２６．７ｍｍである。即ち、一つのヘッドユニット２１の吐出
ノズル７８から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、３
２４０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。

上述したように、移動枠２２は、Ｙ軸走査機構１２によって、独立して移動可能であり
、移動枠２２に吊着されているヘッドキャリッジ２５が有するヘッドユニット２１におけ
る液滴吐出ヘッド１７の相互の位置を調整可能である。図１に示した描画ユニット２のよ
うに、ヘッドユニット２１の相互の位置を最も近づけると、描画ユニット２が備える５４
個の液滴吐出ヘッド１７が有する１０８本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列のように
扱うことができる。当該ノズル列は、Ｙ軸方向におけるノズルピッチが例えば７０μｍで
あり、１９４４０個の吐出ノズル７８を有するノズル列である。

＜給液ユニット及びヘッドグループ＞
次に、機能液供給ユニット４の構成、及び結合される機能液供給ユニット４によって形
成される液滴吐出ヘッド１７のヘッドグループについて、図５を参照して説明する。図５
は、給液ユニットの構成、及びヘッドユニットとの結合状態を示す説明図である。図５（
ａ）は、ヘッドユニットの全ての液滴吐出ヘッドに同じ機能液を供給する結合形態を示す
説明図であり、図５（ｂ）は、ヘッド群ごとに異なる機能液を供給する結合形態を示す説
明図である。

図４を参照して説明したように、ヘッドユニット２１は、それぞれ３個ずつの液滴吐出
ヘッド１７を有するヘッド組６２を３組備えており、９個の液滴吐出ヘッド１７を備えて
いる。
図１を参照して説明した機能液供給ユニット４と同様に、図５（ａ）に示した機能液供
給ユニット３７４は、機能液タンク８１と、サブタンク８２と、中継タンク８４を有する
中継ユニット８４Ａと、これらのタンク間を連通する給液管８３と、中継タンク８４と液
滴吐出ヘッド１７とを連通する給液チューブ８６と、を備えている。機能液供給ユニット
３７４は、また、図示省略した、圧力付与部と、機能液２５２の流路を開閉するための複
数のバルブと、を備えている。圧力付与部とバルブとは、吐出装置制御部６と電気的に接
続されており、吐出装置制御部６が圧力付与部及びバルブを制御して、機能液２５２を液
滴吐出ヘッド１７へ供給する。
機能液タンク８１は液滴吐出ヘッド１７に機能液２５２を供給するための供給元であっ
て、機能液２５２を貯留している。
サブタンク８２は、圧力付与部により圧力制御管理されており、液滴吐出ヘッド１７の
駆動に応じて機能液２５２を一定の圧力で供給する。
中継タンク８４は、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジ２５が吊設された移
動枠２２の上面に取付けられた中継ユニット８４Ａの中に配設されており、複数の給液チ
ューブ８６が接続されている。

図５（ａ）に示すように、機能液２５２は、機能液タンク８１から給液管８３ａを介し
てサブタンク８２へ至り、サブタンク８２から給液管８３ｂを介して中継タンク８４に至
り、更に、中継タンク８４から給液チューブ８６を経由して液滴吐出ヘッド１７へ供給さ
れる。図５（ａ）に示した構成では、図示省略したが、１個の機能液タンク８１には、複
数のサブタンク８２が接続されている。１個のサブタンク８２には、１個の中継タンク８
４が接続されており、１個の中継タンク８４には、１個のヘッドユニット２１が備える９
個の液滴吐出ヘッド１７が接続されている。したがって、１個のヘッドユニット２１が備
える９個の液滴吐出ヘッド１７が、機能液の供給経路を共通にしている。機能液の供給経
路を共通にする液滴吐出ヘッド１７の組をヘッドグループと表記する。

図５（ｂ）に示した機能液供給ユニット４４４は、３種類の赤色機能液２５２Ｒ、緑色
機能液２５２Ｇ、及び青色機能液２５２Ｂを供給するために、収容する機能液２５２がそ
れぞれ赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、又は青色機能液２５２Ｂである機能液
タンク８１Ｒ、機能液タンク８１Ｇ、及び機能液タンク８１Ｂを備えている。
図示省略したが、１個の機能液タンク８１Ｒ、機能液タンク８１Ｇ、及び機能液タンク
８１Ｂには、複数のサブタンク８２Ｒ、サブタンク８２Ｇ、又はサブタンク８２Ｂが接続
されている。１個のサブタンク８２Ｒ、サブタンク８２Ｇ、又はサブタンク８２Ｂには、
それぞれ１個の中継タンク８４Ｒ、中継タンク８４Ｇ、又は中継タンク８４Ｂが接続され
ている。１個の中継タンク８４Ｒ、中継タンク８４Ｇ、又は中継タンク８４Ｂには、それ
ぞれ１個のヘッド組６２が備える３個の液滴吐出ヘッド１７が接続されている。１個のヘ
ッドユニット２１は、赤色機能液２５２Ｒが供給されるヘッド組６２Ｒと、緑色機能液２
５２Ｇが供給されるヘッド組６２Ｇと、青色機能液２５２Ｂが供給されるヘッド組６２Ｂ
とを備えている。ヘッド組６２Ｒ、ヘッド組６２Ｇ、及びヘッド組６２Ｂがそれぞれ有す
る３個の液滴吐出ヘッド１７が、機能液の供給経路を共通にしており、ヘッドグループを
構成している。

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成につい
て、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロッ
ク図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止
などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホス
トコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に情報を入出力するための入出力装置６８とを有
し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力
装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出
力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置など
である。

液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、入出力インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰ
Ｕ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（R
andom Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドド
ライバ１７ｄと、駆動機構ドライバ８ｄと、給液ドライバ４ｄと、保守ドライバ５ｄと、
検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）９２と、を有している。これらは、データバス４９を介
して互いに電気的に接続されている。

入出力インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制
御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制
御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６
５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ
４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制
御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演
算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。

ヘッドドライバ１７ｄには、ヘッドユニット２１を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続
されている。ヘッドドライバ１７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッ
ド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ８ｄには、Ｙ軸走査機
構１２のＹ軸リニアモータと、Ｘ軸走査機構３６のＸ軸リニアモータと、ワーク載置台３
０の回動機構３２と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構８０と、が接続さ
れている。各種駆動機構は、ワークのアライメントを実施する際にアライメントカメラを
移動するためのカメラ移動モータや、ワーク載置台３０の吸引機構の駆動モータなどであ
る。駆動機構ドライバ８ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動
して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐
出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ１７ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置
に機能液の液滴を着弾させる。

給液ドライバ４ｄには、機能液供給ユニット４が接続されている。給液ドライバ４ｄは
、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って機能液供給ユニット４の圧力付与部やバルブの駆動
源を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。

保守ドライバ５ｄには、保守ユニット５が備える吸引ユニットと、ワイピングユニット
と、吐出検査ユニットと、重量測定ユニットなどが接続されている。保守ドライバ５ｄは
、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット、又はワイピングユニットを駆動し
て、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。また、吐出検査ユニットを駆動して、
吐出の有無や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させたり
、重量測定ユニットを駆動して、液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液の吐出重量の
測定を実施させたりする。

検出部インタフェイス９２には、各種センサを有する検出部９１が接続されている。検
出部９１の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス９２を介してＣ
ＰＵ４４に伝達される。

＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能膜を形成する対象物の一例としての液晶表示パネル
について説明する。液晶表示パネル２００（図７参照）は、液晶装置の一例であり、カラ
ーフィルタの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルタを備える液晶表示パネルであ
る。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図７を参照して説明する。図７は、液
晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図７に示した液晶表示パネル２００は
、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるア
クティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型
の液晶装置である。

図７に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１
０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着さ
れた素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１３（ｋ）参
照）と、を備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互い
に貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１又は偏光板２３２が、配設さ
れている。

素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２
１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されてい
る。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されてお
り、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態
で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むこ
とで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内に
は画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に
欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲ま
れた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ
素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４とに信号を印加
することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施
する。

素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や
画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。

対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィル
タ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２
０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５
Ｂとを有している。ガラス基板２０１の上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマ
トリックス２０２が形成されており、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が
形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４
によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、
赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成
されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２
０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成さ
れている。

ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦
化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設け
られている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平
坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を
覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子
基板２１０に形成された配線に接続されている。

対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、少なくとも画素電極２１７の全面を覆う
配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼
り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜
２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間
に充填されている。

なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層
を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図８を参照して説明する。対向基板２２０は
、分割されることによってガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述し
たＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガ
ラス基板２０１）に分割して形成される。図８（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に
示す平面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示した対向基板とは異なる他の対向基板
の平面構造を模式的に示す平面図であり、図８（ｃ）は、マザー対向基板の平面構造を模
式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上に
ＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものも、
マザー対向基板２０１Ａと表記する。

対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０
１を用いて形成されている。図８（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２
０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０
８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン
状、本実施形態ではドット・マトリックス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィ
ルタ膜２０５を形成することによって形成されている。同様に、図８（ｂ）に示すように
、対向基板４２０は、ガラス基板４０１の周囲の額縁領域を除く部分に、ＣＦ層４０８が
形成されている。対向基板４２０は、対向基板２２０と実質的に同じ構造をしており、液
晶表示パネル２００より表示部の面積が小さい液晶表示パネルを構成する対向基板である
。ＣＦ層４０８は、ＣＦ層２０８と同様に、方形状のガラス基板４０１の表面に複数のフ
ィルタ膜領域４２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリックス状に形成
し、当該フィルタ膜領域４２５にフィルタ膜４０５を形成することによって形成されてい
る。

図８（ｃ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには対向基板２２０のＣＦ層２０８
と共に、対向基板４２０を構成するＣＦ層４０８がガラス基板４０１となる部分に形成さ
れている。マザー対向基板２０１Ａ上にガラス基板２０１又はガラス基板４０１を適宜配
置すると、マザー対向基板２０１Ａの寸法とガラス基板２０１の寸法との関係が、必ずし
もマザー対向基板２０１Ａ上にガラス基板２０１又はガラス基板４０１を過不足なく配置
できる寸法関係ではないため、活用できない部分が生ずる可能性がある。そこで、ガラス
基板２０１と共に、ガラス基板２０１より小さいガラス基板４０１のＣＦ層４０８を形成
して、ガラス基板２０１では形成できない部分をガラス基板４０１として有効に利用する
ことなどによって、マザー対向基板２０１Ａをより効率的に利用している。マザー対向基
板２０１Ａには、４個所のＣＦ層２０８と、９個所のＣＦ層４０８とが形成されている。

マザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８又はＣＦ層４０８が形成される領域にか
からない位置には、一対のアライメントマーク２８１，２８１が形成されている。アライ
メントマーク２８１は、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板
２０１を製造装置に取付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
なお、マザー対向基板２０１Ａを効率良く使用するためには、ＣＦ層２０８やＣＦ層４
０８を形成する領域の相互間の間隔は可能な限り小さくすることが好ましい。また、サイ
ズの異なるガラス基板を効率的に配置する配置方法を見出すことにより、マザー対向基板
２０１Ａそのものの適切なサイズ設定が明確になり、マザー対向基板２０１Ａを原材料か
ら取り出す効率をも改善することが可能となる。マザー対向基板２０１Ａが、基材に相当
する。

＜カラーフィルタ＞
次に、対向基板２２０に形成されているＣＦ層２０８及びＣＦ層２０８におけるフィル
タ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２
０５Ｂ）の配列について、図９を参照して説明する。図９は、３色カラーフィルタのフィ
ルタ膜の配列例を示す模式平面図である。

図９に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパタ
ーンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリックス状に並んだ複数の
例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、
フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機
能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状
のフィルタ膜２０５を形成する。

３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び
青色フィルタ膜２０５Ｂの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デル
タ配列などが知られている。ストライプ配列は、図９（ａ）に示したように、マトリック
スの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィ
ルタ膜２０５Ｂになる配列である。モザイク配列は、図９（ｂ）に示したように、横方向
の各行ごとにフィルタ膜２０５一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦
横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。デルタ配列
は、図９（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルタの
場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配色である。

図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、そ
れぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形
成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ
、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成す
る最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成
している。一つの絵素フィルタ２５４内の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０
５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的
に通過させることにより、フルカラー表示を行う。

＜機能液配置量＞
次に、フィルタ膜領域の大きさと、配置される機能液の量との関係について、図１０を
参照して説明する。図１０は、フィルタ膜領域の概形状と、フィルタ膜領域に対する機能
液の配置位置を示す説明図である。図１０（ａ）には、ＣＦ層２０８のフィルタ膜領域２
２５Ｒ、フィルタ膜領域２２５Ｇ、及びフィルタ膜領域２２５Ｂを、ラッチ信号Ｌと共に
示している。図１０（ｂ）には、ＣＦ層４０８のフィルタ膜領域４２５Ｒ、フィルタ膜領
域４２５Ｇ、及びフィルタ膜領域４２５Ｂを、ラッチ信号Ｌと共に示している。機能液を
配置する際の相対移動の方向を矢印ａで示している。

吐出ノズル７８からは、当該吐出ノズル７８にラッチ信号Ｌによりラッチされた駆動信
号（駆動波形）が印加されることによって機能液が吐出される。ラッチ信号Ｌの周波数と
、吐出ノズル７８と描画対象との主走査方向の相対移動速度と、から定まる描画対象に対
する吐出ノズル７８からの吐出位置間の最小距離を、吐出分解能と表記する。吐出分解能
の間隔で吐出された機能液が描画対象に着弾した位置間の最小距離を、描画分解能と表記
する。図１０（ａ）及び図１０（ｂ）には、１回の相対移動の間に、１個の吐出ノズル７
８から吐出された機能液が描画分解能の間隔で着弾した着弾点２６３、及び１個の吐出ノ
ズル７８から吐出を実施すれば描画分解能の間隔で着弾させることが可能な着弾可能点２
６４が示してある。

図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示した例は、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するため
の機能液を配置する例であり、フィルタ膜領域２２５Ｒにのみ着弾させている。フィルタ
膜領域２２５Ｇ、フィルタ膜領域２２５Ｂ、及び隔壁２０４又は隔壁４０４には、着弾可
能点２６４の位置に機能液を配置することが可能であるが、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形
成する領域ではないため、当該位置への機能液の配置は実施しない。

図１０に示した、フィルタ膜領域２２５の相対移動方向における配設ピッチは、フィル
タ膜領域４２５の相対移動方向における配設ピッチの略２倍になっている。しかし、フィ
ルタ膜領域２２５などのフィルタ膜領域の大きさに依らず、隔壁２０４などの隔壁が必要
とする幅は略一定であり、隔壁２０４の幅と隔壁４０４の幅とは略同じである。このため
、フィルタ膜領域４２５の相対移動方向における幅は、フィルタ膜領域２２５の相対移動
方向における幅の１／２より小さくなっている。１個のフィルタ膜領域２２５における着
弾点２６３が５個所であるのに対して、２個のフィルタ膜領域４２５における着弾点２６
３は４個所である。１個所のフィルタ膜領域２２５に配置する機能液２５２の量と、２個
のフィルタ膜領域４２５に配置する機能液２５２の量との関係は、着弾点２６３の数の比
に比例するものではないが、傾向としては同様の関係となる。

＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１１、図１２、及び図１３を
参照して説明する。図１１は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートであ
る。図１２は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを
示す断面図であり、図１３は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する
工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基
板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。

図１１に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形
成する。
ステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するた
めの隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その
上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成され
た隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１２（ａ）に示
すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルタ膜
領域２２５が形成される。

次に、図１１のステップＳ２では、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ
、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。赤色フィルタ膜２
０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、フィルタ膜領域２２
５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂ
を構成する材料を含む機能液２５２をそれぞれ充填して、当該機能液２５２を乾燥させる
ことによって形成する。

より詳細には、図１２（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜
領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。
当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成
するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって
、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１
に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガ
ラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置
する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１２（ｃ）に示すよう
に、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。

同様にして、図１２（ｂ）に示した、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０
５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、図１２（ｃ
）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２
５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１２（ｄ）に示すように、
フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色
フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合わせて、赤色フィルタ膜２
０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィ
ルタが形成される。

次に、図１１のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図１２（ｅ）に示すように、
ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィル
タ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平
坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６
を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１１のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図１２（ｆ）に示すよ
うに、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された
領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述
した対向電極２０７である。

次に、図１１のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２
２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する
。
図１３（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液
滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向け
て配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を
矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を
形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させ
ることで、図１３（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施し
て、対向基板２２０が形成される。

図１１に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形
成する。
ステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成すること
で、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６な
どを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが
、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成す
る。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個の
ＴＦＴ素子２１５を形成する。

次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２
１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィ
ルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２
１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。

次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８
を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成
する。
図１３（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液
滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向け
て配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を
矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を
形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させ
ることで、図１３（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施し
て、素子基板２１０が形成される。

次に、図１１のステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼
り合わせて、図１３（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２
３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数の
ガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素
子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板
を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板２０１Ａやマザー
素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ
９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了す
る。

＜描画＞
次に、ＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８を形成する工程における、フィルタ膜領域２２５
及びフィルタ膜領域４２５に機能液２５２を配置する描画工程について、図１４及び図１
５を参照して説明する。描画工程は、上述した液滴吐出装置１を用いて実施する。図１４
は、描画工程を示すフローチャートである。図１５は、描画工程におけるマザー対向基板
の指定方向と、マザー対向基板に対するヘッドユニットの位置とを示す説明図である。

図１４のステップＳ２１では、描画対象のワークに関わるワーク情報を取得する。ワー
ク情報の取得は、制御装置６５を介して当該情報が入力されることで実施される。
ワークは、この例では、図８を参照して説明したマザー対向基板２０１Ａである。ワー
ク情報は、配置する機能液（本実施例では、赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、
及び青色機能液２５２Ｂ）、配置位置（本実施例では、フィルタ膜領域２２５及びフィル
タ膜領域４２５の形状及び配置位置）、描画を実施するワークの数量などである。制御装
置６５が、基材情報取得手段、及び数量取得手段に相当する。

次に、ステップＳ２２では、吐出マップを作成する。吐出マップは、液滴吐出装置１が
備える全ての吐出ノズル７８について、それぞれの吐出ノズル７８が機能液２５２の液滴
を着弾させる位置を規定するものである。吐出マップは、マザー対向基板２０１Ａの指定
方向ごとに作成する。
指定方向は、例えば図１５に示した４方向である。図１５に示したＸ軸方向及びＹ軸方
向は、マザー対向基板２０１Ａがワーク載置台３０に固定された状態で、図１及び図２に
示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。
図１５（ａ）に示したマザー対向基板２０１Ａの方向は、図２を参照して説明した基準
方向である。図１５（ｂ）に示したマザー対向基板２０１Ａの方向は、図２を参照して説
明した正横方向であり、図１５（ｃ）に示したマザー対向基板２０１Ａの方向は、反転方
向であり、図１５（ｄ）に示したマザー対向基板２０１Ａの方向は、負横方向である。

次に、図１４のステップＳ２３では、ヘッドユニット２１ごとに１枚のマザー対向基板
２０１Ａに描画するために必要な機能液２５２の吐出量を算出する。当該吐出量は、ヘッ
ドユニット２１が備える全ての液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８ごとに、吐出マップ
で規定された吐出数から求めることができる。当該吐出量は、マザー対向基板２０１Ａの
方向ごとにそれぞれ算出する。当該算出を行う演算処理を実施するＣＰＵ４４が、吐出量
算出手段に相当する。
ヘッドユニット２１が備える９個の液滴吐出ヘッド１７が有する吐出ノズル７８が、ノ
ズル群に相当する。
図１５に示したヘッドユニット２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆは、
液滴吐出装置１が備える６個のヘッドユニット２１のＹ軸方向の概略位置を示している。
ａからｆの後に付した「１」は、１回目の吐出走査組におけるヘッドユニット２１のＹ軸
方向の概略位置を示していることを表し、ａからｆの後に付した「２」は、２回目の吐出
走査組におけるヘッドユニット２１のＹ軸方向の概略位置を示していることを表している
。

ヘッドユニット２１に機能液２５２を供給する機能液供給ユニット４は、例えば、図５
を参照して説明した機能液供給ユニット４４４である。この場合、ヘッドユニット２１が
備える３組のヘッド組６２は、それぞれ赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、又は
青色機能液２５２Ｂを吐出する。このため、一回の吐出走査で機能液を配置できる領域の
Ｙ軸方向の幅は、ヘッド組６２のノズル列に対応する幅である。したがって、Ｙ軸方向の
幅がヘッドユニット２１のノズル列に対応するＹ軸方向の幅を有する領域に機能液２５２
を配置するためには、ヘッド組６２のノズル列に対応するＹ軸方向の幅に機能液２５２を
配置する吐出走査を３回は実施する必要がある。ヘッドユニット２１ａ１，２１ｂ１，２
１ｃ１，２１ｄ１，２１ｅ１，２１ｆ１、及びヘッドユニット２１ａ２，２１ｂ２，２１
ｃ２，２１ｄ２，２１ｅ２，２１ｆ２は、３回以上の吐出走査を含む吐出走査組における
ヘッドユニット２１のＹ軸方向の概略位置を示している。

効率良く描画を実施するためには、ヘッドユニット２１が備える３組のヘッド組６２ご
とに、機能液２５２を配置する領域を、Ｙ軸方向にヘッド組６２のノズル列に対応する幅
だけずらした領域にする。しかし、説明を簡単にするために、本実施形態では、ヘッドユ
ニット２１ａ１，２１ｂ１，２１ｃ１，２１ｄ１，２１ｅ１，２１ｆ１、及びヘッドユニ
ット２１ａ２，２１ｂ２，２１ｃ２，２１ｄ２，２１ｅ２，２１ｆ２の位置で、１回目又
は２回目の吐出走査組が実施されるものとして説明する。
ヘッドユニット２１に機能液２５２を供給する機能液供給ユニット４が機能液供給ユニ
ット４４４である場合は、ヘッド組６２が備える３個の液滴吐出ヘッド１７が有する吐出
ノズル７８が、ノズル群に相当する。

図１０を参照して説明したように、ＣＦ層２０８に機能液２５２を配置するヘッドユニ
ット２１は、ＣＦ層４０８に機能液２５２を配置するヘッドユニット２１にくらべて、吐
出量が多くなる。
一点鎖線Ｌａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌａ４，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｂ４，Ｌｂ５
，Ｌｂ６，Ｌｂ７は、ＣＦ層２０８又はＣＦ層４０８が形成されない隙間の位置に記載し
てある。当該一点鎖線を含む領域に機能液２５２を配置するヘッドユニット２１は、当該
一点鎖線を含まない領域に機能液２５２を配置するヘッドユニット２１にくらべて、吐出
量が少なくなる。隙間領域のＸ軸方向の長さによっても、吐出量が異なる。
ヘッドユニット２１ａは、ヘッドユニット２１ａ１の位置ではマザー対向基板２０１Ａ
に対向しないため、１回目の吐出走査組においては、吐出は実施しない。このため、ヘッ
ドユニット２１ａの吐出量は少なくなる。
このように、６個のヘッドユニット２１のそれぞれにおいて、対向するマザー対向基板
２０１Ａの部分は、４方向の指定方向ごとにそれぞれ異なっている。これにより、６個の
ヘッドユニット２１のそれぞれにおいて、１枚のマザー対向基板２０１Ａの所定の位置に
機能液を配置するために吐出する機能液の量が、４方向の指定方向ごとにそれぞれ異なっ
ている。

次に、図１４のステップＳ２４では、ヘッドユニット２１ごとに、描画を実施する全て
のマザー対向基板２０１Ａに機能液２５２を配置するための総吐出量を算出する。総吐出
量は、例えば、マザー対向基板２０１Ａの所定の枚数を予め定めておき、当該所定枚数を
マザー対向基板２０１Ａの指定方向ごとに割振った指定方向分布を求める。それぞれの指
定方向分布ごとに、当該指定方向における吐出量と当該指定方向に割り当てられた枚数と
を乗ずることで、総吐出量を求める。
なお、より正確には、機能液供給ユニット４が機能液供給ユニット４４４である場合の
供給経路を共通にするヘッドグループは、ヘッド組６２の単位であるため、ヘッドユニッ
ト２１の総吐出量は、ヘッドユニット２１が備えるヘッド組６２それぞれの総吐出量であ
る。
総吐出量を算出する演算処理を実施するＣＰＵ４４が、総吐出量算出手段に相当する。

次に、図１４のステップＳ２５では、ステップＳ２１で入力された数量のマザー対向基
板２０１Ａに対して描画吐出を実施する際の、マザー対向基板２０１Ａの指定方向分布を
決定する。指定方向分布は、ステップＳ２４で求めたヘッドユニット２１ごとの総吐出量
のばらつきが最も小さくなる指定方向分布を選択して、当該指定方向分布に決定する。
指定方向分布を決定する演算処理を実施するＣＰＵ４４が、方向決定手段に相当する。

次に、ステップＳ２６では、液滴吐出装置１の給除材位置に在るワーク載置台３０にマ
ザー対向基板２０１Ａを給材する。マザー対向基板２０１Ａの給材は、給材ロボットなど
によって実施される。
次に、ステップＳ２７では、ワーク載置台３０に載置されたマザー対向基板２０１Ａの
アライメントを実施する。マザー対向基板２０１Ａのアライメントは、アライメントカメ
ラによってマザー対向基板２０１Ａに形成されたアライメントマーク２８１の画像を取得
し、撮像結果に基づいて、回動機構３２によってマザー対向基板２０１Ａのθ補正を実行
することで実施する。マザー対向基板２０１Ａは、給材される際に方向規制体３１ａに当
接されることによって、略基準方向に向いているため、θ補正における補正量は微小であ
る。

ステップＳ２８では、マザー対向基板２０１Ａの方向調整を実施する。本実施形態では
、回動機構３２によってマザー対向基板２０１Ａを、基準方向のまま維持する、正横方向
に回動する、反転方向に回動する、又は負横方向に回動することで、ステップＳ２５で決
定された指定方向分布を実現する指定方向に、マザー対向基板２０１Ａの方向を調整する
。
なお、指定方向分布を実現する指定方向に、マザー対向基板２０１Ａの方向を調整する
ことで、所定数のマザー対向基板２０１Ａに対して描画吐出を実施した時点で、ヘッドユ
ニット２１ごとの総吐出量のばらつきが最も小さくなる。しかし、所定数のマザー対向基
板２０１Ａに対して描画吐出を実施している途中でも、ヘッドユニット２１ごとの吐出量
のばらつきは小さいことが好ましい。多くの場合、同じ指定方向に向けるマザー対向基板
２０１Ａが複数存在する。順次描画吐出を実施する１枚のマザー対向基板２０１Ａごとに
、方向を異なる指定方向にすることで、方向を連続して同じ指定方向にする場合にくらべ
て、描画吐出を実施している途中での、ヘッドユニット２１ごとの吐出量のばらつきを小
さくできる可能性がある。

次に、ステップＳ２９では、描画ユニット２による描画吐出を実施する。Ｘ軸走査機構
３６によってマザー対向基板２０１Ａ（ワーク載置台３０）をＸ軸方向に移動させると共
に、描画ユニット２が有する吐出ノズル７８から選択的に機能液を吐出することによって
、マザー対向基板２０１Ａの上の規定された位置に機能液２５２を配置する。

次に、ステップＳ３０では、描画吐出が実施されたマザー対向基板２０１Ａを除材する
。
次に、ステップＳ３１では、次に描画するマザー対向基板２０１Ａの有無を判定する。
次に描画するマザー対向基板２０１Ａが有る場合（ステップＳ３１でＹＥＳ）には、ステ
ップＳ２６に戻り、ステップＳ２６からステップＳ３０を繰り返す。
次に描画するマザー対向基板２０１Ａが無い場合（ステップＳ３１でＮＯ）には、ステ
ップＳ３１を終了して描画工程を終了する。

第一の実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）回動機構３２は、載置台ベース３３に対して、載置台３１を、載置台３１のワー
クＷを載置する面に略垂直な回動軸３２ａ回りに回動可能であり、精度良く任意の位置に
保持することが可能である。回動機構３２を用いて、載置台３１に載置されたマザー対向
基板２０１Ａなどの、基板面に平行な方向における方向を変えることができる。

（２）ステップＳ２４では、ヘッドユニット２１ごとに、描画を実施する全てのマザー
対向基板２０１Ａに機能液２５２を配置するための総吐出量を算出する。ステップＳ２５
では、ステップＳ２１で入力された数量のマザー対向基板２０１Ａに対して描画吐出を実
施する際の、マザー対向基板２０１Ａの指定方向分布を決定する。指定方向分布は、ステ
ップＳ２４で求めたヘッドユニット２１ごとの総吐出量のばらつきが最も小さくなる指定
方向分布を選択して、当該指定方向分布に決定する。描画されるマザー対向基板２０１Ａ
は、それぞれ決定された指定方向分布に従う方向に、回動機構３２よって方向が変更され
て、描画吐出が実施される。これにより、ステップＳ２１で入力された数量のマザー対向
基板２０１Ａに対して描画吐出を実施する際の、ヘッドユニット２１ごとの総吐出量のば
らつきを最も小さくすることができる。

（３）マザー対向基板２０１Ａの方向として、指定方向が予め定められている。指定方
向を定めることにより、指定方向を定めることなくマザー対向基板２０１Ａが様々な方向
に向けられる可能性がある場合にくらべて、総吐出量を容易に算出することができる。

（４）回動機構３２は、載置台ベース３３に対して、載置台３１を、載置台３１のワー
クＷを載置する面に略垂直な回動軸３２ａ回りに回動可能であり、精度良く任意の位置に
保持することが可能である。回動機構３２をワーク載置台３０に設けることで、マザー対
向基板２０１Ａの液滴吐出装置１におけるＺ軸周りの方向の微調整であるアライメントを
実施する際の、回動装置としても使用することができる。

（第二の実施形態）
次に、液状体吐出装置、及び液状体吐出方法の第二の実施形態について図面を参照して
、説明する。本実施形態の描画対象物は、第一の実施形態で説明した液晶装置と実質的に
同一のものであるため、描画対象物に関する説明は省略する。本実施形態の液滴吐出装置
は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置１と一部のみが異なるため、液滴吐出装置に
関する説明は、液滴吐出装置１と構成が異なる部分についてのみ説明する。液状体吐出方
法についても、第一の実施形態と異なる部分を主に説明する。

＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出装置の全体構成について、図１６を参照して説明する。図１６は、液
滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。

図１６に示すように、液滴吐出装置５０１は、描画ユニット２と、ワークユニット５０
３と、機能液供給ユニット４と、保守ユニット５と、給除材ユニット５４０と、を備えて
いる。給除材ユニット５４０は、多くの場合に液滴吐出装置とは独立して設けられる給除
材装置を、液滴吐出装置からの指令に従ってワークの方向を変えるために、液滴吐出装置
５０１に組み込んだものである。
描画ユニット２と、機能液供給ユニット４と、保守ユニット５とは、第一の実施形態で
説明した液滴吐出装置１の描画ユニット２、機能液供給ユニット４、及び保守ユニット５
と実質的に同等のものである。

＜ワークユニット＞
ワークユニット５０３は、ワーク載置台５３０と、Ｘ軸走査機構３６とを備えている。
ワーク載置台５３０は、載置台５３１と、θ機構５３２と、載置台ベース５３３と、ス
ライダ枠３４１とを備えている。載置台ベース５３３に固定された一対のスライダ枠３４
１，３４１が有するＸ軸スライダ（図示省略）を、Ｘ軸リニアモータによって駆動するこ
とによって、ワーク載置台５３０をＸ軸方向に移動する。また、任意の位置に保持する。
載置台５３１は、θ機構５３２を介して、載置台ベース５３３に微小量の回動可能に取
付けられている。θ機構５３２は、載置台ベース５３３に対して、載置台５３１を、載置
台５３１のワークＷを載置する面に略垂直な回動軸（図１６に記載したＺ軸に略平行な軸
）回りに高分解能で回動可能であり、精度良く任意の位置に保持することが可能である。
載置台５３１は、載置されたワークＷを吸引して固定する吸引機構（図示省略）と、方
向規制体５３１ａとを備えている。載置台５３１にワークＷを給材する際は、ワークＷを
方向規制体５３１ａに接触させることで、液滴吐出装置５０１における略所定の方向で、
ワークＷを載置台５３１に載置する。続いて、θ機構５３２を用いてアライメントを実施
することで、ワークＷを液滴吐出装置５０１における所定の方向で位置させる。

＜給除材ユニット＞
給除材ユニット５４０は、給除材腕５４１と、吸着端５４２と、ワーク回動機構５４４
と、腕軸部５４６を備えている。
給除材腕５４１は、腕部５４１ａと、腕部５４１ｂと、腕関節部５４３とを備え、腕部
５４１ａの一端と腕部５４１ｂの一端とは、腕関節部５４３で接続されている。腕部５４
１ｂの腕関節部５４３に接続された一端の反対側の一端は、腕軸部５４６に接続されてい
る。腕軸部５４６は、給除材腕５４１を腕軸部５４６の回動軸を中心に回動可能に支持し
ている。

腕部５４１ａの腕関節部５４３に接続された一端の反対側の一端には、吸着端５４２が
、ワーク回動機構５４４を介してワーク回動機構５４４の回動軸を中心に回動可能に支持
されている。吸着端５４２がワークＷを吸着する吸着面は、ワーク回動機構５４４の回動
軸と略垂直であり、ワーク回動機構５４４によって吸着端５４２を回動させることで、吸
着面に平行な平面方向における吸着端５４２の方向を変えることができる。ワーク回動機
構５４４が、方向転換手段、又は基材回動手段に相当する。
腕部５４１ａと腕部５４１ｂとは、腕関節部５４３において互いのなす角度を調整可能
である。即ち、給除材腕５４１は、腕関節部５４３において屈伸可能である。

腕軸部５４６によって、給除材腕５４１を回動させて任意の方向に向け、腕関節部５４
３において給除材腕５４１を屈伸させることによって、吸着端５４２を任意の位置、例え
ば、ワークＷを吸着可能な位置に位置させる。ワーク回動機構５４４によって吸着端５４
２を回動させることによって、吸着端５４２に吸着されたワークＷの面に平行な平面方向
の方向を変える。腕軸部５４６によって、給除材腕５４１を回動させて、給除材腕５４１
を載置台５３１の方向に向け、腕関節部５４３において給除材腕５４１を屈伸させること
によって、ワークＷを吸着した吸着端５４２を、ワークＷが載置台５３１に臨む位置に位
置させる。

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置５０１を駆動するための電気的構成に
ついて、図１７を参照して説明する。図１７は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構
成ブロック図である。
液滴吐出装置５０１は、液滴吐出装置１と同様の制御装置６５を備えている。

液滴吐出装置５０１の吐出装置制御部５０６は、液滴吐出装置１の吐出装置制御部６と
略同様の構成を有し、吐出装置制御部６の駆動機構ドライバ８ｄと一部のみ異なる駆動機
構ドライバ５０８ｄを備えている。駆動機構ドライバ５０８ｄには、駆動機構ドライバ８
ｄに接続されている各装置又は機構と略同様の装置又は機構が接続されている。駆動機構
ドライバ５０８ｄには、さらに、ワーク載置台３０の回動機構３２に代わる、ワーク載置
台５３０のθ機構５３２と、ワーク回動機構５４４を備える給除材ユニット５４０とが接
続されている。

＜描画＞
次に、ＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８を形成する工程における、液滴吐出装置５０１を
用いて、図８を参照して説明したマザー対向基板２０１Ａのフィルタ膜領域２２５及びフ
ィルタ膜領域４２５に機能液２５２を配置する描画工程について、図１８を参照して説明
する。図１８は、描画工程を示すフローチャートである。

図１８のステップＳ４１からステップＳ４５は、図１４のステップＳ２１からステップ
Ｓ２５と同様の工程である。ステップＳ４５を終了して、ステップＳ４１で入力された数
量のマザー対向基板２０１Ａに対して描画吐出を実施する際の、マザー対向基板２０１Ａ
の指定方向分布が決定される。

ステップＳ４５の次に、ステップＳ４６では、給除材ユニット５４０の吸着端５４２で
マザー対向基板２０１Ａを吸着する。
次に、ステップＳ４７では、吸着端５４２に吸着されているマザー対向基板２０１Ａの
方向調整を実施する。本実施形態では、ワーク回動機構５４４によって吸着端５４２を回
動することによって、吸着端５４２に吸着されているマザー対向基板２０１Ａが載置台５
３１に載置された際に、基準方向、正横方向、反転方向、又は負横方向のいずれかの指定
方向となる方向に、マザー対向基板２０１Ａの方向を調整する。基準方向、正横方向、反
転方向、又は負横方向のいずれの指定方向に調整するかの選択は、ステップＳ４５で決定
された指定方向分布を実現する指定方向を選択する。

次に、ステップＳ４８では、液滴吐出装置５０１の給除材位置に在るワーク載置台５３
０にマザー対向基板２０１Ａを給材する。
次に、ステップＳ４９では、ワーク載置台５３０に載置されたマザー対向基板２０１Ａ
のアライメントを実施する。マザー対向基板２０１Ａのアライメントは、アライメントカ
メラによってマザー対向基板２０１Ａに形成されたアライメントマーク２８１の画像を取
得し、撮像結果に基づいて、θ機構５３２によってマザー対向基板２０１Ａのθ補正を実
行することで実施する。マザー対向基板２０１Ａは、給材される際に方向規制体５３１ａ
に当接されることによって、略指定方向に向いているため、θ補正における補正量は微小
である。θ機構５３２によって回動可能な角度は、例えば５°程度であり、θ補正を実施
するためには充分な回動可能角度である。

次に、ステップＳ５０では、上述したステップＳ２９と同様に、描画ユニット２による
描画吐出を実施する。Ｘ軸走査機構３６によってマザー対向基板２０１Ａ（ワーク載置台
５３０）をＸ軸方向に移動させると共に、描画ユニット２が有する吐出ノズル７８から選
択的に機能液を吐出することによって、マザー対向基板２０１Ａの上の規定された位置に
機能液２５２を配置する。

次に、ステップＳ５１では、描画が実施されたマザー対向基板２０１Ａを、給除材ユニ
ット５４０を用いて除材する。
次に、ステップＳ５２では、次に描画するマザー対向基板２０１Ａの有無を判定する。
次に描画するマザー対向基板２０１Ａが有る場合（ステップＳ５２でＹＥＳ）には、ステ
ップＳ４６に戻り、ステップＳ４６からステップＳ５１を繰り返す。
次に描画するマザー対向基板２０１Ａが無い場合（ステップＳ５２でＮＯ）には、ステ
ップＳ５２を終了して描画工程を終了する。

第二の実施形態によれば、上述した第一の実施形態による効果に加えて、以下に記載す
る効果が得られる。
（１）給除材ユニット５４０は、ワーク回動機構５４４を備えている。ワーク回動機構
５４４によって吸着端５４２を回動させることで、吸着面に平行な平面方向における吸着
端５４２の方向を変えることができる。これにより、吸着端５４２に吸着したマザー対向
基板２０１Ａなどの、基板面に平行な方向における方向を変えることができる。

（２）ステップＳ４４では、ヘッドユニット２１ごとに、描画を実施する全てのマザー
対向基板２０１Ａに機能液２５２を配置するための総吐出量を算出する。ステップＳ４５
では、ステップＳ４１で入力された数量のマザー対向基板２０１Ａに対して描画吐出を実
施する際の、マザー対向基板２０１Ａの指定方向分布を決定する。指定方向分布は、ステ
ップＳ４４で求めたヘッドユニット２１ごとの総吐出量のばらつきが最も小さくなる指定
方向分布を選択して、当該指定方向分布に決定する。描画されるマザー対向基板２０１Ａ
は、それぞれ決定された指定方向分布に従う方向に、ワーク回動機構５４４よって方向が
変更されて、液滴吐出装置５０１に給材されて、描画吐出が実施される。これにより、ス
テップＳ４１で入力された数量のマザー対向基板２０１Ａに対して描画吐出を実施する際
の、ヘッドユニット２１ごとの総吐出量のばらつきを最も小さくすることができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は
、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは
勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、所定枚数をマザー対向基板２０１Ａの指定方向
ごとに割振った指定方向分布を求め、ヘッドユニット２１ごとに、指定方向分布にしたが
って描画を実施する全てのマザー対向基板２０１Ａに機能液２５２を配置するための総吐
出量を算出していた。そして、総吐出量のばらつきが最も小さくなる指定方向分布を選択
して、当該指定方向分布にしたがって、マザー対向基板２０１Ａの方向を決定していた。
しかし、総吐出量を算出することも、総吐出量のばらつきが最も小さくなる指定方向分布
にしたがって、基材の方向を決定することも必須ではない。基材の方向として複数の指定
方向を指定することも必須ではない。
最初に、前記実施形態において、ヘッドユニット２１ごとに、各指定方向において、１
枚のマザー対向基板２０１Ａに描画するために必要な機能液２５２の吐出量を算出したよ
うに、ノズル群ごとに、各指定方向において、１枚の基材に描画するために必要な液状体
の吐出量を算出する。そして、基材の方向を、ノズル群ごとの吐出量のばらつきが最も小
さい指定方向のみに指定してもよい。総吐出量を算出したり、総吐出量のばらつきが最も
小さくなる指定方向分布を算出したりすることが不要であるため、制御装置の負荷の増加
を抑制することができるとともに、描画工程に要する時間の増加を抑制することができる
。

（変形例２）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１ごとに、各指定方向におい
て、１枚のマザー対向基板２０１Ａに描画するために必要な機能液２５２の吐出量を算出
していた。さらに、所定枚数をマザー対向基板２０１Ａの指定方向ごとに割振った指定方
向分布を求め、ヘッドユニット２１ごとに、指定方向分布にしたがって描画を実施する全
てのマザー対向基板２０１Ａに機能液２５２を配置するための総吐出量を算出していた。
そして、総吐出量のばらつきが最も小さくなる指定方向分布を選択して、当該指定方向分
布にしたがって、マザー対向基板２０１Ａの方向を決定していた。しかし、基材に液状体
を配置するために必要な液状体の吐出量を求めて、それに拠って基材の方向を決定するこ
とは必須ではない。例えば、所定数の基材に液状体を配置する際に、それぞれの基材の方
向を、所定数を各指定方向に略均等に割振ってもよい。各ノズル群においては、指定方向
ごとに、１枚の基材に向けて吐出する吐出量が異なる可能性があり、各指定方向の基材に
向けて必要量を吐出することで、所定数の基材に向けて吐出する必要量を平準化すること
ができる可能性が高い。

（変形例３）前記実施形態においては、載置台３１又は載置台５３１にマザー対向基板
２０１Ａを給材する際に液滴吐出装置１又は液滴吐出装置５０１における略所定の方向で
マザー対向基板２０１Ａを載置台３１又は載置台５３１に載置するために、方向規制体３
１ａ又は方向規制体５３１ａを設けていた。しかし、方向規制体３１ａ又は方向規制体５
３１ａを設けることは必須ではない。アライメントを実施する際に、アライメント装置の
認識装置がマザー対向基板２０１Ａなどのワークにおけるアライメントマーク２８１のよ
うなアライメントマークを認識できる位置に、ワークを位置させることができれば方向規
制体３１ａのような部材を設けなくてもよい。

（変形例４）前記実施形態においては、吐出量や総吐出量を求めるノズル群は、ヘッド
ユニット２１又はヘッド組６２が備える液滴吐出ヘッド１７が有する吐出ノズル７８であ
ったが、ノズル群がヘッドユニットやヘッド組が備える吐出ノズルの組であることは必須
ではない。例えば、液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの組であってもよいし、液滴吐出
ヘッドが備えるノズル列が有する吐出ノズルの組などであってもよい。

（変形例５）前記実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａに対して２回の吐出走
査を実施し、それぞれの吐出走査において使用されたヘッドユニット２１は、ヘッドユニ
ット２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ又はヘッドユニット２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１
ｅ，２１ｆと、ヘッドユニット２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ又はヘッドユニット２１
ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅであり、それぞれ固定であった。しかし、吐出走査
で使用するヘッドユニット２１などのノズル群の組み合わせは他の組み合わせであっても
よい。例えば、前記実施形態における基準方向又は反転方向においては、１回目がヘッド
ユニット２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ、２回目がヘッドユニット２
１ａ，２１ｂの組み合わせ、１回目がヘッドユニット２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，
２１ｆ、２回目がヘッドユニット２１ａ，２１ｂ，２１ｃの組み合わせ、１回目がヘッド
ユニット２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ、２回目がヘッドユニット２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２
１ｄ，２１ｅの組み合わせ、１回目がヘッドユニット２１ｅ，２１ｆ、２回目がヘッドユ
ニット２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆの組み合わせ、などであっても
よい。使用するノズル群の組み合わせを変えることで、それぞれのノズル群が液状体を配
置する位置が変わるため、所定数の基材に向けて吐出する必要量を、ノズル群ごとに平準
化することができる可能性が高い。

（変形例６）前記実施形態においては、指定方向は、基準方向、正横方向、反転方向、
及び負横方向の４方向であったが、指定方向の数は４方向に限らない。指定方向は、いく
つ規定してもよい。

（変形例７）前記実施形態においては、指定方向は、方向が互いに９０°異なる基準方
向、正横方向、反転方向、及び負横方向であり、当該方向は、フィルタ膜領域２２５及び
フィルタ膜領域４２５の配列方向が吐出走査方向と略平行又は略直交する方向であった。
しかし、指定方向が着弾させる領域の配列方向に略平行な方向や略直交する方向であるこ
とは必須ではない。指定方向は、着弾させる領域の配列方向と直角以外の角度で交差する
方向であってもよい。
例えば、前記実施形態におけるマザー対向基板２０１Ａにおいて、フィルタ膜領域２２
５及びフィルタ膜領域４２５の配列方向に対して傾いた方向を指定方向としてもよい。傾
いた方向を指定方向とすることで、１回の吐出走査あたりの吐出を実施する長さが対向す
るマザー対向基板２０１Ａの位置によって異なる位置ができるため、当該位置を組合わせ
て、総吐出量を調整できる可能性がある。

（変形例８）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は
、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの３
色のフィルタ膜を有する３色フィルタであったが、カラーフィルタは、さらに多くの種類
のフィルタ膜を有する多色のカラーフィルタであってもよい。多色のカラーフィルタとし
ては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マ
ゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラーフィルタや、シア
ン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色カラーフィ
ルタなどがあげられる。

（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式の
液滴吐出ヘッドであったが、液滴吐出ヘッドがインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであ
ることは必須ではない。上述した液状体を配置する液滴吐出ヘッドは、インクジェット方
式とは異なる方式の液滴吐出ヘッドであってもよい。

（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、一種類の機能液を吐
出する構成であったが、液滴吐出ヘッドが吐出する液状体の種類は一種類に限らない。液
滴吐出ヘッドは、複数の液状体供給経路及びそれぞれの液状体供給経路が連通して液状体
を供給することができるノズル列を備える構成であってもよい。

（変形例１１）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列７８Ａを２
列備えており、それぞれのノズル列７８Ａは１８０個の吐出ノズル７８を有する構成であ
ったが、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの構成は液滴吐出ヘッド１７におけるような
構成に限らない。液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの数は何個であってもよいし、液滴
吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配列も、例えば１列に配列するなど、どのような配列で
あってもよい。

（変形例１２）前記実施形態においては、液滴吐出装置１のヘッドユニット２１は９個
の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、
９個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備える構成であってもよい
。

（変形例１３）前記実施形態においては、液滴吐出装置１及び液滴吐出装置５０１は６
個のヘッドユニット２１を備えていたが、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは６個に
限らない。液滴吐出装置は、何個のヘッドユニットを備える構成であってもよい。

（変形例１４）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、マザー対向基板２０１Ａ
などを載置したワーク載置台３０をＸ軸方向に移動させると共に、液滴吐出ヘッド１７か
ら機能液を吐出させることによって機能液を配置していた。また、ヘッドユニット２１を
Ｙ方向に移動することによって、マザー対向基板２０１Ａなどに対する液滴吐出ヘッド１
７（吐出ノズル７８）の位置を合わせこんでいた。しかし、ノズル列を備える液滴吐出ヘ
ッドと基材との、吐出走査における相対移動を基材を移動させることで実施することも、
ノズル列を構成する吐出ノズルの配列方向における相対移動を液滴吐出ヘッドを移動させ
ることで実施することも、必須ではない。
液滴吐出ヘッドと基材との吐出走査における相対移動を、液滴吐出ヘッドを吐出走査の
方向に移動させることで実施してもよい。液滴吐出ヘッドと基材との吐出ノズルの配列方
向の相対移動を、基材を吐出ノズルの配列方向に移動させることで実施してもよい。ある
いは、液滴吐出ヘッドと基材との、吐出走査方向及び吐出ノズルの配列方向の相対移動を
、液滴吐出ヘッド、又は基材のどちらか一方を、吐出走査方向及び吐出ノズルの配列方向
に移動させることで実施してもよいし、液滴吐出ヘッド、及び基材の両方を、吐出走査方
向及び吐出ノズルの配列方向に移動させることで実施してもよい。

（変形例１５）前記実施形態においては、液滴吐出装置を使用して液状体を配置する対
象物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルタを備える液晶表示パネル２
００において、フィルタ膜２０５を形成する際の描画吐出について説明した。しかし、液
状体を配置する対象物は、液晶装置に限らない。液状体を配置する対象物は、上述したよ
うな膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置
であれば、どのような装置であってもよい。

（変形例１６）前記実施形態においては、ステップＳ２１からステップＳ２５、又はス
テップＳ４１からステップＳ４５を実施することで、マザー対向基板２０１Ａの指定方向
分布を求めていたが、描画吐出を実施する液滴吐出装置が指定方向分布を求めることは必
須ではない。指定方向分布は、ワークと液滴吐出装置との組み合わせに対応した最適な指
定方向分布を予め求めておき、描画を実施する際には、予め求めた指定方向分布を液滴吐
出装置に入力してもよい。

第一の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。 ワークユニットの概略構成を示す説明図。 （ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。 ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。 給液ユニットの構成、及びヘッドユニットとの結合状態を示す説明図。 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。 液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。 （ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、（ａ）に示した対向基板とは異なる他の対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｃ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。 ３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。 フィルタ膜領域の概形状と、フィルタ膜領域に対する機能液の配置位置を示す説明図。 液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。 液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。 液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。 描画工程を示すフローチャート。 描画工程におけるマザー対向基板の指定方向と、マザー対向基板に対するヘッドユニットの位置とを示す説明図。 第二の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。 描画工程を示すフローチャート。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…描画ユニット、３…ワークユニット、４…機能液供給ユニット
、６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、３０…ワーク載
置台、３１…載置台、３２…回動機構、３２ａ…回動軸、３３…載置台ベース、４４…Ｃ
ＰＵ、４５…ＲＯＭ、４６…ＲＡＭ、６５…制御装置、７８…吐出ノズル、７８Ａ…ノズ
ル列、８１…機能液タンク、８１Ｂ…機能液タンク、８１Ｇ…機能液タンク、８２…サブ
タンク、８３…給液管、８４…中継タンク、２００…液晶表示パネル、２０１Ａ…マザー
対向基板、２０８…ＣＦ層、２２０…対向基板、２２５…フィルタ膜領域、２５２…機能
液、２６３…着弾点、２６４…着弾可能点、３０４…機能液供給ユニット、４０１…ガラ
ス基板、４０８…ＣＦ層、４２０…対向基板、４２５…フィルタ膜領域、４４４…機能液
供給ユニット、５０１…液滴吐出装置、５０３…ワークユニット、５０６…吐出装置制御
部、５３０…ワーク載置台、５３１…載置台、５３２…θ機構、５４０…給除材ユニット
、５４２…吸着端、５４４…ワーク回動機構。

Claims (26)

1. 液状体を吐出する複数の吐出ノズルが配列されたノズル列と、前記液状体が配置される
   基材と前記ノズル列とを相対移動させる移動手段と、を備え、前記ノズル列と前記基材と
   を相対移動させると共に、前記複数の吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出して、前
   記基材に配置する液状体吐出装置であって、
   前記液状体の吐出を伴う相対移動の方向に対して、前記基材の面方向における前記基材
   の方向を変える方向転換手段を備えることを特徴とする液状体吐出装置。
2. 前記基材を載置する基材台をさらに備え、
   前記方向転換手段は、前記基材台の前記基材を載置する載置面に略垂直な軸回りに、前
   記基材台を回動させる回動手段であることを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出装
   置。
3. 前記基材を少なくとも給材する給除材手段をさらに備え、
   前記方向転換手段は、前記給除材手段が保持した前記基材を、前記基材の面に略垂直な
   軸回りに回動させる基材回動手段であることを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出
   装置。
4. 前記基材の前記面方向における方向を決定する方向決定手段をさらに備え、
   前記方向決定手段は、前記基材の方向を、それぞれの前記基材ごとに、予め定められた
   複数の指定方向のいずれかの指定方向に決定し、
   前記方向転換手段は、前記基材の方向を、前記方向決定手段によって決定された前記指
   定方向に転換することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体吐出
   装置。
5. 前記基材における前記液状体の配置規格を含む情報を取得する基材情報取得手段と、
   前記配置規格に基づいて、前記指定方向ごとに、１又は複数の前記吐出ノズルからなる
   複数のノズル群におけるそれぞれのノズル群ごとの吐出量を算出する吐出量算出手段と、
   前記吐出量算出手段が算出した前記指定方向ごとの前記ノズル群における前記吐出量に
   基づいて、所定の数の前記基材に対して前記液状体を配置する際の、前記指定方向の組み
   合わせと前記ノズル群ごとの総吐出量との関係を求める総吐出量算出手段と、をさらに備
   え、
   前記方向決定手段は、前記総吐出量算出手段によって算出された前記総吐出量と前記指
   定方向の組み合わせとの関係に基づいて、前記ノズル群相互の前記総吐出量のばらつきが
   最小となる前記指定方向の組み合わせにおけるそれぞれの前記指定方向に、前記所定の数
   の前記基材におけるそれぞれの前記基材の方向を決定することを特徴とする、請求項４に
   記載の液状体吐出装置。
6. 前記液状体の配置を実施する対象とする前記基材の数を取得する数量取得手段をさらに
   備え、
   前記総吐出量算出手段は、前記数量取得手段が取得した前記基材の数に対応する前記基
   材に対して前記液状体を配置する際の、前記ノズル群ごとの総吐出量と前記指定方向の組
   み合わせとの関係を求めることを特徴とする、請求項５に記載の液状体吐出装置。
7. 前記ノズル群を構成する前記吐出ノズルは、前記液状体を当該吐出ノズルに供給する供
   給経路の少なくとも一部を共通にしていることを特徴とする、請求項５又は６に記載の液
   状体吐出装置。
8. 前記方向決定手段は、所定の数の前記基材に対して前記液状体を配置する際の、前記基
   材の方向に決定される前記指定方向の数が最大であって、一つの前記指定方向に決定する
   回数の最大値が最小となる、前記指定方向の組み合わせに、前記所定の数の前記基材にお
   けるそれぞれの前記基材の方向を決定することを特徴とする、請求項４に記載の液状体吐
   出装置。
9. 前記液状体の配置を実施する対象とする前記基材の数を取得する数量取得手段をさらに
   備え、
   前記方向決定手段は、前記数量取得手段が取得した前記基材の数に対応する前記基材に
   対して前記液状体を配置する際の、前記基材の方向を決定することを特徴とする、請求項
   ８に記載の液状体吐出装置。
10. 前記方向決定手段は、前記基材の方向に決定する前記指定方向が複数である場合、当該
    基材の指定方向を、当該基材の直前に前記液状体を配置した前記基材の前記指定方向とは
    異なる前記指定方向に決定することを特徴とする、請求項４乃至９のいずれか一項に記載
    の液状体吐出装置。
11. 前記基材における前記液状体の配置規格を含む情報を取得する基材情報取得手段と、
    前記配置規格に基づいて、前記指定方向ごとに、１又は複数の前記吐出ノズルからなる
    複数のノズル群におけるそれぞれのノズル群ごとの吐出量を算出する吐出量算出手段と、
    をさらに備え、
    前記方向決定手段は、前記吐出量算出手段によって算出された前記ノズル群ごとの吐出
    量のばらつきが最小となる前記指定方向に、前記基材の方向を決定することを特徴とする
    、請求項４に記載の液状体吐出装置。
12. 前記ノズル群を構成する前記吐出ノズルは、前記液状体を当該吐出ノズルに供給する供
    給経路の少なくとも一部を共通にしていることを特徴とする、請求項１１に記載の液状体
    吐出装置。
13. 前記方向転換手段による方向転換が可能な角度が９０°以上であることを特徴とする、
    請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
14. 液状体を吐出する吐出ノズルを備える吐出ヘッドと、前記液状体が配置される基材と、
    を相対移動させ、前記吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出して前記基材上に配置す
    る液状体吐出方法であって、
    前記基材の面方向において、前記基材の方向を変える方向転換工程を有することを特徴
    とする液状体吐出方法。
15. 前記液状体を吐出する液状体吐出装置に、前記基材を給材する給材工程をさらに有し、
    前記方向転換工程は、前記給材工程の後に実施することを特徴とする、請求項１４に記
    載の液状体吐出方法。
16. 前記液状体を吐出する液状体吐出装置に、前記基材を給材する給材工程をさらに有し、
    前記給材工程は、前記方向転換工程を含むことを特徴とする、請求項１４に記載の液状
    体吐出方法。
17. 前記基材の方向を、それぞれの前記基材ごとに、予め定められた複数の指定方向のいず
    れかの指定方向に決定する方向決定工程をさらに有し、
    前記方向転換工程では、前記基材の方向を、前記方向決定工程において決定された前記
    指定方向に転換することを特徴とする、請求項１４乃至１６のいずれか一項に記載の液状
    体吐出方法。
18. 前記基材における前記液状体の配置規格を含む情報を取得する基材情報取得工程と、
    前記配置規格に基づいて、前記指定方向ごとに、１又は複数の前記吐出ノズルからなる
    複数のノズル群におけるそれぞれのノズル群ごとの吐出量を算出する吐出量算出工程と、
    前記吐出量算出工程において算出された前記指定方向ごとの前記ノズル群における前記
    吐出量に基づいて、所定の数の前記基材に対して前記液状体を配置する際の、前記ノズル
    群ごとの総吐出量と前記指定方向の組み合わせとの関係を求める総吐出量算出工程と、を
    さらに有し、
    前記方向決定工程では、前記総吐出量算出工程において算出された前記総吐出量と前記
    指定方向の組み合わせとの関係に基づいて、前記ノズル群相互の前記総吐出量のばらつき
    が最小となる前記指定方向の組み合わせにおけるそれぞれの前記指定方向に、前記所定の
    数の前記基材におけるそれぞれの前記基材の方向を決定することを特徴とする、請求項１
    ７に記載の液状体吐出方法。
19. 前記基材情報取得工程は、前記液状体の配置を実施する対象とする前記基材の数を取得
    する数量取得工程を含み、
    前記総吐出量算出工程では、前記数量取得工程において取得された前記基材の数に対応
    する前記基材に対して前記液状体を配置する際の、前記ノズル群ごとの総吐出量と前記指
    定方向の組み合わせとの関係を求めることを特徴とする、請求項１８に記載の液状体吐出
    方法。
20. 前記ノズル群を構成する前記吐出ノズルは、前記液状体を当該吐出ノズルに供給する供
    給経路の少なくとも一部を共通にしていることを特徴とする、請求項１８又は１９に記載
    の液状体吐出方法。
21. 前記方向決定工程では、所定の数の前記基材に対して前記液状体を配置する際の、前記
    基材の方向に決定される前記指定方向の数が最大であって、一つの前記指定方向に決定す
    る回数の最大値が最小となる、前記指定方向の組み合わせに、前記所定の数の前記基材に
    おけるそれぞれの前記基材の方向を決定することを特徴とする、請求項１７に記載の液状
    体吐出方法。
22. 前記液状体の配置を実施する対象とする前記基材の数を取得する数量取得工程をさらに
    有し、
    前記方向決定工程では、前記数量取得工程において取得された前記基材の数に対応する
    前記基材に対して前記液状体を配置する際の、前記基材の方向を決定することを特徴とす
    る、請求項２１に記載の液状体吐出方法。
23. 前記方向決定工程では、前記基材の方向に決定する前記指定方向が複数である場合、当
    該基材の指定方向を、当該基材の直前に前記液状体を配置する工程が実施された前記基材
    の前記指定方向とは異なる前記指定方向に決定することを特徴とする、請求項１８乃至２
    ２のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
24. 前記基材における前記液状体の配置規格を含む情報を取得する基材情報取得工程と、
    前記配置規格に基づいて、前記指定方向ごとに、１又は複数の前記吐出ノズルからなる
    複数のノズル群におけるそれぞれのノズル群ごとの吐出量を算出する吐出量算出工程と、
    をさらに有し、
    前記方向決定工程では、前記吐出量算出工程において算出された前記ノズル群ごとの吐
    出量のばらつきが最小となる前記指定方向に、前記基材の方向を決定することを特徴とす
    る、請求項１７に記載の液状体吐出方法。
25. 前記ノズル群を構成する前記吐出ノズルは、前記液状体を当該吐出ノズルに供給する供
    給経路の少なくとも一部を共通にしていることを特徴とする、請求項２４に記載の液状体
    吐出方法。
26. 前記方向転換工程における方向転換が可能な角度が９０°以上であることを特徴とする
    、請求項１４乃至２５のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。

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