JP2010054774A - 液状体吐出方法、及び液状体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴の配置位置を決定するために工程時間が増大したり、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大したりすることを抑制する液状体吐出方法及び液状体吐出装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出方法は、液状体の液滴を吐出する吐出ノズルと、被配置区画を備える基材と、を主走査方向に相対移動させ、被配置区画に吐出ノズルから吐出された液状体を配置する液状体吐出方法であって、第一の被配置区画に液滴を配置する位置を規定する第一の配置パターンを生成する工程と、第一の被配置区画と相似の形状を有する第二の被配置区画に液滴を配置する位置を規定する第二の配置パターンを生成する工程と、第二の配置パターンに従って液滴を配置する工程と、を有し、第二の配置パターンは、第一の配置パターンと相似形状であって、第一の配置パターンに対する相似比が、第一の被配置区画の形状に対する第二の被配置区画の形状の相似比と等しい。
【選択図】図１６

Description

本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを用いて液状体を吐出する液状体吐出方法、及び液状体を吐出する吐出ノズルを有する液状体吐出装置に関する。

従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などの機能膜を形成する技術として、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する描画装置を用いて、機能膜の材料を含む液状体の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させることで、当該位置に液状体を配置（描画）し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる描画装置は、液滴吐出ヘッドを基板に対して相対移動させながら、液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して、基板上に位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜厚を有する膜を形成することができる。

より高機能の機能膜を形成するために、より精密な平面形状及び膜厚の機能膜を実現することが必要になっている。精密な平面形状を実現するためには、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴を、基板上の所定の位置に精度よく着弾させることが必要である。精密な膜厚を実現するためには、機能膜を形成する区画のそれぞれに、正確な量の液状体を配置することが必要である。正確な量の液状体を配置するためには、それぞれの吐出ノズルから吐出される液状体の吐出量が、設定された吐出量を正確に実現するものであることが必要である。
特許文献１には、微細かつ複雑な形状を有する、媒体上の領域に迅速かつ正確にインクを塗布することができる、インク吐出装置、その方法、プログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記録媒体が開示されている。

特開２００８−１４９３１５号公報

しかしながら、液滴を精度よく着弾させる所定の着弾位置は、液滴の大きさ、液状体の乾燥特性、液状体の濡れ広がり特性、描画装置の着弾位置精度、などを考慮して、膜を形成するべき領域から外れることなく、当該領域内に均等に液状体が配置される位置に決定されることが必要である。また、液滴の着弾位置及び着弾数や液滴の大きさは、形成するべき膜厚及び膜の面積に適合する数又は量に決定されることが必要である。形成するべき膜の規格に対応して着弾位置及び吐出量を決定するためには、決定作業のための時間を必要とすると共に、決定作業を実施する制御装置の負荷が増大する。
特許文献１に開示された装置や方法においては、所定の着弾位置及び吐出量を、形成する膜ごとに決定しており、液状体を配置する工程の工程時間が増大する可能性があるという課題があった。同時に、液状体吐出装置の制御装置の負荷も増大するという課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出方法は、液状体の液滴を吐出する複数の吐出ノズルと、１又は複数の被配置区画を備える基材と、を相対移動させ、前記１又は複数の被配置区画のそれぞれの被配置区画に、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルから吐出された前記液状体を配置する液状体吐出方法であって、第一の被配置区画に前記液滴を配置する配置位置を規定する第一の配置パターンを生成する配置パターン生成工程と、前記第一の被配置区画と相似の平面形状を有する第二の被配置区画に前記液滴を配置する配置位置を規定する第二の配置パターンを生成する相似配置パターン生成工程と、前記第二の配置パターンに従って前記液滴を配置する配置工程と、を有し、前記第二の配置パターンは、前記第一の配置パターンと相似形状であって、前記第一の配置パターンに対する相似比が、前記第一の被配置区画の平面形状に対する前記第二の被配置区画の平面形状の相似比と等しいことを特徴とする。

この液状体吐出方法によれば、第一の被配置区画と相似の平面形状を有する第二の被配置区画には、第一の配置パターンと相似形状である第二の配置パターンに従って液滴が配置される。このため、第二の被配置区画に液滴を配置するための第二の配置パターンは、第一の配置パターンに相似比を乗ずるだけで容易に求めることができる。
第二の配置パターンは、第一の配置パターンに対する相似比が、第一の被配置区画に対する第二の被配置区画の相似比と等しい相似比である。このため、第一の被配置区画における液滴の配置状態が、第一の被配置区画に対する第二の被配置区画の相似比で拡大又は縮小された配置状態が、第二の被配置区画において実現される。第一の配置パターンが第一の被配置区画に液状体を適切に配置できる配置パターンであれば、第二の配置パターンは第二の被配置区画に液状体を適切に配置できる配置パターンである可能性が極めて高い。

［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記第二の被配置区画に配置する前記液滴の体積は、前記第一の被配置区画に配置する前記液滴の体積に対する比が、前記第一の被配置区画に対する前記第二の被配置区画の相似比の二乗と等しいことが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、第二の被配置区画に配置される液状体の体積は、第一の被配置区画の平面形状に対する第二の被配置区画の平面形状の相似比の二乗を第一の被配置区画に配置される液状体の体積に乗じた体積になる。これにより、第二の被配置区画に配置される液状体が第二の被配置区画の全体に濡れ広がった状態での厚さを、第一の被配置区画に配置された液状体が第一の被配置区画の全体に濡れ広がった状態での厚さと略同等にすることができる。

［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、単一の前記第二の被配置区画における、それぞれの前記配置位置について、前記液滴が配置される順序が、前記第一の被配置区画の前記配置位置における、前記液滴が配置される順序と同じであることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、第二の被配置区画に、第一の被配置区画における液滴の配置順序と同じ順序で液滴が配置される。配置された液滴が流動したり、濡れ広がったり、乾燥したりする挙動は、周囲に存在する液状体の影響を受ける。第二の被配置区画に液滴が配置される順序を第一の被配置区画における液滴の配置順序と同じにすることで、第二の被配置区画に配置された液滴の周囲に存在する液状体の状態を、第一の被配置区画における液滴の周囲に存在する液状体の状態と略同等にすることができる。これにより、配置された液滴が流動したり、濡れ広がったり、乾燥したりする挙動を第一の被配置区画における当該挙動と略同等にすることができる。

［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記複数の吐出ノズルは、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の方向である主走査方向と交差する方向に配列されており、前記配置工程は、前記主走査方向と交差する副走査方向において前記吐出ノズルと前記基材とを相対移動させる副走査工程と、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴い前記主走査方向において前記吐出ノズルと前記基材とを相対移動させる複数の吐出走査工程とを含み、前記複数の前記吐出走査工程のそれぞれの吐出走査工程の間に前記副走査工程を実施することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、副走査方向において吐出ノズルと基材とを相対移動させる副走査工程が、吐出走査工程の間に実施される。当該副走査工程における副走査方向の移動量が、吐出走査工程において配置される液滴の副走査方向の間隔となる。副走査工程における副走査方向の移動量によって、配置される液滴の副走査方向の間隔を調整することができる。

［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記複数の吐出ノズルは、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の方向である主走査方向と交差する方向に配列されており、前記複数の吐出ノズルにおける、吐出を実施させる前記吐出ノズル相互の前記主走査方向と交差する副走査方向の間隔は、前記第一又は第二の配置パターンによって規定された前記副走査方向の前記液滴の配置間隔であることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、配置パターンによって規定された副走査方向における配置位置と、副走査方向の位置が一致する吐出ノズルを選択し、当該吐出ノズルから液滴を吐出する。

［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記複数の吐出ノズルは、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の方向である主走査方向と交差する方向に配列されており、前主走査方向と交差する記副走査方向に対して前記複数の吐出ノズルの配列方向がなす角度を調整する配列方向調整工程をさらに有することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、副走査方向に対して吐出ノズルの配列方向がなす角度を調整する。配列方向がなす角度を調整することにより、同じ吐出ノズル列において、副走査方向における吐出ノズルの間隔を調整することができる。このため、副走査方向における吐出ノズルの間隔を、配置パターンによって規定された副走査方向における液滴の配置間隔に合わせることができる。これにより、第二の配置パターンに従って液滴を配置する際にも、吐出を実施させる吐出ノズルとして、第一の配置パターンに従って液滴を配置する場合と、同じ吐出ノズルを使用することができる。

［適用例７］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の際の、前記吐出ノズルの吐出周波数を調整する吐出周波数調整工程をさらに有することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、吐出ノズルの吐出周波数を調整する工程を有し、吐出周波数を調整することで吐出周波数の逆数である吐出間隔を調整し、吐出ノズルからの液滴の吐出を伴う吐出ノズルと基材との相対移動の際の液滴の吐出間隔を調整する。吐出ノズルからの液滴の吐出を伴う吐出ノズルと基材との相対移動の際の走査方向における液滴が配置される間隔は、当該走査方向の相対移動速度（移動距離／移動時間）と、吐出ノズルからの液滴の吐出間隔（時間）との積である。したがって、吐出ノズルからの液滴の吐出間隔を変えることによって、当該走査方向における液滴が配置される間隔を調整することができる。

［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記配置工程は、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴い前記吐出ノズルと前記基材とを相対移動させる複数の吐出走査工程を含み、前記複数の吐出走査工程における少なくとも２回以上の吐出走査工程は、前記吐出ノズルと前記基材との相対位置が、前記吐出走査工程における走査方向と交差する方向において同じ位置にある状態で実施されることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、吐出ノズルと基材との相対位置が、吐出走査工程における走査方向と交差する方向において同じ位置にある状態において、吐出走査工程が複数回実施される。吐出走査工程を複数回実施することで、一回の吐出走査工程で可能な最小の配置間隔より、短い間隔で液滴を配置することができる。それぞれの吐出走査工程における液滴の吐出位置を、それぞれの吐出走査工程ごとに、吐出走査工程における走査方向においてずらすことによって、吐出走査工程相互間における吐出走査工程における走査方向の配置位置の間隔を変えることができる。

［適用例９］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の際の、相対移動速度を調整する相対移動速度調整工程をさらに有することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、吐出ノズルからの液滴の吐出を伴う吐出ノズルと基材との相対移動の際の相対移動速度を調整する工程を有し、液滴を吐出する際の相対移動速度を調整する。吐出ノズルからの液滴の吐出を伴う吐出ノズルと基材との相対移動の際の走査方向における液滴が配置される間隔は、当該走査方向の相対移動速度（移動距離／移動時間）と、吐出ノズルからの液滴の吐出間隔（時間）との積である。したがって、当該走査方向の相対移動速度を変えることによって、当該走査方向における液滴が配置される間隔を調整することができる。

［適用例１０］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体の液滴を吐出する複数の吐出ノズルと、前記複数の吐出ノズルと１又は複数の被配置区画を備える基材とを相対移動させる移動手段とを備え、前記１又は複数の被配置区画のそれぞれの被配置区画に、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルから吐出された前記液状体を配置する液状体吐出装置であって、第一の被配置区画に前記液滴を配置する配置位置を規定する第一の配置パターンを生成する配置パターン生成手段と、前記第一の被配置区画と相似の平面形状を有する第二の被配置区画に前記液滴を配置する配置位置を規定する第二の配置パターンを生成する第二配置パターン生成手段と、を備え、前記第二配置パターン生成手段は、前記第一の配置パターンと相似形状であって、前記第一の配置パターンに対する相似比が、前記第一の被配置区画の平面形状に対する前記第二の被配置区画の平面形状の相似比と等しい前記第二の配置パターンを生成することを特徴とする。

この液状体吐出装置によれば、第一の被配置区画と相似の平面形状を有する第二の被配置区画には、第一の配置パターンと相似形状である第二の配置パターンに従って液滴が配置される。このため、第二の被配置区画に液滴を配置するための第二の配置パターンは、第一の配置パターンに相似比を乗ずるだけで容易に求めることができる。
第二の配置パターンは、第一の配置パターンに対する相似比が、第一の被配置区画に対する第二の被配置区画の相似比と等しい相似比である。このため、第一の被配置区画における液状体の配置状態が、第一の被配置区画に対する第二の被配置区画の相似比で拡大又は縮小された配置状態が、第二の被配置区画において実現される。第一の配置パターンが第一の被配置区画に液状体を適切に配置できる配置パターンであれば、第二の配置パターンは第二の被配置区画に液状体を適切に配置できる配置パターンである可能性が極めて高い。

［適用例１１］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記第二の被配置区画に配置する前記液滴の体積は、前記第一の被配置区画に配置する前記液滴の体積に対する比が、前記第一の被配置区画に対する前記第二の被配置区画の相似比の二乗と等しいことが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、第二の被配置区画に配置される液状体の体積は、第一の被配置区画の平面形状に対する第二の被配置区画の平面形状の相似比の二乗を第一の被配置区画に配置される液状体の体積に乗じた体積になる。これにより、第二の被配置区画に配置される液状体が第二の被配置区画の全体に濡れ広がった状態での厚さを、第一の被配置区画に配置された液状体が第一の被配置区画の全体に濡れ広がった状態での厚さと略同等にすることができる。

［適用例１２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、単一の前記第二の被配置区画における、それぞれの前記配置位置について、前記液滴を配置する順序が、前記第一の被配置区画の前記配置位置における、前記液滴を配置する順序と同じであることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、第二の被配置区画に、第一の被配置区画における液滴の配置順序と同じ順序で液滴が配置される。配置された液滴が流動したり、濡れ広がったり、乾燥したりする挙動は、周囲に存在する液状体の影響を受ける。第二の被配置区画に液滴が配置される順序を第一の被配置区画における液滴の配置順序と同じにすることで、第二の被配置区画に配置された液滴の周囲に存在する液状体の状態を、第一の被配置区画における液滴の周囲に存在する液状体の状態と略同等にすることができる。これにより、配置された液滴が流動したり、濡れ広がったり、乾燥したりする挙動を第一の被配置区画における当該挙動と略同等にすることができる。

［適用例１３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記複数の吐出ノズルは、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の方向である主走査方向と交差する方向に配列されており、当該配列方向を変更可能な吐出ノズル回動手段をさらに備え、前記主走査方向と交差する副走査方向に対して前記複数の吐出ノズルの配列方向がなす角度を、前記吐出ノズル回動手段を用いて調整することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、吐出ノズルの配列方向を変更可能な吐出ノズル回動手段を備えている。当該吐出ノズル回動手段を用いて吐出ノズル列を回動させることで、同じ吐出ノズル列において、吐出ノズル間の副走査方向の間隔を調整することができる。これにより、第一の配置パターンに規定された副走査方向の配置位置に液滴を配置する場合と、同じ吐出ノズルを用いて、第二の配置パターンによって規定された副走査方向の配置位置に液滴を配置することができる。

［適用例１４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の際の、前記吐出ノズルの吐出周波数を調整する吐出周波数調整手段をさらに備えることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、吐出周波数調整手段を備え、当該吐出周波数調整手段によって吐出周波数を調整することで吐出周波数の逆数である吐出間隔を調整し、液滴の吐出を伴う吐出ノズルと基材との相対移動における液滴の吐出間隔を調整する。液滴の吐出を伴う吐出ノズルと基材との相対移動の際の走査方向における液滴が配置される間隔は、当該走査方向の相対移動速度（移動距離／移動時間）と、吐出ノズルからの液滴の吐出間隔（時間）との積である。したがって、吐出ノズルからの液滴の吐出間隔を変えることによって、当該走査方向における液滴が配置される間隔を調整することができる。

［適用例１５］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の際の、前記吐出ノズルと前記基材との相対移動速度を調整する相対移動速度調整手段をさらに備えることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、相対移動速度調整手段を備え、当該相対移動速度調整手段によって、吐出ノズルからの液滴の吐出を伴う吐出ノズルと基材との相対移動の際の吐出ノズルと基材との相対移動速度を調整する。吐出ノズルからの液滴の吐出を伴う吐出ノズルと基材との相対移動の際の走査方向における液滴が配置される間隔は、当該走査方向の相対移動速度（移動距離／移動時間）と、吐出ノズルからの液滴の吐出間隔（時間）との積である。したがって、当該走査方向の相対移動速度を変えることによって、当該走査方向における液滴が配置される間隔を調整することができる。

以下、液状体吐出方法、及び液状体吐出装置の好適な実施の形態について、吐出ヘッドの一実施形態としてのインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を例に、図面を参照して説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。

＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を精度よく配置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。
このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状の材料を貯留した空間に可撓性を有する材料で形成された部材を介して圧力を与え、この空間から液状材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。ピエゾ方式は、液状材料を加熱することがないため、材料の組成などへの影響が少なく、駆動電圧を調整することによって液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる。

＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出ヘッド１７を備える液滴吐出装置１の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、メンテナンス装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を有している。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワーク２０を載置するワーク載置台２３を有している。機能液供給部４は、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド１７に供給される。メンテナンス装置部５は、液滴吐出ヘッド１７の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。

さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在するように配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド１７に連通する供給管を有する機能液供給部４の機能液タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。

ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジ２５と、ヘッドキャリッジ２５が吊設された移動枠２２とを備えている。移動枠２２を、Ｙ軸テーブル１２（図４参照）によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ワーク機構部３は、ワーク載置台２３を、Ｘ軸テーブル１１（図４参照）によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台２３に載置されたワーク２０をＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。

このように、液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク２０のＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワーク２０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１７とを相対的に制御することにより、ワーク２０上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。

＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。

図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレート７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された機能液供給部４から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネクタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクタ７７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、略方形状のヘッド本体７４が構成されている。

ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフランジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保持部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定される。

ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。すなわち、ヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配設されている。

液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列７８Ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。

図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポンプ部７５を構成する圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液体導入部７１から振動板５２の液供給孔５３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。

圧力室５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を介して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル７８と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。

振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板５４（図６（ｂ）参照）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）においては振動板５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。

吐出装置制御部６は、圧電素子５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル７８のそれぞれから吐出される液滴の体積は、例えば１ｐｌ〜３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。

＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッド機構部２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図３を参照して説明する。図３は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図３に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図３に示したように、ヘッドユニット２１は、キャリッジプレート６１と、キャリッジプレート６１に搭載された６個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、図示省略したヘッド保持部材を介してキャリッジプレート６１に固定されており、ヘッド本体７４がキャリッジプレート６１に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド本体７４）が、キャリッジプレート６１の面より突出している。図３は、ノズルプレート７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組６２を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。

一つのヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置する位置に、位置決めされている。仮に、ヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組６２を構成している。

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。

液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、入出力インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ１７ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ４ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ７ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３と、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。

入出力インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。

ヘッドドライバ１７ｄには、ヘッド機構部２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ１７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータと、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、アライメントカメラを移動するためのカメラ移動モータや、ワーク載置台２３のθ駆動モータなどである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワーク２０とを相対移動させてワーク２０の任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ１７ｄと協働して、ワーク２０上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。

メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンス装置部５を構成する保守ユニット５Ａの吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、又はワイピングユニット１６を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。

検査ドライバ７ｄには、検査ユニット７が有する吐出検査ユニット１８や、重量測定ユニット１９などが接続されている。検査ドライバ７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８を駆動して、吐出の有無や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。また、重量測定ユニット１９を駆動して、液滴吐出ヘッド１７から吐出される液状体の液滴の重量である吐出重量の測定を実施させる。なお、本実施形態における吐出重量は、液滴吐出ヘッド１７が吐出する機能液の液滴一滴の重量である。液滴吐出ヘッド１７が吐出する機能液の液滴一滴の大きさ（体積）は、吐出量と表記する。吐出重量と吐出量とは、同じ量を重量又は体積で表す場合のそれぞれの呼称である。

給液ドライバ４ｄには、機能液供給部４が接続されている。給液ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って機能液供給部４を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、各種センサを有する検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。

＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における吐出制御方法について、図５を参照して説明する。図５は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。

上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力するＣＰＵ４４と、液滴吐出ヘッド１７の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバ１７ｄとを備えている。
図５に示すように、ヘッドドライバ１７ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド１７と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド１７は、吐出ノズル７８（図２参照）ごとに設けられた圧電素子５９に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフタ（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。

液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ４４がワーク２０などの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバ１７ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバ１７ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル７８ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ８５に伝送される。

シフトレジスタ８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されない。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル７８からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワーク２０などの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。
ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングは、例えば液滴吐出ヘッド１７におけるノズル列７８Ａごとに共通であり、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８からは、略同時に機能液の液滴が吐出される。
ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力される間隔が、吐出ノズル７８の最小吐出間隔（時間）である。吐出ノズル７８の最小吐出間隔は、ラッチ信号（ＬＡＴ）の周波数を変えることによって調整できる。

＜駆動波形＞
次に、圧電素子５９に印加する駆動信号（ＣＯＭ）の駆動波形、及び当該駆動波形の駆動信号を印加された圧電素子５９の動作による吐出動作について、図６を参照して説明する。図６は、駆動波形の基本波形及び駆動波形に対応した圧電素子の動作を示す図である。図６（ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図であり、図６（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図である。

図６（ａ）に示すように、駆動信号を印加する前の待機状態では、圧電素子５９には一定の電圧が印加されている（図６（ａ）のＡ）。この電圧を中間電位と表記する。描画を実施する際は、描画開始前に、圧電素子５９に印加する電圧を中間電位に引き上げ、描画終了後に、グランドレベルに戻す。
図６（ｂ）に示すように、圧電素子５９を中間電位に維持した待機状態では、圧電素子５９がわずかに縮んで振動板５２が圧電素子５９の側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓んでいる（図６（ｂ）のＡ）。

駆動周期の最初の工程は、圧電素子５９に印加する電圧を、中間電位から始まって、高電位に引き上げる（昇圧、図６（ａ）のＢ）。圧電素子５９に印加される電圧が高くなることで、圧電素子５９がさらに縮んで、振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、可撓性を有する材料で形成された振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される（給液、図６（ｂ）のＢ）。この工程を、昇圧給液工程と表記する。昇圧給液工程では、吐出ノズル７８から空気が圧力室に入り込まないように、圧電素子５９をゆっくり変位させる。圧電素子５９に印加される高電位の電圧が、液滴吐出ヘッド１７を駆動するために印加される駆動電圧に相当する。

昇圧給液工程後、圧電素子５９に印加する電圧を高電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出前待機状態と表記する（図６（ａ）のＣ）。圧電素子５９を構成する圧電材料は、電圧変化が終了した後でも機械的な振動が残留しているため、その機械振動が収まるまで待機する工程が、吐出前待機状態である。

機械振動が収まる時間だけ吐出前待機状態を維持した後、圧電素子５９に印加する電圧を、一気に降圧させる（図６（ａ）のＤ）。圧電素子５９に印加する電圧を、一気に降圧させることによって、圧電素子５９の変位が一気に零になり、圧力室５８は急激に狭くなり、圧力室５８の内部に充填されていた機能液が、吐出ノズル７８から吐出される（図６（ｂ）のＤ）。この工程を、降圧吐出工程と表記する。
高電位の電圧値によって、圧電素子５９が縮む量が異なるため、圧力室５８の容積が増加する量も異なる。このため、当該高電位の電圧値を変えることによって、圧力室５８に充填されて吐出される機能液の量、すなわち液滴吐出ヘッド１７からの吐出量を調整することができる。

降圧吐出工程の次に、圧電素子５９に印加する電圧を低電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出後待機状態と表記する（図６（ａ）のＥ）。圧電素子５９の機械振動が収まる時間だけ低電位状態を維持する工程が、吐出後待機状態である。
圧電素子５９の機械振動が収まる時間だけ吐出後待機状態を維持した後、圧電素子５９に印加する電圧を中間電位に引き上げて（図６（ａ）のＦ）、再び待機状態（中間電位）にする。

＜着弾位置＞
次に、吐出ノズル７８と、それぞれの吐出ノズル７８から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について説明する。図７は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図７（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図７（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図７に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。Ｘ軸方向が主走査方向であって、図７に示した矢印ａの方向に、ワーク２０に対して吐出ノズル７８を相対移動させながら、任意の位置において液状体の液滴を吐出することによって、Ｘ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。

図７（ａ）に示すように、ノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配列されている。上述したように、２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。
図７（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点８１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円８１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。２列のノズル列７８Ａの全部の吐出ノズル７８から、図７（ｂ）に一点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円８１Ａが連なる直線が形成される。
図７（ｃ）に示すように、一つの吐出ノズル７８から連続して液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向に着弾円８１Ａが連なる直線が形成される。Ｘ軸方向における着弾点８１間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離ｄと表記する。最小着弾距離ｄは、主走査方向の相対移動速度（移動距離／移動時間）と、吐出ノズル７８の最小吐出間隔（時間）との積である。したがって、主走査方向の相対移動速度を変えることによって、最小着弾距離ｄを調整することができる。同様に、吐出ノズル７８の最小吐出間隔を変えることによって、最小着弾距離ｄを調整することができる。
上述したように、吐出ノズル７８の最小吐出間隔は、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力される間隔である。
図７（ｄ）に示すように、一点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円８１Ａが連なる直線がＸ軸方向に並列した着弾面が形成される。図７（ｄ）に示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の距離が最小着弾距離ｄの場合のそれぞれの着弾点８１が、液滴吐出装置１によって機能液の液滴を配置可能な位置である。
図７（ｄ）に示したそれぞれの着弾点８１の位置について、液滴を配置するか否かを定めることによって、機能液を配置する位置を規定する配置表が形成される。当該配置表を配置マップと表記する。

＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能膜を形成する対象物の一例としての液晶表示パネルについて説明する。液晶表示パネル２００（図８参照）は、液晶装置の一例であり、カラーフィルタの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルタを備える液晶表示パネルである。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図８を参照して説明する。図８は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図８に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。

図８に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１３（ｋ）参照）と、を備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１又は偏光板２３２が、配設されている。

素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４とに信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。

素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。

対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１の上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成されており、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。

ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。

対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、少なくとも画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。

なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図９を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されることによってガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図９（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図であり、図９（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものも、マザー対向基板２０１Ａと表記する。

対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図９（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。

図９（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。

＜カラーフィルタ膜の配列＞
次に、対向基板２２０などに形成されているＣＦ層２０８などにおけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）などの配列について、図１０を参照して説明する。図１０は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。

図１０に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。

３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂなどの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。
ストライプ配列は、図１０（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂ、になる配列である。
モザイク配列は、図１０（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５を一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。
デルタ配列は、図１０（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配色である。

図１０（ａ）、（ｂ）、又は（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。
絵素フィルタ２５４などの一つの絵素フィルタにおける、赤色フィルタ膜（赤色フィルタ膜２０５Ｒ）、緑色フィルタ膜（緑色フィルタ膜２０５Ｇ）、及び青色フィルタ膜（青色フィルタ膜２０５Ｂ）のいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させること、及び通過させる光の光量を調整することにより、フルカラー表示を行う。

＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１１、図１２、及び図１３を参照して説明する。図１１は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１２は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図１３は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。

図１１に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
ステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１２（ａ）に示すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルタ膜領域２２５が形成される。

次に、図１１のステップＳ２では、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料を含む機能液をそれぞれ充填して、当該機能液を乾燥させることによって形成する。

より詳細には、図１２（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１２（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。

同様にして、図１２（ｂ）に示した、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、図１２（ｃ）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１２（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合わせて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。

次に、図１１のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図１２（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１１のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図１２（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。

次に、図１１のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。

図１１に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
ステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。

次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。

次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。

次に、図１１のステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせて、図１３（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板２０１Ａやマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。

＜機能液配置＞
次に、液滴吐出装置１が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、フィルタ膜領域２２５などの、マザー対向基板におけるＣＦ層のフィルタ膜に機能液を配置するための工程について、図１４、図１５、及び図１６を参照して説明する。図１４は、機能液を配置する工程を示すフローチャートである。図１５は、フィルタ膜領域及び着弾点領域と吐出ノズルと基準配置マップとの関係を示す説明図である。図１６は、フィルタ膜領域及び着弾点領域と吐出ノズルと相似配置マップとの関係を示す説明図である。図１５及び図１６に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図１４のステップＳ２１では、機能液を配置して描画する基本画像の画像情報を取得する。基本画像は、最初に当該基本画像を描画するための配置マップを生成し、相似形状の画像を描画する際に基準とする画像である。例えば、マザー対向基板における、上述したフィルタ膜２０５を形成する領域であるフィルタ膜領域２２５の形状及び配置位置を取得する。

図１５（ａ）は、フィルタ膜領域及び着弾点領域と、吐出ノズルとの対応を示す説明図である。
図１５（ａ）に示した着弾点領域２２５ａは、フィルタ膜領域２２５に機能液を充填するために、機能液の液滴を着弾させる際の着弾点８１の位置が設定される領域である。一般的に、機械は、完全に同一の動作を繰り返すことは不可能であり、一定の範囲のばらつきの中でのみ、同一の動作を繰り返すことができる。液滴吐出装置１が正常に機能していても完全になくすることはできない着弾位置のばらつき（以降、当該ばらつきの範囲を、「固有着弾位置精度」と表記する。）、及び機能液の液滴の大きさを考慮して、着弾点領域２２５ａは、フィルタ膜領域２２５より小さく設定されている。着弾点領域２２５ａは、着弾点８１の位置を当該着弾点領域２２５ａ内に設定すれば、実際の着弾点８１の位置が固有着弾位置精度の範囲でずれても、フィルタ膜領域２２５から液滴が外れない領域である。着弾点領域２２５ａは、Ｙ軸方向の長さがＬ１、Ｘ軸方向の幅がＤ１の長方形である。着弾点領域２２５ａが、第一の被配置区画に相当する。

図１５に示した網目は、網目のＸ軸方向が２×（最小着弾距離ｄ）であり、網目のＹ軸方向がノズルピッチＰであり、それぞれの網目にそれぞれ１個の着弾点８１が対応する。＃２１から＃５５は、吐出ノズル７８にそれぞれ付けられた番号を示している。Ｌ１＝８×Ｐであり、Ｄ１＝８×ｄである。
なお、上述したように、液滴吐出ヘッド１７は２列のノズル列７８Ａを備えており、奇数番号の吐出ノズル７８と偶数番号の吐出ノズル７８とはそれぞれ異なるノズル列７８Ａを構成している。したがって、Ｘ軸方向における同じ位置に着弾させる場合、奇数番号の吐出ノズル７８と偶数番号の吐出ノズル７８とでは、吐出時点が必ず異なっているが、以下の説明においては、それぞれのノズル列７８Ａごとに説明して説明が煩雑になることを抑制するために、吐出ノズル７８は１列に配列しているものとして説明する。

次に、図１４のステップＳ２２では、基本画像の画像情報に基づいて基準配置マップ９０としての配置マップ９１を生成する。図１５（ｂ）は、フィルタ膜領域と基準配置マップとの対応を示す説明図である。図１５（ｂ）に示した配置点８１ａが、液滴を配置する際の着弾点８１の位置として規定された位置を示している。図１５（ｂ）に示した配置点８１ａに機能液を着弾させる配置マップ９１は、＃２１から＃３５又は＃４１から＃５５の中の奇数番号の吐出ノズル７８のそれぞれが、４回吐出を実施して、一個所のフィルタ膜領域２２５に３２滴の機能液を配置する構成となっている。当該数の液滴を着弾させることで、フィルタ膜領域２２５に必要且つ充分な量の機能液を充填するためには、図６を参照して説明した駆動電圧を調整することによって、一滴あたりの吐出量を適切な量に調整する。当該一滴あたりの吐出量も配置マップ９１の情報に含まれる。基準配置マップ９０及び配置マップ９１が、第一の配置パターンに相当する。

図１５（ｂ）に示した配置マップ９１に基づいて描画吐出を実施すると、着弾点領域２２５ａの範囲に収まる配置点８１ａに、固有着弾位置精度の範囲で一致する着弾点８１は、フィルタ膜領域２２５の範囲に収まる。略着弾点領域２２５ａの範囲に着弾した機能液の液滴が濡れ広がることによって、フィルタ膜領域２２５の全面に機能液が配置される。当該機能液を乾燥させることによって、図１５（ｃ）に示したように、フィルタ膜領域２２５の全面を埋める膜状のフィルタ膜２０５が形成される。
なお、図１０を参照して説明したように、３色カラーフィルタなど多色のカラーフィルタにおいては、同色のフィルタ膜がＸ軸方向及びＹ軸方向の両方向において隣り合うことはないが、図１５では、間を省略して、隣り合うフィルタ膜領域に同一の機能液を配置する配置マップを示している。

次に、図１４のステップＳ２３では、生成した配置マップ９１を基準配置マップ９０として登録する。登録は、生成した配置マップ９１を、基本画像の画像情報と共に、例えばハードディスク４８などの記憶装置に記憶させることで実施する。

次に、ステップＳ２４では、機能液を配置して描画する画像の描画画像情報を取得する。例えば、マザー対向基板における、フィルタ膜４０５を形成する領域であるフィルタ膜領域４０６の形状及び配置位置を取得する。図１６（ａ）は、フィルタ膜領域と吐出ノズルとの対応を示す説明図である。
図１６（ａ）に示した着弾点領域４０６ａは、上述した着弾点領域２２５ａと同様に、フィルタ膜領域４０６に機能液を充填するために、機能液の液滴を着弾させる際の着弾点８１の位置が設定される領域である。固有着弾位置精度及び機能液の液滴の大きさを考慮して、着弾点領域４０６ａは、フィルタ膜領域４０６より小さく設定されている。着弾点領域４０６ａは、着弾点８１の位置を当該着弾点領域４０６ａ内に設定すれば、実際の着弾点８１の位置が固有着弾位置精度の範囲でずれても、フィルタ膜領域４０６から液滴が外れない領域である。着弾点領域４０６ａは、Ｙ軸方向の長さがＬ２、Ｘ軸方向の幅がＤ２の長方形である。
図１６に示した網目は、網目のＸ軸方向が４×（最小着弾距離ｄ）であり、網目のＹ軸方向が２×（ノズルピッチＰ）であり、それぞれの網目にそれぞれ１個の着弾点８１が対応する。＃２１から＃４９は、吐出ノズル７８にそれぞれ付けられた番号を示している。Ｌ２＝１６×Ｐであり、Ｄ２＝１６×ｄである。

次に、図１４のステップＳ２５では、取得した描画画像情報における着弾点領域が、登録されている基準配置マップに対応する着弾点領域と相似形であるか否かを判定する。ここでは、着弾点領域４０６ａが、登録されている基準配置マップ９０に対応する、例えば着弾点領域２２５ａと相似形であるか否かを判定する。

取得した描画画像情報における着弾点領域の形状が、登録されている基準配置マップに対応する着弾点領域の形状と相似形ではない場合（ステップＳ２５でＮＯ）は、ステップＳ２６に進む。
ステップＳ２６では、取得した描画画像情報に基づいて新規の配置マップを生成する。ステップＳ２６の次にステップＳ２７では、新規に生成した配置マップを、上述した配置マップ９１（基準配置マップ９０）と同様に描画画像の画像情報と共に、例えばハードディスク４８などの記憶装置に記憶させて、新規配置マップとして登録する。ステップＳ２７の次にステップＳ３０に進む。

取得した描画画像情報における着弾点領域の形状が、登録されている基準配置マップに対応する着弾点領域の形状と相似形である場合（ステップＳ２５でＹＥＳ）は、ステップＳ２８に進む。図１６（ａ）に示した着弾点領域２２５ａは、着弾点領域４０６ａと同縮尺で表示している。図１６（ａ）に示したように、着弾点領域４０６ａは、Ｙ軸方向の長さがＬ２＝１６×Ｐ、Ｘ軸方向の幅がＤ２＝１６×ｄの長方形であり、着弾点領域２２５ａは、Ｙ軸方向の長さがＬ１＝８×Ｐ、Ｘ軸方向の幅がＤ１＝８×ｄの長方形である。したがって、着弾点領域４０６ａの平面形状は、基準配置マップ９０に対応する着弾点領域２２５ａの平面形状と相似形状である。着弾点領域２２５ａが、被配置区画に相当し、第一の被配置区画に相当する。着弾点領域４０６ａが、被配置区画に相当し、第二の被配置区画にも相当する。

次に、ステップＳ２８では、描画画像情報における着弾点領域の基準配置マップに対応する着弾点領域に対する相似比を求める。着弾点領域４０６ａは、Ｙ軸方向の長さがＬ２＝１６×Ｐであり、基準配置マップ９０に対応する着弾点領域２２５ａは、Ｙ軸方向の長さがＬ１＝８×Ｐであり、着弾点領域４０６ａの着弾点領域２２５ａに対する相似比は２である。

次に、ステップＳ２９では、基準配置マップを相似比の割合で拡大又は縮小して、相似配置マップを生成する。
図１６（ｂ）は、フィルタ膜領域と相似配置マップとの対応を、フィルタ膜領域と基準配置マップとの対応と共に示す説明図である。図１６（ｂ）に示した相似配置マップ９４おいて、配置点１８１ａが、液滴を配置する際の着弾点８１の位置として規定された位置を示している。配置点１８１ａに機能液を着弾させる相似配置マップ９４は、＃２１，＃２５，＃２９，＃３３，＃３７，＃４１，＃４５，及び＃４９の番号の吐出ノズル７８のそれぞれが、４回吐出を実施して、一個所のフィルタ膜領域４０６に３２滴の機能液を配置する構成となっている。この構成は、図１６（ｂ）に相似配置マップ９４と共に示した基準配置マップ９０（配置マップ９１）の配置点８１ａ間の距離が相似比倍（２倍）されたものである。相似配置マップ９４が、第二の配置パターンに相当する。

図１６（ｃ）は、相似配置マップにおける配置点と、基準配置マップにおける配置点との位置関係を示す説明図である。図１６（ｃ）において、黒塗りの円が相似配置マップ９４における配置点１８１ａを示しており、白抜きの円が基準配置マップ９０における配置点８１ａを示している。＃２１，＃２３，＃２５，＃２７，＃２９，＃３１が、配置点８１ａに向けて吐出を実施する吐出ノズル７８を示しており、＃２１，＃２５，＃２９が、配置点１８１ａに向けて吐出を実施する吐出ノズル７８を示している。
相似配置マップ９４において吐出を実施する吐出ノズル７８は４個の吐出ノズル７８に１個の吐出ノズル７８であり、基準配置マップ９０において吐出を実施する吐出ノズル７８は２個の吐出ノズル７８に１個の吐出ノズル７８であり、相似配置マップ９４におけるＹ軸方向の配置間隔は、基準配置マップ９０における配置間隔の２倍になっている。
相似配置マップ９４において吐出ノズル７８が吐出を実施する間隔は、４×（最小着弾距離ｄ）であり、基準配置マップ９０において吐出ノズル７８が吐出を実施する間隔は、２×（最小着弾距離ｄ）であり、相似配置マップ９４におけるＸ軸方向の配置間隔は、基準配置マップ９０における配置間隔の２倍になっている。

当該数の液滴を着弾させることで、フィルタ膜領域４０６に必要且つ充分な量の機能液を充填するためには、一滴あたりの機能液の量を、フィルタ膜領域２２５に供給する液滴の４倍（相似比２の二乗倍）とする。図６を参照して説明した駆動電圧や駆動波形を調整することによって、一滴あたりの吐出量を適切な量に調整する。あるいは、図５を参照して説明したラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるごとに、図６（ａ）に示したような駆動波形が、例えば４個連なった駆動波形の駆動信号を圧電素子５９に印加する。

図１４のステップＳ２７又はステップＳ２９の次に、ステップＳ３０では、ステップＳ２７で生成された新規配置マップ又はステップＳ２９で生成された相似配置マップ９４に基づいて、描画吐出を実施する。
Ｘ軸方向において同じ位置にある配置点１８１ａには、Ｙ軸方向に配列するノズル列７８Ａのそれぞれの吐出ノズル７８から略同時点に吐出された液滴が略同時に着弾する。これは、基準配置マップ９０に基づいて、描画吐出を実施する場合と同様である。当該吐出及び着弾が、Ｘ軸方向の相対移動（主走査）に伴い順次実施される。この順序も、基準配置マップ９０に基づいて、描画吐出を実施する場合と同様である。
図１６（ｂ）に示した相似配置マップ９４に基づいて描画吐出を実施すると、着弾点領域４０６ａの範囲に収まる配置点１８１ａに固有着弾位置精度の範囲で一致する着弾点８１は、フィルタ膜領域４０６の範囲に収まる。略着弾点領域４０６ａの範囲に着弾した機能液の液滴が濡れ広がることによって、フィルタ膜領域４０６の全面に機能液が配置される。当該機能液を乾燥させることによって、図１６（ｄ）に示したように、フィルタ膜領域４０６の全面を埋める膜状のフィルタ膜４０５が形成される。

ステップＳ３０の次に、ステップＳ３１では、描画吐出を実施する対象として別のマザー対向基板などがあり、描画吐出をさらに継続するか否かを判定する。描画吐出を継続する場合（ステップＳ３１でＹＥＳ）には、ステップＳ２４に進み、ステップＳ２４からステップＳ３０を繰り返す。なお、描画吐出を実施する対象とする基板などが、ステップＳ３１で描画吐出の対象とした基板などと同一の仕様である場合には、ステップＳ３０に進み、ステップＳ３０を繰り返す。

描画吐出を継続しない場合（ステップＳ３１でＮＯ）には、ステップＳ３１を終了して、液滴吐出装置１が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、マザー対向基板におけるフィルタ膜領域４０６などに機能液を配置する工程を終了する。

＜配置マップ例１＞
次に、上述したフィルタ膜領域とは大きさが異なるフィルタ膜領域に対応する相似配置マップの例について、図１７を参照して説明する。図１７は、フィルタ膜領域及び着弾点領域と吐出ノズルと相似配置マップとの関係を示す説明図である。図１７に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図１７（ａ）は、フィルタ膜領域及び着弾点領域と、吐出ノズルとの対応を示す説明図である。
図１７（ａ）に示した着弾点領域４１６ａは、上述した着弾点領域２２５ａと同様に、フィルタ膜領域４１６に機能液を充填するために、機能液の液滴を着弾させる際の着弾点８１の位置が設定される領域である。固有着弾位置精度及び機能液の液滴の大きさを考慮して、着弾点領域４１６ａは、フィルタ膜領域４１６より小さく設定されている。着弾点領域４１６ａは、着弾点８１の位置を当該着弾点領域４１６ａ内に設定すれば、実際の着弾点８１の位置が固有着弾位置精度の範囲でずれても、フィルタ膜領域４１６から液滴が外れない領域である。着弾点領域４１６ａは、Ｙ軸方向の長さがＬ３、Ｘ軸方向の幅がＤ３の長方形である。着弾点領域４１６ａが、被配置区画に相当し、第二の被配置区画にも相当する。図１７（ａ）に示した着弾点領域２２５ａは、着弾点領域４１６ａと同縮尺で表示している。
図１７に示した網目は、網目のＸ軸方向が最小着弾距離ｄであり、網目のＹ軸方向が１／２×（ノズルピッチＰ）であり、それぞれの網目にそれぞれ１個の着弾点８１が対応する。＃２１から＃５８は、吐出ノズル７８にそれぞれ付けられた番号を示している。Ｌ３＝４×Ｐであり、Ｄ３＝４×ｄである。

図１７（ｂ）は、フィルタ膜領域と相似配置マップとの対応を、フィルタ膜領域と基準配置マップとの対応と共に示す説明図である。図１７（ｂ）に示した相似配置マップ９６において、配置点４８１ａが、液滴を配置する際の着弾点８１の位置として規定された位置を示している。配置点４８１ａに機能液を着弾させる相似配置マップ９６は、＃２１から＃２８、＃３１から＃３８、＃４１から＃４８、又は＃５１から＃５８の番号の吐出ノズル７８のそれぞれが、４回吐出を実施して、一個所のフィルタ膜領域４１６に３２滴の機能液を配置する構成となっている。この構成は、図１７（ｂ）に相似配置マップ９６と共に示した基準配置マップ９０の配置点８１ａ間の距離が相似比倍（１／２倍）されたものである。

図１７（ｃ）は、相似配置マップにおける配置点と、基準配置マップにおける配置点との位置関係を示す説明図である。図１７（ｃ）において、黒塗りの円が相似配置マップ９６における配置点４８１ａを示しており、白抜きの円が基準配置マップ９０における配置点８１ａを示している。＃２１，＃２３，＃２５，＃２７が、配置点８１ａに向けて吐出を実施する吐出ノズル７８を示しており、＃２１から＃２８が、配置点４８１ａに向けて吐出を実施する吐出ノズル７８を示している。
相似配置マップ９６において吐出を実施する吐出ノズル７８は隣接して配列する吐出ノズル７８であり、基準配置マップ９０において吐出を実施する吐出ノズル７８は２個の吐出ノズル７８に１個の吐出ノズル７８であり、相似配置マップ９６におけるＹ軸方向の配置間隔は、基準配置マップ９０における配置間隔の１／２倍になっている。
相似配置マップ９６において吐出ノズル７８が吐出を実施する間隔は、（最小着弾距離ｄ）であり、基準配置マップ９０において吐出ノズル７８が吐出を実施する間隔は、２×（最小着弾距離ｄ）であり、相似配置マップ９６におけるＸ軸方向の配置間隔は、基準配置マップ９０における配置間隔の１／２倍になっている。

当該数の液滴を着弾させることで、フィルタ膜領域４０６に必要且つ充分な量の機能液を充填するためには、一滴あたりの機能液の量を、フィルタ膜領域２２５に供給する液滴の１／４倍（相似比１／２の二乗倍）とする。図６を参照して説明した駆動電圧や駆動波形を調整することによって、一滴あたりの吐出量を適切な量に調整する。

図１７（ｄ）は、フィルタ膜領域に形成されるフィルタ膜の状態を示す説明図である。
図１７（ｂ）に示した相似配置マップ９６に基づいて描画吐出を実施すると、着弾点領域４１６ａの範囲に収まる配置点４８１ａに固有着弾位置精度の範囲で一致する着弾点８１は、フィルタ膜領域４１６の範囲に収まる。略着弾点領域４１６ａの範囲に着弾した機能液の液滴が濡れ広がることによって、フィルタ膜領域４１６の全面に機能液が配置される。当該機能液を乾燥させることによって、図１７（ｄ）に示したように、フィルタ膜領域４１６の全面を埋める膜状のフィルタ膜４１５が形成される。

＜配置マップ例２＞
次に、上述したフィルタ膜領域とは大きさが異なるフィルタ膜領域に対応する相似配置マップの他の例について、図１８を参照して説明する。図１８は、フィルタ膜領域及び着弾点領域と吐出ノズルと相似配置マップとの関係を示す説明図である。図１８に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図１８（ａ）は、フィルタ膜領域及び着弾点領域と、吐出ノズルとの対応を示す説明図である。
図１８（ａ）に示した着弾点領域４１８ａは、上述した着弾点領域２２５ａと同様に、フィルタ膜領域４１８に機能液を充填するために、機能液の液滴を着弾させる際の着弾点８１の位置が設定される領域である。固有着弾位置精度及び機能液の液滴の大きさを考慮して、着弾点領域４１８ａは、フィルタ膜領域４１８より小さく設定されている。着弾点領域４１８ａは、着弾点８１の位置を当該着弾点領域４１８ａ内に設定すれば、実際の着弾点８１の位置が固有着弾位置精度の範囲でずれても、フィルタ膜領域４１８から液滴が外れない領域である。着弾点領域４１８ａは、Ｙ軸方向の長さがＬ４、Ｘ軸方向の幅がＤ４の長方形である。着弾点領域４１８ａが、被配置区画に相当し、第二の被配置区画にも相当する。図１８（ａ）に破線で示した着弾点領域２２５ａは、着弾点領域４１８ａと同縮尺で表示している。
図１８に示した網目は、網目のＸ軸方向が１／２×（最小着弾距離ｄ）であり、網目のＹ軸方向が１／４×（ノズルピッチＰ）であり、それぞれの網目にそれぞれ１個の着弾点８１が対応する。＃２１から＃３９は、吐出ノズル７８にそれぞれ付けられた番号を示している。Ｌ４＝２×Ｐであり、Ｄ４＝２×ｄである。着弾点領域４１８ａは、着弾点領域２２５ａと相似形状であり、相似比は１／４である。

図１８（ｂ）は、フィルタ膜領域と相似配置マップとの対応を、フィルタ膜領域と基準配置マップとの対応と共に示す説明図である。図１８（ｂ）に示した相似配置マップ９８において、配置点４８６ａが、液滴を配置する際の着弾点８１の位置として規定された位置を示している。配置点４８６ａに機能液を着弾させる相似配置マップ９８は、＃２１から＃２４、＃２６から＃２９、＃３１から＃３４、又は＃３６から＃３９の番号の吐出ノズル７８のそれぞれが、４回吐出を実施して、一個所のフィルタ膜領域４１８に１６滴の機能液を配置する工程を、２回実施する構成である。一回目の工程で図１８（ｃ）に矢印ａで示した列の配置点４８６ａに液滴を配置し、２回目の工程で図１８（ｃ）に矢印ｂで示した列の配置点４８６ａに液滴を配置する。機能液を配置する工程の間には、基板に対して液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に１／４×（ノズルピッチＰ）副走査させる工程を実施する。
相似配置マップ９８における配置点４８６ａの配置は、図１８（ｂ）に相似配置マップ９８と共に示した基準配置マップ９０における白い円で示した配置点８１ａ間の距離が相似比倍（１／４倍）されたものである。配置点８１ａを囲む破線は、着弾点領域２２５ａの範囲である。

図１８（ｃ）は、相似配置マップにおける配置点と、基準配置マップにおける配置点との位置関係を示す説明図である。図１８（ｃ）において、黒塗りの円が相似配置マップ９８における配置点４８６ａを示しており、白抜きの円が基準配置マップ９０における配置点８１ａを示している。Ｙ軸方向の位置が配置点８１ａと略同じ位置の＃２１，＃２３が、配置点８１ａに向けて吐出を実施する吐出ノズル７８を示している。Ｙ軸方向の位置が配置点４８６ａと略同じ位置の＃２１から＃２４が、配置点４８１ａに向けて吐出を実施する吐出ノズル７８を示している。上述したように、＃２１から＃２４の吐出ノズル７８は、矢印ａで示した列及び矢印ｂで示した列の配置点４８１ａに向けて、液滴の吐出を実施する。

相似配置マップ９８において吐出を実施する吐出ノズル７８は隣接して配列する吐出ノズル７８であり、Ｙ軸方向に１／４×（ノズルピッチＰ）ずらして２回の吐出を実施する。基準配置マップ９０において吐出を実施する吐出ノズル７８は２個の吐出ノズル７８に１個の吐出ノズル７８である。したがって、相似配置マップ９８におけるＹ軸方向の配置間隔は、基準配置マップ９０における配置間隔の１／４倍になっている。
相似配置マップ９８において吐出ノズル７８が吐出を実施する間隔は、１／２×（最小着弾距離ｄ）であり、基準配置マップ９０において吐出ノズル７８が吐出を実施する間隔は、２×（最小着弾距離ｄ）であり、相似配置マップ９８におけるＸ軸方向の配置間隔は、基準配置マップ９０における配置間隔の１／４倍になっている。
上述したように、最小着弾距離ｄは、主走査方向の相対移動速度（移動距離／移動時間）と、吐出ノズル７８の最小吐出間隔（時間）との積である。したがって、主走査方向の相対移動速度を変えることによって、最小着弾距離ｄを調整することができる。同様に、吐出ノズル７８の最小吐出間隔を変えることによって、最小着弾距離ｄを調整することができる。
例えば、主走査方向の相対移動速度を１／２にすることで、１／２×（最小着弾距離ｄ）の間隔で規定された配置点４８１ａに液滴を配置する。
あるいは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力される間隔を１／２にすることで、すなわち、ラッチ信号（ＬＡＴ）の周波数を２倍にすることで、１／２×（最小着弾距離ｄ）の間隔で規定された配置点４８１ａに液滴を配置する。

当該数の液滴を着弾させることで、フィルタ膜領域４１８に必要且つ充分な量の機能液を充填するためには、一滴あたりの機能液の量を、フィルタ膜領域２２５に供給する液滴の１／１６倍（相似比１／４の二乗倍）とする。図６を参照して説明した駆動電圧や駆動波形を調整することによって、一滴あたりの吐出量を適切な量に調整する。

図１８（ｄ）は、フィルタ膜領域に形成されるフィルタ膜の状態を示す説明図である。
図１８（ｂ）に示した相似配置マップ９８に基づいて描画吐出を実施すると、着弾点領域４１８ａの範囲に収まる配置点４８６ａに固有着弾位置精度の範囲で一致する着弾点８１は、フィルタ膜領域４１８の範囲に収まる。略着弾点領域４１８ａの範囲に着弾した機能液の液滴が濡れ広がることによって、フィルタ膜領域４１８の全面に機能液が配置される。当該機能液を乾燥させることによって、図１８（ｄ）に示したように、フィルタ膜領域４１８の全面を埋める膜状のフィルタ膜４１７が形成される。

以下、実施形態の効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）着弾点領域４０６ａの平面形状は、基準配置マップ９０に対応する着弾点領域２２５ａの平面形状と相似形状であり、相似比は２である。着弾点領域４０６ａに対応する相似配置マップ９４における配置点の構成は、基準配置マップ９０と相似形状であり、相似比が２である。基準配置マップ９０は、着弾点領域２２５ａに機能液を配置して、フィルタ膜領域２２５に機能液を良好に行き渡らせるために好適な配置に設計されている。したがって、単純に２倍しただけの構成の相似配置マップ９４に従って着弾点領域４０６ａに機能液を配置すると、フィルタ膜領域４０６に機能液を良好に行き渡らせることができる可能性が極めて高い。
また、相似配置マップ９４の生成は、基準配置マップ９０における配置点の構成を２倍に拡大するだけで、容易に生成することができる。

（２）着弾点領域４０６ａの平面形状は、着弾点領域２２５ａの平面形状と相似形状であり、相似比は２である。フィルタ膜領域４０６に供給される液滴の一滴あたりの機能液の量は、フィルタ膜領域２２５に供給する液滴の４倍（相似比２の二乗倍）である。これにより、フィルタ膜領域４０６に形成されるフィルタ膜４０５の厚さを、フィルタ膜領域２２５に形成されるフィルタ膜２０５の厚さと略同等にすることができる。

（３）相似配置マップ９４に規定された各配置点に液滴が配置される順序は、基準配置マップ９０に基づいて描画吐出を実施する場合と同様である。これにより、着弾した液滴の濡れ広がり方や乾燥のし方などに及ぼす、液滴相互の影響が、基準配置マップ９０に基づいて描画吐出を実施する場合と同様になる。これにより、それらの条件がフィルタ膜４０５の特性に及ぼす影響を、それらの条件がフィルタ膜２０５の特性に及ぼす影響と略同等にして、フィルタ膜４０５の特性がフィルタ膜２０５の特性と異なることを抑制することができる。

（４）着弾点領域４１６ａの平面形状は、基準配置マップ９０に対応する着弾点領域２２５ａの平面形状と相似形状であり、相似比は１／２である。着弾点領域４１６ａに対応する相似配置マップ９６における配置点の構成は、基準配置マップ９０と相似形状であり、相似比が１／２である。基準配置マップ９０は、着弾点領域２２５ａに機能液を配置して、フィルタ膜領域２２５に機能液を良好に行き渡らせるために好適な配置に設計されている。したがって、単純に１／２倍しただけの構成の相似配置マップ９６に従って着弾点領域４１６ａに機能液を配置すると、フィルタ膜領域４１６に機能液を良好に行き渡らせることができる可能性が極めて高い。
また、相似配置マップ９６の生成は、基準配置マップ９０における配置点の構成を１／２倍にするだけで容易に生成することができる。

（５）着弾点領域４１６ａの平面形状は、着弾点領域２２５ａの平面形状と相似形状であり、相似比は１／２である。フィルタ膜領域４１６に供給される液滴の一滴あたりの機能液の量は、フィルタ膜領域２２５に供給する液滴の０．２５倍（相似比０．５の二乗倍）である。これにより、フィルタ膜領域４１６に形成されるフィルタ膜４１５の厚さを、フィルタ膜領域２２５に形成されるフィルタ膜２０５の厚さと略同等にすることができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、基準配置マップや相似配置マップの生成を液滴吐出装置１が実施していたが、基準配置マップや相似配置マップを液滴吐出装置１がオンラインで生成することは必須ではない。形成する膜形状および膜の配列に応じて配置マップを予め決定し、液滴吐出装置に配置マップを入力する方法であってもよい。この場合、配置マップを設定する装置と、液滴吐出を実施する装置とを含めた装置が、液状体吐出装置に相当する。

（変形例２）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、副走査方向であるＹ軸方向に延在していたが、吐出ノズルの配列方向が主走査方向と略直角に交差する副走査方向であることは必須ではない。吐出ノズルの配列方向は、副走査方向に対して傾いている構成であってもよい。

（変形例３）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、副走査方向であるＹ軸方向に延在して固定されていたが、吐出ノズルの配列方向が固定であることは必須ではない。吐出ノズルの配列方向は、可変であってもよい。吐出ノズルの配列方向は、例えば、吐出ヘッドのノズル形成面に垂直な軸回りに吐出ヘッドを回動させることができる回動装置を介して吐出ヘッドを支持することで、調整可能にすることができる。吐出ノズルの配列方向を変えることによって、副走査方向における吐出ノズルの配置間隔を調整してもよい。

（変形例４）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は１種類の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドは１種類に限らない。ノズルピッチや吐出量が異なる複数種類の液滴吐出ヘッドを備えてもよい。配置マップに規定された副走査方向の配置ピッチに対応して液滴吐出ヘッドを選択することによって、規定された配置ピッチを実現し易い適切なノズルピッチを選ぶことができる。

（変形例５）前記実施形態においては、液滴吐出装置１の液滴吐出ヘッド１７は、副走査方向において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するノズル列７８Ａが互いに重ならない位置に配設されていたが、液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドを、液滴吐出ヘッドが有するノズル列が、副走査方向において重なる位置に配設する構成であってもよい。
複数の液滴吐出ヘッドを、液滴吐出ヘッドが有するノズル列が副走査方向において重なる位置に配設し、吐出ノズルの位置を副走査方向にずらすことによって、当該複数の液滴吐出ヘッドによって、単独の液滴吐出ヘッドより小さいノズルピッチを形成することができる。
液滴吐出ヘッドの位置を、副走査方向において複数の吐出ノズルの位置が重なる位置に配設することによって、主走査方向において、単独の吐出ノズルからの吐出間隔より小さい吐出間隔で吐出を実施することができる。

（変形例６）前記実施形態においては、吐出ノズル７８とフィルタ膜領域２２５などとのＹ軸方向における相対位置が同じ位置で実施する吐出を伴う相対移動は一回であったが、相対位置が同じ位置で実施する吐出を伴う相対移動は一回に限らない。吐出ノズルと被吐出物である基板などとの副走査方向における相対位置を変えることなく、複数回の吐出を伴う主走査方向の相対移動を実施してもよい。主走査方向におけるそれぞれの相対移動の間で、吐出位置を主走査方向で微小移動することで、例えば最小配置間隔の１／２の微小移動を実施することによって、配置位置をそれぞれの相対移動の間で最小配置間隔の１／２ずらすことができる。これにより、主走査方向において、一回の相対移動で配置可能な配置間隔の１／２の配置間隔で液滴を配置し、２倍の配置密度で液滴を配置することができる。

（変形例７）前記実施形態においては、着弾点領域４０６ａなどが着弾点領域２２５ａと相似形状である場合に、基準配置マップ９０と相似形状の配置点を有する相似配置マップ９４などによって着弾点領域４０６ａなどに従って機能液を配置していた。しかし、相似形であるかを判定する領域が着弾点領域であることは必須ではない。例えばフィルタ膜領域４０６などのフィルタ膜領域が基準とするフィルタ膜領域と相似形状である場合に、相似形状の配置マップを形成する方法であってもよい。この場合、フィルタ膜領域が、被配置区画に相当する。
フィルタ膜領域と着弾点領域との差分を余裕領域と表記する。上述したように、着弾点領域（余裕領域）は、液滴吐出装置の固有着弾位置精度、及び機能液の液滴の大きさを考慮して設定される。フィルタ膜領域が被配置区画である場合は、相似配置マップによって着弾点領域も規定されるため、着弾点領域も相似形状となる。余裕領域も相似比の割合で拡大又は縮小されるため、相似配置マップに拠って吐出を実施することで、余裕領域も配置される液滴の大きさの拡大又は縮小に概ね対応したものとなる。着弾点領域が被配置区画である場合は、フィルタ膜領域に対して余裕領域を予め考慮する。このため、被配置区画の大きさに係わらず一定である固有着弾位置精度を一定の値として見込むことから、余裕領域に見込まれた固有着弾位置精度の量が、拡大されて過剰になったり、縮小されて過少になったりすることがないため、固有着弾位置精度を、余裕領域が拡大又は縮小されることを考慮して見込むことを必要としない。

（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列７８Ａを２列備えており、それぞれのノズル列７８Ａは１８０個の吐出ノズル７８を有する構成であったが、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの構成は液滴吐出ヘッド１７におけるような構成に限らない。液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの数は何個であってもよいし、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配列も、例えば１列に配列するなど、どのような配列であってもよい。

（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１を副走査方向に移動させるＹ軸テーブル１２を備えていたが、液滴吐出ヘッドを副走査方向に移動させることは必須ではない。液滴吐出装置は、被吐出物の全幅に吐出可能な吐出ノズル列を備える構成であってもよい。

（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出装置１のヘッドユニット２１は６個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、６個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備える構成であってもよい。

（変形例１１）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は１組のヘッドユニット２１を備えていたが、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは１組に限らない。液滴吐出装置は、何組のヘッドユニットを備える構成であってもよい。

（変形例１２）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドであったが、吐出ヘッドがインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであることは必須ではない。上述した配置点の配列方法を適用する吐出ヘッドは、インクジェット方式とは異なる方式の液滴吐出ヘッドであってもよい。

（変形例１３）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００のフィルタ膜２０５などを形成する際の描画吐出について説明したが、形成する膜は、フィルタ膜に限らない。形成する膜は、液晶表示装置の画素電極膜や配向膜や対向電極膜や、カラーフィルタなどを保護するためなどに設けるオーバーコート膜などであってもよい。
形成する膜を有する装置、又は形成過程において膜を形成する必要がある装置も、液晶表示装置に限らない。上述したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置であれば、どのような装置であってもよい。例えば、有機ＥＬ表示装置にも適用できる。有機ＥＬ表示装置を製造する際に上述した液滴吐出装置を用いて形成する機能膜は、有機ＥＬ表示装置の正極電極膜や陰極電極膜、フォトエッチングなどによってパターンを形成するための膜や、フォトエッチングなどのフォトレジスト膜などであってもよい。

（変形例１４）前記実施形態においては、液滴吐出装置１を使用して機能液を配置することで描画を実施する描画対象物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルタを備える液晶表示パネル２００について説明した。しかし、描画対象物は電気光学装置に限らない。上述した液状体吐出装置及び液状体吐出方法は、製造に際して様々な液状体を配置して加工を実施する様々な加工対象物を加工するための製造装置、及び製造方法として利用できる。例えば、導電性材料からなる配線を有する配線基板を製造するために液状の導電材料を吐出する配線導電膜の加工方法又は加工装置、半導体ウェハ又は半導体装置の配線導電膜を製造するために液状の導電材料を吐出する半導体ウェハ又は半導体装置の加工方法又は加工装置、半導体ウェハ又は半導体装置の絶縁層を形成するために液状の絶縁材料を吐出する半導体ウェハ又は半導体装置の加工方法又は加工装置などとして、利用することもできる。

（変形例１５）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、マザー対向基板２０１Ａなどを載置したワーク載置台２３を主走査方向に移動させると共に、液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出させることによって機能液を配置していた。また、ヘッドユニット２１を副走査方向に移動することによって、マザー対向基板２０１Ａなどに対する液滴吐出ヘッド１７（吐出ノズル７８）の位置を合わせこんでいた。しかし、配置ヘッドとしての液滴吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向の相対移動をマザー基板を移動させることで実施することも、副走査方向の相対移動を吐出ヘッドを移動させることで実施することも、必須ではない。
吐出ヘッドとマザー基板との主走査方向の相対移動を、吐出ヘッドを主走査方向に移動させることで実施してもよい。吐出ヘッドとマザー基板との副走査方向の相対移動を、マザー基板を副走査方向に移動させることで実施してもよい。あるいは、吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向及び副走査方向の相対移動を、吐出ヘッド、又はマザー基板のどちらか一方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよいし、吐出ヘッド、又はマザー基板の両方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよい。

液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。 （ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。 ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。 液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。 （ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図。（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図。 （ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。 液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。 （ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。 ３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。 液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。 液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。 液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。 機能液を配置する工程を示すフローチャート。 フィルタ膜領域及び着弾点領域と吐出ノズルと基準配置マップとの関係を示す説明図。 フィルタ膜領域及び着弾点領域と吐出ノズルと相似配置マップとの関係を示す説明図。 フィルタ膜領域及び着弾点領域と吐出ノズルと相似配置マップとの関係を示す説明図。 フィルタ膜領域及び着弾点領域と吐出ノズルと相似配置マップとの関係を示す説明図。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、７８…吐出ノズル、７８Ａ…ノズル列、８１…着弾点、８１Ａ…着弾円、８１ａ，１８１ａ，４８１ａ，４８６ａ…配置点、９０…基準配置マップ、９１…配置マップ、９４，９６，９８…相似配置マップ、２００…液晶表示パネル、２０５，４０５，４１５，４１７…フィルタ膜、２２５，４０６，４１６，４１８…フィルタ膜領域、２２５ａ，４０６ａ，４１６ａ，４１８ａ…着弾点領域。

Claims (15)

1. 液状体の液滴を吐出する複数の吐出ノズルと、１又は複数の被配置区画を備える基材と、を相対移動させ、前記１又は複数の被配置区画のそれぞれの被配置区画に、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルから吐出された前記液状体を配置する液状体吐出方法であって、
   第一の被配置区画に前記液滴を配置する配置位置を規定する第一の配置パターンを生成する配置パターン生成工程と、
   前記第一の被配置区画と相似の平面形状を有する第二の被配置区画に前記液滴を配置する配置位置を規定する第二の配置パターンを生成する相似配置パターン生成工程と、
   前記第二の配置パターンに従って前記液滴を配置する配置工程と、を有し、
   前記第二の配置パターンは、前記第一の配置パターンと相似形状であって、前記第一の配置パターンに対する相似比が、前記第一の被配置区画の平面形状に対する前記第二の被配置区画の平面形状の相似比と等しいことを特徴とする液状体吐出方法。
2. 前記第二の被配置区画に配置する前記液滴の体積は、前記第一の被配置区画に配置する前記液滴の体積に対する比が、前記第一の被配置区画に対する前記第二の被配置区画の相似比の二乗と等しいことを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出方法。
3. 単一の前記第二の被配置区画における、それぞれの前記配置位置について、前記液滴が配置される順序が、前記第一の被配置区画の前記配置位置における、前記液滴が配置される順序と同じであることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液状体吐出方法。
4. 前記複数の吐出ノズルは、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の方向である主走査方向と交差する方向に配列されており、
   前記配置工程は、前記主走査方向と交差する副走査方向において前記吐出ノズルと前記基材とを相対移動させる副走査工程と、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴い前記主走査方向において前記吐出ノズルと前記基材とを相対移動させる複数の吐出走査工程とを含み、前記複数の前記吐出走査工程のそれぞれの吐出走査工程の間に前記副走査工程を実施することを特徴とする、請求項１又は２に記載の液状体吐出方法。
5. 前記複数の吐出ノズルは、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の方向である主走査方向と交差する方向に配列されており、前記複数の吐出ノズルにおける、吐出を実施させる前記吐出ノズル相互の前記主走査方向と交差する副走査方向の間隔は、前記第一又は第二の配置パターンによって規定された前記副走査方向の前記液滴の配置間隔であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
6. 前記複数の吐出ノズルは、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の方向である主走査方向と交差する方向に配列されており、前記主走査方向と交差する副走査方向に対して前記複数の吐出ノズルの配列方向がなす角度を調整する配列方向調整工程をさらに有することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
7. 前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の際の、前記吐出ノズルの吐出周波数を調整する吐出周波数調整工程をさらに有することを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
8. 前記配置工程は、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴い前記吐出ノズルと前記基材とを相対移動させる複数の吐出走査工程を含み、
   前記複数の吐出走査工程における少なくとも２回以上の吐出走査工程は、前記吐出ノズルと前記基材との相対位置が、前記吐出走査工程における走査方向と交差する方向において同じ位置にある状態で実施されることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
9. 前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の際の、相対移動速度を調整する相対移動速度調整工程をさらに有することを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
10. 液状体の液滴を吐出する複数の吐出ノズルと、前記複数の吐出ノズルと１又は複数の被配置区画を備える基材とを相対移動させる移動手段とを備え、前記１又は複数の被配置区画のそれぞれの被配置区画に、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルから吐出された前記液状体を配置する液状体吐出装置であって、
    第一の被配置区画に前記液滴を配置する配置位置を規定する第一の配置パターンを生成する配置パターン生成手段と、
    前記第一の被配置区画と相似の平面形状を有する第二の被配置区画に前記液滴を配置する配置位置を規定する第二の配置パターンを生成する第二配置パターン生成手段と、を備え、
    前記第二配置パターン生成手段は、前記第一の配置パターンと相似形状であって、前記第一の配置パターンに対する相似比が、前記第一の被配置区画の平面形状に対する前記第二の被配置区画の平面形状の相似比と等しい前記第二の配置パターンを生成することを特徴とする液状体吐出装置。
11. 前記第二の被配置区画に配置する前記液滴の体積は、前記第一の被配置区画に配置する前記液滴の体積に対する比が、前記第一の被配置区画に対する前記第二の被配置区画の相似比の二乗と等しいことを特徴とする、請求項１０に記載の液状体吐出装置。
12. 単一の前記第二の被配置区画における、それぞれの前記配置位置について、前記液滴を配置する順序が、前記第一の被配置区画の前記配置位置における、前記液滴を配置する順序と同じであることを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の液状体吐出装置。
13. 前記複数の吐出ノズルは、前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の方向である主走査方向と交差する方向に配列されており、当該配列方向を変更可能な吐出ノズル回動手段をさらに備え、
    前記主走査方向と交差する副走査方向に対して前記複数の吐出ノズルの配列方向がなす角度を、前記吐出ノズル回動手段を用いて調整することを特徴とする、請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
14. 前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の際の、前記吐出ノズルの吐出周波数を調整する吐出周波数調整手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
15. 前記吐出ノズルからの前記液滴の吐出を伴う前記吐出ノズルと前記基材との相対移動の際の、前記吐出ノズルと前記基材との相対移動速度を調整する相対移動速度調整手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１０乃至１４のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。

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