JP2010114140A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】接続パッド上に信頼性よく導電性ボールを搭載してバンプ電極を形成できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】接続パッドCを備えた半導体ウェハ10を用意する工程と、接続パッドCを含む領域に開口部20aが設けられた絶縁性ダム層20を半導体ウェハ10の上に形成する工程と、絶縁性ダム層20の開口部20a内の接続パッドCの上に導電性ボール40aを搭載することにより、バンプ電極40を形成する工程とを含む。
【選択図】図6
【解決手段】接続パッドCを備えた半導体ウェハ10を用意する工程と、接続パッドCを含む領域に開口部20aが設けられた絶縁性ダム層20を半導体ウェハ10の上に形成する工程と、絶縁性ダム層20の開口部20a内の接続パッドCの上に導電性ボール40aを搭載することにより、バンプ電極40を形成する工程とを含む。
【選択図】図6
Description
本発明は半導体装置及びその製造方法に係り、さらに詳しくは、接続端子としてバンプ電極を備えた半導体装置及びその製造方法に関する。
従来、接続端子としてはんだなどからなるバンプ電極が設けられた半導体装置がある。バンプ電極の形成方法としては、はんだボールを接続パッドの上に搭載し、リフロー加熱することによりバンプ電極を得る方法がある。
特許文献1には、電子部品の接続電極上に薄いはんだ層を形成した後に、電子部品をはんだ溶融温度以上に保持してはんだ層を溶融した状態で、はんだ層にはんだボールを吹き付けて付着させる方法が記載されている。
また、特許文献2には、金属ボールが収容された容器に微振動を与え、その振動によって浮遊した金属ボールを配列基板の孔に吸着させ、その配列基板を接続用ステージまで搬送し、半導体チップの電極パッドに金属ボールを接合することが記載されている。
特開昭64−11071号公報
特開平7−153765号公報
後述する関連技術の欄で説明するように、シリコンウェハの接続パッド上にはんだボールを搭載し、はんだボールをリフロー加熱してバンプ電極を形成する際に、接続パッドが凸状となっているため、はんだボールが接続パッド上から外側に転がって移動することがある。
このため、バンプ電極間が繋がってしまうブリッジ不良が発生したり、一つの接続パッドに2つのはんだボールが搭載されて特大バンプ電極が形成されることがあり、製造歩留りの低下を招きやすい問題がある。
本発明は以上の課題を鑑みて創作されたものであり、接続パッド上に信頼性よく導電性ボールが搭載されてバンプ電極が形成される半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明は半導体装置の製造方法に係り、接続パッドを備えた半導体ウェハを用意する工程と、前記接続パッドを含む領域に開口部が設けられた絶縁性ダム層を前記半導体ウェハの上に形成する工程と、前記絶縁性ダム層の前記開口部内の前記接続パッドの上に導電性ボールを搭載することにより、バンプ電極を形成する工程とを有することを特徴とする。
本発明では、半導体ウェハの上に、その接続パッドを含む領域に開口部が設けられた絶縁性ダム層を形成する。絶縁性ダム層は、接続パッド上に導電性ボールを搭載する際に、導電性ボールが接続パッド上から転がって移動しないように位置決めするために設けられる。そして、絶縁性ダム層の開口部内の接続パッドの上に導電性ボールを搭載することによりバンプ電極を形成する。
特に、導電性ボールがはんだボールからなる場合、リフロー加熱する際にはんだボールが移動するとしても、絶縁性ダム層が導電性ボールの移動を阻止するストッパとなる。このため、はんだボールが横方向に転がって移動するおそれがなくなり、各接続パッド上に信頼性よくバンプ電極が形成される。
これにより、バンプ電極間が繋がってしまうブリッジ不良が発生したり、一つの接続パッドに2つのボールが搭載されて特大バンプ電極が形成されてしまう不具合が解消される。従って、接続パッドが狭ピッチ化されるとしても、歩留りよくバンプ電極を形成できるようになる。
本発明では、導電性ボールをマスクの開口部を挿通させて半導体ウェハの接続パッド上に搭載してもよいし、あるいは、マスクレスで導電性ボールを接続パッド上に搭載してもよい。
マスクレスで導電性ボールを搭載する場合は、接続パッドを下側に向けて半導体ウェハを配置し、半導体ウェハの下に多数の導電性ボールが収容されたボール容器を配置する。さらに、ボール容器を上下に振り動かして導電性ボールを半導体ウェハ側に飛ばすことにより、接続パッド上に設けられたフラックスや導電性ペーストなどの粘着材に導電性ボールを接着させる。
このようにすることにより、半導体ウェハの接続パッドに付着しなかった導電性ボールは重力によって自動的に下側のボール容器に回収される。従って、マスクの開口部を通して導電性ボールを搭載する方法よりも、余分な導電性ボールを効率よく確実に回収することができる。
絶縁性ダム層は、必要に応じて、除去してもよいし、あるいはそのまま残してもよい。絶縁性ダム層を残す場合は、絶縁性ダム層の厚みは、バンプ電極の接続部が露出するように、バンプ電極(導電性ボール)の高さより薄く形成される。
また、上記課題を解決するため、本発明は半導体装置に係り、接続パッドを備えた半導体基板と、前記接続パッドに接続されて、上側に突出するバンプ電極と、前記半導体基板の上に形成され、前記バンプ電極を含む領域に開口部が設けられた絶縁性ダム層とを有し、前記絶縁性ダム層の厚みは前記バンプ電極の高さより薄く、かつ前記バンプ電極と前記絶縁性ダム層の前記開口部の側面との間に隙間が設けられていることを特徴とする。
本発明の半導体装置は、上記した製造方法によって絶縁性ダム層の開口部内の接続パッド上に導電性ボールが搭載され、絶縁性ダム層が残されて製造される。絶縁性ダム層の開口部は導電性ボールより一回り大きく設定されるので、バンプ電極と絶縁性ダム層の開口部の側面との間に隙間が設けられている。
本発明の好適な態様では、導電性ボールが絶縁性ダム層の開口部に安定して位置決めされ、かつバンプ電極の接続部が十分に露出するように、絶縁性ダム層の厚みがバンプ電極の高さの20乃至50%の範囲に設定される。
以上説明したように、本発明では、半導体ウェハの接続パッド上に信頼よく導電性ボールが搭載されてバンプ電極が歩留りよく形成される。
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
(関連技術)
図1及び図2は本発明に関連する関連技術の半導体装置の製造方法を示す断面図である。関連技術の半導体装置の製造方法では、図1(a)に示すように、まず、上面側に、接続電極120と、それを露出させる開口部140aが設けられたパッシベーション層140とを備えたシリコンウェハ100を用意する。特に図示しないが、シリコンウェハ100にはトランジスタなどの回路素子とそれらを接続する多層配線が設けられており、接続電極120は多層配線に接続されている。
図1及び図2は本発明に関連する関連技術の半導体装置の製造方法を示す断面図である。関連技術の半導体装置の製造方法では、図1(a)に示すように、まず、上面側に、接続電極120と、それを露出させる開口部140aが設けられたパッシベーション層140とを備えたシリコンウェハ100を用意する。特に図示しないが、シリコンウェハ100にはトランジスタなどの回路素子とそれらを接続する多層配線が設けられており、接続電極120は多層配線に接続されている。
次いで、図1(b)に示すように、接続電極120の上に開口部160aが設けられた保護絶縁層160をパッシベーション層140の上に形成する。さらに、図1(c)に示すように、接続電極120上にそれに接続される金属バリア層180をパターン化して形成する。これにより、シリコンウェハ100の最上に接続電極120及び金属バリア層180により構成される接続パッドCが設けられる。接続パッドCの金属バリア層180は接続電極120上から保護絶縁層160の上に凸状に配置される。
続いて、図1(d)に示すように、シリコンウェハ100の接続パッドCの上にフラックス200をパターン化して形成する。
次いで、図2(a)に示すように、シリコンウェハ100の接続パッドCに対応する開口部300aを備えたマスク300を用意する。そして、マスク300をシリコンウェハ100の上方に配置する。このとき、マスク300の開口部300aがシリコンウェハ100の接続パッドC上に配置されるようにマスク300が位置合わせされて配置される。
さらに、マスク300の上に多数のはんだボール400を供給し、刷毛(不図示)によってはんだボール400をマスク300の一端側に掃き出して移動させる。これにより、はんだボール400がマスク300の開口部300aを挿通してシリコンウェハ100の接続パッドC上のフラックス200に接着して配置される。
その後に、図2(b)に示すように、シリコンウェハ100からマスク300が取り外される。このとき、シリコンウェハ100の接続パッドCが凸状に形成されていることから、はんだボール400が転がって接続パッドCの中心部から外側にずれて配置されることがある。
続いて、同じく図2(b)に示すように、はんだボール400をリフロー加熱した後に、フラックス200の残渣を除去する。リフロー加熱を行う際にフラックス200が横方向に流動することから、位置ずれして配置されたはんだボール400がさらに横方向に押されて転がり、引いては隣のはんだボール400に接触してしまうことがある。
このような事態が発生すると、図2(c)に示すように、シリコンウェハ100の一つの接続パッドCに2つのはんだボール400が搭載されることで、他のバンプ電極より突出する特大バンプ電極420が形成されてしまう。これと同時に、バンプ電極が形成されない接続パッドCが発生してしまうことになる。
あるいは、接続パッドC上に配置された正常なはんだボール400の間に他のはんだボールが転がり込んでくると、バンプ電極間が繋がってしまうブリッジ不良となる。
このため、特に、接続パッドCが狭ピッチ化されてくると、歩留りの低下が顕著になるおそれがある。
以下に説明する本発明の実施形態は前述した不具合を解消することができる。
(第1の実施の形態)
図3〜図6は本発明の第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図(一部平面図)である。第1実施形態の半導体装置の製造方法では、まず、図3に示すようなシリコンウェハ10を用意する。本実施形態では半導体ウェハとしてシリコンウェハ10を例示する。
図3〜図6は本発明の第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図(一部平面図)である。第1実施形態の半導体装置の製造方法では、まず、図3に示すようなシリコンウェハ10を用意する。本実施形態では半導体ウェハとしてシリコンウェハ10を例示する。
図3の断面図に示すように、シリコンウェハ10は、その最上に、接続電極12とそれを露出させる開口部14aが設けられたパッシベーション層14(絶縁層)とを備えている。
接続電極12は、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金から形成され、パッシベーション層14は、例えば、シリコン窒化層及びポリイミド樹脂層のいずれか又はそれらの積層膜から形成される。
また、シリコンウェハ10には、トランジスタ(半導体素子)、キャパシタ及び抵抗などの回路素子が形成された複数の素子形成領域Tが設けられている。各素子形成領域Tの上には、各種素子を接続するための多層配線(不図示)が形成されており、多層配線は接続電極12に接続されている。
図3の平面図を加えて説明すると、シリコンウェハ10には、素子形成領域Tを含むチップ領域Aが多数設けられている。図3の平面図の例では、接続電極12はエリアアレイ型で配置されており、各チップ領域Aの全体にそれぞれ格子状に配置されている。あるいは、接続電極12がペリフェラル型で配置され、各チップ領域Aの周縁部にそれぞれ配置されていてもよい。シリコンウェハ10は、後に、各チップ領域Aが得られるように切断されて個々の半導体チップ(半導体装置)となる。
次の工程から図3の部分断面図を参照して説明する。図4(a)に示すように、接続電極12の上に開口部16aが設けられた保護絶縁層16をシリコンウェハ10の上に形成する。保護絶縁層16は、例えば、感光性のポリイミド樹脂がフォトリソグラフィによってパターン化されて形成される。
次いで、図4(b)に示すように、接続電極12の上に金属バリア層18をパターン化して形成する。金属バリア層18は、UBM(Under Bump Metal)とも呼ばれる。接続電極12及び金属バリア層18によってシリコンウェハ10の接続パッドCが構成される。
金属バリア層18の好適な層構成の一例としては、下から順に、チタン(Ti)層又はクロム(Cr)層/ニッケル(Ni)層又は銅(Cu)層/金(Au)層から形成される。ニッケル層又は銅層と、金層との間にパラジウム(Pd)層をさらに形成してもよい。あるいは、チタン層又はクロム層と、ニッケル層又は銅層との間にチタンタングステン(TiW)層をさらに形成してもよい。
金属バリア層18の形成方法としては、スパッタ法などにより金属層を積層して形成した後に、フォトリソグラフィによって金属層をパターン化する。あるいは、接続パッドC上に開口部が設けられたレジストを形成した後に、スパッタ法によって全面に金属層を積層して形成し、レジストを除去するリフトオフ法によって形成してもよい。
接続パッドCの金属バリア層18は、接続電極12上からその側方に形成された保護絶縁層16の上に凸状に配置される。
続いて、図4(c)に示すように、接続パッドCを含む領域に開口部20aが設けられた絶縁性ダム層20を保護絶縁層16の上に形成する。絶縁性ダム層20は、接続パッドC上にはんだボールを搭載する際に、はんだボールが接続パッドC上から転がって移動しないように位置決めするために設けられる。従って、図4(c)の部分平面図に示すように、絶縁性ダム層20の開口部20aは接続パッドCを取り囲むように形成される。
絶縁性ダム層20の開口部20aの径は、はんだボールを安定して配置できるようにはんだボールの径より一回り大きく設定される。例えば、径が100μmのはんだボールを接続パッドC上に搭載する場合は、絶縁性ダム層20の開口部20aの径は130μmに設定される。
また、絶縁性ダム層20の厚みは、開口部20内ではんだボールが転がる場合に移動を阻止できる厚みに設定される。後述するように、マスクの開口部からはんだボールを搭載する場合は、絶縁性ダム層20の厚みは、好適には、はんだボールの高さの20〜50%の範囲に設定される。
絶縁性ダム層20の形成方法としては、シリコンウェハ10の上にドライフィルムレジストを貼着し、フォトリソグラフィによって露光・現像することにより、接続パッドC上に開口部20aを形成する。又は、シリコンウェハ10の上に液状レジストを塗布し、フォトリソグラフィによって同様に開口部20aを形成してもよい。
あるいは、ポリイミド樹脂などの樹脂フィルムをシリコーン系の接着剤でシリコンウェハ10の上に接着し、樹脂フィルムをドライエッチングやレーザによって加工することにより接続パッドCの上に開口部20aを形成してもよい。
この場合、樹脂フィルムの上に銅などからなる金属マスクがパターニングされ、その金属マスクの開口部を通して樹脂フィルムがドライエッチングやレーザによって加工される。その後に、金属マスク(銅など)がウェットエッチングにより下地に対して選択的に除去される。
フォトリソグラフィ、ドライエッチング又はレーザによって絶縁性ダム層20の開口部20aを形成する際に、シリコンウェハ10の接続電極12(アルミニウム)はその上の金属バリア層18によって防御されるので、接続電極12(アルミニウム)及びその下の回路素子にダメージを与えるおそれはない。
後述するように、絶縁性ダム層20ははんだボールを搭載してバンプ電極を形成した後に、除去してもよいし、そのまま残してもよい。絶縁性ダム層20を除去する場合は、剥離が容易なレジストを使用することが好ましい。また、絶縁性ダム層20を除去する場合は、絶縁性ダム層20の厚みは任意に設定することができ、はんだボール40aの高さより厚く設定してもよい。
あるいは、絶縁性ダム層20を残す場合は、絶縁性ダム層20の厚みは、はんだボールがリフロー加熱されて得られるバンプ電極の高さより薄く設定される。また、絶縁性ダム層20を残す場合は、パターニングが可能な絶縁材料であればよく、レジストや樹脂フィルムの他に各種の絶縁材料を使用することも可能である。
次いで、図5(a)に示すように、シリコンウェハ10の接続パッドCの上に印刷などによりフラックス22をパターン化して形成する。
続いて、図5(b)に示すように、ボール搭載装置(不図示)のステージにシリコンウェハ10を配置し、その上方にマスク30を配置する。マスク30には、シリコンウェハ10の接続パッドC(絶縁性ダム層20の開口部20a)に対応する開口部30aが設けられている。
そして、マスク30の開口部30aがシリコンウェハ10の接続パッドC上に配置されるように、マスク30がシリコンウェハ10上に位置合わせされて配置される。さらに、ボール供給手段(不図示)から多数のはんだボール40a(導電性ボール)をマスク30の上に供給する。
次いで、図5(c)に示すように、刷毛(不図示)を水平方向に移動させてはんだボール40aをマスク30の一端側に掃き出すことにより、マスク30の開口部30aにはんだボール40aを挿通させる。これにより、シリコンウェハ10の接続パッドC上のフラックス22にはんだボール40aが接着して配置される。
あるいは、はんだボール40aにエアを吹きかけて移動させることにより、マスク30の開口部30aにはんだボール40aを挿通させて、接続パッドCにはんだボール40aを接着させてもよい。さらに、マスク30上に残った余分なはんだボール40aがマスク30の端部に回収される。
続いて、図6(a)に示すように、シリコンウェハ10からマスク30を分離すする。このとき、接続パッドCが凸状に配置されているので、はんだボール40aが接続パッドC上で転がって移動することがある。しかしながら、本実施形態では、接続パッドCの周りに絶縁性ダム層20が形成されているので、はんだボール40aはその開口部20a内に位置決めされて配置される。その後に、はんだボール40aをリフロー加熱する。
これにより、図6(b)に示すように、接続パッドCに接続されて上側に突出するバンプ電極40が得られる。
このとき、図6(a)において接続パッドCの中心部から多少ずれて配置されたはんだボール40aがフラックス22の流出によって横方向に押されるとしても、はんだボール40aは絶縁性ダム層20によって堰き止められるので、接続パッドC上から外れるおそれがない。また、リフロー加熱する際の溶融はんだの表面張力によるセルフアライン効果によって、はんだボール40aが接続パッドCの中心側に導かれる。
さらに、同じく図6(b)に示すように、シリコンウェハ10の各チップ領域A(図3の平面図)が得られるようにシリコンウェハ10を切断する。これにより、シリコンウェハ10が個々のシリコン基板11に分割されて、半導体装置1(半導体チップ)が得られる。
なお、本実施形態では、導電性ボールとして、全体にわたってはんだから形成されたはんだボール40aを例示するが、樹脂からなるコアボールの外面がはんだ層で被覆されたもの、あるいは銅からなるコアボールの外面がはんだ層で被覆されたものなどを使用してもよい。
あるいは、はんだ接続以外の接続方法を採用する場合は、各種の導電性材料からなる導電性ボールを使用することができる。
以上説明したように、第1実施形態の半導体装置の製造方法では、接続パッドC上に開口部20aが設けられた絶縁性ダム層20をシリコンウェハ10の上に形成した後に、接続パッドCの上にはんだボール40aを搭載する。これにより、はんだボール40aは絶縁性ダム層20の開口部20内に位置決めされて配置される。
従って、リフロー加熱する際に、フラックス22が外側に流出するとしても、はんだボール40aの移動が絶縁性ダム層20によって阻止されるので、各接続パッドCの上に信頼性よくバンプ電極40がそれぞれ形成されるようになる。
このように、はんだボール40aが転がりやすい凸状の接続パッドCの上に確実にはんだボール40aを搭載することができるようになるので、接続パッドCが狭ピッチ化される場合であっても、歩留りよくバンプ電極40を形成することができる。
図6(b)には、絶縁性ダム層20がそのまま残された半導体装置1が示されている。
図6(c)に示すように、シリコンウェハ10を切断する前に絶縁性ダム層20を除去することにより、絶縁性ダム層20が存在しない半導体装置1aとしてもよい。絶縁性ダム層20を除去する場合は、絶縁性ダム層20はレジストから形成され、レジスト剥離液などによって容易に除去される。
図6(b)に示すように、本実施形態の半導体装置1では、シリコン基板11(半導体基板)には、トランジスタなどの回路素子が形成された素子形成領域Tが設けられており、素子形成領域Tは多層配線(不図示)を介して接続電極12に電気接続されている。接続電極12の側方にはパッシベーション層14(絶縁層)が形成されている。
さらに、接続電極12の上に開口部16aが設けられた保護絶縁層16がパッシベージョン層14の上に形成されている。接続電極12の上には金属バリア層18がパターン化されて形成されている。そして、接続電極12及び金属バリア層18によって接続パッドCが構成される。接続パッドCの金属バリア層18は、接続電極12上から保護絶縁層16の上に凸状に形成されている。
接続パッドCの上にはそれに接続されて上側に突出するバンプ電極40が設けられている。さらに、バンプ電極40及びその近傍に開口部20aが設けられた絶縁性ダム層20が保護絶縁層16の上に形成されている。
本実施形態の半導体装置1では、はんだボール40aより一回り大きな径の開口部20aが接続パッドC上に設けられた絶縁性ダム層20が形成された後に、その開口部20aにはんだボール40aが搭載されてバンプ電極40が形成される。従って、バンプ電極40と絶縁性ダム層20の開口部20aの側面との間には隙間dが設けられている。
なお、はんだボール40aが接続パッドCの中心部から多少位置ずれして搭載される箇所では、バンプ電極40と絶縁性ダム層20の開口部20aの側面とが接触していてもよい。
また、絶縁性ダム層20の厚みは、好適には、バンプ電極40の高さの20〜50%の範囲に設定されている。これにより、絶縁性ダム層20の開口部20a内にはんだボール40aが安定して位置決めされると共に、絶縁層ダム層20を残してもバンプ電極40の接続部を十分に露出させることができる。そして、半導体装置1のバンプ電極40の先端側が、配線基板(実装基板)の接続部に電気接続される。
(第2の実施の形態)
図7は本発明の第2実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。第2実施形態の特徴は、はんだボールを搭載する際にマスクを使用しないことにある。第2実施形態では、第1実施形態と同一工程及び同一要素については同一符号を付してその説明を省略する。
図7は本発明の第2実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。第2実施形態の特徴は、はんだボールを搭載する際にマスクを使用しないことにある。第2実施形態では、第1実施形態と同一工程及び同一要素については同一符号を付してその説明を省略する。
図7(a)に示すように、前述した第1実施形態の図5(a)と同一構造のシリコンウェハ10を用意する。すなわち、接続パッドC上に開口部20aが設けられた絶縁性ダム層20がシリコンウェハ10の上に設けられており、接続パッドCの上にフラックス22が塗布されている。
次いで、ボール搭載装置(不図示)のステージにシリコンウェハ10を配置し、マスクを介さずに、ボール供給手段(不図示)からシリコンウェハ10に多数のはんだボール40aを供給する。さらに、シリコンウェハ10上に供給されたはんだボール40aに横方向からエアを吹きかけることにより、はんだボール40aをシリコンウェハ10の一端側に移動させる。
これにより、図7(b)に示すように、シリコンウェハ10の上に供給されたはんだボール40aが絶縁性ダム層20の開口部20a内に振り込まれる。あるいは、エアを吹きかける代わりに、シリコンウェハ10を上下に振動させて絶縁性ダム層20の開口部20a内にはんだボール40aを振り込んでもよい。
絶縁性ダム層20の上に配置される余分なはんだボールはエアによってシリコンウェハ10上から外部に飛ばされる。シリコンウェハ10の接続パッドC上に配置されたはんだボール40aは、フラックス22に接着しているのでエアで飛ばされずに残される。
そして、図7(c)に示すように、第1実施形態と同様に、はんだボール40aをリフロー加熱することにより、接続パッドCに接続されて上側に突出するバンプ電極40を形成する。その後に、シリコンウェハ10が切断されて、第1実施形態と同様な個々の半導体装置1が得られる。
第2実施形態では、マスクを使用しないではんだボール40aを搭載するので、絶縁性ダム層20が低すぎると、その開口部20aからはんだボール40aが抜けてしまうおそれがある。このため、マスクレスではんだボール40aを安定して搭載するには、絶縁性ダム層20の厚みをはんだボール40aの径の50〜130%の範囲に設定することが好ましい。
但し、絶縁性ダム層20を残す場合は、バンプ電極40の接続部を露出させるため、絶縁性ダム層20の厚みは、はんだボール40a(バンプ電極40)の高さより薄く設定される。
図7(c)には、絶縁性ダム層20が残された半導体装置1が示されているが、シリコンウェハ10を切断する前に絶縁性ダム層20を除去して絶縁性ダム層20が存在しない半導体装置を得てもよい。
第2実施形態は第1実施形態と同様な効果を奏する。これに加えて、マスクを省略することができるので、低コスト化を図ることができる。
(第3の実施の形態)
図8及び図9は本発明の第3実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。前述した第2実施形態では、シリコンウェハ10の接続パッドCを上側にしてマスクレスではんだボール40aを搭載するので、余分なはんだボール40aを除去する際に手間がかかるおそれがある。
図8及び図9は本発明の第3実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。前述した第2実施形態では、シリコンウェハ10の接続パッドCを上側にしてマスクレスではんだボール40aを搭載するので、余分なはんだボール40aを除去する際に手間がかかるおそれがある。
第3実施形態の特徴は、シリコンウェハの接続パッドを下側に向けた状態で、接続パッドにはんだボールを搭載することにある。第3実施形態では、第1実施形態と同一工程及び同一要素については同一符号を付してその説明を省略する。
第3実施形態では、図8(a)に示すように、まず、前述した第1実施形態の図5(a)と同一構造のシリコンウェハ10を用意する。すなわち、接続パッドC上に開口部20aが設けられた絶縁性ダム層20がシリコンウェハ10の上に設けられており、接続パッドCの上にフラックス22が塗布されている。
そして、シリコンウェハ10を上下反転させて接続パッドCを下側に向ける。シリコンウェハ10はその接続パッドCが下側になった状態でボール搭載装置(不図示)の支持手段に支持される。
さらに、図8(b)に示すように、ボール搭載装置(不図示)は多数のはんだボール40aが収容されたボール容器50を備えており、ボール容器50がシリコンウェハ10の下側に配置されている。ボール容器50は上側が開口されている。
次いで、ボール容器50を上下に振り動かすことにより、ボール容器50内のはんだボール40aをシリコンウェハ10の下面まで飛ばす。このとき、シリコンウェハ10の接続パッドCに飛ばされたはんだボール40aはフラックス22に接着して接続パッドCに搭載される。シリコンウェハ10の全ての接続パッドCにはんだボール40aが搭載されるまで、ボール容器50が上下に振り動かされる。
なお、本実施形態では、はんだボール40aを接着させる粘着材としてフラックス22を例示するが、導電性ペーストなどを使用してもよい。
そして、図9(a)に示すように、はんだボール40aの搭載が終了すると、シリコンウェハ10の接続パッドCに付着しなかったはんだボール40aは重力によってボール容器50に落下して自動的に回収される。
このように、第3実施形態では、シリコンウェハ10の接続パッドCを下側に向けて、その下側からはんだボール40aを接続パッドC上のフラックス22に付着させるので、余分なはんだボール40aの除去作業を行わなくとも、余分なはんだボール40aの取り残しが発生することがない。
従って、第1、第2実施形態よりも、余分なはんだボールを極めて効率よく確実に回収することができる。また、マスクを用意する必要もないので、低コスト化を図ることができる。
第3実施形態においても、はんだボール40aを安定して絶縁性ダム層20の開口部20aに振り込むには、絶縁性ダム層20の厚みをはんだボール40aの径の50〜130%の範囲に設定することが好ましい。また、同様に、絶縁性ダム層20を残す場合は、バンプ電極40の接続部を露出させるため、絶縁性ダム層20の厚みは、はんだボール40a(バンプ電極40)の高さより薄く設定される。
その後に、図9(b)に示すように、第1実施形態と同様に、はんだボール40aをリフロー加熱することにより、接続パッドCに接続されて上側に突出するバンプ電極40を得る。
その後に、シリコンウェハ10が切断されて、第1実施形態と同様な個々の半導体装置1が得られる。
図9(b)には、絶縁性ダム層20が残された半導体装置1が示されているが、シリコンウェハ10を切断する前に絶縁性ダム層20を除去して絶縁性ダム層20が存在しない半導体装置を得てもよい。
第3実施形態は、第1、第2実施形態と同様な効果を奏する。これに加えて、シリコンウェハ10の接続パッドCを下側に向けて、マスクレスで下側からはんだボール40aを接続パッドCに搭載するので、余分なはんだボールを効率よく確実に除去することができ、生産効率及び歩留りのさらなる向上を図ることができる。
1,1a…半導体装置、10…シリコンウェハ(半導体ウェハ)、12…接続電極、14…パッシベーション層、16…保護絶縁層、18…金属バリア層、14a,16a,20a,30a…開口部、20…絶縁性ダム層、22…フラックス、30…マスク、40a…はんだボール(導電性ボール)、40…バンプ電極、50…ボール容器、A…チップ領域、T…素子形成領域、d…隙間。
Claims (10)
- 接続パッドを備えた半導体基板と、
前記接続パッドに接続されて、上側に突出するバンプ電極と、
前記半導体基板の上に形成され、前記バンプ電極を含む領域に開口部が設けられた絶縁性ダム層とを有し、
前記絶縁性ダム層の厚みは前記バンプ電極の高さより薄く、かつ前記バンプ電極と前記絶縁性ダム層の前記開口部の側面との間に隙間が設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 前記絶縁性ダム層の厚みは、前記バンプ電極の高さの20乃至50%の範囲に設定されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記接続パッドは、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる接続電極と、該接続電極の上に形成された金属バリア層とにより構成され、
前記金属バリア層は、前記接続電極上からその側方に形成された絶縁層の上に凸状に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 接続パッドを備えた半導体ウェハを用意する工程と、
前記接続パッドを含む領域に開口部が設けられた絶縁性ダム層を前記半導体ウェハの上に形成する工程と、
前記絶縁性ダム層の前記開口部内の前記接続パッドの上に導電性ボールを搭載することにより、バンプ電極を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記バンプ電極を形成する工程の後に、
前記絶縁性ダム層を除去する工程をさらに有することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記バンプ電極を形成する工程において、
前記導電性ボールは少なくとも外面部がはんだからなり、
前記導電性ボールを搭載した後に、前記導電性ボールをリフロー加熱することにより前記接続パッドに接続される前記バンプ電極を得ることを特徴とする請求項4又は5に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記バンプ電極を形成する工程は、
前記接続パッドに対応する開口部を備えたマスクを前記半導体ウェハの上に配置し、前記マスクの開口部を通して前記導電性ボールを前記接続パッドの上に搭載することを含むことを特徴とする請求項4又は5に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記バンプ電極を形成する工程は、
前記接続パッドを下側に向けて前記半導体ウェハを配置し、
前記半導体ウェハの下に多数の導電性ボールが収容されたボール容器を配置し、前記ボール容器を上下に振り動かして前記導電性ボールを前記半導体ウェハ側に飛ばすことにより、前記接続パッド上に設けられた粘着材に前記導電性ボールを接着させることを含むことを特徴とする請求項4又は5に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁性ダム層を形成する工程は、
前記半導体ウェハの上にレジストを形成し、フォトリソグラフィによって前記開口部を形成する工程であることを特徴とする請求項4又は5に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記バンプ電極を形成する工程の後に、前記絶縁性ダム層を除去するか又は残した状態で、前記半導体ウェハを切断することにより、半導体チップからなる個々の半導体装置を得る工程をさらに有することを特徴とする請求項4乃至9のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
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