JP2010113295A - プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の大型化に伴いチャックが大型化しても、突き上げピンの高さを容易に調整する。
【解決手段】突き上げピン12、突き上げピン12を上下に移動するモータ11、及びチャック10に対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットと、突き上げピンユニットを挿入する少なくとも1つの開口とをチャック10に設け、複数の突き上げピンユニットの内の少なくとも1つを、チャック10の上方から、開口に挿入し、高さ調整機構により取り付け高さを調整して、チャック10に取り付ける。各突き上げピンユニットのモータ11を制御して突き上げピン12を上下に移動し、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行う。
【選択図】図5
【解決手段】突き上げピン12、突き上げピン12を上下に移動するモータ11、及びチャック10に対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットと、突き上げピンユニットを挿入する少なくとも1つの開口とをチャック10に設け、複数の突き上げピンユニットの内の少なくとも1つを、チャック10の上方から、開口に挿入し、高さ調整機構により取り付け高さを調整して、チャック10に取り付ける。各突き上げピンユニットのモータ11を制御して突き上げピン12を上下に移動し、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行う。
【選択図】図5
Description
本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、プロキシミティ方式を用いて基板の露光を行うプロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法、及びそれらを用いた表示用パネル基板の製造方法に係り、特に、基板を搭載するチャックに対して、大型の基板をロード/アンロードするのに好適なプロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法、及びそれらを用いた表示用パネル基板の製造方法に関する。
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のTFT(Thin Film Transistor)基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機EL(Electroluminescence)表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙(プロキシミティギャップ)を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。
プロキシミティ露光装置は、基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクホルダに保持されたマスクとチャックに搭載された基板とを極めて接近させて露光を行う。通常、チャックは、基板の移動及び位置決めを行うステージ上に搭載されており、基板を真空吸着して固定する。マスクホルダは、基板を搭載したチャックの上方に設けられ、マスクの周辺部を真空吸着して固定する。チャックへの基板の搬入、及びチャックからの基板の搬出は、通常、基板搬送ロボットのハンドリングアームにより行われるが、マスクと基板との接触を避けるために、マスクの下の露光位置から離れたロード/アンロード位置で行われる。ロード/アンロード位置で基板をチャックに搭載した後、ステージがマスクの下の露光位置へ移動し、露光位置で基板の位置決めを行う。
従来、チャックとハンドリングアームとの間の基板の受け取り及び受け渡しは、チャックの表面にハンドリングアームが挿入される溝を設けて行われていた。しかしながら、チャックの表面に設けた溝の部分と他の吸着部分とで露光光の反射率が異なり、また溝の部分の空間と他の吸着部分とに温度差が生じるため、露光時に焼きむらが発生するという問題があった。これに対し、特許文献1に記載の様に、チャックに複数の突き上げピンを設け、突き上げピンにより基板をチャックの表面から持ち上げて、基板の受け取り及び受け渡しを行う突き上げピン方式がある。各突き上げピンは、チャックの下方に配置された共通のテーブルに取り付けられており、テーブルを上下に移動することで、各突き上げピンの上昇及び下降が行われる。
特開2000−237983号公報
従来の突き上げピン方式では、各突き上げピンを所望の高さに設置するために、チャックの外側から、チャックの下へ手を伸ばし、あるいは治具を用いて、テーブルに対する各突き上げピンの取り付け高さを調整していた。しかしながら、基板の大型化に伴ってチャックが大型になると、チャックの中央部付近に配置された突き上げピンは、チャックの外側から手又は治具が届きにくいので、テーブルに対する取り付け高さを調整するのが困難になってきた。
また、基板の大型化に伴い、突き上げピンを取り付けるテーブルも大型化し、テーブルの重量が増加する。特に、テーブルの寸法が大きくなる程、強度を保つために必要なテーブルの厚さが増大し、テーブルの重量が飛躍的に増加する。テーブルの重量が増加すると、ステージによるチャックの移動を高速で行うことができなくなり、チャックの移動時間を含めた露光工程のタクトタイムが増加するという問題があった。
本発明の課題は、基板の大型化に伴いチャックが大型化しても、突き上げピンの高さを容易に調整することである。また、本発明の課題は、突き上げピンの昇降機構を軽量化することである。さらに、本発明の課題は、チャックの移動を高速に行って、露光工程のタクトタイムを短縮することである。
本発明によるプロキシミティ露光装置は、基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、基板をチャックへ搬入し、または基板をチャックから搬出する基板搬送装置と、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行う突き上げピン、突き上げピンを上下に移動するモータ、及びチャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有し、チャックに取り付けられた複数の突き上げピンユニットと、各突き上げピンユニットのモータを制御する制御手段とを備え、チャックが、突き上げピンユニットを挿入する少なくとも1つの開口を有し、複数の突き上げピンユニットの内の少なくとも1つが、チャックの上方から、開口に挿入され、高さ調整機構により取り付け高さが調整されたものである。
また、本発明によるプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法は、基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法であって、基板をチャックへ搬入し、または基板をチャックから搬出する基板搬送装置を設け、突き上げピン、突き上げピンを上下に移動するモータ、及びチャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットと、突き上げピンユニットを挿入する少なくとも1つの開口とをチャックに設け、複数の突き上げピンユニットの内の少なくとも1つを、チャックの上方から、開口に挿入し、高さ調整機構により取り付け高さを調整して、チャックに取り付け、各突き上げピンユニットのモータを制御して突き上げピンを上下に移動し、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行うものである。
突き上げピン、突き上げピンを上下に移動するモータ、及びチャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットをチャックに設け、各突き上げピンユニットのモータを制御して突き上げピンを上下に移動し、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行うので、従来の突き上げピンを取り付けるテーブルが不要となり、突き上げピンの昇降機構が軽量化される。そして、突き上げピンユニットを挿入する少なくとも1つの開口をチャックに設け、複数の突き上げピンユニットの内の少なくとも1つを、チャックの上方から、開口に挿入し、高さ調整機構により取り付け高さを調整して、チャックに取り付けるので、チャックの外側から手又は治具が届きにくいチャックの中央部付近であっても、突き上げピンユニットの取り付け高さの調整がチャックの上方から容易に行われる。従って、基板の大型化に伴いチャックが大型化しても、突き上げピンの高さが容易に調整される。
さらに、本発明によるプロキシミティ露光装置は、各突き上げピンユニットのモータが、各突き上げピンを、チャックに基板を搭載する第1の位置と、基板搬送装置から基板を受け取る第2の位置とへ移動し、制御手段が、各突き上げピンが第2の位置で基板を受け取った後、各突き上げピンの第2の位置から第1の位置への移動を複数回に分割し、各突き上げピンユニットのモータに対して分割した移動先への移動を指示し、各突き上げピンユニットのモータが、突き上げピンが指示された移動先から所定の範囲内に達すると信号を出力するエンコーダを有し、制御手段が、全ての突き上げピンユニットのモータのエンコーダからの信号を確認して、次の移動先への移動を指示するものである。
また、本発明によるプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法は、各突き上げピンを、チャックに基板を搭載する第1の位置から、基板搬送装置から基板を受け取る第2の位置へ移動し、各突き上げピンが第2の位置で基板を受け取った後、各突き上げピンを第2の位置から第1の位置へ移動する際、各突き上げピンの第2の位置から第1の位置への移動を複数回に分割し、各突き上げピンユニットのモータに対して分割した移動先への移動を指示し、各突き上げピンユニットのモータに、突き上げピンが指示された移動先から所定の範囲内に達すると信号を出力するエンコーダを設け、全ての突き上げピンユニットのモータのエンコーダからの信号を確認して、次の移動先への移動を指示し、これらを繰り返して各突き上げピンを第2の位置から第1の位置へ移動するものである。
あるいは、本発明によるプロキシミティ露光装置は、各突き上げピンユニットのモータが、各突き上げピンを、チャックに基板を搭載する第1の位置と、基板搬送装置へ基板を受け渡す第2の位置とへ移動し、制御手段が、チャックに基板を搭載した後、各突き上げピンの第1の位置から第2の位置への移動を複数回に分割し、各突き上げピンユニットのモータに対して分割した移動先への移動を指示し、各突き上げピンユニットのモータが、突き上げピンが指示された移動先から所定の範囲内に達すると信号を出力するエンコーダを有し、制御手段が、全ての突き上げピンユニットのモータのエンコーダからの信号を確認して、次の移動先への移動を指示するものである。
また、本発明によるプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法は、チャックに基板を搭載した後、各突き上げピンを、チャックに基板を搭載する第1の位置から、基板搬送装置へ基板を受け渡す第2の位置へ移動する際、各突き上げピンの第1の位置から第2の位置への移動を複数回に分割し、各突き上げピンユニットのモータに対して分割した移動先への移動を指示し、各突き上げピンユニットのモータに、突き上げピンが指示された移動先から所定の範囲内に達すると信号を出力するエンコーダを設け、全ての突き上げピンユニットのモータのエンコーダからの信号を確認して、次の移動先への移動を指示し、これらを繰り返して各突き上げピンを第1の位置から第2の位置へ移動するものである。
各突き上げピンユニットのモータを制御して、突き上げピンを上下に移動するとき、各突き上げピンユニットのモータの動作タイミングがずれると、突き上げピンの高さが互いに異なってくる。突き上げピンに基板を載せた状態で、突き上げピンの高さが互いに大きく異なると、突き上げピンに載せた基板がたわんでその一部がチャックに衝突したり、基板が突き上げピンから滑り落ちたりする危険性がある。
本発明では、各突き上げピンが基板を受け取る第2の位置で基板を受け取った後、各突き上げピンを第2の位置からチャックに基板を搭載する第1の位置へ移動する際、各突き上げピンの第2の位置から第1の位置への移動を複数回に分割し、各突き上げピンユニットのモータに対して分割した移動先への移動を指示する。そして、各突き上げピンユニットのモータに、突き上げピンが指示された移動先から所定の範囲内に達すると信号を出力するエンコーダを設け、全ての突き上げピンユニットのモータのエンコーダからの信号を確認して、次の移動先への移動を指示し、これらを繰り返して各突き上げピンを第2の位置から第1の位置へ移動する。各突き上げピンユニットのモータの動作タイミングがずれても、基板を載せた各突き上げピンの高さが互いに大きく異なることがない。
同様に、チャックに基板を搭載した後、各突き上げピンを、チャックに基板を搭載する第1の位置から、基板搬送装置へ基板を受け渡す第2の位置へ移動する際、各突き上げピンの第1の位置から第2の位置への移動を複数回に分割し、各突き上げピンユニットのモータに対して分割した移動先への移動を指示する。そして、各突き上げピンユニットのモータに、突き上げピンが指示された移動先から所定の範囲内に達すると信号を出力するエンコーダを設け、全ての突き上げピンユニットのモータのエンコーダからの信号を確認して、次の移動先への移動を指示し、これらを繰り返して各突き上げピンを第1の位置から第2の位置へ移動する。各突き上げピンユニットのモータの動作タイミングがずれても、基板を載せた各突き上げピンの高さが互いに大きく異なることがない。
本発明の表示用パネル基板の製造方法は、上記のいずれかのプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行い、あるいは、上記のいずれかのプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法を用いて基板をロード/アンロードしたチャックを移動して、基板の露光を行うものである。突き上げピンの昇降機構が軽量化されるので、チャックの移動を高速に行うことができる。
本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法によれば、突き上げピン、突き上げピンを上下に移動するモータ、及びチャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットと、突き上げピンユニットを挿入する少なくとも1つの開口とをチャックに設け、複数の突き上げピンユニットの内の少なくとも1つを、チャックの上方から、開口に挿入し、高さ調整機構により取り付け高さを調整して、チャックに取り付け、各突き上げピンユニットのモータを制御して突き上げピンを上下に移動し、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行うことにより、基板の大型化に伴いチャックが大型化しても、突き上げピンの高さを容易に調整することができる。また、従来の突き上げピンを取り付けるテーブルが不要となり、突き上げピンの昇降機構を軽量化することができる。
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法によれば、各突き上げピンユニットのモータを制御して、基板を載せた突き上げピンを上下に移動するとき、突き上げピンの移動を複数回に分割することにより、各突き上げピンユニットのモータの動作タイミングがずれても、基板を載せた各突き上げピンの高さをほぼ同じにすることができる。従って、突き上げピンに載せた基板がたわんでその一部がチャックに衝突したり、基板が突き上げピンから滑り落ちたりするのを防止することができる。
本発明の表示用パネル基板の製造方法によれば、突き上げピンの昇降機構を軽量化することができるので、チャックの移動を高速に行って、露光工程のタクトタイムを短縮することができる。
図1は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。また、図2は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の平面図である。プロキシミティ露光装置は、ベース3、Xガイド4、Xステージ5、Yガイド6、Yステージ7、θステージ8、チャック支持台9、チャック10、突き上げピンユニット、突き上げピンユニットの制御系、マスクホルダ20、基板搬送ロボット30、Xステージ駆動回路71、Yステージ駆動回路72、θステージ駆動回路73、及び主制御装置80を含んで構成されている。なお、図1では、突き上げピンユニットの制御系及び基板搬送ロボット30が省略されている。また、図2では、突き上げピンユニットの制御系、Xステージ駆動回路71、Yステージ駆動回路72、θステージ駆動回路73、及び主制御装置80が省略されている。プロキシミティ露光装置は、これらの他に、露光光を照射する照射光学系、ギャップセンサー、アライメント用センサー、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。
なお、以下に説明する実施の形態におけるXY方向は例示であって、X方向とY方向とを入れ替えてもよい。
図2において、チャック10は、基板1のロード及びアンロードを行うロード/アンロード位置にある。ロード/アンロード位置において、基板搬送ロボット30により、基板1がチャック10へ搬入され、また基板1がチャック10から搬出される。後述する突き上げピンユニットの突き上げピンは、基板1をチャック10にロードする際、基板搬送ロボット30から基板1を受け取り、基板1をチャック10からアンロードする際、基板搬送ロボット30へ基板1を受け渡す。
基板1の露光を行う露光位置の上空には、マスク2を保持するマスクホルダ20が設置されている。マスクホルダ20は、マスク2の周辺部を真空吸着して保持する。マスクホルダ20に保持されたマスク2の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。露光時、照射光学系からの露光光がマスク2を透過して基板へ照射されることにより、マスク2のパターンが基板1の表面に転写され、基板1上にパターンが形成される。
図1において、チャック10は、チャック支持台9を介してθステージ8に搭載されており、θステージ8の下にはYステージ7及びXステージ5が設けられている。Xステージ5は、ベース3に設けられたXガイド4に搭載され、Xガイド4に沿ってX方向(図1の図面横方向)へ移動する。Yステージ7は、Xステージ5に設けられたYガイド6に搭載され、Yガイド6に沿ってY方向(図1の図面奥行き方向)へ移動する。θステージ8は、Yステージ7に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台9は、θステージ8に搭載され、チャック10の裏面を複数の点で支持する。Xステージ駆動回路71、Yステージ駆動回路72、θステージ駆動回路73は、主制御装置80の制御により、Xステージ5、Yステージ7、θステージ8をそれぞれ駆動する。
Xステージ5のX方向への移動及びYステージ7のY方向への移動により、チャック10は、ロード/アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード/アンロード位置において、Xステージ5のX方向への移動、Yステージ7のY方向への移動、及びθステージ8のθ方向への回転により、チャック10に搭載された基板のプリアライメントが行われる。露光位置において、Xステージ5のX方向への移動及びYステージ7のY方向への移動により、チャック10に搭載された基板のXY方向へのステップ移動が行われる。そして、Xステージ5のX方向への移動、Yステージ7のY方向への移動、及びθステージ8のθ方向への回転により、基板のアライメントが行われる。また、図示しないZ−チルト機構によりマスクホルダ20をZ方向(図1の図面上下方向)へ移動及びチルトすることにより、マスク2と基板とのギャップ合わせが行われる。
なお、本実施の形態では、マスクホルダ20をZ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク2と基板とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台9にZ−チルト機構を設けて、チャック10をZ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク2と基板とのギャップ合わせを行ってもよい。
図3は、チャックの上面図である。チャック10の表面には、図示しない凸部と土手と吸着孔とが設けられている。凸部は、直径数mmのピン形状であり、チャック10の表面に所定の間隔で複数設けられている。チャック10に基板が搭載されたとき、凸部は、基板を複数の点で支持する。このとき、チャック10の表面の凸部以外の部分と基板との間には、空間が形成される。土手は、所定の幅の連続した壁であり、チャック10の表面の凸部以外の部分と基板との間に形成された空間を、複数の真空区画に分ける。土手は、チャック10の表面形状が基板の表面に焼き付けられる裏面転写が発生したときに人間の目で認識され難い様に、直線ではなく不規則な線で構成されている。吸着孔は、チャック10の表面の凸部及び土手以外の部分に所定の間隔で複数設けられ、土手により分けられた各真空区画の真空引きを行う。
図3において、チャック10の中央部付近には、後述する突き上げピンユニットが挿入される複数の開口が設けられており、開口には蓋13がはめられている。蓋13には貫通孔が設けられており、貫通孔には蓋13の下方から突き上げピン12が挿入されている。また、開口の外側のチャック10の周辺部付近には、複数の貫通孔が設けられており、貫通孔にはチャック10の下方から突き上げピン12が挿入されている。
なお、本実施の形態では、チャック10の中央部付近に16個の開口が設けられているが、開口の位置及び数はこれに限定されるものではない。また、本実施の形態では、チャック10の周辺部付近に42個の貫通孔が設けられているが、貫通孔の位置及び数はこれに限定されるものではない。
図4(a)はチャックの中央部付近に設けられた開口の上面図、図4(b)は図4(a)のA−A部の断面図である。また、図5(a)はチャックの中央部付近に設けられた開口の上面図、図5(b)は図5(a)のB−B部の断面図である。チャックの中央部付近に設けられた開口に挿入される突き上げピンユニットは、モータ11、突き上げピン12、蓋13、フランジ14a、ボルト15a,17、及び止めねじ16aを含んで構成されている。
モータ11は、パルスモータと、パルスモータに接続されたボールねじと、ロッドとを含んで構成され、パルスモータでボールねじを駆動することにより、ロッド収納部11a内に収納されたロッドが、上昇及び下降する。モータ11のロッドの先端には、突き上げピン12が取り付けられている。
図4(b)において、モータ11のロッド収納部11aの上面には、フランジ14aが取り付けられ、フランジ14aは、ボルト15aにより蓋13の裏面に固定されている。一方、チャック10の裏面の開口周辺には、蓋13を支持するリング状の支持プレート18が取り付けられている。支持プレート18は、ボルト19によりチャック10の裏面に固定されている。
図4(a)及び図5(a)において、蓋13の周辺部には、止めねじ16aをねじ込むねじ穴と、ボルト17を通す段差付き穴とが、複数箇所に設けられている。図4(b)において、蓋13は、蓋13の周辺部の段差付き穴に通したボルト17により、支持プレート18に固定されている。図5(b)において、止めねじ16aは、蓋13の周辺部のねじ穴にねじ込まれ、蓋13の底面から突き出て、支持プレート18の上面に接触している。
本実施の形態では、突き上げピンユニットをチャック10に取り付ける際、まず、チャック10の上方から、突き上げピンユニットを開口に挿入し、止めねじ16aのねじ込み量を調整して、突き上げピンユニットの取り付け高さを調整する。そして、ボルト17により蓋13を支持プレート18に固定して、突き上げピンユニットをチャック10に取り付ける。突き上げピンユニットを、チャック10の上方から、開口に挿入し、止めねじ16aにより取り付け高さを調整して、チャック10に取り付けるので、チャック10の外側から手又は治具が届きにくいチャックの中央部付近であっても、突き上げピンユニットの取り付け高さの調整がチャック10の上方から容易に行われる。従って、基板の大型化に伴いチャック10が大型化しても、突き上げピン12の高さが容易に調整される。
図6(a)はチャックの周辺部付近に設けられた貫通孔の上面図、図6(b)は図6(a)のC−C部の断面図である。チャックの周辺部付近に設けられた貫通孔に挿入される突き上げピンの突き上げピンユニットは、モータ11、突き上げピン12、フランジ14b、ボルト15b、及び止めねじ16bを含んで構成されている。
図6(b)において、モータ11のロッド収納部11aの上面には、フランジ14bが取り付けられ、フランジ14bは、ボルト15bによりチャック10の裏面に固定されている。フランジ14bには、止めねじ16bをねじ込むねじ穴が、複数箇所に設けられており、止めねじ16bは、フランジ14bのねじ穴にねじ込まれ、フランジ14bの上面から突き出て、チャック10の裏面に接触している。チャック10の外側から、チャック10の下へ手を伸ばし、あるいは治具を用いて、ボルト15bを緩め、止めねじ16bのねじ込み量を調整することにより、突き上げピンユニットの取り付け高さが調整される。
図7は、基板搬送ロボットの上面図である。基板搬送ロボット30は、基板1を搭載する複数のハンドリングアーム31を備え、ハンドリングアーム31をロボットアーム32で移動することにより、基板1をロード/アンロード位置にあるチャックへ搬入し、また基板1をロード/アンロード位置にあるチャックから搬出する。
図8は、突き上げピンユニット及び基板搬送ロボットの動作を説明する図である。以下の説明において、チャック10に基板1を搭載するときの突き上げピン12のZ方向の位置を基板搭載位置、基板搬送ロボット30から基板1を受け取るときの突き上げピン12のZ方向の位置を基板受け取り位置、基板搬送ロボット30へ基板1を受け渡すときの突き上げピン12のZ方向の位置を基板受け渡し位置とする。基板搭載位置にあるとき、突き上げピン12は、突き上げピンユニットの蓋13に設けた貫通孔又はチャック10に設けた貫通孔に完全に収納され、突き上げピン12の先端は、チャック10の表面から突き出ない。なお、本実施の形態では、基板受け取り位置と基板受け渡し位置とを同じ位置としているが、両者をZ方向に異なる位置としてもよい。
基板1をチャック10にロードする際、まず、各突き上げピンユニットのモータ11は、突き上げピン12を、基板搭載位置から基板受け取り位置へ上昇させる(図8(a))。基板搬送ロボット30は、基板1を搭載したハンドリングアーム31を、チャック10の上空へ移動する(図8(a))。次に、基板搬送ロボット30は、ハンドリングアーム31を下降させて、基板1を突き上げピン12に載せ(図8(b))、ハンドリングアーム31をさらに下降させて、ハンドリングアーム31を基板1から離す(図8(c))。これにより、各突き上げピン12は、基板搬送ロボット30から基板1を受け取る。次に、基板搬送ロボット30は、ハンドリングアーム31をチャック10の上空から退避させる(図8(d))。続いて、各突き上げピンユニットのモータ11は、突き上げピン12を基板受け取り位置から基板搭載位置へ下降させ、基板1をチャック10に搭載する(図8(e))。
基板1をチャック10からアンロードする際、上記と逆に、まず、各突き上げピンユニットのモータ11は、突き上げピン12を、基板搭載位置から基板受け渡し位置へ上昇させる(図8(d))。基板搬送ロボット30は、ハンドリングアーム31を、基板1とチャック10の間の空間へ挿入する(図8(c))。次に、基板搬送ロボット30は、ハンドリングアーム31を上昇させて、基板1をハンドリングアーム31に載せ(図8(b))、ハンドリングアーム31をさらに上昇させて、基板1を突き上げピン12から持ち上げる(図8(a))。これにより、各突き上げピン12は、基板搬送ロボットへ基板1を受け渡す。その後、基板搬送ロボット30は、基板1を搭載したハンドリングアーム31を、チャック10の上空から退避させる。
図9は、突き上げピンユニットの制御系を示す図である。突き上げピン駆動制御回路50は、主制御装置80の制御により、各突き上げピンユニットのモータ11に対して、突き上げピン12の移動先を指定して、突き上げピン12の移動先への移動を指示する。モータ11は、内部にエンコーダを有し、エンコーダは、突き上げピン12が指示された移動先から所定の範囲内に達すると、移動が終了した旨の終了信号を、突き上げピン駆動制御回路50へ出力する。また、モータ11は、内部にモータ11のロッドが接触するストッパーを有し、ストッパーに接触する位置が、モータ11のロッドの最上昇位置又は最下降位置となる。モータ11のロッドがストッパーに接触すると、モータ11のパルスモータのトルクが増加する。モータ11は、パルスモータのトルクの増加を検出して、ロッドが最上昇位置又は最下降位置に達した旨の信号を、突き上げピン駆動制御回路50へ出力する。
一方、図4(b)及び図6(b)において、突き上げピン12の下端近くには、突き上げピン12の位置を検出するためのマーク12aが設けられており、フランジ14a,14b内には、センサー40が設けられている。センサー40は、突き上げピン12に設けられたマーク12aを検出し、検出信号を図9の突き上げピン駆動制御回路50へ出力する。本実施の形態では、各突き上げピンユニットのモータ11のロッドのストロークを最大限に利用するため、ロッドが最下降位置に来たとき、突き上げピン12が基板搭載位置に来て、図4(b)及び図6(b)のセンサー40が突き上げピン12のマーク12aを検出する様に、各突き上げピンユニットの取り付け高さを設定する。
各突き上げピンユニットのモータ11は、ロッドの最下降位置を原点位置としてロッドのZ方向の座標管理を行うが、もし、何らかの原因で電源供給が停止した場合には、管理していた座標が不明となってしまうため、ロッドを一旦原点位置に復帰させる動作が必要となる。図10は、ロッドを原点位置へ復帰させる動作のフローチャートである。ロッドを原点位置へ復帰させる際、まず、突き上げピン駆動制御回路50は、各突き上げピンユニットのモータ11に対して、ロッドの原点位置への復帰を指示する(ステップ301)。各突き上げピンユニットのモータ11は、この指令を受け、ロッドが最下降位置側のストッパーに接触するまで、突き上げピン12を移動する(ステップ302)。そして、各突き上げピンユニットのモータ11は、パルスモータのトルクの増加を検出して、ロッドが最下降位置に達した旨の信号を、突き上げピン駆動制御回路50へ出力する(ステップ303)。突き上げピン駆動制御回路50は、全ての突き上げピンユニットのモータ11からこの信号を受信したか否かを判断して(ステップ304)、1つでも信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。全ての突き上げピンユニットのモータ11から終了信号を受信したら、ステップ305へ進む。
モータ11のロッドを原点位置へ復帰する際、もし、異物が突き上げピン12とチャック10の間等に挟まると、ロッドが最下降位置に達していないにもかかわらず、パルスモータのトルクが増加して、ロッドが最下降位置に達した旨の信号が、モータ11から出力される。このため、モータ11からロッドが最下降位置に達した旨の信号を受信しただけでは、突き上げピン12が基板搭載位置へ移動していない恐れがある。そこで、本実施の形態では、突き上げピン駆動制御回路50が、図4(b)及び図6(b)のセンサー40の検出信号を受信し、全てのセンサー40の検出信号を受信したか否かを判断して(ステップ305)、1つでも検出信号を受信していないセンサー40があれば、これを繰り返す。これにより、異物が突き上げピン12とチャック10の間等に挟まって、突き上げピン12が基板搭載位置へ移動しないまま、次の処理へ進むのが防止される。全てのセンサー40から検出信号を受信したら、動作をストップする。
図11は、基板をチャックにロードする動作のフローチャートである。基板1をチャック10にロードする際、まず、突き上げピン駆動制御回路50は、各突き上げピンユニットのモータ11に対して、突き上げピン12の移動先を基板受け取り位置に指定して、突き上げピン12の基板受け取り位置への移動を指示する(ステップ401)。各突き上げピンユニットのモータ11は、この指令を受け、突き上げピン12を基板受け取り位置へ移動する(ステップ402)。そして、各突き上げピンユニットのモータ11は、基板受け取り位置への移動が終了した旨の終了信号を、突き上げピン駆動制御回路50へ出力する(ステップ403)。突き上げピン駆動制御回路50は、全ての突き上げピンユニットのモータ11から終了信号を受信したか否かを判断して(ステップ404)、1つでも終了信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。全ての突き上げピンユニットのモータ11から終了信号を受信したら、突き上げピン12は、基板受け取り位置において、基板搬送ロボット30から基板1の受け取りを行う。(ステップ405)。そして、後述する様に、突き上げピン12の基板受け取り位置から基板搭載位置への移動を行い(ステップ406)、動作をストップする。
本実施の形態では、突き上げピン12が基板受け取り位置で基板1を受け取った後、各突き上げピン12の基板受け取り位置から基板搭載位置への移動を、複数回に分割して行う。図12は、基板受け取り位置と基板搭載位置との関係の一例を示す図である。本例は、基板受け取り位置から基板搭載位置への移動を10回に分割して行う例を示している。しかしながら、分割の回数は、これに限らず、基板受け取り位置と基板搭載位置との間の距離に応じて、適宜決定することができる。
図12において、突き上げピン12が基板搭載位置にあるときのロッドのZ座標を0mmとしたとき、突き上げピン12が基板受け取り位置にあるときのロッドのZ座標が仮に100mmである場合、このZ座標100mmを十等分して、ロッドのZ座標が100mmであるときの突き上げピン12の位置(基板受け取り位置)をPOS10、ロッドのZ座標が90mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS9、ロッドのZ座標が80mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS8、ロッドのZ座標が70mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS7、ロッドのZ座標が60mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS6、ロッドのZ座標が50mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS5、ロッドのZ座標が40mmのであるときの突き上げピン12位置をPOS4、ロッドのZ座標が30mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS3、ロッドのZ座標が20mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS2、ロッドのZ座標が10mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS1、ロッドのZ座標が0mmであるときの突き上げピン12の位置(基板搭載位置)をPOS0とする。
図13は、図11のステップ406の詳細を示すフローチャートである。図11のステップ406において、突き上げピン12の基板受け取り位置から基板搭載位置への移動を行う際、まず、突き上げピン駆動制御回路50は、各突き上げピンユニットのモータ11に対して、突き上げピン12の移動先をPOS9に指定して、突き上げピン12のPOS9への移動を指示する(ステップ501)。各突き上げピンユニットのモータ11は、この指令を受け、突き上げピン12をPOS9へ移動する(ステップ502)。そして、各突き上げピンユニットのモータ11は、POS9への移動が終了した旨の終了信号を、突き上げピン駆動制御回路50へ出力する(ステップ503)。突き上げピン駆動制御回路50は、全ての突き上げピンユニットのモータ11から終了信号を受信したか否かを判断して(ステップ504)、1つでも終了信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。
全ての突き上げピンユニットのモータ11から終了信号を受信した後、同様にして、POS8への移動、POS7への移動、POS6への移動、POS5への移動、POS4への移動、POS3への移動、POS2への移動、及びPOS1への移動を順次行う(ステップ505〜536)。突き上げピン12の移動を複数回に分割して行うので、各突き上げピンユニットのモータ11の動作タイミングがずれても、基板1を載せた各突き上げピン12の高さが互いに大きく異なることがない。
突き上げピン12のPOS1からPOS0への移動は、図10に示した原点位置への復帰と同様にして行う。即ち、突き上げピン駆動制御回路50は、各突き上げピンユニットのモータ11に対して、突き上げピン12の移動先をPOS0に指定して、突き上げピン12のPOS0への移動を指示する(ステップ537)。各突き上げピンユニットのモータ11は、この指令を受け、ロッドが最下降位置側のストッパーに接触するまで、突き上げピン12を移動する(ステップ538)。そして、各突き上げピンユニットのモータ11は、パルスモータのトルクの増加を検出して、ロッドが最下降位置に達した旨の信号を、突き上げピン駆動制御回路50へ出力する(ステップ539)。突き上げピン駆動制御回路50は、全ての突き上げピンユニットのモータ11からこの信号を受信したか否かを判断して(ステップ540)、1つでも信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。全ての突き上げピンユニットのモータ11から信号を受信したら、ステップ541へ進む。
突き上げピン駆動制御回路50は、センサー40の検出信号を受信し、全てのセンサー40の検出信号を受信したか否かを判断して(ステップ541)、1つでも検出信号を受信していないセンサー40があれば、これを繰り返す。これにより、異物が突き上げピン12とチャック10の間等に挟まって、突き上げピン12が基板搭載位置へ移動しないまま、次の処理へ進むのが防止される。全てのセンサー40から検出信号を受信したら、動作をストップする。
図14は、基板をチャックからアンロードする動作のフローチャートである。基板をチャックからアンロードする際、まず、後述する様に、突き上げピン12の基板搭載位置から基板受け渡し位置への移動を行う(ステップ601)。
本実施の形態では、チャック10に基板1を搭載した後、各突き上げピン12の基板搭載位置から基板受け渡し位置への移動を、複数回に分割して行う。図15は、基板搭載位置と基板受け渡し位置との関係の一例を示す図である。本例は、基板搭載位置から基板受け渡し位置への移動を10回に分割して行う例を示している。しかしながら、分割の回数は、これに限らず、基板位置と基板受け渡し位置との間の距離に応じて、適宜決定することができる。
図15において、突き上げピン12が基板搭載位置にあるときのロッドのZ座標を0mmとしたとき、突き上げピン12が基板受け渡し位置にあるときのロッドのZ座標が仮に100mmである場合、このZ座標100mmを十等分して、ロッドのZ座標が0mmであるときの突き上げピン12の位置(基板搭載位置)をPOS0、ロッドのZ座標が10mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS1、ロッドのZ座標が20mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS2、ロッドのZ座標が30mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS3、ロッドのZ座標が40mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS4、ロッドのZ座標が50mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS5、ロッドのZ座標が60mmのであるときの突き上げピン12位置をPOS6、ロッドのZ座標が70mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS7、ロッドのZ座標が80mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS8、ロッドのZ座標が90mmであるときの突き上げピン12の位置をPOS9、ロッドのZ座標が100mmであるときの突き上げピン12の位置(基板受け渡し位置)をPOS10とする。
図16は、図14のステップ601の詳細を示すフローチャートである。突き上げピン12の基板搭載位置から基板受け渡し位置への移動を行う際、まず、突き上げピン駆動制御回路50は、各突き上げピンユニットのモータ11に対して、突き上げピン12の移動先をPOS1に指定して、突き上げピン12のPOS1への移動を指示する(ステップ701)。各突き上げピンユニットのモータ11は、この指令を受け、突き上げピン12をPOS1へ移動する(ステップ702)。そして、各突き上げピンユニットのモータ11は、POS1への移動が終了した旨の終了信号を、突き上げピン駆動制御回路50へ出力する(ステップ703)。突き上げピン駆動制御回路50は、全ての突き上げピンユニットのモータ11から終了信号を受信したか否かを判断して(ステップ704)、1つでも終了信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。
全ての突き上げピンユニットのモータ11から終了信号を受信した後、同様にして、POS2への移動、POS3への移動、POS4への移動、POS5への移動、POS6への移動、POS7への移動、POS8への移動、及びPOS9への移動を順次行う(ステップ505〜536)。突き上げピン12の移動を複数回に分割して行うので、各突き上げピンユニットのモータ11の動作タイミングがずれても、基板1を載せた各突き上げピン12の高さが互いに大きく異なることがない。
突き上げピン12のPOS9からPOS10への移動も、同様にして行う。突き上げピン駆動制御回路50は、各突き上げピンユニットのモータ11に対して、突き上げピン12の移動先をPOS10に指定して、突き上げピン12のPOS10への移動を指示する(ステップ737)。各突き上げピンユニットのモータ11は、この指令を受け、突き上げピン12をPOS10へ移動する(ステップ738)。そして、各突き上げピンユニットのモータ11は、POS10への移動が終了した旨の終了信号を、突き上げピン駆動制御回路50へ出力する(ステップ739)。突き上げピン駆動制御回路50は、全ての突き上げピンユニットのモータ11から終了信号を受信したか否かを判断して(ステップ740)、1つでも終了信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。全ての突き上げピンユニットのモータ11から終了信号を受信したら、動作をストップする。
図14において、突き上げピン12の基板搭載位置から基板受け渡し位置への移動(ステップ601)を行った後、突き上げピン12は、基板受け渡し位置において、基板搬送ロボット30へ基板1の受け渡しを行う(ステップ602)。次に、主制御装置80は、全ての基板の露光が終了したか否かを判断する(ステップ603)。全ての基板の露光が終了していない場合、基板受け取り位置と基板受け渡し位置が同じであるときは、図11のステップ405へ進んで、次の基板の受け取りを行う。基板受け取り位置と基板受け渡し位置が同じでないときは、図11のステップ401へ進む。
全ての基板の露光が終了したら、突き上げピン駆動制御回路50は、各突き上げピンユニットのモータ11に対して、突き上げピン12の移動先を基板搭載位置に指定して、突き上げピン12の基板搭載位置への移動を指示する(ステップ604)。各突き上げピンユニットのモータ11は、この指令を受け、ロッドが最下降位置側のストッパーに接触するまで、突き上げピン12を移動する(ステップ605)。そして、各突き上げピンユニットのモータ11は、パルスモータのトルクの増加を検出して、ロッドが最下降位置に達した旨の信号を、突き上げピン駆動制御回路50へ出力する(ステップ606)。突き上げピン駆動制御回路50は、全ての突き上げピンユニットのモータ11からこの信号を受信したか否かを判断して(ステップ607)、1つでも信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。全ての突き上げピンユニットのモータ11から信号を受信したら、ステップ608へ進む。
突き上げピン駆動制御回路50は、センサー40の検出信号を受信し、全てのセンサー40の検出信号を受信したか否かを判断して(ステップ608)、1つでも検出信号を受信していないセンサー40があれば、これを繰り返す。これにより、異物が突き上げピン12とチャック10の間等に挟まって、突き上げピン12が基板搭載位置へ移動しないまま、次の処理へ進むのが防止される。全てのセンサー40から検出信号を受信したら、動作をストップする。
以上説明した実施の形態によれば、突き上げピン12、突き上げピン12を上下に移動するモータ11、及びチャック10に対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットと、突き上げピンユニットを挿入する少なくとも1つの開口とをチャック10に設け、複数の突き上げピンユニットの内の少なくとも1つを、チャック10の上方から、開口に挿入し、高さ調整機構により取り付け高さを調整して、チャック10に取り付け、各突き上げピンユニットのモータ11を制御して突き上げピン12を上下に移動し、基板搬送ロボット30からの基板1の受け取り又は基板搬送ロボット30への基板1の受け渡しを行うことにより、基板1の大型化に伴いチャック10が大型化しても、突き上げピン12の高さを容易に調整することができる。また、従来の突き上げピンを取り付けるテーブルが不要となり、突き上げピン12の昇降機構を軽量化することができる。
さらに、各突き上げピンユニットのモータ11を制御して、基板1を載せた突き上げピン12を上下に移動するとき、突き上げピン12の移動を複数回に分割することにより、各突き上げピンユニットのモータ11の動作タイミングがずれても、基板1を載せた各突き上げピン12の高さをほぼ同じにすることができる。従って、突き上げピン12に載せた基板1がたわんでその一部がチャック10に衝突したり、基板1が突き上げピン12から滑り落ちたりするのを防止することができる。
さらに、各突き上げピンユニットの突き上げピン12が基板搭載位置にあることを検出する複数のセンサー40を設け、全てのセンサー40の検出信号を確認することにより、異物が突き上げピン12とチャック10の間等に挟まって、突き上げピン12が基板搭載位置へ移動しないまま、次の処理へ進むのを防止することができる。
本発明のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行い、あるいは、本発明のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法を用いて基板をロード/アンロードしたチャックを移動して、基板の露光を行うことにより、突き上げピンの昇降機構を軽量化することができるので、チャックの移動を高速に行って、露光工程のタクトタイムを短縮することができる。
例えば、図17は、液晶ディスプレイ装置のTFT基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。薄膜形成工程(ステップ101)では、スパッタ法やプラズマ化学気相成長(CVD)法等により、基板上に液晶駆動用の透明電極となる導電体膜や絶縁体膜等の薄膜を形成する。レジスト塗布工程(ステップ102)では、ロール塗布法等により感光樹脂材料(フォトレジスト)を塗布して、薄膜形成工程(ステップ101)で形成した薄膜上にフォトレジスト膜を形成する。露光工程(ステップ103)では、プロキシミティ露光装置や投影露光装置等を用いて、マスクのパターンをフォトレジスト膜に転写する。現像工程(ステップ104)では、シャワー現像法等により現像液をフォトレジスト膜上に供給して、フォトレジスト膜の不要部分を除去する。エッチング工程(ステップ105)では、ウエットエッチングにより、薄膜形成工程(ステップ101)で形成した薄膜の内、フォトレジスト膜でマスクされていない部分を除去する。剥離工程(ステップ106)では、エッチング工程(ステップ105)でのマスクの役目を終えたフォトレジスト膜を、剥離液によって剥離する。これらの各工程の前又は後には、必要に応じて、基板の洗浄/乾燥工程が実施される。これらの工程を数回繰り返して、基板上にTFTアレイが形成される。
また、図18は、液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。ブラックマトリクス形成工程(ステップ201)では、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、剥離等の処理により、基板上にブラックマトリクスを形成する。着色パターン形成工程(ステップ202)では、染色法、顔料分散法、印刷法、電着法等により、基板上に着色パターンを形成する。この工程を、R、G、Bの着色パターンについて繰り返す。保護膜形成工程(ステップ203)では、着色パターンの上に保護膜を形成し、透明電極膜形成工程(ステップ204)では、保護膜の上に透明電極膜を形成する。これらの各工程の前、途中又は後には、必要に応じて、基板の洗浄/乾燥工程が実施される。
図17に示したTFT基板の製造工程では、露光工程(ステップ103)において、図18に示したカラーフィルタ基板の製造工程では、ブラックマトリクス形成工程(ステップ201)及び着色パターン形成工程(ステップ202)の露光処理において、本発明のプロキシミティ露光装置又は本発明のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法を適用することができる。
1 基板
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
11 モータ
12 突き上げピン
13 蓋
14a,14b フランジ
15a,15b,17,19 ボルト
16a,16b 止めねじ
18 支持プレート
20 マスクホルダ
30 基板搬送ロボット
31 ハンドリングアーム
32 ロボットアーム
40 センサー
50 突き上げピン駆動制御回路
71 Xステージ駆動回路
72 Yステージ駆動回路
73 θステージ駆動回路
80 主制御装置
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
11 モータ
12 突き上げピン
13 蓋
14a,14b フランジ
15a,15b,17,19 ボルト
16a,16b 止めねじ
18 支持プレート
20 マスクホルダ
30 基板搬送ロボット
31 ハンドリングアーム
32 ロボットアーム
40 センサー
50 突き上げピン駆動制御回路
71 Xステージ駆動回路
72 Yステージ駆動回路
73 θステージ駆動回路
80 主制御装置
Claims (8)
- 基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、前記チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
基板を前記チャックへ搬入し、または基板を前記チャックから搬出する基板搬送装置と、
前記基板搬送装置からの基板の受け取り又は前記基板搬送装置への基板の受け渡しを行う突き上げピン、該突き上げピンを上下に移動するモータ、及び前記チャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有し、前記チャックに取り付けられた複数の突き上げピンユニットと、
各突き上げピンユニットのモータを制御する制御手段とを備え、
前記チャックは、前記突き上げピンユニットを挿入する少なくとも1つの開口を有し、
前記複数の突き上げピンユニットの内の少なくとも1つは、前記チャックの上方から、前記開口に挿入され、前記高さ調整機構により取り付け高さが調整されたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。 - 各突き上げピンユニットのモータは、各突き上げピンを、前記チャックに基板を搭載する第1の位置と、前記基板搬送装置から基板を受け取る第2の位置とへ移動し、
前記制御手段は、各突き上げピンが第2の位置で基板を受け取った後、各突き上げピンの第2の位置から第1の位置への移動を複数回に分割し、各突き上げピンユニットのモータに対して分割した移動先への移動を指示し、
各突き上げピンユニットのモータは、前記突き上げピンが指示された移動先から所定の範囲内に達すると信号を出力するエンコーダを有し、
前記制御手段は、全ての突き上げピンユニットのモータのエンコーダからの信号を確認して、次の移動先への移動を指示することを特徴とする請求項1に記載のプロキシミティ露光装置。 - 各突き上げピンユニットのモータは、各突き上げピンを、前記チャックに基板を搭載する第1の位置と、前記基板搬送装置へ基板を受け渡す第2の位置とへ移動し、
前記制御手段は、前記チャックに基板を搭載した後、各突き上げピンの第1の位置から第2の位置への移動を複数回に分割し、各突き上げピンユニットのモータに対して分割した移動先への移動を指示し、
各突き上げピンユニットのモータは、前記突き上げピンが指示された移動先から所定の範囲内に達すると信号を出力するエンコーダを有し、
前記制御手段は、全ての突き上げピンユニットのモータのエンコーダからの信号を確認して、次の移動先への移動を指示することを特徴とする請求項1に記載のプロキシミティ露光装置。 - 基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法であって、
基板をチャックへ搬入し、または基板をチャックから搬出する基板搬送装置を設け、
突き上げピン、突き上げピンを上下に移動するモータ、及びチャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットと、突き上げピンユニットを挿入する少なくとも1つの開口とをチャックに設け、
複数の突き上げピンユニットの内の少なくとも1つを、チャックの上方から、開口に挿入し、高さ調整機構により取り付け高さを調整して、チャックに取り付け、
各突き上げピンユニットのモータを制御して突き上げピンを上下に移動し、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行うことを特徴とするプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法。 - 各突き上げピンを、チャックに基板を搭載する第1の位置から、基板搬送装置から基板を受け取る第2の位置へ移動し、
各突き上げピンが第2の位置で基板を受け取った後、各突き上げピンを第2の位置から第1の位置へ移動する際、
各突き上げピンの第2の位置から第1の位置への移動を複数回に分割し、
各突き上げピンユニットのモータに対して分割した移動先への移動を指示し、
各突き上げピンユニットのモータに、突き上げピンが指示された移動先から所定の範囲内に達すると信号を出力するエンコーダを設け、
全ての突き上げピンユニットのモータのエンコーダからの信号を確認して、次の移動先への移動を指示し、これらを繰り返して各突き上げピンを第2の位置から第1の位置へ移動することを特徴とする請求項4に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法。 - チャックに基板を搭載した後、各突き上げピンを、チャックに基板を搭載する第1の位置から、基板搬送装置へ基板を受け渡す第2の位置へ移動する際、
各突き上げピンの第1の位置から第2の位置への移動を複数回に分割し、
各突き上げピンユニットのモータに対して分割した移動先への移動を指示し、
各突き上げピンユニットのモータに、突き上げピンが指示された移動先から所定の範囲内に達すると信号を出力するエンコーダを設け、
全ての突き上げピンユニットのモータのエンコーダからの信号を確認して、次の移動先への移動を指示し、これらを繰り返して各突き上げピンを第1の位置から第2の位置へ移動することを特徴とする請求項4に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項4乃至請求項6のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法を用いて基板をロード/アンロードしたチャックを移動して、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011099997A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Hitachi High-Technologies Corp | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0927541A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-01-28 | Nikon Corp | 基板ホルダ |
JP2001176947A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Nikon Corp | 基板支持装置および基板処理装置 |
JP2005310989A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 基板及びフォトマスクの受け渡し方法、並びに基板及びフォトマスクの受け渡し装置 |
JP2006041520A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置 |
JP2006049390A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Sharp Corp | 基板保持装置、除電方法、基板保持装置制御プログラムおよびその記録媒体 |
JP2008235472A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
-
2008
- 2008-11-10 JP JP2008287940A patent/JP5178464B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0927541A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-01-28 | Nikon Corp | 基板ホルダ |
JP2001176947A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Nikon Corp | 基板支持装置および基板処理装置 |
JP2005310989A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 基板及びフォトマスクの受け渡し方法、並びに基板及びフォトマスクの受け渡し装置 |
JP2006041520A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置 |
JP2006049390A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Sharp Corp | 基板保持装置、除電方法、基板保持装置制御プログラムおよびその記録媒体 |
JP2008235472A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011099997A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Hitachi High-Technologies Corp | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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