JP5219980B2 - プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Description
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
11 モータ
12 突き上げピン
13 蓋
14a,14b フランジ
15a,15b,17,19 ボルト
16a,16b 止めねじ
18 支持プレート
20 マスクホルダ
30 基板搬送ロボット
31 ハンドリングアーム
32 ロボットアーム
40 センサー
50 突き上げピン駆動制御装置
51 シーケンサ
52 通信ケーブル
53 電源
60,60a,60b 同期制御回路
61 タイマー
62 判定回路
63 ラッチ回路
64 切り換え回路
65 ヒューズ
66 電源監視回路
67 OR回路
68 接続監視回路
69 擬似駆動信号作成回路
71 Xステージ駆動回路
72 Yステージ駆動回路
73 θステージ駆動回路
80 主制御装置
Claims (14)
- 基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、前記チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
基板を前記チャックへ搬入し、または基板を前記チャックから搬出する基板搬送装置と、
前記基板搬送装置からの基板の受け取り又は前記基板搬送装置への基板の受け渡しを行う突き上げピン、該突き上げピンを上下に移動するモータ、及び前記チャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有し、前記チャックに取り付けられた複数の突き上げピンユニットと、
各突き上げピンユニットのモータへ電力を供給する電源と、
各突き上げピンユニットのモータへ各突き上げピンの移動を指示する上位制御装置、前記複数の突き上げピンユニットを複数のグループに分け、グループ内の複数の突き上げピンユニットのモータを同期制御する複数の同期制御回路、及び該複数の同期制御回路を接続する通信ケーブルを有し、各突き上げピンユニットのモータを制御する制御装置とを備え、
各突き上げピンユニットのモータは、各突き上げピンの移動が正常に行われないときに異常信号を発生し、
各同期制御回路は、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された異常信号を検出する検出手段と、前記電源とグループ内の各突き上げピンユニットのモータとの間に接続された複数の切り換え手段とを有し、
前記検出手段は、グループ内の少なくとも1つの突き上げピンユニットのモータからの異常信号を検出したとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、前記通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、前記通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させることを特徴とするプロキシミティ露光装置。 - 各突き上げピンユニットのモータは、各突き上げピンの移動を開始するときに駆動信号を発生し、
前記検出手段は、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された駆動信号を検出して、前記上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定する判定回路を有し、該判定回路が所定時間内にグループ内の少なくとも1つの突き上げピンユニットのモータからの駆動信号を検出しないとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、前記通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、前記通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させることを特徴とする請求項1に記載のプロキシミティ露光装置。 - 前記上位制御装置は、突き上げピンユニットのモータの停止解除を各同期制御回路の検出手段へ指示し、
前記検出手段は、前記上位制御装置から停止解除の指示があるまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータの停止を維持することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のプロキシミティ露光装置。 - 前記検出手段は、前記電源からグループ内の各突き上げピンユニットのモータへ供給される電力の異常を検出する電源監視回路を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置。
- 前記通信ケーブルは、前記複数の同期制御回路をループ状に接続し、
前記検出手段は、他の同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出する接続監視回路を有し、該接続監視回路が他の1つの同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出したとき、他のもう1つの同期制御回路との間の通信ケーブルを介して、他の同期制御回路と通信することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置。 - 各同期制御回路は、前記上位制御装置からの突き上げピンの移動の指示を検出して擬似駆動信号を作成し、作成した擬似駆動信号を前記通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ出力する擬似駆動信号作成回路を有し、
前記検出手段は、他の同期制御回路からの擬似駆動信号を検出して、前記上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定する判定回路を有することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置。 - 基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法であって、
突き上げピン、突き上げピンを上下に移動するモータ、及びチャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットをチャックに取り付け、
基板をチャックへ搬入し、または基板をチャックから搬出する基板搬送装置と、
各突き上げピンユニットのモータへ電力を供給する電源と、
各突き上げピンユニットのモータへ各突き上げピンの移動を指示する上位制御装置、複数の突き上げピンユニットを複数のグループに分け、グループ内の複数の突き上げピンユニットのモータを同期制御する複数の同期制御回路、及び複数の同期制御回路を接続する通信ケーブルを有し、各突き上げピンユニットのモータを制御する制御装置とを設け、
制御装置により各突き上げピンユニットのモータを制御して、各突き上げピンを上下に移動し、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行い、
各突き上げピンの移動が正常に行われないときに、各突き上げピンユニットのモータから異常信号を発生し、
各同期制御回路において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された異常信号を検出し、グループ内の少なくとも1つの突き上げピンユニットのモータからの異常信号を検出したとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させることを特徴とするプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法。 - 各突き上げピンの移動を開始するときに、各突き上げピンユニットのモータから駆動信号を発生し、
各同期制御回路において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定し、所定時間内にグループ内の少なくとも1つの突き上げピンユニットのモータからの駆動信号を検出しないとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させることを特徴とする請求項7に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法。 - 突き上げピンユニットのモータの停止解除を上位制御装置から各同期制御回路へ指示し、
各同期制御回路において、上位制御装置から停止解除の指示があるまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータの停止を維持することを特徴とする請求項7又は請求項8に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法。 - 各同期制御回路において、電源からグループ内の各突き上げピンユニットのモータへ供給される電力の異常を検出することを特徴とする請求項7乃至請求項9のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法。
- 複数の同期制御回路を通信ケーブルでループ状に接続し、
各同期制御回路において、他の同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出し、他の1つの同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出したとき、他のもう1つの同期制御回路との間の通信ケーブルを介して、他の同期制御回路と通信することを特徴とする請求項7乃至請求項10のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法。 - 各同期制御回路において、上位制御装置からの突き上げピンの移動の指示を検出して擬似駆動信号を作成し、作成した擬似駆動信号を通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ出力し、他の同期制御回路からの擬似駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定することを特徴とする請求項7乃至請求項11のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項7乃至請求項12のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード/アンロード方法を用いて基板をロード/アンロードして、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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