JP2011099997A - プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】突き上げピンと突き上げピンを上下に移動するモータとを有する複数の突き上げピンユニットを用いて、基板のロード／アンロードを行う際、異常発生時に、全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させて、基板の損傷を防止する。
【解決手段】複数の突き上げピンユニットを、複数のグループに分ける。各同期制御回路６０において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１から発生された異常信号を検出し、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータ１１からの異常信号を検出したとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させると共に、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路６０へ異常を通知し、また、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路６０から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させる。
【選択図】図１３

Description

本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、プロキシミティ方式を用いて基板の露光を行うプロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法、及びそれらを用いた表示用パネル基板の製造方法に係り、特に、基板を搭載するチャックに対して、大型の基板をロード／アンロードするのに好適なプロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法、及びそれらを用いた表示用パネル基板の製造方法に関する。

表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。

プロキシミティ露光装置は、基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクホルダに保持されたマスクとチャックに搭載された基板とを極めて接近させて露光を行う。通常、チャックは、基板の移動及び位置決めを行うステージ上に搭載されており、基板を真空吸着して固定する。マスクホルダは、基板を搭載したチャックの上方に設けられ、マスクの周辺部を真空吸着して固定する。チャックへの基板の搬入、及びチャックからの基板の搬出は、通常、基板搬送ロボットのハンドリングアームにより行われるが、マスクと基板との接触を避けるために、マスクの下の露光位置から離れたロード／アンロード位置で行われる。ロード／アンロード位置で基板をチャックに搭載した後、ステージがマスクの下の露光位置へ移動し、露光位置で基板の位置決めを行う。

従来、チャックとハンドリングアームとの間の基板の受け取り及び受け渡しは、チャックの表面にハンドリングアームが挿入される溝を設けて行われていた。しかしながら、チャックの表面に設けた溝の部分と他の吸着部分とで露光光の反射率が異なり、また溝の部分の空間と他の吸着部分とに温度差が生じるため、露光時に焼きむらが発生するという問題があった。これに対し、特許文献１に記載の様に、チャックに複数の突き上げピンを設け、突き上げピンにより基板をチャックの表面から持ち上げて、基板の受け取り及び受け渡しを行う突き上げピン方式がある。各突き上げピンは、チャックの下方に配置された共通のテーブルに取り付けられており、テーブルを上下に移動することで、各突き上げピンの上昇及び下降が行われる。

特開２０００−２３７９８３号公報

従来の突き上げピン方式では、各突き上げピンを所望の高さに設置するために、チャックの外側から、チャックの下へ手を伸ばし、あるいは治具を用いて、テーブルに対する各突き上げピンの取り付け高さを調整していた。しかしながら、基板の大型化に伴ってチャックが大型になると、チャックの中央部付近に配置された突き上げピンは、チャックの外側から手又は治具が届きにくいので、テーブルに対する取り付け高さを調整するのが困難になってきた。

また、基板の大型化に伴い、突き上げピンを取り付けるテーブルも大型化し、テーブルの重量が増加する。特に、テーブルの寸法が大きくなる程、強度を保つために必要なテーブルの厚さが増大し、テーブルの重量が飛躍的に増加する。テーブルの重量が増加すると、ステージによるチャックの移動を高速で行うことができなくなり、チャックの移動時間を含めた露光工程のタクトタイムが増加するという問題があった。

そこで、チャックに、突き上げピンと、突き上げピンを上下に移動するモータと、チャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構とを有する複数の突き上げピンユニットを取り付け、各突き上げピンユニットのモータを制御して各突き上げピンを上下に移動し、基板搬送ロボットからの基板の受け取り又は基板搬送ロボットへの基板の受け渡しを行うことが提案された（特願２００８−２８７９４０号）。チャックに取り付けられる突き上げピンユニットの数は、チャックの大きさに応じて異なるが、多い場合には５０個以上となる。

この様な多数の突き上げピンユニットのモータを制御して、基板のロード／アンロードを行う場合、モータの動作不良やモータ回路の異常、モータの同期ずれ、モータへ供給される電力の異常等が発生したとき、全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させる必要がある。しかしながら、多数の突き上げピンユニットのモータを制御する制御装置の処理速度が間に合わず、各突き上げピンユニットのモータを停止させるタイミングがずれて、突き上げピンに載せた基板がチャックに衝突したり、基板が突き上げピンから滑り落ちたりする恐れがあった。

本発明の課題は、突き上げピンと突き上げピンを上下に移動するモータとを有する複数の突き上げピンユニットを用いて、基板のロード／アンロードを行う際、異常発生時に、全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させて、基板の損傷を防止することである。また、本発明の課題は、基板をロード／アンロードする際の基板の損傷を防止して、表示用パネル基板を歩留まり良く製造することである。

本発明によるプロキシミティ露光装置は、基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、基板をチャックへ搬入し、または基板をチャックから搬出する基板搬送装置と、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行う突き上げピン、突き上げピンを上下に移動するモータ、及びチャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有し、チャックに取り付けられた複数の突き上げピンユニットと、各突き上げピンユニットのモータへ電力を供給する電源と、各突き上げピンユニットのモータへ各突き上げピンの移動を指示する上位制御装置、複数の突き上げピンユニットを複数のグループに分け、グループ内の複数の突き上げピンユニットのモータを同期制御する複数の同期制御回路、及び複数の同期制御回路を接続する通信ケーブルを有し、各突き上げピンユニットのモータを制御する制御装置とを備え、各突き上げピンユニットのモータが、各突き上げピンの移動が正常に行われないときに異常信号を発生し、各同期制御回路が、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された異常信号を検出する検出手段と、電源とグループ内の各突き上げピンユニットのモータとの間に接続された複数の切り換え手段とを有し、検出手段が、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの異常信号を検出したとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させるものである。

また、本発明によるプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法は、基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法であって、突き上げピン、突き上げピンを上下に移動するモータ、及びチャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットをチャックに取り付け、基板をチャックへ搬入し、または基板をチャックから搬出する基板搬送装置と、各突き上げピンユニットのモータへ電力を供給する電源と、各突き上げピンユニットのモータへ各突き上げピンの移動を指示する上位制御装置、複数の突き上げピンユニットを複数のグループに分け、グループ内の複数の突き上げピンユニットのモータを同期制御する複数の同期制御回路、及び複数の同期制御回路を接続する通信ケーブルを有し、各突き上げピンユニットのモータを制御する制御装置とを設け、制御装置により各突き上げピンユニットのモータを制御して、各突き上げピンを上下に移動し、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行い、各突き上げピンの移動が正常に行われないときに、各突き上げピンユニットのモータから異常信号を発生し、各同期制御回路において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された異常信号を検出し、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの異常信号を検出したとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させるものである。

各突き上げピンユニットのモータを制御する制御装置は、上位制御装置と、複数の同期制御回路と、複数の同期制御回路を接続する通信ケーブルとを有し、上位制御装置は、各突き上げピンユニットのモータへ各突き上げピンの移動を指示し、複数の同期制御回路は、複数の突き上げピンユニットを複数のグループに分け、グループ内の複数の突き上げピンユニットのモータを同期制御する。そして、各突き上げピンの移動が正常に行われないときに、各突き上げピンユニットのモータから異常信号を発生し、各同期制御回路において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された異常信号を検出し、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの異常信号を検出したとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させるので、グループ内のいずれの突き上げピンユニットにモータの動作不良やモータ回路の異常等が発生しても、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させることができる。さらに、各同期制御回路において、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの異常信号を検出したとき、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させるので、他のグループ内のいずれの突き上げピンユニットにモータの動作不良やモータ回路の異常等が発生しても、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させることができる。従って、いずれの突き上げピンユニットにモータの動作不良やモータ回路の異常等が発生しても、全てのグループの全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させることができる。

さらに、本発明によるプロキシミティ露光装置は、各突き上げピンユニットのモータが、各突き上げピンの移動を開始するときに駆動信号を発生し、検出手段が、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定する判定回路を有し、判定回路が所定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの駆動信号を検出しないとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させるものである。

また、本発明によるプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法は、各突き上げピンの移動を開始するときに、各突き上げピンユニットのモータから駆動信号を発生し、各同期制御回路において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定し、所定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの駆動信号を検出しないとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させるものである。

各突き上げピンの移動を開始するときに、各突き上げピンユニットのモータから駆動信号を発生し、各同期制御回路において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定し、所定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの駆動信号を検出しないとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させるので、グループ内のいずれの突き上げピンユニットのモータに同期ずれが発生しても、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させることができる。そして、各同期制御回路において、所定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの駆動信号を検出しないとき、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させるので、他のグループ内のいずれの突き上げピンユニットのモータに同期ずれが発生しても、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させることができる。従って、いずれの突き上げピンユニットのモータに同期ずれが発生しても、全てのグループの全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させることができる。

さらに、本発明によるプロキシミティ露光装置は、上位制御装置が、突き上げピンユニットのモータの停止解除を各同期制御回路の検出手段へ指示し、検出手段が、上位制御装置から停止解除の指示があるまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータの停止を維持するものである。また、本発明によるプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法は、突き上げピンユニットのモータの停止解除を上位制御装置から各同期制御回路へ指示し、各同期制御回路において、上位制御装置から停止解除の指示があるまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータの停止を維持するものである。各同期制御回路において、上位制御装置から停止解除の指示があるまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータの停止を維持するので、突き上げピンユニットのモータを停止させる要因となった異常が一部の突き上げピンユニットについて解消しても、一部の突き上げピンユニットの突き上げピンが移動を開始することがない。

さらに、本発明によるプロキシミティ露光装置は、検出手段が、電源からグループ内の各突き上げピンユニットのモータへ供給される電力の異常を検出する電源監視回路を有すものである。また、本発明によるプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法は、各同期制御回路において、電源からグループ内の各突き上げピンユニットのモータへ供給される電力の異常を検出するものである。各同期制御回路において、電源からグループ内の各突き上げピンユニットのモータへ供給される電力の異常を検出するので、いずれかの突き上げピンユニットのモータへ電力を供給する電源の一部に故障が発生し又は給電ケーブルやヒューズ等が切れても、全ての突き上げピンユニットのモータへ供給される電力の異常を検出することができる。

さらに、本発明によるプロキシミティ露光装置は、通信ケーブルが、複数の同期制御回路をループ状に接続し、検出手段が、他の同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出する接続監視回路を有し、接続監視回路が他の１つの同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出したとき、他のもう１つの同期制御回路との間の通信ケーブルを介して、他の同期制御回路と通信するものである。また、本発明によるプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法は、複数の同期制御回路を通信ケーブルでループ状に接続し、各同期制御回路において、他の同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出し、他の１つの同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出したとき、他のもう１つの同期制御回路との間の通信ケーブルを介して、他の同期制御回路と通信するものである。通信ケーブルが１箇所断線しても、各同期制御回路間の通信を保つことができ、各突き上げピンユニットのモータの制御を継続することができる。

さらに、本発明によるプロキシミティ露光装置は、各同期制御回路が、上位制御装置からの突き上げピンの移動の指示を検出して擬似駆動信号を作成し、作成した擬似駆動信号を通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ出力する擬似駆動信号作成回路を有し、検出手段が、他の同期制御回路からの擬似駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定する判定回路を有するものである。また、本発明によるプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法は、各同期制御回路において、上位制御装置からの突き上げピンの移動の指示を検出して擬似駆動信号を作成し、作成した擬似駆動信号を通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ出力し、他の同期制御回路からの擬似駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定するものである。各同期制御回路は、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定することにより、他の同期制御回路が正常に動作しているか否かを確認することができる。

本発明の表示用パネル基板の製造方法は、上記のいずれかのプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行い、あるいは、上記のいずれかのプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法を用いて基板をロード／アンロードして、基板の露光を行うものである。異常発生時に全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させることができるので、基板をロード／アンロードする際の基板の損傷が防止され、表示用パネル基板が歩留まり良く製造される。

本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法によれば、各突き上げピンの移動が正常に行われないときに、各突き上げピンユニットのモータから異常信号を発生し、各同期制御回路において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された異常信号を検出し、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの異常信号を検出したとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させることにより、いずれの突き上げピンユニットにモータの動作不良やモータ回路の異常等が発生しても、全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させて、基板の損傷を防止することができる。

さらに、本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法によれば、各突き上げピンの移動を開始するときに、各突き上げピンユニットのモータから駆動信号を発生し、各同期制御回路において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定し、所定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの駆動信号を検出しないとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させることにより、いずれの突き上げピンユニットのモータに同期ずれが発生しても、全ての突き上げピンユニットのモータを迅速に停止させて、基板の損傷を防止することができる。

さらに、本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法によれば、突き上げピンユニットのモータの停止解除を上位制御装置から各同期制御回路へ指示し、各同期制御回路において、上位制御装置から停止解除の指示があるまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータの停止を維持することにより、突き上げピンユニットのモータを停止させる要因となった異常が一部の突き上げピンユニットについて解消しても、一部の突き上げピンユニットの突き上げピンが移動を開始して基板が損傷するのを防止することができる。

さらに、本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法によれば、各同期制御回路において、電源からグループ内の各突き上げピンユニットのモータへ供給される電力の異常を検出することにより、いずれかの突き上げピンユニットのモータへ電力を供給する電源の一部に故障が発生し又は給電ケーブルやヒューズ等が切れても、全ての突き上げピンユニットのモータへ供給される電力の異常を検出することができる。

さらに、本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法によれば、複数の同期制御回路を通信ケーブルでループ状に接続し、各同期制御回路において、他の同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出し、他の１つの同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出したとき、他のもう１つの同期制御回路との間の通信ケーブルを介して、他の同期制御回路と通信することにより、通信ケーブルが１箇所断線しても、各同期制御回路間の通信を保つことができ、各突き上げピンユニットのモータの制御を継続することができる。

さらに、本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法によれば、各同期制御回路において、上位制御装置からの突き上げピンの移動の指示を検出して擬似駆動信号を作成し、作成した擬似駆動信号を通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ出力し、他の同期制御回路からの擬似駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定することにより、各同期制御回路は、他の同期制御回路が正常に動作しているか否かを確認することができる。

本発明の表示用パネル基板の製造方法によれば、基板をロード／アンロードする際の基板の損傷を防止して、表示用パネル基板を歩留まり良く製造することができる。

本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。 本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の平面図である。 チャックの上面図である。 図４（ａ）はチャックの中央部付近に設けられた開口の上面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ部の断面図である。 図５（ａ）はチャックの中央部付近に設けられた開口の上面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ部の断面図である。 図６（ａ）はチャックの周辺部付近に設けられた貫通孔の上面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＣ−Ｃ部の断面図である。 基板搬送ロボットの上面図である。 突き上げピンユニット及び基板搬送ロボットの動作を説明する図である。 突き上げピンユニットの制御系を示す図である。 ロッドを原点位置へ復帰させる動作のフローチャートである。 基板をチャックにロードする動作のフローチャートである。 基板をチャックからアンロードする動作のフローチャートである。 本発明の一実施の形態による突き上げピン駆動制御装置のブロック図である。 図１３の判定回路の動作を説明する図である。 本発明の他の実施の形態による突き上げピン駆動制御装置のブロック図である。 本発明のさらに他の実施の形態による突き上げピン駆動制御装置のブロック図である。 本発明のさらに他の実施の形態による突き上げピン駆動制御装置のブロック図である。 図１７の判定回路の動作を説明する図である。 液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。 液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。

図１は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。また、図２は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の平面図である。プロキシミティ露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、チャック支持台９、チャック１０、突き上げピンユニット、突き上げピン駆動制御装置、電源、マスクホルダ２０、基板搬送ロボット３０、Ｘステージ駆動回路７１、Ｙステージ駆動回路７２、θステージ駆動回路７３、及び主制御装置８０を含んで構成されている。なお、図１では、突き上げピン駆動制御装置、電源、及び基板搬送ロボット３０が省略されている。また、図２では、突き上げピン駆動制御装置、電源、Ｘステージ駆動回路７１、Ｙステージ駆動回路７２、θステージ駆動回路７３、及び主制御装置８０が省略されている。プロキシミティ露光装置は、これらの他に、露光光を照射する照射光学系、ギャップセンサー、アライメント用センサー、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。

なお、以下に説明する実施の形態におけるＸＹ方向は例示であって、Ｘ方向とＹ方向とを入れ替えてもよい。

図２において、チャック１０は、基板１のロード及びアンロードを行うロード／アンロード位置にある。ロード／アンロード位置において、基板搬送ロボット３０により、基板１がチャック１０へ搬入され、また基板１がチャック１０から搬出される。後述する突き上げピンユニットの突き上げピンは、基板１をチャック１０にロードする際、基板搬送ロボット３０から基板１を受け取り、基板１をチャック１０からアンロードする際、基板搬送ロボット３０へ基板１を受け渡す。

基板１の露光を行う露光位置の上空には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が設置されている。マスクホルダ２０は、マスク２の周辺部を真空吸着して保持する。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過して基板へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板１上にパターンが形成される。

図１において、チャック１０は、チャック支持台９を介してθステージ８に搭載されており、θステージ８の下にはＹステージ７及びＸステージ５が設けられている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸガイド４に搭載され、Ｘガイド４に沿ってＸ方向（図１の図面横方向）へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹガイド６に搭載され、Ｙガイド６に沿ってＹ方向（図１の図面奥行き方向）へ移動する。θステージ８は、Ｙステージ７に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台９は、θステージ８に搭載され、チャック１０の裏面を複数箇所で支持する。Ｘステージ駆動回路７１、Ｙステージ駆動回路７２、θステージ駆動回路７３は、主制御装置８０の制御により、Ｘステージ５、Ｙステージ７、θステージ８をそれぞれ駆動する。

Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０は、ロード／アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード／アンロード位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、チャック１０に搭載された基板のプリアライメントが行われる。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０に搭載された基板のＸＹ方向へのステップ移動が行われる。そして、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、基板のアライメントが行われる。また、図示しないＺ−チルト機構によりマスクホルダ２０をＺ方向（図１の図面上下方向）へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板とのギャップ合わせが行われる。

なお、本実施の形態では、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台９にＺ−チルト機構を設けて、チャック１０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板とのギャップ合わせを行ってもよい。

図３は、チャックの上面図である。チャック１０の表面には、図示しない凸部と土手と吸着孔とが設けられている。凸部は、直径数ｍｍのピン形状であり、チャック１０の表面に所定の間隔で複数設けられている。チャック１０に基板が搭載されたとき、凸部は、基板を複数の点で支持する。このとき、チャック１０の表面の凸部以外の部分と基板との間には、空間が形成される。土手は、所定の幅の連続した壁であり、チャック１０の表面の凸部以外の部分と基板との間に形成された空間を、複数の真空区画に分ける。土手は、チャック１０の表面形状が基板の表面に焼き付けられる裏面転写が発生したときに人間の目で認識され難い様に、直線ではなく不規則な線で構成されている。吸着孔は、チャック１０の表面の凸部及び土手以外の部分に所定の間隔で複数設けられ、土手により分けられた各真空区画の真空引きを行う。

図３において、チャック１０の中央部付近には、後述する突き上げピンユニットが挿入される複数の開口が設けられており、開口には蓋１３がはめられている。蓋１３には貫通孔が設けられており、貫通孔には蓋１３の下方から突き上げピン１２が挿入されている。また、開口の外側のチャック１０の周辺部付近には、複数の貫通孔が設けられており、貫通孔にはチャック１０の下方から突き上げピン１２が挿入されている。

なお、本実施の形態では、チャック１０の中央部付近に１６個の開口が設けられているが、開口の位置及び数はこれに限定されるものではない。また、本実施の形態では、チャック１０の周辺部付近に４２個の貫通孔が設けられているが、貫通孔の位置及び数はこれに限定されるものではない。

図４（ａ）はチャックの中央部付近に設けられた開口の上面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ部の断面図である。また、図５（ａ）はチャックの中央部付近に設けられた開口の上面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ部の断面図である。チャックの中央部付近に設けられた開口に挿入される突き上げピンユニットは、モータ１１、突き上げピン１２、蓋１３、フランジ１４ａ、ボルト１５ａ，１７、及び止めねじ１６ａを含んで構成されている。

モータ１１は、パルスモータと、パルスモータに接続されたボールねじと、ロッドとを含んで構成され、パルスモータでボールねじを駆動することにより、ロッド収納部１１ａ内に収納されたロッドが、上昇及び下降する。モータ１１のロッドの先端には、突き上げピン１２が取り付けられている。

図４（ｂ）において、モータ１１のロッド収納部１１ａの上面には、フランジ１４ａが取り付けられ、フランジ１４ａは、ボルト１５ａにより蓋１３の裏面に固定されている。一方、チャック１０の裏面の開口周辺には、蓋１３を支持するリング状の支持プレート１８が取り付けられている。支持プレート１８は、ボルト１９によりチャック１０の裏面に固定されている。

図４（ａ）及び図５（ａ）において、蓋１３の周辺部には、止めねじ１６ａをねじ込むねじ穴と、ボルト１７を通す段差付き穴とが、複数箇所に設けられている。図４（ｂ）において、蓋１３は、蓋１３の周辺部の段差付き穴に通したボルト１７により、支持プレート１８に固定されている。図５（ｂ）において、止めねじ１６ａは、蓋１３の周辺部のねじ穴にねじ込まれ、蓋１３の底面から突き出て、支持プレート１８の上面に接触している。

本実施の形態では、突き上げピンユニットをチャック１０に取り付ける際、まず、チャック１０の上方から、突き上げピンユニットを開口に挿入し、止めねじ１６ａのねじ込み量を調整して、突き上げピンユニットの取り付け高さを調整する。そして、ボルト１７により蓋１３を支持プレート１８に固定して、突き上げピンユニットをチャック１０に取り付ける。突き上げピンユニットを、チャック１０の上方から、開口に挿入し、止めねじ１６ａにより取り付け高さを調整して、チャック１０に取り付けるので、チャック１０の外側から手又は治具が届きにくいチャックの中央部付近であっても、突き上げピンユニットの取り付け高さの調整がチャック１０の上方から容易に行われる。従って、基板の大型化に伴いチャック１０が大型化しても、突き上げピン１２の高さが容易に調整される。

図６（ａ）はチャックの周辺部付近に設けられた貫通孔の上面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＣ−Ｃ部の断面図である。チャックの周辺部付近に設けられた貫通孔に挿入される突き上げピンの突き上げピンユニットは、モータ１１、突き上げピン１２、フランジ１４ｂ、ボルト１５ｂ、及び止めねじ１６ｂを含んで構成されている。

図６（ｂ）において、モータ１１のロッド収納部１１ａの上面には、フランジ１４ｂが取り付けられ、フランジ１４ｂは、ボルト１５ｂによりチャック１０の裏面に固定されている。フランジ１４ｂには、止めねじ１６ｂをねじ込むねじ穴が、複数箇所に設けられており、止めねじ１６ｂは、フランジ１４ｂのねじ穴にねじ込まれ、フランジ１４ｂの上面から突き出て、チャック１０の裏面に接触している。チャック１０の外側から、チャック１０の下へ手を伸ばし、あるいは治具を用いて、ボルト１５ｂを緩め、止めねじ１６ｂのねじ込み量を調整することにより、突き上げピンユニットの取り付け高さが調整される。

図７は、基板搬送ロボットの上面図である。基板搬送ロボット３０は、基板１を搭載する複数のハンドリングアーム３１を備え、ハンドリングアーム３１をロボットアーム３２で移動することにより、基板１をロード／アンロード位置にあるチャックへ搬入し、また基板１をロード／アンロード位置にあるチャックから搬出する。

図８は、突き上げピンユニット及び基板搬送ロボットの動作を説明する図である。以下の説明において、チャック１０に基板１を搭載するときの突き上げピン１２のＺ方向の位置を基板搭載位置、基板搬送ロボット３０から基板１を受け取るときの突き上げピン１２のＺ方向の位置を基板受け取り位置、基板搬送ロボット３０へ基板１を受け渡すときの突き上げピン１２のＺ方向の位置を基板受け渡し位置とする。基板搭載位置にあるとき、突き上げピン１２は、突き上げピンユニットの蓋１３に設けた貫通孔又はチャック１０に設けた貫通孔に完全に収納され、突き上げピン１２の先端は、チャック１０の表面から突き出ない。なお、本実施の形態では、基板受け取り位置と基板受け渡し位置とを同じ位置としているが、両者をＺ方向に異なる位置としてもよい。

基板１をチャック１０にロードする際、まず、各突き上げピンユニットのモータ１１は、突き上げピン１２を、基板搭載位置から基板受け取り位置へ上昇させる（図８（ａ））。基板搬送ロボット３０は、基板１を搭載したハンドリングアーム３１を、チャック１０の上空へ移動する（図８（ａ））。次に、基板搬送ロボット３０は、ハンドリングアーム３１を下降させて、基板１を突き上げピン１２に載せ（図８（ｂ））、ハンドリングアーム３１をさらに下降させて、ハンドリングアーム３１を基板１から離す（図８（ｃ））。これにより、各突き上げピン１２は、基板搬送ロボット３０から基板１を受け取る。次に、基板搬送ロボット３０は、ハンドリングアーム３１をチャック１０の上空から退避させる（図８（ｄ））。続いて、各突き上げピンユニットのモータ１１は、突き上げピン１２を基板受け取り位置から基板搭載位置へ下降させ、基板１をチャック１０に搭載する（図８（ｅ））。

基板１をチャック１０からアンロードする際、上記と逆に、まず、各突き上げピンユニットのモータ１１は、突き上げピン１２を、基板搭載位置から基板受け渡し位置へ上昇させる（図８（ｄ））。基板搬送ロボット３０は、ハンドリングアーム３１を、基板１とチャック１０の間の空間へ挿入する（図８（ｃ））。次に、基板搬送ロボット３０は、ハンドリングアーム３１を上昇させて、基板１をハンドリングアーム３１に載せ（図８（ｂ））、ハンドリングアーム３１をさらに上昇させて、基板１を突き上げピン１２から持ち上げる（図８（ａ））。これにより、各突き上げピン１２は、基板搬送ロボットへ基板１を受け渡す。その後、基板搬送ロボット３０は、基板１を搭載したハンドリングアーム３１を、チャック１０の上空から退避させる。

突き上げピン１２、突き上げピン１２を上下に移動するモータ１１、及びチャック１０に対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットと、突き上げピンユニットを挿入する少なくとも１つの開口とをチャック１０に設け、複数の突き上げピンユニットの内の少なくとも１つを、チャック１０の上方から、開口に挿入し、高さ調整機構により取り付け高さを調整して、チャック１０に取り付け、各突き上げピンユニットのモータ１１を制御して突き上げピン１２を上下に移動し、基板搬送ロボット３０からの基板１の受け取り又は基板搬送ロボット３０への基板１の受け渡しを行うことにより、基板１の大型化に伴いチャック１０が大型化しても、突き上げピン１２の高さを容易に調整することができる。また、従来の突き上げピンを取り付けるテーブルが不要となり、突き上げピン１２の昇降機構を軽量化することができる。

図９は、突き上げピンユニットの制御系を示す図である。突き上げピン駆動制御装置５０は、主制御装置８０の制御により、各突き上げピンユニットのモータ１１に対して、突き上げピン１２の移動先を指定して、突き上げピン１２の移動先への移動を指示する。モータ１１は、モータの動作不良やモータ回路の異常等が発生して突き上げピン１２の移動が正常に行われないときに、異常信号を、突き上げピン駆動制御装置５０へ出力する。また、モータ１１は、突き上げピンの移動を開始するとき、駆動信号を、突き上げピン駆動制御装置５０へ出力する。さらに、モータ１１は、内部にエンコーダを有し、エンコーダで検出したモータ１１の回転量に基づき、突き上げピン１２が指示された移動先から所定の範囲内に達すると、移動が終了した旨の終了信号を、突き上げピン駆動制御装置５０へ出力する。また、モータ１１は、内部にモータ１１のロッドが接触するストッパーを有し、ストッパーに接触する位置が、モータ１１のロッドの最上昇位置又は最下降位置となる。モータ１１のロッドがストッパーに接触すると、モータ１１のパルスモータのトルクが増加する。モータ１１は、パルスモータのトルクの増加を検出して、ロッドが最上昇位置又は最下降位置に達した旨の信号を、突き上げピン駆動制御装置５０へ出力する。

一方、図４（ｂ）及び図６（ｂ）において、突き上げピン１２の下端近くには、突き上げピン１２の位置を検出するためのマーク１２ａが設けられており、フランジ１４ａ，１４ｂ内には、センサー４０が設けられている。センサー４０は、突き上げピン１２に設けられたマーク１２ａを検出し、検出信号を図９の突き上げピン駆動制御装置５０へ出力する。本実施の形態では、各突き上げピンユニットのモータ１１のロッドのストロークを最大限に利用するため、ロッドが最下降位置に来たとき、突き上げピン１２が基板搭載位置に来て、図４（ｂ）及び図６（ｂ）のセンサー４０が突き上げピン１２のマーク１２ａを検出する様に、各突き上げピンユニットの取り付け高さを設定する。

各突き上げピンユニットのモータ１１は、ロッドの最下降位置を原点位置としてロッドのＺ方向の座標管理を行うが、もし、何らかの原因で電源供給が停止した場合には、管理していた座標が不明となってしまうため、ロッドを一旦原点位置に復帰させる動作が必要となる。図１０は、ロッドを原点位置へ復帰させる動作のフローチャートである。ロッドを原点位置へ復帰させる際、まず、突き上げピン駆動制御装置５０は、各突き上げピンユニットのモータ１１に対して、ロッドの原点位置への復帰を指示する（ステップ３０１）。各突き上げピンユニットのモータ１１は、この指示を受け、ロッドが最下降位置側のストッパーに接触するまで、突き上げピン１２を移動する（ステップ３０２）。そして、各突き上げピンユニットのモータ１１は、パルスモータのトルクの増加を検出して、ロッドが最下降位置に達した旨の信号を、突き上げピン駆動制御装置５０へ出力する（ステップ３０３）。突き上げピン駆動制御装置５０は、全ての突き上げピンユニットのモータ１１からこの信号を受信したか否かを判断して（ステップ３０４）、１つでも信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。全ての突き上げピンユニットのモータ１１から終了信号を受信したら、ステップ３０５へ進む。

モータ１１のロッドを原点位置へ復帰する際、もし、異物が突き上げピン１２とチャック１０の間等に挟まると、ロッドが最下降位置に達していないにもかかわらず、パルスモータのトルクが増加して、ロッドが最下降位置に達した旨の信号が、モータ１１から出力される。このため、モータ１１からロッドが最下降位置に達した旨の信号を受信しただけでは、突き上げピン１２が基板搭載位置へ移動していない恐れがある。そこで、本実施の形態では、突き上げピン駆動制御装置５０が、図４（ｂ）及び図６（ｂ）のセンサー４０の検出信号を受信し、全てのセンサー４０の検出信号を受信したか否かを判断して（ステップ３０５）、１つでも検出信号を受信していないセンサー４０があれば、これを繰り返す。これにより、異物が突き上げピン１２とチャック１０の間等に挟まって、突き上げピン１２が基板搭載位置へ移動しないまま、次の処理へ進むのが防止される。全てのセンサー４０から検出信号を受信したら、動作をストップする。

図１１は、基板をチャックにロードする動作のフローチャートである。基板１をチャック１０にロードする際、まず、突き上げピン駆動制御装置５０は、各突き上げピンユニットのモータ１１に対して、突き上げピン１２の移動先を基板受け取り位置に指定して、突き上げピン１２の基板受け取り位置への移動を指示する（ステップ４０１）。各突き上げピンユニットのモータ１１は、この指示を受け、突き上げピン１２を基板受け取り位置へ移動する（ステップ４０２）。そして、各突き上げピンユニットのモータ１１は、基板受け取り位置への移動が終了した旨の終了信号を、突き上げピン駆動制御装置５０へ出力する（ステップ４０３）。突き上げピン駆動制御装置５０は、全ての突き上げピンユニットのモータ１１から終了信号を受信したか否かを判断して（ステップ４０４）、１つでも終了信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。全ての突き上げピンユニットのモータ１１から終了信号を受信したら、突き上げピン１２は、基板受け取り位置において、基板搬送ロボット３０から基板１の受け取りを行う。（ステップ４０５）。

基板１の受け取りが終了したら、突き上げピン駆動制御装置５０は、各突き上げピンユニットのモータ１１に対して、突き上げピン１２の移動先を基板搭載位置に指定して、突き上げピン１２の基板搭載位置への移動を指示する（ステップ４０６）。各突き上げピンユニットのモータ１１は、この指示を受け、ロッドが最下降位置側のストッパーに接触するまで、突き上げピン１２を移動する（ステップ４０７）。そして、各突き上げピンユニットのモータ１１は、パルスモータのトルクの増加を検出して、ロッドが最下降位置に達した旨の信号を、突き上げピン駆動制御装置５０へ出力する（ステップ４０８）。突き上げピン駆動制御装置５０は、全ての突き上げピンユニットのモータ１１からこの信号を受信したか否かを判断して（ステップ４０９）、１つでも信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。全ての突き上げピンユニットのモータ１１から信号を受信したら、ステップ４１０へ進む。

突き上げピン駆動制御装置５０は、センサー４０の検出信号を受信し、全てのセンサー４０の検出信号を受信したか否かを判断して（ステップ４１０）、１つでも検出信号を受信していないセンサー４０があれば、これを繰り返す。これにより、異物が突き上げピン１２とチャック１０の間等に挟まって、突き上げピン１２が基板搭載位置へ移動しないまま、次の処理へ進むのが防止される。全てのセンサー４０から検出信号を受信したら、動作をストップする。

図１２は、基板をチャックからアンロードする動作のフローチャートである。基板をチャックからアンロードする際、まず、突き上げピン駆動制御装置５０は、各突き上げピンユニットのモータ１１に対して、突き上げピン１２の移動先を基板受け渡し位置に指定して、突き上げピン１２の基板受け渡し位置への移動を指示する（ステップ５０１）。各突き上げピンユニットのモータ１１は、この指示を受け、突き上げピン１２を基板受け渡し位置へ移動する（ステップ５０２）。そして、各突き上げピンユニットのモータ１１は、基板受け渡し位置への移動が終了した旨の終了信号を、突き上げピン駆動制御装置５０へ出力する（ステップ５０３）。突き上げピン駆動制御装置５０は、全ての突き上げピンユニットのモータ１１から終了信号を受信したか否かを判断して（ステップ５０４）、１つでも終了信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。全ての突き上げピンユニットのモータ１１から終了信号を受信したら、突き上げピン１２は、基板受け渡し位置において、基板搬送ロボット３０へ基板１の受け渡しを行う（ステップ５０５）。

次に、主制御装置８０は、全ての基板の露光が終了したか否かを判断する（ステップ５０６）。全ての基板の露光が終了していない場合、基板受け取り位置と基板受け渡し位置が同じであるときは、図１１のステップ４０５へ進んで、次の基板の受け取りを行う。基板受け取り位置と基板受け渡し位置が同じでないときは、図１１のステップ４０１へ進む。

全ての基板の露光が終了したら、突き上げピン駆動制御装置５０は、各突き上げピンユニットのモータ１１に対して、突き上げピン１２の移動先を基板搭載位置に指定して、突き上げピン１２の基板搭載位置への移動を指示する（ステップ５０７）。各突き上げピンユニットのモータ１１は、この指示を受け、ロッドが最下降位置側のストッパーに接触するまで、突き上げピン１２を移動する（ステップ５０８）。そして、各突き上げピンユニットのモータ１１は、パルスモータのトルクの増加を検出して、ロッドが最下降位置に達した旨の信号を、突き上げピン駆動制御装置５０へ出力する（ステップ５０９）。突き上げピン駆動制御装置５０は、全ての突き上げピンユニットのモータ１１からこの信号を受信したか否かを判断して（ステップ５１０）、１つでも信号を受信していない突き上げピンユニットがあれば、これを繰り返す。全ての突き上げピンユニットのモータ１１から信号を受信したら、ステップ５１１へ進む。

突き上げピン駆動制御装置５０は、センサー４０の検出信号を受信し、全てのセンサー４０の検出信号を受信したか否かを判断して（ステップ５１１）、１つでも検出信号を受信していないセンサー４０があれば、これを繰り返す。これにより、異物が突き上げピン１２とチャック１０の間等に挟まって、突き上げピン１２が基板搭載位置へ移動しないまま、次の処理へ進むのが防止される。全てのセンサー４０から検出信号を受信したら、動作をストップする。

図１０〜図１２に示した動作フローによれば、各突き上げピンユニットの突き上げピン１２が基板搭載位置にあることを検出する複数のセンサー４０を設け、全てのセンサー４０の検出信号を確認することにより、異物が突き上げピン１２とチャック１０の間等に挟まって、突き上げピン１２が基板搭載位置へ移動しないまま、次の処理へ進むのを防止することができる。

図１３は、本発明の一実施の形態による突き上げピン駆動制御装置のブロック図である。本実施の形態の突き上げピン駆動制御装置５０は、シーケンサ５１、通信ケーブル５２、及び複数の同期制御回路６０を含んで構成されている。各同期制御回路６０は、複数の突き上げピンユニットを複数のグループに分け、グループ内の複数の突き上げピンユニットのモータ１１を同期制御する。図３に示した合計５８個の突き上げピン１２の場合、一例として、８つの同期制御回路６０により５８個の突き上げピンユニットを８つのグループに分け、各同期制御回路６０が７個又は８個の突き上げピンユニットをそれぞれ同期制御する。シーケンサ５１は、各同期制御回路６０に対する上位制御装置であって、各突き上げピン１２の移動を指示するスタート信号を、各突き上げピンユニットのモータ１１へ出力し、また、突き上げピンユニットのモータ１１の緊急停止解除を指示するリセット信号を、各同期制御回路６０へ出力する。通信ケーブル５２は、複数の同期制御回路６０をループ状に接続する。

図１３において、各同期制御回路６０は、タイマー６１、判定回路６２、及びラッチ回路６３を有する検出回路と、複数の切り換え回路６４と、複数のヒューズ６５とを含んで構成されている。電源５３は、各同期制御回路６０を介して、各突き上げピンユニットのモータ１１に接続されており、各突き上げピンユニットのモータ１１へ電力を供給する。各切り換え回路６４及び各ヒューズ６５は、電源５３と各突き上げピンユニットのモータ１１との間に接続されており、各切り換え回路６４が動作し又は各ヒューズ６５が切れると、電源５３から各突き上げピンユニットのモータ１１への電力が遮断される。

まず、突き上げピンユニットにモータ１１の動作不良やモータ回路の異常等が発生して、突き上げピンユニットのモータ１１からシーケンサ５１へ異常信号が出力された場合の動作を説明する。各同期制御回路６０のラッチ回路６３は、グループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１から出力された異常信号を検出する。そして、ラッチ回路６３は、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータ１１からの異常信号を検出したとき、同期制御回路６０内の全ての切り換え回路６４を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させると共に、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路６０へ異常を通知する。また、ラッチ回路６３は、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路６０から異常の通知を受けたとき、同期制御回路６０内の全ての切り換え回路６４を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させる。

各同期制御回路６０において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１から発生された異常信号を検出し、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータ１１からの異常信号を検出したとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させるので、グループ内のいずれの突き上げピンユニットにモータ１１の動作不良やモータ回路の異常等が発生しても、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を迅速に停止させることができる。そして、各同期制御回路６０において、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータ１１からの異常信号を検出したとき、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路６０へ異常を通知し、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路６０から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させるので、他のグループ内のいずれの突き上げピンユニットにモータ１１の動作不良やモータ回路の異常等が発生しても、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を迅速に停止させることができる。従って、いずれの突き上げピンユニットにモータ１１の動作不良やモータ回路の異常等が発生しても、全てのグループの全ての突き上げピンユニットのモータ１１を迅速に停止させることができる。

次に、突き上げピンユニットのモータ１１に同期ずれが発生したときの動作を説明する。各同期制御回路６０のタイマー６１は、シーケンサ５１から各突き上げピンユニットのモータ１１へ出力されたスタート信号を検出して、判定信号を判定回路６２へ出力し、それから所定時間後に判定信号の出力を停止する。判定回路６２は、グループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１からシーケンサ５１へ出力された駆動信号を検出して、タイマー６１からの判定信号と比較する。

図１４は、図１３の判定回路の動作を説明する図である。図１４において、スタート信号はロー（ＬＯＷ）の状態でオンとなり、駆動信号はハイ（ＨＩ）の状態でオンとなる。タイマー６１からの判定信号は、スタート信号がオンとなってから所定時間継続し、その間を異常判定時間とする。この異常判定時間は、タイマー６１で予め任意に設定することができる。判定回路６２は、各突き上げピンユニットのモータ１１から出力された駆動信号とタイマー６１からの判定信号とを比較して、シーケンサ５１からスタート信号が出力されてから異常判定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定する。図１４に示した例では、一番下の駆動信号が、異常判定時間内に検出されなかったと判定される。

図１３において、各同期制御回路６０のラッチ回路６３は、判定回路６２が異常判定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータ１１からの駆動信号を検出しないとき、同期制御回路６０内の全ての切り換え回路６４を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させると共に、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路６０へ異常を通知する。また、ラッチ回路６３は、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路６０から異常の通知を受けたとき、同期制御回路６０内の全ての切り換え回路６４を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させる。

各同期制御回路６０において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１から発生された駆動信号を検出して、シーケンサ５１からスタート信号の出力があってから所定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定し、所定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータ１１からの駆動信号を検出しないとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させるので、グループ内のいずれの突き上げピンユニットのモータ１１に同期ずれが発生しても、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を迅速に停止させることができる。そして、各同期制御回路６０において、所定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータ１１からの駆動信号を検出しないとき、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路６０へ異常を通知し、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路６０から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させるので、他のグループ内のいずれの突き上げピンユニットのモータ１１に同期ずれが発生しても、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を迅速に停止させることができる。従って、いずれの突き上げピンユニットのモータ１１に同期ずれが発生しても、全てのグループの全ての突き上げピンユニットのモータ１１を迅速に停止させることができる。

図１３において、各同期制御回路６０のラッチ回路６３は、シーケンサ５１からリセット信号を入力するまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１の緊急停止を維持する。各同期制御回路６０において、シーケンサ５１からリセット信号を入力するまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１の緊急停止を維持するので、突き上げピンユニットのモータ１１を緊急停止させる要因となった異常が一部の突き上げピンユニットについて解消しても、一部の突き上げピンユニットの突き上げピン１２が移動を開始することがない。

図１５は、本発明の他の実施の形態による突き上げピン駆動制御装置のブロック図である。本実施の形態の突き上げピン駆動制御装置５０は、シーケンサ５１、通信ケーブル５２、１つの主同期制御回路６０ａ、及び複数の副同期制御回路６０ｂを含んで構成されている。主同期制御回路６０ａ及び副同期制御回路６０ｂは、複数の突き上げピンユニットを複数のグループに分け、グループ内の複数の突き上げピンユニットのモータ１１を同期制御する。図３に示した合計５８個の突き上げピン１２の場合、一例として、１つの主同期制御回路６０ａと７つの副同期制御回路６０ｂにより５８個の突き上げピンユニットを８つのグループに分け、主同期制御回路６０ａ及び各副同期制御回路６０ｂが７個又は８個の突き上げピンユニットをそれぞれ同期制御する。シーケンサ５１は、主同期制御回路６０ａ及び副同期制御回路６０ｂに対する上位制御装置であって、各突き上げピン１２の移動を指示するスタート信号を、各突き上げピンユニットのモータ１１へ出力し、また、突き上げピンユニットのモータ１１の緊急停止解除を指示するリセット信号を、主同期制御回路６０ａ及び各副同期制御回路６０ｂへ出力する。通信ケーブル５２は、主同期制御回路６０ａ及び副同期制御回路６０ｂをループ状に接続する。

図１５において、主同期制御回路６０ａは、タイマー６１、判定回路６２、ラッチ回路６３、電源監視回路６６、及びＯＲ（オア）回路６７を有する検出回路と、複数の切り換え回路６４と、複数のヒューズ６５とを含んで構成されている。一方、副同期制御回路６０ｂは、タイマー６１、判定回路６２、ラッチ回路６３、及び電源監視回路６６を有する検出回路と、複数の切り換え回路６４と、複数のヒューズ６５とを含んで構成されている。なお、図１５では、副同期制御回路６０ｂのタイマー６１、判定回路６２、切り換え回路６４、及びヒューズ６５が省略されている。タイマー６１、判定回路６２、切り換え回路６４、及びヒューズ６５の動作は、図１３に示した実施の形態と同様である。

主同期制御回路６０ａの電源監視回路６６は、電源５３からグループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１へ供給される電力の異常を検出し、ＯＲ回路６７へ異常を通知する。また、各副同期制御回路６０ｂの電源監視回路６６は、電源５３からグループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１へ供給される電力の異常を検出し、通信ケーブル５２を介して、主同期制御回路６０ａのＯＲ回路６７へ異常を通知する。主同期制御回路６０ａのＯＲ回路６７は、主同期制御回路６０ａの電源監視回路６６から異常の通知を受け、またはいずれかの副同期制御回路６０ｂの電源監視回路６６から通信ケーブル５２を介して異常の通知を受けると、シーケンサ５１へ異常を通知する。

主同期制御回路６０ａ及び各副同期制御回路６０ｂにおいて、電源５３からグループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１へ供給される電力の異常を検出するので、いずれかの突き上げピンユニットのモータ１１へ電力を供給する電源５３の一部に故障が発生し又は給電ケーブルやヒューズ６５等が切れても、全ての突き上げピンユニットのモータ１１へ供給される電力の異常を検出することができる。

図１６は、本発明のさらに他の実施の形態による突き上げピン駆動制御装置のブロック図である。本実施の形態は、図１５に示した実施の形態において、主同期制御回路６０ａ及び各副同期制御回路６０ｂに、接続監視回路６８を設けたものである。主同期制御回路６０ａの接続監視回路６８は、副同期制御回路６０ｂとの間の通信ケーブル５２の異常を検出する。また、副同期制御回路６０ｂの接続監視回路６８は、主同期制御回路６０ａ又は他の副同期制御回路６０ｂとの間の通信ケーブル５２の異常を検出する。

主同期制御回路６０ａは、接続監視回路６８が１つの副同期制御回路６０ｂとの間の通信ケーブル５２の異常を検出したとき、他のもう１つの副同期制御回路６０ｂとの間の通信ケーブル５２を介して、各副同期制御回路６０ｂと通信する。また、副同期制御回路６０ｂは、接続監視回路６８が主同期制御回路６０ａ又は１つの副同期制御回路６０ｂとの間の通信ケーブル５２の異常を検出したとき、主同期制御回路６０ａ又は他のもう１つの副同期制御回路６０ｂとの間の通信ケーブル５２を介して、主同期制御回路６０ａ及び他の副同期制御回路６０ｂと通信する。通信ケーブル５２が１箇所断線しても、各同期制御回路間の通信を保つことができ、各突き上げピンユニットのモータ１１の制御を継続することができる。

図１７は、本発明のさらに他の実施の形態による突き上げピン駆動制御装置のブロック図である。本実施の形態は、図１６に示した実施の形態において、主同期制御回路６０ａ及び各副同期制御回路６０ｂに、擬似駆動信号作成回路６９を設けたものである。擬似駆動信号作成回路６９は、タイマー６１を介しシーケンサ５１が出力したスタート信号を検出して、擬似駆動信号を作成し、作成した擬似駆動信号を、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路へ出力する。

主同期制御回路６０ａ及び各副同期制御回路６０ｂのタイマー６１は、シーケンサ５１から各突き上げピンユニットのモータ１１へ出力されたスタート信号を検出して、判定信号を判定回路６２へ出力し、それから所定時間後に判定信号の出力を停止する。主同期制御回路６０ａ及び各副同期制御回路６０ｂの判定回路６２は、通信ケーブル５２を介し他の同期制御回路から出力された擬似駆動信号を検出して、タイマー６１からの判定信号と比較する。

図１８は、図１７の判定回路の動作を説明する図である。図１８において、スタート信号はロー（ＬＯＷ）の状態でオンとなり、擬似駆動信号もロー（ＬＯＷ）の状態でオンとなる。タイマー６１からの判定信号は、スタート信号がオンとなってから所定時間継続し、その間を異常判定時間とする。この異常判定時間は、図１４に示した駆動信号の異常判定時間と別に、タイマー６１で予め任意に設定することができる。判定回路６２は、他の同期制御回路から出力された擬似駆動信号とタイマー６１からの判定信号とを比較して、シーケンサ５１からスタート信号が出力されてから異常判定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定する。図１８に示した例では、一番下の擬似駆動信号が、異常判定時間内に検出されなかったと判定される。

各同期制御回路６０ａ，６０ｂは、シーケンサ５１からスタート信号が出力されてから異常判定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定することにより、他の同期制御回路が正常に動作しているか否かを確認することができる。また、擬似駆動信号をロー（ＬＯＷ）の状態でオンとなる反転信号とすることにより、通信ケーブル５２の断線による誤検出を防止することができる。

以上説明した実施の形態によれば、各突き上げピン１２の移動が正常に行われないときに、各突き上げピンユニットのモータ１１から異常信号を発生し、各同期制御回路６０，６０ａ，６０ｂにおいて、グループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１から発生された異常信号を検出し、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータ１１からの異常信号を検出したとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させると共に、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させることにより、いずれの突き上げピンユニットにモータ１１の動作不良やモータ回路の異常等が発生しても、全ての突き上げピンユニットのモータ１１を迅速に停止させて、基板１の損傷を防止することができる。

さらに、各突き上げピン１２の移動を開始するときに、各突き上げピンユニットのモータ１１から駆動信号を発生し、各同期制御回路６０，６０ａ，６０ｂにおいて、グループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１から発生された駆動信号を検出して、シーケンサ５１からスタート信号の出力があってから所定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定し、所定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータ１１からの駆動信号を検出しないとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させると共に、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１を停止させることにより、いずれの突き上げピンユニットのモータ１１に同期ずれが発生しても、全ての突き上げピンユニットのモータ１１を迅速に停止させて、基板１の損傷を防止することができる。

さらに、リセット信号をシーケンサ５１から各同期制御回路６０，６０ａ，６０ｂへ出力し、各同期制御回路６０，６０ａ，６０ｂにおいて、シーケンサ５１からリセット信号の入力があるまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータ１１の緊急停止を維持することにより、突き上げピンユニットのモータ１１を緊急停止させる要因となった異常が一部の突き上げピンユニットについて解消しても、一部の突き上げピンユニットの突き上げピン１２が移動を開始して基板１が損傷するのを防止することができる。

さらに、図１５〜図１７に示した実施の形態によれば、各同期制御回路６０ａ，６０ｂにおいて、電源５３からグループ内の各突き上げピンユニットのモータ１１へ供給される電力の異常を検出することにより、いずれかの突き上げピンユニットのモータ１１へ電力を供給する電源５３の一部に故障が発生し又は給電ケーブルやヒューズ６５等が切れても、全ての突き上げピンユニットのモータ１１へ供給される電力の異常を検出することができる。

さらに、図１６及び図１７に示した実施の形態によれば、複数の同期制御回路６０ａ，６０ｂを通信ケーブル５２でループ状に接続し、各同期制御回路６０ａ，６０ｂにおいて、他の同期制御回路との間の通信ケーブル５２の異常を検出し、他の１つの同期制御回路との間の通信ケーブル５２の異常を検出したとき、他のもう１つの同期制御回路との間の通信ケーブル５２を介して、他の同期制御回路と通信することにより、通信ケーブル５２が１箇所断線しても、各同期制御回路間の通信を保つことができ、各突き上げピンユニットのモータ１１の制御を継続することができる。

さらに、図１７に示した実施の形態によれば、各同期制御回路６０ａ，６０ｂにおいて、シーケンサ５１からのスタート信号を検出して擬似駆動信号を作成し、作成した擬似駆動信号を通信ケーブル５２を介して他の同期制御回路へ出力し、他の同期制御回路からの擬似駆動信号を検出して、シーケンサ５１からスタート信号が出力されてから所定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定することにより、各同期制御回路６０ａ，６０ｂは、他の同期制御回路が正常に動作しているか否かを確認することができる。

本発明のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行い、あるいは、本発明のプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法を用いて基板をロード／アンロードして、基板の露光を行うことにより、基板をロード／アンロードする際の基板の損傷を防止して、表示用パネル基板を歩留まり良く製造することができる。

例えば、図１９は、液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。薄膜形成工程（ステップ１０１）では、スパッタ法やプラズマ化学気相成長（ＣＶＤ）法等により、基板上に液晶駆動用の透明電極となる導電体膜や絶縁体膜等の薄膜を形成する。レジスト塗布工程（ステップ１０２）では、ロール塗布法等により感光樹脂材料（フォトレジスト）を塗布して、薄膜形成工程（ステップ１０１）で形成した薄膜上にフォトレジスト膜を形成する。露光工程（ステップ１０３）では、プロキシミティ露光装置や投影露光装置等を用いて、マスクのパターンをフォトレジスト膜に転写する。現像工程（ステップ１０４）では、シャワー現像法等により現像液をフォトレジスト膜上に供給して、フォトレジスト膜の不要部分を除去する。エッチング工程（ステップ１０５）では、ウエットエッチングにより、薄膜形成工程（ステップ１０１）で形成した薄膜の内、フォトレジスト膜でマスクされていない部分を除去する。剥離工程（ステップ１０６）では、エッチング工程（ステップ１０５）でのマスクの役目を終えたフォトレジスト膜を、剥離液によって剥離する。これらの各工程の前又は後には、必要に応じて、基板の洗浄／乾燥工程が実施される。これらの工程を数回繰り返して、基板上にＴＦＴアレイが形成される。

また、図２０は、液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。ブラックマトリクス形成工程（ステップ２０１）では、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、剥離等の処理により、基板上にブラックマトリクスを形成する。着色パターン形成工程（ステップ２０２）では、染色法、顔料分散法、印刷法、電着法等により、基板上に着色パターンを形成する。この工程を、Ｒ、Ｇ、Ｂの着色パターンについて繰り返す。保護膜形成工程（ステップ２０３）では、着色パターンの上に保護膜を形成し、透明電極膜形成工程（ステップ２０４）では、保護膜の上に透明電極膜を形成する。これらの各工程の前、途中又は後には、必要に応じて、基板の洗浄／乾燥工程が実施される。

図１９に示したＴＦＴ基板の製造工程では、露光工程（ステップ１０３）において、図２０に示したカラーフィルタ基板の製造工程では、ブラックマトリクス形成工程（ステップ２０１）及び着色パターン形成工程（ステップ２０２）の露光処理において、本発明のプロキシミティ露光装置又は本発明のプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法を適用することができる。

１ 基板
２ マスク
３ ベース
４ Ｘガイド
５ Ｘステージ
６ Ｙガイド
７ Ｙステージ
８ θステージ
９ チャック支持台
１０ チャック
１１ モータ
１２ 突き上げピン
１３ 蓋
１４ａ，１４ｂ フランジ
１５ａ，１５ｂ，１７，１９ ボルト
１６ａ，１６ｂ 止めねじ
１８ 支持プレート
２０ マスクホルダ
３０ 基板搬送ロボット
３１ ハンドリングアーム
３２ ロボットアーム
４０ センサー
５０ 突き上げピン駆動制御装置
５１ シーケンサ
５２ 通信ケーブル
５３ 電源
６０，６０ａ，６０ｂ 同期制御回路
６１ タイマー
６２ 判定回路
６３ ラッチ回路
６４ 切り換え回路
６５ ヒューズ
６６ 電源監視回路
６７ ＯＲ回路
６８ 接続監視回路
６９ 擬似駆動信号作成回路
７１ Ｘステージ駆動回路
７２ Ｙステージ駆動回路
７３ θステージ駆動回路
８０ 主制御装置

Claims (14)

1. 基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、前記チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
   基板を前記チャックへ搬入し、または基板を前記チャックから搬出する基板搬送装置と、
   前記基板搬送装置からの基板の受け取り又は前記基板搬送装置への基板の受け渡しを行う突き上げピン、該突き上げピンを上下に移動するモータ、及び前記チャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有し、前記チャックに取り付けられた複数の突き上げピンユニットと、
   各突き上げピンユニットのモータへ電力を供給する電源と、
   各突き上げピンユニットのモータへ各突き上げピンの移動を指示する上位制御装置、前記複数の突き上げピンユニットを複数のグループに分け、グループ内の複数の突き上げピンユニットのモータを同期制御する複数の同期制御回路、及び該複数の同期制御回路を接続する通信ケーブルを有し、各突き上げピンユニットのモータを制御する制御装置とを備え、
   各突き上げピンユニットのモータは、各突き上げピンの移動が正常に行われないときに異常信号を発生し、
   各同期制御回路は、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された異常信号を検出する検出手段と、前記電源とグループ内の各突き上げピンユニットのモータとの間に接続された複数の切り換え手段とを有し、
   前記検出手段は、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの異常信号を検出したとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、前記通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、前記通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させることを特徴とするプロキシミティ露光装置。
2. 各突き上げピンユニットのモータは、各突き上げピンの移動を開始するときに駆動信号を発生し、
   前記検出手段は、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された駆動信号を検出して、前記上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定する判定回路を有し、該判定回路が所定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの駆動信号を検出しないとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、前記通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、前記通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、同期制御回路内の全ての切り換え手段を動作させてグループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させることを特徴とする請求項１に記載のプロキシミティ露光装置。
3. 前記上位制御装置は、突き上げピンユニットのモータの停止解除を各同期制御回路の検出手段へ指示し、
   前記検出手段は、前記上位制御装置から停止解除の指示があるまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータの停止を維持することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のプロキシミティ露光装置。
4. 前記検出手段は、前記電源からグループ内の各突き上げピンユニットのモータへ供給される電力の異常を検出する電源監視回路を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置。
5. 前記通信ケーブルは、前記複数の同期制御回路をループ状に接続し、
   前記検出手段は、他の同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出する接続監視回路を有し、該接続監視回路が他の１つの同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出したとき、他のもう１つの同期制御回路との間の通信ケーブルを介して、他の同期制御回路と通信することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置。
6. 各同期制御回路は、前記上位制御装置からの突き上げピンの移動の指示を検出して擬似駆動信号を作成し、作成した擬似駆動信号を前記通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ出力する擬似駆動信号作成回路を有し、
   前記検出手段は、他の同期制御回路からの擬似駆動信号を検出して、前記上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定する判定回路を有することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置。
7. 基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法であって、
   突き上げピン、突き上げピンを上下に移動するモータ、及びチャックに対する取り付け高さを調整する高さ調整機構を有する複数の突き上げピンユニットをチャックに取り付け、
   基板をチャックへ搬入し、または基板をチャックから搬出する基板搬送装置と、
   各突き上げピンユニットのモータへ電力を供給する電源と、
   各突き上げピンユニットのモータへ各突き上げピンの移動を指示する上位制御装置、複数の突き上げピンユニットを複数のグループに分け、グループ内の複数の突き上げピンユニットのモータを同期制御する複数の同期制御回路、及び複数の同期制御回路を接続する通信ケーブルを有し、各突き上げピンユニットのモータを制御する制御装置とを設け、
   制御装置により各突き上げピンユニットのモータを制御して、各突き上げピンを上下に移動し、基板搬送装置からの基板の受け取り又は基板搬送装置への基板の受け渡しを行い、
   各突き上げピンの移動が正常に行われないときに、各突き上げピンユニットのモータから異常信号を発生し、
   各同期制御回路において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された異常信号を検出し、グループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの異常信号を検出したとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させることを特徴とするプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法。
8. 各突き上げピンの移動を開始するときに、各突き上げピンユニットのモータから駆動信号を発生し、
   各同期制御回路において、グループ内の各突き上げピンユニットのモータから発生された駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に駆動信号を検出したか否かを判定し、所定時間内にグループ内の少なくとも１つの突き上げピンユニットのモータからの駆動信号を検出しないとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させると共に、通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ異常を通知し、また、通信ケーブルを介して他の同期制御回路から異常の通知を受けたとき、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータを停止させることを特徴とする請求項７に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法。
9. 突き上げピンユニットのモータの停止解除を上位制御装置から各同期制御回路へ指示し、
   各同期制御回路において、上位制御装置から停止解除の指示があるまで、グループ内の全ての突き上げピンユニットのモータの停止を維持することを特徴とする請求項７又は請求項８に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法。
10. 各同期制御回路において、電源からグループ内の各突き上げピンユニットのモータへ供給される電力の異常を検出することを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法。
11. 複数の同期制御回路を通信ケーブルでループ状に接続し、
    各同期制御回路において、他の同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出し、他の１つの同期制御回路との間の通信ケーブルの異常を検出したとき、他のもう１つの同期制御回路との間の通信ケーブルを介して、他の同期制御回路と通信することを特徴とする請求項７乃至請求項１０のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法。
12. 各同期制御回路において、上位制御装置からの突き上げピンの移動の指示を検出して擬似駆動信号を作成し、作成した擬似駆動信号を通信ケーブルを介して他の同期制御回路へ出力し、他の同期制御回路からの擬似駆動信号を検出して、上位制御装置から各突き上げピンの移動の指示があってから所定時間内に擬似駆動信号を検出したか否かを判定することを特徴とする請求項７乃至請求項１１のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法。
13. 請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
14. 請求項７乃至請求項１２のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板ロード／アンロード方法を用いて基板をロード／アンロードして、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。

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