JP5927816B2 - 電子部品製造装置 - Google Patents
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Description
付記1:
基板を上面に搭載するステージと、前記ステージを加熱することにより前記基板を加熱するヒータと、電子部品製造装置に異常が発生すると、前記ステージから前記基板を離間させる離間機構と、を具備することを特徴とする電子部品製造装置。
付記2:
前記ステージの少なくとも一部および前記基板を密閉し内部を減圧するチャンバと、前記電子部品製造装置に異常が発生した場合にも前記チャンバ内の減圧を維持する制御部と、を具備することを特徴とする付記1記載の電子部品製造装置。
付記3:
前記離間機構は、前記電子部品製造装置の異常により記離間機構を駆動させる電力が遮断されると、前記ステージから前記基板を離間させることを特徴とする付記1または2記載の電子部品製造装置。
付記4:
前記離間機構は、前記電子部品製造装置の異常により前記離間機構を制御する信号が遮断されると、前記ステージから前記基板を離間させることを特徴とする付記1または2記載の電子部品製造装置。
付記5:
前記離間機構は、前記基板を前記ステージから上昇させるリフトピンを含むことを特徴とする付記1から3のいずれか一項記載の電子部品製造装置。
付記6:
前記離間機構は、前記リフトピンを上昇させるように付勢する付勢部と、ガスが供給されることにより、前記付勢部の付勢力より大きな力で前記リフトピンを下降させる駆動部と、前記駆動部に前記ガスを供給するノーマリクローズバルブと、を具備する付記5記載の電子部品製造装置。
付記7:
前記離間機構は、ノーマリクローズバルブと、ノーマリオープンバルブと、前記ノーマリクローズバルブからガスが供給されることにより、前記リフトピンを下降させ、前記ノーマリオープンバルブからガスが供給されることにより、前記リフトピンを上昇させる駆動部と、を含むことを特徴とする付記5記載の電子部品製造装置。
11 離間機構
12 リフトピン
14 駆動部
16 バルブ
20 ステージ
22 ヒータ
40 チャンバ
Claims (7)
- 基板を上面に搭載するステージと、
前記ステージを加熱することにより前記基板を加熱するヒータと、
装置内に異常が発生したことを検出する検出ユニットと、
前記検出ユニットからの信号を受ける制御部と、
前記制御部が離間機構を制御するための信号または前記離間機構を駆動させる電力が遮断されることにより前記ステージから前記基板を離間させる前記離間機構と、
を具備することを特徴とする電子部品製造装置。 - 前記ステージの少なくとも一部および前記基板を密閉し内部を減圧するチャンバを具備し、
前記制御部は、前記装置内に異常が発生した場合に、前記ヒータへの電力を遮断し前記チャンバ内の減圧を維持することを特徴とする請求項1記載の電子部品製造装置。 - 前記制御部は前記チャンバ内の減圧を維持するときに、前記チャンバからの気体の排出を遮断し、前記チャンバ内への反応ガスの供給を遮断することを特徴とする請求項2記載の電子部品製造装置。
- 前記離間機構は、前記基板を前記ステージから上昇させるリフトピンを含むことを特徴とする請求項1記載の電子部品製造装置。
- 前記離間機構は、
前記ステージから前記基板を開離させるピストンと、
前記ピストンが嵌め込まれたシリンダと、
前記ピストンを前記ステージから前記基板を開離させるように付勢するバネと、
前記ピストンと前記シリンダとの間の空間にガスを導入することにより前記基板を前記ステージに搭載させるガス導入管と、
前記ガス導入管を介し前記空間に前記ガスを導入するバルブを開けるための信号または前記バルブを駆動させる電力が遮断されることにより閉じる前記バルブと、
を備えることを特徴とする請求項1記載の電子部品製造装置。 - 前記離間機構は、
前記ステージから前記基板を開離させるピストンと、
前記ピストンが嵌め込まれたシリンダと、
前記ピストンを前記ステージから前記基板を開離させるように付勢する磁石と、
前記ピストンと前記シリンダとの間の空間にガスを導入することにより前記基板を前記ステージに搭載させるガス導入管と、
前記ガス導入管を介し前記空間に前記ガスを導入するバルブを開けるための信号または前記バルブを駆動させる電力が遮断されることにより閉じる前記バルブと、
を備えることを特徴とする請求項1記載の電子部品製造装置。 - 前記離間機構は、
前記ステージから前記基板を開離させるピストンと、
前記ピストンが嵌め込まれたシリンダと、
前記ピストンと前記シリンダとの間の第1空間に第1ガスを導入することにより前記基板を前記ステージに搭載させる第1ガス導入管と、
前記第1ガス導入管を介し前記第1空間に前記第1ガスを導入する第1バルブを開けるための信号または前記第1バルブを駆動させる電力が遮断されることにより閉じる前記第1バルブと、
前記ピストンと前記シリンダとの間の第2空間に第2ガスを導入することによりを前記ステージから前記基板を開離させる第2ガス導入管と、
前記第2ガス導入管を介し前記第2空間に前記第2ガスを導入する第2バルブを閉じるための信号または前記第2バルブを駆動させる電力が遮断されることにより開く前記第2バルブと、を備えることを特徴とする請求項1記載の電子部品製造装置。
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