JP2010110669A - プラズマ溶射装置 - Google Patents
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- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 88
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 15
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 11
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 8
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 16
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
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Abstract
【解決手段】本発明のプラズマ溶射装置によれば、主陽極12の先端部に第1凹部121および第2凹部122が形成されている。第1凹部121は主陽極12の径方向について材料搬送管11よりも外側から連続的に縮径しながら主陽極12の軸方向後方に向かってくぼんでいる。第2凹部122は主陽極12の径方向について第1凹部121の内縁124から材料搬送管11に至るまで連続的または断続的に縮径しながら主陽極12の軸方向後方に向かって第1凹部121よりも大きくまたは急峻にくぼんでいる。第2凹部122が形成されている分だけ、第1凹部121のみが形成されている場合と比較して、材料搬送管11の先端部から放出された材料がプラズマに接触するまでの間に拡散しうる空間が広く確保される。
【選択図】図2
Description
Claims (1)
- 軸方向に貫通する材料搬送管を有する主陽極と、前記主陽極を囲むとともに前記主陽極の軸方向前方に位置する主開口部を有する主外套と、前記主外套を冷却する冷却要素とを有する主トーチと、前記主陽極の中心軸と交差する中心軸を有する副陰極と、前記副陰極を囲むとともに前記副陰極の軸方向前方に位置する副開口部とを有する副外套とを有する複数の副トーチとを備え、前記主開口部および前記副開口部を通じて前記主陽極および前記副陰極の間に形成されるプラズマによって前記材料搬送管から放出または拡散される流動性のある材料を加熱することにより溶融粒子を生成し、前記溶融粒子を前記主陽極の軸方向前方に配置されている基材に吹き付けることにより前記材料によって構成される皮膜を前記基材の上に形成するプラズマ溶射装置において、
前記主陽極の先端部に、前記主陽極の径方向について前記材料搬送管よりも外側から連続的に縮径しながら前記主陽極の軸方向後方に向かってくぼんでいる第1凹部と、前記主陽極の径方向について前記第1凹部の内縁から前記材料搬送管に至るまで連続的または断続的に縮径しながら前記主陽極の軸方向後方に向かって前記第1凹部よりも大きくまたは急峻にくぼんでいる第2凹部とが形成されていることを特徴とするプラズマ溶射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008283652A JP5515277B2 (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | プラズマ溶射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008283652A JP5515277B2 (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | プラズマ溶射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010110669A true JP2010110669A (ja) | 2010-05-20 |
JP5515277B2 JP5515277B2 (ja) | 2014-06-11 |
Family
ID=42299673
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008283652A Active JP5515277B2 (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | プラズマ溶射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5515277B2 (ja) |
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- 2008-11-04 JP JP2008283652A patent/JP5515277B2/ja active Active
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---|---|
JP5515277B2 (ja) | 2014-06-11 |
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