JP2010109093A - 研磨パッドのシーズニング方法、シーズニングプレート、半導体研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨パッド26上に載せ、前記研磨パッド26を回転させて生じる摩擦により前記研磨パッド26を研削して前記研磨パッド26のシーズニングを行うシーズニングプレート10であって、前記研磨パッド26を研削する複数のコンディショナ14と、前記複数のコンディショナ14を下面に取り付けた円形の可撓性基板12と、前記可撓性基板12の上面で前記可撓性基板12と同心円を形成するように配置されたOリング16と、前記Oリング16上に配置され、前記可撓性基板12を変形させる荷重を加える錘となる錘板18と、を備えてなる。
【選択図】図1
Description
図3に研磨パッドのパッド面の所定のパッドライフにおける形状とGBIRとの関係を示す。ここで、パッドライフとは研磨パッドの研磨時間を意味している。また、パッド形状は研磨パッド26の内周領域26aのベストフィット面を基準とした変位を用いて示されており、以下の図に示される研磨パッドのパッド形状においても基本的に同様の方法で表示するものとする(後述の図6(c)、及び図7を除く)。なお、ベストフィット面は後述のGFLRが最小となる仮想的な面のことをいう。図3(a)に示すように、パッドライフが経過するにつれ研磨パッド26の内周領域26aと外周領域26cに研削の深さの大きな領域が発生していき、内周領域26aから中央領域26bを経て外周領域26cに掛けて凸型形状のパッド面が形成され、この場合、研磨パッド26により研磨された被研磨面は内べり傾向となっていく。
Claims (3)
- 研磨パッドを回転させて生じる摩擦で前記研磨パッドを研削する研磨パッドのシーズニング方法であって、
前記研磨パッドを研削する複数のコンディショナを円形の可撓性基板の下面に取り付け、
前記可撓性基板の上面に、前記可撓性基板と同心円を形成するようにリングを配置し、
前記リングの上から前記可撓性基板を変形させる荷重を加えて前記コンディショナを前記研磨パッドに押し付けることを特徴とする研磨パッドのシーズニング方法。 - 研磨パッド上に載せ、前記研磨パッドを回転させて生じる摩擦により前記研磨パッドを研削して前記研磨パッドのシーズニングを行うシーズニングプレートであって、
前記研磨パッドを研削する複数のコンディショナと、
前記複数のコンディショナを下面に取り付けた円形の可撓性基板と、
前記可撓性基板の上面で前記可撓性基板と同心円を形成するように配置されたリングと、
前記リング上に配置され、前記可撓性基板を変形させる荷重を加える錘と、
を備えることを特徴とするシーズニングプレート。 - 請求項2に記載のシーズニングプレートを研磨パッド上に載置可能としたことを特徴とする半導体研磨装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012073317A1 (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-07 | 株式会社エフエーサービス | 再生半導体ウエハの製造方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108838869B (zh) * | 2018-07-20 | 2020-07-24 | 佛山市和阳精密金属制品有限公司 | 一种水磨机 |
TWI831435B (zh) * | 2022-10-24 | 2024-02-01 | 台亞半導體股份有限公司 | 基板研磨方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0615563A (ja) * | 1992-07-01 | 1994-01-25 | Fujikoshi Mach Corp | ウェーハ加圧用ポリッシングプレート及びウェーハのポリッシング方法 |
JP2000024915A (ja) * | 1998-07-09 | 2000-01-25 | Mitsubishi Materials Silicon Corp | 半導体ウェーハの研磨装置 |
JP2000326205A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-28 | Mitsubishi Materials Silicon Corp | 研磨布のドレッシング治具 |
JP2005005388A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 半導体ウェーハ研磨装置における研磨クロス研削装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2574041B2 (ja) | 1989-11-17 | 1997-01-22 | 佐々木硝子株式会社 | 外被せガラス器の成形方法 |
US6371838B1 (en) * | 1996-07-15 | 2002-04-16 | Speedfam-Ipec Corporation | Polishing pad conditioning device with cutting elements |
JP3159928B2 (ja) | 1996-12-26 | 2001-04-23 | 三菱マテリアルシリコン株式会社 | シ−ズニングリング |
US5885137A (en) * | 1997-06-27 | 1999-03-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Chemical mechanical polishing pad conditioner |
US6004196A (en) * | 1998-02-27 | 1999-12-21 | Micron Technology, Inc. | Polishing pad refurbisher for in situ, real-time conditioning and cleaning of a polishing pad used in chemical-mechanical polishing of microelectronic substrates |
US6358121B1 (en) * | 1999-07-09 | 2002-03-19 | Applied Materials, Inc. | Carrier head with a flexible membrane and an edge load ring |
DE60024559T2 (de) * | 1999-10-15 | 2006-08-24 | Ebara Corp. | Verfahren und Gerät zum Polieren eines Werkstückes |
JP2001191246A (ja) * | 2000-01-06 | 2001-07-17 | Nec Corp | 平面研磨装置および平面研磨方法 |
JP2002208575A (ja) | 2001-01-10 | 2002-07-26 | Sony Corp | 半導体研磨装置 |
JP2003151934A (ja) | 2001-11-15 | 2003-05-23 | Seiko Epson Corp | Cmp装置及びcmp用研磨パッドの調整方法 |
US7544113B1 (en) * | 2003-05-29 | 2009-06-09 | Tbw Industries, Inc. | Apparatus for controlling the forces applied to a vacuum-assisted pad conditioning system |
JP4845366B2 (ja) | 2004-10-21 | 2011-12-28 | 三菱樹脂株式会社 | 熱収縮性空孔含有フィルム |
US8398466B2 (en) * | 2006-11-16 | 2013-03-19 | Chien-Min Sung | CMP pad conditioners with mosaic abrasive segments and associated methods |
JP5219334B2 (ja) | 2005-11-30 | 2013-06-26 | 株式会社Sumco | 半導体基板の製造方法および品質評価方法 |
US7510463B2 (en) * | 2006-06-07 | 2009-03-31 | International Business Machines Corporation | Extended life conditioning disk |
US7597608B2 (en) * | 2006-10-30 | 2009-10-06 | Applied Materials, Inc. | Pad conditioning device with flexible media mount |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0615563A (ja) * | 1992-07-01 | 1994-01-25 | Fujikoshi Mach Corp | ウェーハ加圧用ポリッシングプレート及びウェーハのポリッシング方法 |
JP2000024915A (ja) * | 1998-07-09 | 2000-01-25 | Mitsubishi Materials Silicon Corp | 半導体ウェーハの研磨装置 |
JP2000326205A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-28 | Mitsubishi Materials Silicon Corp | 研磨布のドレッシング治具 |
JP2005005388A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 半導体ウェーハ研磨装置における研磨クロス研削装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012073317A1 (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-07 | 株式会社エフエーサービス | 再生半導体ウエハの製造方法 |
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