JP2010107343A - 分流式流量計及び流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主流路11、及び主流路11に通じる一対の分流孔4a, 4bが設けられた主流路保持体10と、一対の分流孔4a, 4bを介して主流路11と連通する分流路25が設けられた、主流路保持体10に着脱可能な分流路保持体30と、主流路11及び一対の分流孔4a, 4bの流路抵抗に依存する分流路25と主流路11との分流比に関する情報を識別するための、主流路保持体10に設けられた識別部と、分流路25を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ8と、識別部から読み出された分流比に関する情報を保存するための、分流路保持体30に固定された第1の分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出回路301と、を備える。
【選択図】図1
Description
第1の実施の形態に係る分流式流量計は、断面図である図1に示すように、主流路11、及び主流路11に通じる一対の分流孔4a, 4bが設けられた主流路保持体10と、一対の分流孔4a, 4bの間の主流路11内に配置された差圧発生構造12と、一対の分流孔4a, 4bを介して主流路11と連通する分流路25が設けられた、主流路保持体10に着脱可能な分流路保持体30とを備える。主流路保持体10の側面には、主流路11及び一対の分流孔4a, 4bの流路抵抗に少なくとも依存する分流路25と主流路11との分流比に関する情報を識別するための、図2に示す識別部15が設けられている。図1に示す主流路11の流路抵抗は、例えば、差圧発生構造12が配置された主流路11の断面積に依存する。また、一対の分流孔4a, 4bの流路抵抗は、例えば、一対の分流孔4a, 4bのそれぞれの断面積に依存する。
第2の実施の形態に係る分流式流量計は、図10に示すように、揮発性の第1の分流比記憶装置400に加えて、不揮発性の第2の分流比記憶装置401をさらに備える。不揮発性の第2の分流比記憶装置401にも、図9に示すように、読取装置115で読み取られた分流比に関する情報が、入力装置251を介して、入力される。不揮発性の第2の分流比記憶装置401には、EEPROM等が使用可能である。第2の実施の形態に係る分流式流量計のその他の構成要素は、第1の実施の形態に係る分流式流量計と同様であるので、説明は省略する。
第1の実施の形態においては、図6に示す識別部15に、分流比に関する情報として、分流比の値そのものが記録されている場合を説明した。これに対し、第3の実施の形態に係る識別部15には、分流比に関する情報として、主流路保持体10の識別番号や製品番号が記録されていてもよい。この場合、図11に示すように、識別部15に記録されている識別番号又は製品番号等が読取装置115で読み取られ、照合部116に転送される。照合部116は、識別番号又は製品番号に対応する分流比の値の対照表等を保持している。識別番号又は製品番号を受信した照合部116は、対照表を参照して、対応する分流比の値を抽出する。さらに照合部116は、抽出した分流比の値を、入力装置251に伝送し、抽出した分流比の値は、図1に示す第1の分流比記憶装置400に保存される。
第4の実施の形態に係る分流式流量計は、図12に示すように、CPU300が照合部303をさらに備え、CPU300に照合情報記憶装置403が接続されている。第4の実施の形態においては、図6に示す識別部15に、分流比に関する情報として、主流路保持体10の識別番号や製品番号が記録されている。図6及び図9に示すように、識別部15に記録されている識別番号又は製品番号等は、読取装置115で読み取られ、図12に示す入力装置251を介してCPU300に入力される。照合情報記憶装置403は、識別番号又は製品番号に対応する分流比の値の対照表等を保存している。照合部303は、照合情報記憶装置403に保存されている対照表を参照して、CPU300が受信した識別番号又は製品番号に対応する分流比の値を抽出し、抽出した分流比の値を第1の分流比記憶装置400に保存する。第4の実施の形態に係る分流式流量計のその他の構成要素は、第1の実施の形態に係る分流式流量計と同様であるので、説明は省略する。第4の実施の形態に係る分流式流量計においても、分流比の値そのものを主流路保持体10上の識別部15に登録する手間を省略することが可能になる。
第5の実施の形態に係る流量制御装置は、図13に示すように、分流式流量計50、分流式流量計50の排出口14に接続された流路99、及び流路99に接続され、流体の流量を制御する制御弁41を備える。制御弁41は、例えばソレノイド弁である。制御弁41は、流路43及び流路44と、流路43及び流路44を連通する弁室45が設けられた弁座42、弁室45に収納され、流路44を開閉する弁体46、弁体46に連結された磁性体のプランジャ47、及び通電されてプランジャ47を上下させるソレノイドコイル48を備える。
上記のように本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、分流式流量計は、図1に示す算出回路301が第1の分流比記憶装置400から読み出した分流比に関する情報、及び算出回路301が算出した主流路11を流れる流体の流量を、外部のパーソナルコンピュータ等に送信する送信装置を備えていてもよい。また、図10に示す第2の分流比記憶装置401は、分流路保持体30から着脱可能であってもよい。着脱可能にすることにより、第2の分流比記憶装置401に保持されている情報を、外部の機器で読み出すことが可能となる。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲の発明特定事項によってのみ限定されるものである。
8・・・流れセンサ
10・・・主流路保持体
11・・・主流路
12・・・差圧発生構造
13・・・注入口
14・・・排出口
15・・・識別部
16・・・凹部
25・・・分流路
30・・・分流路保持体
35・・・表示装置
41・・・制御弁
42・・・弁座
43, 44・・・流路
45・・・弁室
46・・・弁体
47・・・プランジャ
48・・・ソレノイドコイル
50・・・分流式流量計
60・・・基板
61・・・ヒータ
62・・・上流側測温抵抗素子
63・・・下流側測温抵抗素子
64・・・周囲温度センサ
65・・・絶縁膜
66・・・キャビティ
115・・・読取装置
116, 303・・・照合部
251・・・入力装置
300・・・CPU
301・・・算出回路
305・・・コントローラ
400・・・第1の分流比記憶装置
401・・・第2の分流比記憶装置
403・・・照合情報記憶装置
Claims (19)
- 主流路、及び前記主流路に通じる一対の分流孔が設けられた主流路保持体と、
前記一対の分流孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた、前記主流路保持体に着脱可能な分流路保持体と、
前記主流路及び前記一対の分流孔の流路抵抗に少なくとも依存する、前記分流路と前記主流路との分流比に関する情報を識別するための、前記主流路保持体に設けられた識別部と、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記識別部から読み出された前記分流比に関する情報を保存するための、前記分流路保持体に固定された分流比記憶装置と、
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出回路と、
を備えることを特徴とする分流式流量計。 - 前記一対の分流孔の流路抵抗が、前記一対の分流孔のそれぞれの断面積に少なくとも依存することを特徴とする請求項1に記載の分流式流量計。
- 前記主流路内の前記一対の分流孔の間の位置に配置された差圧発生構造を更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の分流式流量計。
- 前記主流路の流路抵抗が、前記差圧発生構造が配置された前記主流路の断面積に少なくとも依存することを特徴とする請求項3に記載の分流式流量計。
- 前記識別部から前記分流比に関する情報を読み取る読取装置を更に備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の分流式流量計。
- 前記分流比記憶装置に前記分流比に関する情報を入力するための入力装置を更に備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の分流式流量計。
- 前記分流比に関する情報が、分流比の値であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の分流式流量計。
- 前記分流比に関する情報に対応する分流比の値を照合する照合部を更に備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の分流式流量計。
- 前記分流比に関する情報が光学的に識別されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の分流式流量計。
- 前記分流比に関する情報が電波で識別されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の分流式流量計。
- 前記分流比記憶装置が揮発性記憶装置であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の分流式流量計。
- 前記分流比記憶装置が不揮発性記憶装置であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の分流式流量計。
- 前記分流比に関する情報を表示する表示装置を更に備えることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の分流式流量計。
- 前記分流比に関する情報を送信するための送信装置を更に備えることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の分流式流量計。
- 前記分流比記憶装置が、前記分流路保持体に着脱可能に固定されていることを特徴とする請求項12に記載の分流式流量計。
- 主流路、及び前記主流路に通じる一対の分流孔が設けられた主流路保持体と、
前記一対の分流孔を介して前記主流路と連通する分流路が設けられた、前記主流路保持体に着脱可能な分流路保持体と、
前記主流路及び前記一対の分流孔の流路抵抗に少なくとも依存する、前記分流路と前記主流路との分流比に関する情報を識別するための、前記主流路保持体に設けられた識別部と、
前記分流路を流れる流体の流量を検出するための流れセンサと、
前記識別部から読み出された前記分流比に関する情報を保存するための、前記分流路保持体に固定された分流比記憶装置と、
前記分流路を流れる流体の流量、及び前記分流比に関する情報に基づいて、前記主流路を流れる流体の流量を算出する算出回路と、
前記主流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を駆動し、前記主流路を流れる流体の流量を調節するコントローラと、
を備えることを特徴とする流量制御装置。 - 前記一対の分流孔の流路抵抗が、前記一対の分流孔のそれぞれの断面積に少なくとも依存することを特徴とする請求項16に記載の流量制御装置。
- 前記主流路内の前記一対の分流孔の間の位置に配置された差圧発生構造を更に備えることを特徴とする請求項16又は17に記載の流量制御装置。
- 前記主流路の流路抵抗が、前記差圧発生構造が配置された前記主流路の断面積に少なくとも依存することを特徴とする請求項18に記載の流量制御装置。
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JP2008279363A JP5103353B2 (ja) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | 分流式流量計及び流量制御装置 |
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JPH0943016A (ja) * | 1995-08-02 | 1997-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流量計測装置 |
JP2001208577A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-08-03 | Osaka Gas Co Ltd | ガスメータ |
JP2004355045A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-16 | Ckd Corp | 流量制御装置 |
JP2005233796A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Keyence Corp | 分流式流量センサ装置 |
JP2007071695A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Aichi Tokei Denki Co Ltd | 電磁流量計 |
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2008
- 2008-10-30 JP JP2008279363A patent/JP5103353B2/ja active Active
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JPH0943016A (ja) * | 1995-08-02 | 1997-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流量計測装置 |
JP2001208577A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-08-03 | Osaka Gas Co Ltd | ガスメータ |
JP2004355045A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-16 | Ckd Corp | 流量制御装置 |
JP2005233796A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Keyence Corp | 分流式流量センサ装置 |
JP2007071695A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Aichi Tokei Denki Co Ltd | 電磁流量計 |
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