JP2001153844A

JP2001153844A - 濃度計及び混合装置

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Publication number: JP2001153844A
Application number: JP34083599A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Tsunokake; 泰洋角掛; Tatsuya Funahashi; 達也舟橋; Hiroshi Nakabachi; 博中鉢; Hajime Tsuji; 元辻
Original assignee: T & C Technical Kk; Tokico Ltd
Current assignee: T & C Technical Kk; Tokico Ltd
Priority date: 1999-11-30
Filing date: 1999-11-30
Publication date: 2001-06-08

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明はセンサ部が薬液に接触して腐蝕する
ことを防止することを課題とする。【解決手段】濃度計４６は、供給タンク１３で混合さ
れた薬液が供給される流路４７に導電率計測手段として
の導電率センサ４８を取り付けてなる。流路４７は、耐
薬品性を有する合成樹脂材（例えばＰＦＡ）により一体
成型されている。流路４７は、薬液が流入する流入口４
９を有する第１の管路５０と、第１の管路５０と平行に
延在形成され、一端に薬液が流出する流出口５３を有す
る第２の管路５４と、第１の管路５０の他端と交差して
第２の管路５４の流出口側とを連通する第１の連通管路
５５と、第２の管路５４の他端と交差して第１の管路５
０の流入口側とを連通する第２の連通管路５６とを有す
る。導電率センサ４８は、薬液が流れる第１の管路５０
の外側に設けられているので、薬液に接液せずに濃度検
出を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は濃度計に係り、特に
酸、アルカリ等の腐蝕性の液体の濃度を非接触で計測す
る濃度計に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造装置等に供給される
薬液（例えばフッ化水素酸：ＨＦ）と純水を混合する混
合装置においては、混合薬液の濃度を測定する測定手段
として薬液の導電率を計測する電磁誘導式の導電率計測
手段を用いている。図４は従来の導電率計測手段の一例
を示す図である。

【０００３】図４に示されるように、従来の導電率計測
手段は、一対の環状ソレノイド１，２を同一のケース８
（図中、一点鎖線で示す）内に設けてなる電磁誘導式の
濃度計３を用いて薬液の導電率を計測する。一方の環状
ソレノイド１は交流電流が供給される励磁変圧器であ
り、他方の環状ソレノイド２は薬液の導電率を検出する
検出変圧器である。

【０００４】濃度計３を試料溶液としての薬液（例えば
フッ化水素酸：ＨＦ）が貯溜された容器（図示せず）の
液中に浸漬することにより、薬液が２つの環状ソレノイ
ド１，２に対して、その各々と閉回路を構成する。そし
て、一方の環状ソレノイド１のコイル４に一定の交流電
流を流すと、環状のコア６に一定の磁界が発生し、薬液
中の導電率に応じた電流ｉが流れる。そのため、他方の
環状ソレノイド２には、電流ｉに応じた磁界が発生し、
環状ソレノイド２のコイル５には、誘導起電力ｅが発生
する。

【０００５】そして、環状ソレノイド２のコイル５に生
じた起電力ｅは、薬液の誘電率に比例した値になる。こ
のように測定された誘電率は、薬液濃度と極めて高い相
関関係にあり、予め得られた検量線データに基づいて薬
液の濃度を求めることができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成とされた従来の濃度計では、センサ部分とな
る環状ソレノイド１，２が薬液に接液するため、腐蝕性
薬液の濃度を測定するには、環状ソレノイド１，２を耐
薬品性の合成樹脂材により樹脂モールドする必要があ
る。このため、容器内で薬液と純水とを混合させるた
め、混合液の濃度にムラがあって薬液の誘電率が変化し
た場合、容器で混合された薬液の量によって瞬時に誘電
率変化に対応できないといった問題がある。

【０００７】また、環状ソレノイド１，２を耐薬品性の
合成樹脂材により樹脂モールドする構成とした場合、樹
脂モールドの厚さを均一にすることが難しいので、樹脂
モールドの薄い部分から薬液が徐々に浸透し、経年変化
により環状ソレノイド１，２が腐蝕して計測不能になる
可能性がある。そこで、本発明は上記課題を解決した濃
度計及び混合装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項１
記載の発明は、液体の導電率を計測する電磁誘導式の導
電率計測手段を有し、導電率計測手段により計測された
導電率から液体の濃度を求める濃度計において、前記液
体が流れる流路に、互いに平行に配され、相互に連通さ
れた樹脂製の第１、第２の管路を設け、前記導電率計測
手段を前記第１の管路または第２の管路の外周に設けた
ことを特徴とするものである。

【０００９】従って、請求項１記載の発明によれば、合
成樹脂材により形成された第１、第２の管路を流れる液
体の誘電率を非接触で計測できるので、第１、第２の管
路の厚さを均一にでき、経年変化により液体が浸透する
ことを防止して導電率計測手段が液体により腐蝕するこ
とを防止できる。そのため、センサ寿命を延ばすことが
できると共に、濃度検出の信頼性をより高めることがで
きる。

【００１０】また、請求項２記載の発明は、液体の導電
率を計測する電磁誘導式の導電率計測手段を有し、導電
率計測手段により計測された導電率から液体の濃度を求
める濃度計において、一端に液体が流入する流入口を有
する第１の管路と、該第１の管路と平行に延在形成さ
れ、一端に液体が流出する流出口を有する第２の管路
と、前記第１の管路の他端と交差して前記第２の管路の
流出口側とを連通する第１の連通管路と、前記第２の管
路の他端と交差して前記第１の管路の流入口側とを連通
する第２の連通管路と、を有し、前記導電率計測手段を
前記第１の管路または第２の連通管路の外周に設けたこ
とを特徴とするものである。

【００１１】従って、請求項２記載の発明によれば、第
１、第２の管路と第１、第２の連通管路とを交差させて
第１の管路へ流入する液体を第２の管路、第２の連通管
路と第１の連通管路とに分流させることができ、液体中
に混入した気泡を非計測側の第２の管路へ導くことがで
き、計測精度を高めることができる。また、請求項３記
載の発明は、成分の異なる液体を所定の比率でタンクに
て混合させる混合装置において、前記タンクで混合され
た混合液が流出される下流側管路に前記混合液の導電率
から濃度を測定する濃度計と、当該濃度計からの濃度情
報に基づいて前記所定の比率になるように前記成分の異
なる液体のタンクへの供給を制御する制御手段と、を設
け、前記濃度計は、前記液体が流れる流路に、互いに平
行に配され、相互に連通された樹脂製の第１、第２の管
路を設け、前記導電率計測手段を前記第１の管路または
第２の管路の外周に設けたことを特徴とするものであ
る。

【００１２】従って、請求項３記載の発明によれば、タ
ンクで混合された混合液が流出される下流側管路に混合
液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当該濃度計か
らの濃度情報に基づいて所定の比率になるように成分の
異なる液体のタンクへの供給を制御する制御手段と、を
設け、この濃度計が合成樹脂材により形成された第１、
第２の管路を流れる液体の誘電率を非接触で計測できる
ので、経年変化により液体が浸透することを防止して液
体により腐蝕することを防止できる。そのため、精度の
高い濃度管理が可能となると共に、混合装置から腐蝕に
より汚れた混合液を流出させることが防止できるので、
混合装置の信頼性をより高めることができる。

【００１３】また、請求項４記載の発明は、成分の異な
る液体を所定の比率でタンクにて混合させる混合装置に
おいて、前記タンクで混合された混合液が流出される下
流側管路に前記混合液の導電率から濃度を測定する濃度
計と、当該濃度計からの濃度情報に基づいて前記所定の
比率になるように前記成分の異なる液体のタンクへの供
給を制御する制御手段と、を設け、前記濃度計は、一端
に液体が流入する流入口を有する第１の管路と、該第１
の管路と平行に延在形成され、一端に液体が流出する流
出口を有する第２の管路と、前記第１の管路の他端と交
差して前記第２の管路の流出口側とを連通する第１の連
通管路と、前記第２の管路の他端と交差して前記第１の
管路の流入口側とを連通する第２の連通管路と、を有
し、前記導電率計測手段を前記第１の管路または第２の
連通管路の外周に設けたことを特徴とするものである。

【００１４】従って、請求項４記載の発明によれば、タ
ンクで混合された混合液が流出される下流側管路に混合
液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当該濃度計か
らの濃度情報に基づいて所定の比率になるように成分の
異なる液体のタンクへの供給を制御する制御手段と、を
設け、この濃度計が第１、第２の管路と第１、第２の連
通管路とを交差させて第１の管路へ流入する液体を第２
の管路、第２の連通管路と第１の連通管路とに分流させ
ることができ、液体中に混入した気泡を非計測側の第２
の管路へ導くことができる。そのため、制御手段は、気
泡が混入していない混合液の濃度情報に基づいて濃度管
理を行えるので、混合装置の濃度管理の精度を高めるこ
とができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の一実施
例について説明する。図１は本発明になる濃度計の一実
施例が適用された混合装置の構成図である。図１に示さ
れるように、混合装置１０は、ＨＦタンク１１に貯留さ
れた５０％フッ化水素酸と、純水製造装置２１により生
成された純水とを供給タンク１３に補充して所定の割合
で混合し、供給タンク１３において混合された混合液を
供給タンク１３の下流側に設置された半導体製造装置４
５に供給するように構成されている。尚、フッ化水素酸
は、フッ化水素（hydrogen fluoride ）の水溶液であ
り、以下「薬液」と記す。

【００１６】ＨＦタンク１１に貯留された薬液は、ＨＦ
補充路１２を介して供給タンク１３に補充される。この
ＨＦ補充路１２の接液部の材質は、耐薬品性に優れ、極
めて不純物の溶出の少ないフッ素樹脂、例えばＰＦＡ
（バーフロロアルコキシ共重合体）などにより構成され
る。１４はＨＦ計量用超音波渦流量計であり、ＨＦ補充
路１２を送液される薬液の流量を計測する。また、ＨＦ
計量用超音波渦流量計１４の接液部は、上記ＰＦＡによ
り形成されている。

【００１７】ＨＦ計量用超音波渦流量計１４の下流側に
は、流量調整機構付のＨＦ補充用エア駆動弁１５が設け
られている。このＨＦ補充用エア駆動弁１５を駆動する
圧縮空気は、エア供給路１６より約０．５〜０．７ＭＰ
ａ範囲内の圧力で流入し、減圧弁１７により０．３ＭＰ
ａまで減圧される。また、エア供給路１６から供給され
る圧縮空気は、三方電磁弁１８の切替え動作によりＨＦ
補充用エア駆動弁１５へ供給される。

【００１８】制御部１９は、ＨＦ計量用超音波渦流量計
１４及び三方電磁弁１８と接続されており、ＨＦ計量用
超音波渦流量計１４から出力される流量パルスを計数
し、そのパルス数に応じて三方電磁弁１８の吐出側流路
を排気路２０側または管路１６ｃ側に切替え制御を行っ
ている。また、三方電磁弁１８の吐出側流路が管路１６
ｃ側に切替えられると、ＨＦ補充用エア駆動弁１５は開
弁し、三方電磁弁１８の吐出側流路が排気路２０側に切
替えられると、ＨＦ補充用エア駆動弁１５は閉弁する。
そして、ＨＦ補充用エア駆動弁１５は、ＨＦ補充用管路
１２ｃを介して供給タンク１３と連通されている。

【００１９】純水製造装置２１により生成された純水
は、純水補充路２２を介して供給タンク１３に補充され
る。また、純水補充路２２には、純水計量用超音波渦流
量計２３と流量調整機構付の純水補充用エア駆動弁２４
が配設されている。この純水補充用エア駆動弁２４を駆
動する圧縮空気は、エア供給路２５より約０．５〜０．
７ＭＰａ範囲内の圧力で流入し、減圧弁２６により０．
３ＭＰａまで減圧される。

【００２０】また、エア供給路２５から供給される圧縮
空気は、三方電磁弁２７の切替え動作により純水補充用
エア駆動弁２４へ供給される。制御部１９は、純水計量
用超音波渦流量計２３及び三方電磁弁２７と接続されて
おり、純水計量用超音波渦流量計２３から出力される流
量パルスを計数し、そのパルス数に応じて三方電磁弁２
７の吐出側流路を排気路２８側または管路２５ｃ側に切
替え制御を行っている。

【００２１】また、三方電磁弁２７の吐出側流路が管路
２５ｃ側に切替えられると、純水補充用エア駆動弁２４
は開弁し、三方電磁弁２７の吐出側流路が排気路２８側
に切替えられると、純水補充用エア駆動弁２４は閉弁す
る。そして、純水補充用エア駆動弁２４は、純水補充用
管路２２ｃを介して供給タンク１３と連通されている。

【００２２】供給タンク１３では、上記ＨＦ補充用エア
駆動弁１５の開弁により薬液が補充されると共に、上記
純水補充用エア駆動弁２４の開弁により純水が補充さ
れ、薬液と純水が所定の割合で混合された混合液が生成
される。また、供給タンク１３には、混合液の液面を監
視する第１、第２液面センサ３６，３７が挿入されてい
る。第１液面センサ３６は、混合液の上限位置を検知す
るレベルゲージであり、第２液面センサ３７は、混合液
の下限位置を検知するレベルゲージである。

【００２３】供給タンク１３内で混合された混合液（薬
液）は、薬液供給ポンプ３３により圧送されて供給管路
３４を介して半導体製造装置４５へ送液される。また、
供給管路３４には、供給タンク１３から吐出された混合
液（薬液）が供給管路３４を流れる過程で混合液（薬
液）の導電率を計測して濃度を求める電磁誘導式の濃度
計４６が配設されている。この濃度計４６で求められた
濃度情報は、制御部１９に出力されるようになってお
り、制御部１９は、当該濃度情報に基づいて設定されて
いる混合液濃度となるように各弁を制御する。

【００２４】薬液供給ポンプ３３の下流側には、流量調
整機構付きの薬液供給用エア駆動弁３５が設けられてい
る。また、薬液供給ポンプ３３と薬液供給用エア駆動弁
３５との間の管路３４からは攪拌用リターン管路５２が
分岐し、薬液供給ポンプ３３から吐出された混合液（薬
液）の一部を供給タンク１３へ還流させることにより供
給タンク１３内の混合液を攪拌して濃度を均一にしてい
る。

【００２５】また、供給タンク１３と半導体製造装置４
５との間には、半導体製造装置４５で余った余剰混合液
を供給タンク１３へ戻す回収管路６０が連通されてい
る。そのため、供給タンク１３では、ＨＦ補充用管路１
２ｃから補充される薬液と、純水補充用管路２２ｃから
補充される純水と、攪拌用リターン管路５２から還流さ
れた混合液と、回収管路６０から回収された混合液とが
混合される。

【００２６】また、制御部１９は、ＬＥＤ表示付きの係
数設定器（図示せず）が付随しており、薬液の混合比等
の諸条件の設定や装置の運転状態等の表示を行うように
なっている。次に本発明の要部を構成する濃度計４６の
構成について説明する。図２は濃度計４６の概略構成を
示す構成図である。

【００２７】図２に示されるように、濃度計４６は、供
給タンク１３で混合された薬液が供給される流路４７に
導電率計測手段としての導電率センサ４８を取り付けて
なる。流路４７は、耐薬品性を有する合成樹脂材（例え
ばＰＦＡ：バーフロロアルコキシ共重合体）により一体
成型されている。流路４７は、薬液が流入する流入口４
９を有する第１の管路５０と、第１の管路５０と平行に
延在形成され、一端に薬液が流出する流出口５３を有す
る第２の管路５４と、第１の管路５０の他端と交差して
第２の管路５４の流出口側とを連通する第１の連通管路
５５と、第２の管路５４の他端と交差して第１の管路５
０の流入口側とを連通する第２の連通管路５６とを有す
る。

【００２８】そして、濃度計４６では、導電率センサ４
８が第１、第２の連通管路５５，５６に挟まれた第１の
管路５０の外周を囲むように設けられている。また、導
電率センサ４８は、一対の環状ソレノイド４８ａ，４８
ｂが合成樹脂材によりモールドされている。すなわち、
環状ソレノイド４８ａ，４８ｂの中空部分には、第１の
管路５０が貫通されている。

【００２９】このように、導電率センサ４８は、薬液が
流れる第１の管路５０の外側に設けられているので、薬
液に接液せずに濃度検出を行うことができ、薬液により
腐蝕することが防止されている。また、第１の管路５０
の肉厚は、樹脂モールドする場合よりも厚くできるの
で、薬液が導電率センサ４８まで浸透しにくく濃度計と
して高寿命化を図ることができる。

【００３０】従って、導電率センサ４８は、供給タンク
１３内に挿入されるのでなく、流路４７を流れる薬液の
濃度を検出するため、２液混合による誘電率の変化が抑
制され、安定的に濃度検出が行える。導電率センサ４８
は、演算部５７に接続されており、演算部５７へは導電
率センサ４８から出力される微弱電圧に対応する薬液濃
度テーブルが予め入力されている。そのため、導電率セ
ンサ４８により検出された検出信号（電圧）に応じた薬
液の濃度を求めることができる。

【００３１】ここで、薬液が流路４７を流れるときの動
作について説明する。流入口４９に流入した薬液は、第
１の連通管路５５内で第１の管路５０と第２の管路５４
とに分流する。第１の連通管路５５内に流入した薬液の
電解質の濃度に応じて導電率センサ４８の環状ソレノイ
ド４８ａ，４８ｂに磁界、誘導起電力が生じる。

【００３２】また、本実施例では、導電率センサ４８か
ら生じる磁界を増幅するため、第１の管路５０と第２の
管路５４とが平行に延在形成され、できるだけ接近して
設けられている。これにより、導電率センサ４８で生じ
る誘導起電力が増幅されて感度が上がっている。そし
て、演算部５７においては、導電率センサ４８からの出
力値と薬液濃度テーブルとの関係から薬液濃度を演算
し、算出された薬液濃度の値をデジタル表示したり、計
測濃度に応じた信号を外部に出力する。

【００３３】また、第１の管路５０及び第２の管路５４
を通過した薬液は、第２の連通管路５６で合流し、流出
口５３から半導体製造装置４５へ供給される。さらに、
本実施例の流路４７は、第１、２の管路５０，５４及び
第１、第２の連通管路５５，５６が四角形の各四辺を形
成するように組み合わされているので、流入口４９及び
流出口５３は偏心した位置で延在形成されており、且つ
異なる高さ位置に設けられている。

【００３４】従って、流入口４９から第１の連通管路５
５に流入した薬液が第１の管路５０と第２の管路５４と
に分流して圧力Ｐ₁が低下するのに対し、第１の管路５
０の下流側では第２の連通管路５６が障壁となって圧力
Ｐ₂が上昇してＰ₁＜Ｐ₂となる。そのため、薬液中に
混入した気泡は、流入口４９から第１の連通管路５５に
流入した後、圧力の低い下方へ流れて２の管路５４を通
過して流出口５３へ至る。これにより、導電率センサ４
８が設けられた第１の管路５０を流れる薬液中に気泡が
混入せず、濃度計測精度が高められている。

【００３５】図３は濃度計４６の変形例を示す図であ
り、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は縦断面図、（Ｃ）は流
出側からみた側面図である。図３（Ａ）〜（Ｃ）に示さ
れるように、導電率センサ４８は、第２の連通管路５６
の外周を囲むように設けられている。第２の連通管路５
６では、上記第１の管路５０と同様に気泡の混入が防止
されているので、導電率センサ４８の濃度検出精度が安
定している。

【００３６】また、濃度計４６は、磁性材により形成さ
れたシールドケース６２内に収納されている。そのた
め、導電率センサ４８は、シールドケース６２によって
外部磁界が遮断されているので、外部からの磁界の影響
を受けることなく第２の連通管路５６を流れる薬液の濃
度を計測することができる。また、シールドケース６２
には、流入口４９、流出口５３及び導電率センサ４８か
ら引き出されたケーブル６４を保持するブッシュ６６，
６８が嵌合固定されいる。そのため、流入口４９、流出
口５３、ケーブル６４が挿通されてブッシュ６６，６８
の挿通孔６６ａ，６８ａ，６８ｂには、シールドケース
６２内の気密性を維持するためのＯリング６９〜７１が
設けられている。

【００３７】尚、上記実施の形態では、半導体製造装置
４５へ供給される薬液の濃度を計測場合を一例として挙
げたが、これに限らず、他の装置に供給される液体の濃
度を検出するのに用いることができるのは勿論である。
また、上記実施の形態では、導電率センサ４８を用いて
フッ化水素酸に純水を混合した薬液の濃度を検出する構
成の濃度計を一実施例として説明したが、純度の低い水
や他の液体の濃度を検出するときにも適用できるのは言
うまでもない。

【００３８】

【発明の効果】上述の如く、請求項１記載の発明の濃度
計によれば、合成樹脂材により形成された第１、第２の
管路を流れる液体の誘電率を非接触で計測でき、また、
第１、第２の管路の厚さを均一にできるので、経年変化
により液体が浸透することを防止して導電率計測手段が
液体により腐蝕することを防止できる。そのため、セン
サ寿命を延ばすことができると共に、濃度検出の信頼性
をより高めることができる。

【００３９】また、請求項２記載の発明の濃度計によれ
ば、第１、第２の管路と第１、第２の連通管路とを交差
させて第１の管路へ流入する液体を第２の管路、第２の
連通管路と第１の連通管路とに分流させることができ、
液体中に混入した気泡を非計測側の第２の管路へ導くこ
とができ、計測精度を高めることができる。また、請求
項３記載の発明の混合装置によれば、タンクで混合され
た混合液が流出される下流側管路に混合液の導電率から
濃度を測定する濃度計と、当該濃度計からの濃度情報に
基づいて所定の比率になるように成分の異なる液体のタ
ンクへの供給を制御する制御手段と、を設け、この濃度
計が合成樹脂材により形成された第１、第２の管路を流
れる液体の誘電率を非接触で計測できるので、経年変化
により液体が浸透することを防止して液体により腐蝕す
ることを防止できる。そのため、精度の高い濃度管理が
可能となると共に、混合装置から腐蝕により汚れた混合
液を流出させることが防止できるので、混合装置の信頼
性をより高めることができる。

【００４０】また、請求項４記載の発明の混合装置によ
れば、タンクで混合された混合液が流出される下流側管
路に混合液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当該
濃度計からの濃度情報に基づいて所定の比率になるよう
に成分の異なる液体のタンクへの供給を制御する制御手
段と、を設け、この濃度計が第１、第２の管路と第１、
第２の連通管路とを交差させて第１の管路へ流入する液
体を第２の管路、第２の連通管路と第１の連通管路とに
分流させることができ、液体中に混入した気泡を非計測
側の第２の管路へ導くことができる。そのため、制御手
段は、気泡が混入していない混合液の濃度情報に基づい
て濃度管理を行えるので、混合装置の濃度管理の精度を
高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる濃度計の一実施例が適用された混
合装置の構成図である。

【図２】濃度計４６の概略構成を示す構成図である。

【図３】濃度計４６の変形例を示す図であり、（Ａ）は
横断面図、（Ｂ）は縦断面図、（Ｃ）は流出側からみた
側面図である。

【図４】従来の導電率計測手段の一例を示す図である。

【符号の説明】

１０混合装置４６濃度計４７流路４８導電率センサ４９流入口５０第１の管路５３流出口５４第２の管路５５第１の連通管路５６第２の連通管路５７演算部６２シールドケース

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者舟橋達也神奈川県川崎市川崎区富士見１丁目６番３号トキコ株式会社内 (72)発明者中鉢博東京都足立区千住仲町40−12 株式会社ティ・アンド・シー・テクニカル内 (72)発明者辻元東京都足立区千住仲町40−12 株式会社ティ・アンド・シー・テクニカル内Ｆターム(参考） 2G053 AA01 BA05 BC14 CA02 CB13 DB05 3E083 AA20

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液体の導電率を計測する電磁誘導式の導
電率計測手段を有し、導電率計測手段により計測された
導電率から液体の濃度を求める濃度計において、前記液体が流れる流路に、互いに平行に配され、相互に
連通された樹脂製の第１、第２の管路を設け、前記導電率計測手段を前記第１の管路または第２の管路
の外周に設けたことを特徴とする濃度計。
【請求項２】液体の導電率を計測する電磁誘導式の導
電率計測手段を有し、導電率計測手段により計測された
導電率から液体の濃度を求める濃度計において、一端に液体が流入する流入口を有する第１の管路と、該第１の管路と平行に延在形成され、一端に液体が流出
する流出口を有する第２の管路と、前記第１の管路の他端と交差して前記第２の管路の流出
口側とを連通する第１の連通管路と、前記第２の管路の他端と交差して前記第１の管路の流入
口側とを連通する第２の連通管路と、を有し、前記導電率計測手段を前記第１の管路または第２の連通
管路の外周に設けたことを特徴とする濃度計。
【請求項３】成分の異なる液体を所定の比率でタンク
にて混合させる混合装置において、前記タンクで混合された混合液が流出される下流側管路
に前記混合液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当
該濃度計からの濃度情報に基づいて前記所定の比率にな
るように前記成分の異なる液体のタンクへの供給を制御
する制御手段と、を設け、前記濃度計は、前記液体が流れる流路に、互いに平行に配され、相互に
連通された樹脂製の第１、第２の管路を設け、前記導電率計測手段を前記第１の管路または第２の管路
の外周に設けたことを特徴とする混合装置。
【請求項４】成分の異なる液体を所定の比率でタンク
にて混合させる混合装置において、前記タンクで混合された混合液が流出される下流側管路
に前記混合液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当
該濃度計からの濃度情報に基づいて前記所定の比率にな
るように前記成分の異なる液体のタンクへの供給を制御
する制御手段と、を設け、前記濃度計は、一端に液体が流入する流入口を有する第１の管路と、該第１の管路と平行に延在形成され、一端に液体が流出
する流出口を有する第２の管路と、前記第１の管路の他端と交差して前記第２の管路の流出
口側とを連通する第１の連通管路と、前記第２の管路の他端と交差して前記第１の管路の流入
口側とを連通する第２の連通管路と、を有し、前記導電率計測手段を前記第１の管路または第２の連通
管路の外周に設けたことを特徴とする混合装置。