JP2001153844A - 濃度計及び混合装置 - Google Patents
濃度計及び混合装置Info
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- JP2001153844A JP2001153844A JP34083599A JP34083599A JP2001153844A JP 2001153844 A JP2001153844 A JP 2001153844A JP 34083599 A JP34083599 A JP 34083599A JP 34083599 A JP34083599 A JP 34083599A JP 2001153844 A JP2001153844 A JP 2001153844A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明はセンサ部が薬液に接触して腐蝕する
ことを防止することを課題とする。 【解決手段】 濃度計46は、供給タンク13で混合さ
れた薬液が供給される流路47に導電率計測手段として
の導電率センサ48を取り付けてなる。流路47は、耐
薬品性を有する合成樹脂材(例えばPFA)により一体
成型されている。流路47は、薬液が流入する流入口4
9を有する第1の管路50と、第1の管路50と平行に
延在形成され、一端に薬液が流出する流出口53を有す
る第2の管路54と、第1の管路50の他端と交差して
第2の管路54の流出口側とを連通する第1の連通管路
55と、第2の管路54の他端と交差して第1の管路5
0の流入口側とを連通する第2の連通管路56とを有す
る。導電率センサ48は、薬液が流れる第1の管路50
の外側に設けられているので、薬液に接液せずに濃度検
出を行うことができる。
ことを防止することを課題とする。 【解決手段】 濃度計46は、供給タンク13で混合さ
れた薬液が供給される流路47に導電率計測手段として
の導電率センサ48を取り付けてなる。流路47は、耐
薬品性を有する合成樹脂材(例えばPFA)により一体
成型されている。流路47は、薬液が流入する流入口4
9を有する第1の管路50と、第1の管路50と平行に
延在形成され、一端に薬液が流出する流出口53を有す
る第2の管路54と、第1の管路50の他端と交差して
第2の管路54の流出口側とを連通する第1の連通管路
55と、第2の管路54の他端と交差して第1の管路5
0の流入口側とを連通する第2の連通管路56とを有す
る。導電率センサ48は、薬液が流れる第1の管路50
の外側に設けられているので、薬液に接液せずに濃度検
出を行うことができる。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は濃度計に係り、特に
酸、アルカリ等の腐蝕性の液体の濃度を非接触で計測す
る濃度計に関する。
酸、アルカリ等の腐蝕性の液体の濃度を非接触で計測す
る濃度計に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、半導体製造装置等に供給される
薬液(例えばフッ化水素酸:HF)と純水を混合する混
合装置においては、混合薬液の濃度を測定する測定手段
として薬液の導電率を計測する電磁誘導式の導電率計測
手段を用いている。図4は従来の導電率計測手段の一例
を示す図である。
薬液(例えばフッ化水素酸:HF)と純水を混合する混
合装置においては、混合薬液の濃度を測定する測定手段
として薬液の導電率を計測する電磁誘導式の導電率計測
手段を用いている。図4は従来の導電率計測手段の一例
を示す図である。
【0003】図4に示されるように、従来の導電率計測
手段は、一対の環状ソレノイド1,2を同一のケース8
(図中、一点鎖線で示す)内に設けてなる電磁誘導式の
濃度計3を用いて薬液の導電率を計測する。一方の環状
ソレノイド1は交流電流が供給される励磁変圧器であ
り、他方の環状ソレノイド2は薬液の導電率を検出する
検出変圧器である。
手段は、一対の環状ソレノイド1,2を同一のケース8
(図中、一点鎖線で示す)内に設けてなる電磁誘導式の
濃度計3を用いて薬液の導電率を計測する。一方の環状
ソレノイド1は交流電流が供給される励磁変圧器であ
り、他方の環状ソレノイド2は薬液の導電率を検出する
検出変圧器である。
【0004】濃度計3を試料溶液としての薬液(例えば
フッ化水素酸:HF)が貯溜された容器(図示せず)の
液中に浸漬することにより、薬液が2つの環状ソレノイ
ド1,2に対して、その各々と閉回路を構成する。そし
て、一方の環状ソレノイド1のコイル4に一定の交流電
流を流すと、環状のコア6に一定の磁界が発生し、薬液
中の導電率に応じた電流iが流れる。そのため、他方の
環状ソレノイド2には、電流iに応じた磁界が発生し、
環状ソレノイド2のコイル5には、誘導起電力eが発生
する。
フッ化水素酸:HF)が貯溜された容器(図示せず)の
液中に浸漬することにより、薬液が2つの環状ソレノイ
ド1,2に対して、その各々と閉回路を構成する。そし
て、一方の環状ソレノイド1のコイル4に一定の交流電
流を流すと、環状のコア6に一定の磁界が発生し、薬液
中の導電率に応じた電流iが流れる。そのため、他方の
環状ソレノイド2には、電流iに応じた磁界が発生し、
環状ソレノイド2のコイル5には、誘導起電力eが発生
する。
【0005】そして、環状ソレノイド2のコイル5に生
じた起電力eは、薬液の誘電率に比例した値になる。こ
のように測定された誘電率は、薬液濃度と極めて高い相
関関係にあり、予め得られた検量線データに基づいて薬
液の濃度を求めることができる。
じた起電力eは、薬液の誘電率に比例した値になる。こ
のように測定された誘電率は、薬液濃度と極めて高い相
関関係にあり、予め得られた検量線データに基づいて薬
液の濃度を求めることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成とされた従来の濃度計では、センサ部分とな
る環状ソレノイド1,2が薬液に接液するため、腐蝕性
薬液の濃度を測定するには、環状ソレノイド1,2を耐
薬品性の合成樹脂材により樹脂モールドする必要があ
る。このため、容器内で薬液と純水とを混合させるた
め、混合液の濃度にムラがあって薬液の誘電率が変化し
た場合、容器で混合された薬液の量によって瞬時に誘電
率変化に対応できないといった問題がある。
ような構成とされた従来の濃度計では、センサ部分とな
る環状ソレノイド1,2が薬液に接液するため、腐蝕性
薬液の濃度を測定するには、環状ソレノイド1,2を耐
薬品性の合成樹脂材により樹脂モールドする必要があ
る。このため、容器内で薬液と純水とを混合させるた
め、混合液の濃度にムラがあって薬液の誘電率が変化し
た場合、容器で混合された薬液の量によって瞬時に誘電
率変化に対応できないといった問題がある。
【0007】また、環状ソレノイド1,2を耐薬品性の
合成樹脂材により樹脂モールドする構成とした場合、樹
脂モールドの厚さを均一にすることが難しいので、樹脂
モールドの薄い部分から薬液が徐々に浸透し、経年変化
により環状ソレノイド1,2が腐蝕して計測不能になる
可能性がある。そこで、本発明は上記課題を解決した濃
度計及び混合装置を提供することを目的とする。
合成樹脂材により樹脂モールドする構成とした場合、樹
脂モールドの厚さを均一にすることが難しいので、樹脂
モールドの薄い部分から薬液が徐々に浸透し、経年変化
により環状ソレノイド1,2が腐蝕して計測不能になる
可能性がある。そこで、本発明は上記課題を解決した濃
度計及び混合装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項1
記載の発明は、液体の導電率を計測する電磁誘導式の導
電率計測手段を有し、導電率計測手段により計測された
導電率から液体の濃度を求める濃度計において、前記液
体が流れる流路に、互いに平行に配され、相互に連通さ
れた樹脂製の第1、第2の管路を設け、前記導電率計測
手段を前記第1の管路または第2の管路の外周に設けた
ことを特徴とするものである。
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項1
記載の発明は、液体の導電率を計測する電磁誘導式の導
電率計測手段を有し、導電率計測手段により計測された
導電率から液体の濃度を求める濃度計において、前記液
体が流れる流路に、互いに平行に配され、相互に連通さ
れた樹脂製の第1、第2の管路を設け、前記導電率計測
手段を前記第1の管路または第2の管路の外周に設けた
ことを特徴とするものである。
【0009】従って、請求項1記載の発明によれば、合
成樹脂材により形成された第1、第2の管路を流れる液
体の誘電率を非接触で計測できるので、第1、第2の管
路の厚さを均一にでき、経年変化により液体が浸透する
ことを防止して導電率計測手段が液体により腐蝕するこ
とを防止できる。そのため、センサ寿命を延ばすことが
できると共に、濃度検出の信頼性をより高めることがで
きる。
成樹脂材により形成された第1、第2の管路を流れる液
体の誘電率を非接触で計測できるので、第1、第2の管
路の厚さを均一にでき、経年変化により液体が浸透する
ことを防止して導電率計測手段が液体により腐蝕するこ
とを防止できる。そのため、センサ寿命を延ばすことが
できると共に、濃度検出の信頼性をより高めることがで
きる。
【0010】また、請求項2記載の発明は、液体の導電
率を計測する電磁誘導式の導電率計測手段を有し、導電
率計測手段により計測された導電率から液体の濃度を求
める濃度計において、一端に液体が流入する流入口を有
する第1の管路と、該第1の管路と平行に延在形成さ
れ、一端に液体が流出する流出口を有する第2の管路
と、前記第1の管路の他端と交差して前記第2の管路の
流出口側とを連通する第1の連通管路と、前記第2の管
路の他端と交差して前記第1の管路の流入口側とを連通
する第2の連通管路と、を有し、前記導電率計測手段を
前記第1の管路または第2の連通管路の外周に設けたこ
とを特徴とするものである。
率を計測する電磁誘導式の導電率計測手段を有し、導電
率計測手段により計測された導電率から液体の濃度を求
める濃度計において、一端に液体が流入する流入口を有
する第1の管路と、該第1の管路と平行に延在形成さ
れ、一端に液体が流出する流出口を有する第2の管路
と、前記第1の管路の他端と交差して前記第2の管路の
流出口側とを連通する第1の連通管路と、前記第2の管
路の他端と交差して前記第1の管路の流入口側とを連通
する第2の連通管路と、を有し、前記導電率計測手段を
前記第1の管路または第2の連通管路の外周に設けたこ
とを特徴とするものである。
【0011】従って、請求項2記載の発明によれば、第
1、第2の管路と第1、第2の連通管路とを交差させて
第1の管路へ流入する液体を第2の管路、第2の連通管
路と第1の連通管路とに分流させることができ、液体中
に混入した気泡を非計測側の第2の管路へ導くことがで
き、計測精度を高めることができる。また、請求項3記
載の発明は、成分の異なる液体を所定の比率でタンクに
て混合させる混合装置において、前記タンクで混合され
た混合液が流出される下流側管路に前記混合液の導電率
から濃度を測定する濃度計と、当該濃度計からの濃度情
報に基づいて前記所定の比率になるように前記成分の異
なる液体のタンクへの供給を制御する制御手段と、を設
け、前記濃度計は、前記液体が流れる流路に、互いに平
行に配され、相互に連通された樹脂製の第1、第2の管
路を設け、前記導電率計測手段を前記第1の管路または
第2の管路の外周に設けたことを特徴とするものであ
る。
1、第2の管路と第1、第2の連通管路とを交差させて
第1の管路へ流入する液体を第2の管路、第2の連通管
路と第1の連通管路とに分流させることができ、液体中
に混入した気泡を非計測側の第2の管路へ導くことがで
き、計測精度を高めることができる。また、請求項3記
載の発明は、成分の異なる液体を所定の比率でタンクに
て混合させる混合装置において、前記タンクで混合され
た混合液が流出される下流側管路に前記混合液の導電率
から濃度を測定する濃度計と、当該濃度計からの濃度情
報に基づいて前記所定の比率になるように前記成分の異
なる液体のタンクへの供給を制御する制御手段と、を設
け、前記濃度計は、前記液体が流れる流路に、互いに平
行に配され、相互に連通された樹脂製の第1、第2の管
路を設け、前記導電率計測手段を前記第1の管路または
第2の管路の外周に設けたことを特徴とするものであ
る。
【0012】従って、請求項3記載の発明によれば、タ
ンクで混合された混合液が流出される下流側管路に混合
液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当該濃度計か
らの濃度情報に基づいて所定の比率になるように成分の
異なる液体のタンクへの供給を制御する制御手段と、を
設け、この濃度計が合成樹脂材により形成された第1、
第2の管路を流れる液体の誘電率を非接触で計測できる
ので、経年変化により液体が浸透することを防止して液
体により腐蝕することを防止できる。そのため、精度の
高い濃度管理が可能となると共に、混合装置から腐蝕に
より汚れた混合液を流出させることが防止できるので、
混合装置の信頼性をより高めることができる。
ンクで混合された混合液が流出される下流側管路に混合
液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当該濃度計か
らの濃度情報に基づいて所定の比率になるように成分の
異なる液体のタンクへの供給を制御する制御手段と、を
設け、この濃度計が合成樹脂材により形成された第1、
第2の管路を流れる液体の誘電率を非接触で計測できる
ので、経年変化により液体が浸透することを防止して液
体により腐蝕することを防止できる。そのため、精度の
高い濃度管理が可能となると共に、混合装置から腐蝕に
より汚れた混合液を流出させることが防止できるので、
混合装置の信頼性をより高めることができる。
【0013】また、請求項4記載の発明は、成分の異な
る液体を所定の比率でタンクにて混合させる混合装置に
おいて、前記タンクで混合された混合液が流出される下
流側管路に前記混合液の導電率から濃度を測定する濃度
計と、当該濃度計からの濃度情報に基づいて前記所定の
比率になるように前記成分の異なる液体のタンクへの供
給を制御する制御手段と、を設け、前記濃度計は、一端
に液体が流入する流入口を有する第1の管路と、該第1
の管路と平行に延在形成され、一端に液体が流出する流
出口を有する第2の管路と、前記第1の管路の他端と交
差して前記第2の管路の流出口側とを連通する第1の連
通管路と、前記第2の管路の他端と交差して前記第1の
管路の流入口側とを連通する第2の連通管路と、を有
し、前記導電率計測手段を前記第1の管路または第2の
連通管路の外周に設けたことを特徴とするものである。
る液体を所定の比率でタンクにて混合させる混合装置に
おいて、前記タンクで混合された混合液が流出される下
流側管路に前記混合液の導電率から濃度を測定する濃度
計と、当該濃度計からの濃度情報に基づいて前記所定の
比率になるように前記成分の異なる液体のタンクへの供
給を制御する制御手段と、を設け、前記濃度計は、一端
に液体が流入する流入口を有する第1の管路と、該第1
の管路と平行に延在形成され、一端に液体が流出する流
出口を有する第2の管路と、前記第1の管路の他端と交
差して前記第2の管路の流出口側とを連通する第1の連
通管路と、前記第2の管路の他端と交差して前記第1の
管路の流入口側とを連通する第2の連通管路と、を有
し、前記導電率計測手段を前記第1の管路または第2の
連通管路の外周に設けたことを特徴とするものである。
【0014】従って、請求項4記載の発明によれば、タ
ンクで混合された混合液が流出される下流側管路に混合
液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当該濃度計か
らの濃度情報に基づいて所定の比率になるように成分の
異なる液体のタンクへの供給を制御する制御手段と、を
設け、この濃度計が第1、第2の管路と第1、第2の連
通管路とを交差させて第1の管路へ流入する液体を第2
の管路、第2の連通管路と第1の連通管路とに分流させ
ることができ、液体中に混入した気泡を非計測側の第2
の管路へ導くことができる。そのため、制御手段は、気
泡が混入していない混合液の濃度情報に基づいて濃度管
理を行えるので、混合装置の濃度管理の精度を高めるこ
とができる。
ンクで混合された混合液が流出される下流側管路に混合
液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当該濃度計か
らの濃度情報に基づいて所定の比率になるように成分の
異なる液体のタンクへの供給を制御する制御手段と、を
設け、この濃度計が第1、第2の管路と第1、第2の連
通管路とを交差させて第1の管路へ流入する液体を第2
の管路、第2の連通管路と第1の連通管路とに分流させ
ることができ、液体中に混入した気泡を非計測側の第2
の管路へ導くことができる。そのため、制御手段は、気
泡が混入していない混合液の濃度情報に基づいて濃度管
理を行えるので、混合装置の濃度管理の精度を高めるこ
とができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の一実施
例について説明する。図1は本発明になる濃度計の一実
施例が適用された混合装置の構成図である。図1に示さ
れるように、混合装置10は、HFタンク11に貯留さ
れた50%フッ化水素酸と、純水製造装置21により生
成された純水とを供給タンク13に補充して所定の割合
で混合し、供給タンク13において混合された混合液を
供給タンク13の下流側に設置された半導体製造装置4
5に供給するように構成されている。尚、フッ化水素酸
は、フッ化水素(hydrogen fluoride )の水溶液であ
り、以下「薬液」と記す。
例について説明する。図1は本発明になる濃度計の一実
施例が適用された混合装置の構成図である。図1に示さ
れるように、混合装置10は、HFタンク11に貯留さ
れた50%フッ化水素酸と、純水製造装置21により生
成された純水とを供給タンク13に補充して所定の割合
で混合し、供給タンク13において混合された混合液を
供給タンク13の下流側に設置された半導体製造装置4
5に供給するように構成されている。尚、フッ化水素酸
は、フッ化水素(hydrogen fluoride )の水溶液であ
り、以下「薬液」と記す。
【0016】HFタンク11に貯留された薬液は、HF
補充路12を介して供給タンク13に補充される。この
HF補充路12の接液部の材質は、耐薬品性に優れ、極
めて不純物の溶出の少ないフッ素樹脂、例えばPFA
(バーフロロアルコキシ共重合体)などにより構成され
る。14はHF計量用超音波渦流量計であり、HF補充
路12を送液される薬液の流量を計測する。また、HF
計量用超音波渦流量計14の接液部は、上記PFAによ
り形成されている。
補充路12を介して供給タンク13に補充される。この
HF補充路12の接液部の材質は、耐薬品性に優れ、極
めて不純物の溶出の少ないフッ素樹脂、例えばPFA
(バーフロロアルコキシ共重合体)などにより構成され
る。14はHF計量用超音波渦流量計であり、HF補充
路12を送液される薬液の流量を計測する。また、HF
計量用超音波渦流量計14の接液部は、上記PFAによ
り形成されている。
【0017】HF計量用超音波渦流量計14の下流側に
は、流量調整機構付のHF補充用エア駆動弁15が設け
られている。このHF補充用エア駆動弁15を駆動する
圧縮空気は、エア供給路16より約0.5〜0.7MP
a範囲内の圧力で流入し、減圧弁17により0.3MP
aまで減圧される。また、エア供給路16から供給され
る圧縮空気は、三方電磁弁18の切替え動作によりHF
補充用エア駆動弁15へ供給される。
は、流量調整機構付のHF補充用エア駆動弁15が設け
られている。このHF補充用エア駆動弁15を駆動する
圧縮空気は、エア供給路16より約0.5〜0.7MP
a範囲内の圧力で流入し、減圧弁17により0.3MP
aまで減圧される。また、エア供給路16から供給され
る圧縮空気は、三方電磁弁18の切替え動作によりHF
補充用エア駆動弁15へ供給される。
【0018】制御部19は、HF計量用超音波渦流量計
14及び三方電磁弁18と接続されており、HF計量用
超音波渦流量計14から出力される流量パルスを計数
し、そのパルス数に応じて三方電磁弁18の吐出側流路
を排気路20側または管路16c側に切替え制御を行っ
ている。また、三方電磁弁18の吐出側流路が管路16
c側に切替えられると、HF補充用エア駆動弁15は開
弁し、三方電磁弁18の吐出側流路が排気路20側に切
替えられると、HF補充用エア駆動弁15は閉弁する。
そして、HF補充用エア駆動弁15は、HF補充用管路
12cを介して供給タンク13と連通されている。
14及び三方電磁弁18と接続されており、HF計量用
超音波渦流量計14から出力される流量パルスを計数
し、そのパルス数に応じて三方電磁弁18の吐出側流路
を排気路20側または管路16c側に切替え制御を行っ
ている。また、三方電磁弁18の吐出側流路が管路16
c側に切替えられると、HF補充用エア駆動弁15は開
弁し、三方電磁弁18の吐出側流路が排気路20側に切
替えられると、HF補充用エア駆動弁15は閉弁する。
そして、HF補充用エア駆動弁15は、HF補充用管路
12cを介して供給タンク13と連通されている。
【0019】純水製造装置21により生成された純水
は、純水補充路22を介して供給タンク13に補充され
る。また、純水補充路22には、純水計量用超音波渦流
量計23と流量調整機構付の純水補充用エア駆動弁24
が配設されている。この純水補充用エア駆動弁24を駆
動する圧縮空気は、エア供給路25より約0.5〜0.
7MPa範囲内の圧力で流入し、減圧弁26により0.
3MPaまで減圧される。
は、純水補充路22を介して供給タンク13に補充され
る。また、純水補充路22には、純水計量用超音波渦流
量計23と流量調整機構付の純水補充用エア駆動弁24
が配設されている。この純水補充用エア駆動弁24を駆
動する圧縮空気は、エア供給路25より約0.5〜0.
7MPa範囲内の圧力で流入し、減圧弁26により0.
3MPaまで減圧される。
【0020】また、エア供給路25から供給される圧縮
空気は、三方電磁弁27の切替え動作により純水補充用
エア駆動弁24へ供給される。制御部19は、純水計量
用超音波渦流量計23及び三方電磁弁27と接続されて
おり、純水計量用超音波渦流量計23から出力される流
量パルスを計数し、そのパルス数に応じて三方電磁弁2
7の吐出側流路を排気路28側または管路25c側に切
替え制御を行っている。
空気は、三方電磁弁27の切替え動作により純水補充用
エア駆動弁24へ供給される。制御部19は、純水計量
用超音波渦流量計23及び三方電磁弁27と接続されて
おり、純水計量用超音波渦流量計23から出力される流
量パルスを計数し、そのパルス数に応じて三方電磁弁2
7の吐出側流路を排気路28側または管路25c側に切
替え制御を行っている。
【0021】また、三方電磁弁27の吐出側流路が管路
25c側に切替えられると、純水補充用エア駆動弁24
は開弁し、三方電磁弁27の吐出側流路が排気路28側
に切替えられると、純水補充用エア駆動弁24は閉弁す
る。そして、純水補充用エア駆動弁24は、純水補充用
管路22cを介して供給タンク13と連通されている。
25c側に切替えられると、純水補充用エア駆動弁24
は開弁し、三方電磁弁27の吐出側流路が排気路28側
に切替えられると、純水補充用エア駆動弁24は閉弁す
る。そして、純水補充用エア駆動弁24は、純水補充用
管路22cを介して供給タンク13と連通されている。
【0022】供給タンク13では、上記HF補充用エア
駆動弁15の開弁により薬液が補充されると共に、上記
純水補充用エア駆動弁24の開弁により純水が補充さ
れ、薬液と純水が所定の割合で混合された混合液が生成
される。また、供給タンク13には、混合液の液面を監
視する第1、第2液面センサ36,37が挿入されてい
る。第1液面センサ36は、混合液の上限位置を検知す
るレベルゲージであり、第2液面センサ37は、混合液
の下限位置を検知するレベルゲージである。
駆動弁15の開弁により薬液が補充されると共に、上記
純水補充用エア駆動弁24の開弁により純水が補充さ
れ、薬液と純水が所定の割合で混合された混合液が生成
される。また、供給タンク13には、混合液の液面を監
視する第1、第2液面センサ36,37が挿入されてい
る。第1液面センサ36は、混合液の上限位置を検知す
るレベルゲージであり、第2液面センサ37は、混合液
の下限位置を検知するレベルゲージである。
【0023】供給タンク13内で混合された混合液(薬
液)は、薬液供給ポンプ33により圧送されて供給管路
34を介して半導体製造装置45へ送液される。また、
供給管路34には、供給タンク13から吐出された混合
液(薬液)が供給管路34を流れる過程で混合液(薬
液)の導電率を計測して濃度を求める電磁誘導式の濃度
計46が配設されている。この濃度計46で求められた
濃度情報は、制御部19に出力されるようになってお
り、制御部19は、当該濃度情報に基づいて設定されて
いる混合液濃度となるように各弁を制御する。
液)は、薬液供給ポンプ33により圧送されて供給管路
34を介して半導体製造装置45へ送液される。また、
供給管路34には、供給タンク13から吐出された混合
液(薬液)が供給管路34を流れる過程で混合液(薬
液)の導電率を計測して濃度を求める電磁誘導式の濃度
計46が配設されている。この濃度計46で求められた
濃度情報は、制御部19に出力されるようになってお
り、制御部19は、当該濃度情報に基づいて設定されて
いる混合液濃度となるように各弁を制御する。
【0024】薬液供給ポンプ33の下流側には、流量調
整機構付きの薬液供給用エア駆動弁35が設けられてい
る。また、薬液供給ポンプ33と薬液供給用エア駆動弁
35との間の管路34からは攪拌用リターン管路52が
分岐し、薬液供給ポンプ33から吐出された混合液(薬
液)の一部を供給タンク13へ還流させることにより供
給タンク13内の混合液を攪拌して濃度を均一にしてい
る。
整機構付きの薬液供給用エア駆動弁35が設けられてい
る。また、薬液供給ポンプ33と薬液供給用エア駆動弁
35との間の管路34からは攪拌用リターン管路52が
分岐し、薬液供給ポンプ33から吐出された混合液(薬
液)の一部を供給タンク13へ還流させることにより供
給タンク13内の混合液を攪拌して濃度を均一にしてい
る。
【0025】また、供給タンク13と半導体製造装置4
5との間には、半導体製造装置45で余った余剰混合液
を供給タンク13へ戻す回収管路60が連通されてい
る。そのため、供給タンク13では、HF補充用管路1
2cから補充される薬液と、純水補充用管路22cから
補充される純水と、攪拌用リターン管路52から還流さ
れた混合液と、回収管路60から回収された混合液とが
混合される。
5との間には、半導体製造装置45で余った余剰混合液
を供給タンク13へ戻す回収管路60が連通されてい
る。そのため、供給タンク13では、HF補充用管路1
2cから補充される薬液と、純水補充用管路22cから
補充される純水と、攪拌用リターン管路52から還流さ
れた混合液と、回収管路60から回収された混合液とが
混合される。
【0026】また、制御部19は、LED表示付きの係
数設定器(図示せず)が付随しており、薬液の混合比等
の諸条件の設定や装置の運転状態等の表示を行うように
なっている。次に本発明の要部を構成する濃度計46の
構成について説明する。図2は濃度計46の概略構成を
示す構成図である。
数設定器(図示せず)が付随しており、薬液の混合比等
の諸条件の設定や装置の運転状態等の表示を行うように
なっている。次に本発明の要部を構成する濃度計46の
構成について説明する。図2は濃度計46の概略構成を
示す構成図である。
【0027】図2に示されるように、濃度計46は、供
給タンク13で混合された薬液が供給される流路47に
導電率計測手段としての導電率センサ48を取り付けて
なる。流路47は、耐薬品性を有する合成樹脂材(例え
ばPFA:バーフロロアルコキシ共重合体)により一体
成型されている。流路47は、薬液が流入する流入口4
9を有する第1の管路50と、第1の管路50と平行に
延在形成され、一端に薬液が流出する流出口53を有す
る第2の管路54と、第1の管路50の他端と交差して
第2の管路54の流出口側とを連通する第1の連通管路
55と、第2の管路54の他端と交差して第1の管路5
0の流入口側とを連通する第2の連通管路56とを有す
る。
給タンク13で混合された薬液が供給される流路47に
導電率計測手段としての導電率センサ48を取り付けて
なる。流路47は、耐薬品性を有する合成樹脂材(例え
ばPFA:バーフロロアルコキシ共重合体)により一体
成型されている。流路47は、薬液が流入する流入口4
9を有する第1の管路50と、第1の管路50と平行に
延在形成され、一端に薬液が流出する流出口53を有す
る第2の管路54と、第1の管路50の他端と交差して
第2の管路54の流出口側とを連通する第1の連通管路
55と、第2の管路54の他端と交差して第1の管路5
0の流入口側とを連通する第2の連通管路56とを有す
る。
【0028】そして、濃度計46では、導電率センサ4
8が第1、第2の連通管路55,56に挟まれた第1の
管路50の外周を囲むように設けられている。また、導
電率センサ48は、一対の環状ソレノイド48a,48
bが合成樹脂材によりモールドされている。すなわち、
環状ソレノイド48a,48bの中空部分には、第1の
管路50が貫通されている。
8が第1、第2の連通管路55,56に挟まれた第1の
管路50の外周を囲むように設けられている。また、導
電率センサ48は、一対の環状ソレノイド48a,48
bが合成樹脂材によりモールドされている。すなわち、
環状ソレノイド48a,48bの中空部分には、第1の
管路50が貫通されている。
【0029】このように、導電率センサ48は、薬液が
流れる第1の管路50の外側に設けられているので、薬
液に接液せずに濃度検出を行うことができ、薬液により
腐蝕することが防止されている。また、第1の管路50
の肉厚は、樹脂モールドする場合よりも厚くできるの
で、薬液が導電率センサ48まで浸透しにくく濃度計と
して高寿命化を図ることができる。
流れる第1の管路50の外側に設けられているので、薬
液に接液せずに濃度検出を行うことができ、薬液により
腐蝕することが防止されている。また、第1の管路50
の肉厚は、樹脂モールドする場合よりも厚くできるの
で、薬液が導電率センサ48まで浸透しにくく濃度計と
して高寿命化を図ることができる。
【0030】従って、導電率センサ48は、供給タンク
13内に挿入されるのでなく、流路47を流れる薬液の
濃度を検出するため、2液混合による誘電率の変化が抑
制され、安定的に濃度検出が行える。導電率センサ48
は、演算部57に接続されており、演算部57へは導電
率センサ48から出力される微弱電圧に対応する薬液濃
度テーブルが予め入力されている。そのため、導電率セ
ンサ48により検出された検出信号(電圧)に応じた薬
液の濃度を求めることができる。
13内に挿入されるのでなく、流路47を流れる薬液の
濃度を検出するため、2液混合による誘電率の変化が抑
制され、安定的に濃度検出が行える。導電率センサ48
は、演算部57に接続されており、演算部57へは導電
率センサ48から出力される微弱電圧に対応する薬液濃
度テーブルが予め入力されている。そのため、導電率セ
ンサ48により検出された検出信号(電圧)に応じた薬
液の濃度を求めることができる。
【0031】ここで、薬液が流路47を流れるときの動
作について説明する。流入口49に流入した薬液は、第
1の連通管路55内で第1の管路50と第2の管路54
とに分流する。第1の連通管路55内に流入した薬液の
電解質の濃度に応じて導電率センサ48の環状ソレノイ
ド48a,48bに磁界、誘導起電力が生じる。
作について説明する。流入口49に流入した薬液は、第
1の連通管路55内で第1の管路50と第2の管路54
とに分流する。第1の連通管路55内に流入した薬液の
電解質の濃度に応じて導電率センサ48の環状ソレノイ
ド48a,48bに磁界、誘導起電力が生じる。
【0032】また、本実施例では、導電率センサ48か
ら生じる磁界を増幅するため、第1の管路50と第2の
管路54とが平行に延在形成され、できるだけ接近して
設けられている。これにより、導電率センサ48で生じ
る誘導起電力が増幅されて感度が上がっている。そし
て、演算部57においては、導電率センサ48からの出
力値と薬液濃度テーブルとの関係から薬液濃度を演算
し、算出された薬液濃度の値をデジタル表示したり、計
測濃度に応じた信号を外部に出力する。
ら生じる磁界を増幅するため、第1の管路50と第2の
管路54とが平行に延在形成され、できるだけ接近して
設けられている。これにより、導電率センサ48で生じ
る誘導起電力が増幅されて感度が上がっている。そし
て、演算部57においては、導電率センサ48からの出
力値と薬液濃度テーブルとの関係から薬液濃度を演算
し、算出された薬液濃度の値をデジタル表示したり、計
測濃度に応じた信号を外部に出力する。
【0033】また、第1の管路50及び第2の管路54
を通過した薬液は、第2の連通管路56で合流し、流出
口53から半導体製造装置45へ供給される。さらに、
本実施例の流路47は、第1、2の管路50,54及び
第1、第2の連通管路55,56が四角形の各四辺を形
成するように組み合わされているので、流入口49及び
流出口53は偏心した位置で延在形成されており、且つ
異なる高さ位置に設けられている。
を通過した薬液は、第2の連通管路56で合流し、流出
口53から半導体製造装置45へ供給される。さらに、
本実施例の流路47は、第1、2の管路50,54及び
第1、第2の連通管路55,56が四角形の各四辺を形
成するように組み合わされているので、流入口49及び
流出口53は偏心した位置で延在形成されており、且つ
異なる高さ位置に設けられている。
【0034】従って、流入口49から第1の連通管路5
5に流入した薬液が第1の管路50と第2の管路54と
に分流して圧力P1 が低下するのに対し、第1の管路5
0の下流側では第2の連通管路56が障壁となって圧力
P2 が上昇してP1 <P2 となる。そのため、薬液中に
混入した気泡は、流入口49から第1の連通管路55に
流入した後、圧力の低い下方へ流れて2の管路54を通
過して流出口53へ至る。これにより、導電率センサ4
8が設けられた第1の管路50を流れる薬液中に気泡が
混入せず、濃度計測精度が高められている。
5に流入した薬液が第1の管路50と第2の管路54と
に分流して圧力P1 が低下するのに対し、第1の管路5
0の下流側では第2の連通管路56が障壁となって圧力
P2 が上昇してP1 <P2 となる。そのため、薬液中に
混入した気泡は、流入口49から第1の連通管路55に
流入した後、圧力の低い下方へ流れて2の管路54を通
過して流出口53へ至る。これにより、導電率センサ4
8が設けられた第1の管路50を流れる薬液中に気泡が
混入せず、濃度計測精度が高められている。
【0035】図3は濃度計46の変形例を示す図であ
り、(A)は横断面図、(B)は縦断面図、(C)は流
出側からみた側面図である。図3(A)〜(C)に示さ
れるように、導電率センサ48は、第2の連通管路56
の外周を囲むように設けられている。第2の連通管路5
6では、上記第1の管路50と同様に気泡の混入が防止
されているので、導電率センサ48の濃度検出精度が安
定している。
り、(A)は横断面図、(B)は縦断面図、(C)は流
出側からみた側面図である。図3(A)〜(C)に示さ
れるように、導電率センサ48は、第2の連通管路56
の外周を囲むように設けられている。第2の連通管路5
6では、上記第1の管路50と同様に気泡の混入が防止
されているので、導電率センサ48の濃度検出精度が安
定している。
【0036】また、濃度計46は、磁性材により形成さ
れたシールドケース62内に収納されている。そのた
め、導電率センサ48は、シールドケース62によって
外部磁界が遮断されているので、外部からの磁界の影響
を受けることなく第2の連通管路56を流れる薬液の濃
度を計測することができる。また、シールドケース62
には、流入口49、流出口53及び導電率センサ48か
ら引き出されたケーブル64を保持するブッシュ66,
68が嵌合固定されいる。そのため、流入口49、流出
口53、ケーブル64が挿通されてブッシュ66,68
の挿通孔66a,68a,68bには、シールドケース
62内の気密性を維持するためのOリング69〜71が
設けられている。
れたシールドケース62内に収納されている。そのた
め、導電率センサ48は、シールドケース62によって
外部磁界が遮断されているので、外部からの磁界の影響
を受けることなく第2の連通管路56を流れる薬液の濃
度を計測することができる。また、シールドケース62
には、流入口49、流出口53及び導電率センサ48か
ら引き出されたケーブル64を保持するブッシュ66,
68が嵌合固定されいる。そのため、流入口49、流出
口53、ケーブル64が挿通されてブッシュ66,68
の挿通孔66a,68a,68bには、シールドケース
62内の気密性を維持するためのOリング69〜71が
設けられている。
【0037】尚、上記実施の形態では、半導体製造装置
45へ供給される薬液の濃度を計測場合を一例として挙
げたが、これに限らず、他の装置に供給される液体の濃
度を検出するのに用いることができるのは勿論である。
また、上記実施の形態では、導電率センサ48を用いて
フッ化水素酸に純水を混合した薬液の濃度を検出する構
成の濃度計を一実施例として説明したが、純度の低い水
や他の液体の濃度を検出するときにも適用できるのは言
うまでもない。
45へ供給される薬液の濃度を計測場合を一例として挙
げたが、これに限らず、他の装置に供給される液体の濃
度を検出するのに用いることができるのは勿論である。
また、上記実施の形態では、導電率センサ48を用いて
フッ化水素酸に純水を混合した薬液の濃度を検出する構
成の濃度計を一実施例として説明したが、純度の低い水
や他の液体の濃度を検出するときにも適用できるのは言
うまでもない。
【0038】
【発明の効果】上述の如く、請求項1記載の発明の濃度
計によれば、合成樹脂材により形成された第1、第2の
管路を流れる液体の誘電率を非接触で計測でき、また、
第1、第2の管路の厚さを均一にできるので、経年変化
により液体が浸透することを防止して導電率計測手段が
液体により腐蝕することを防止できる。そのため、セン
サ寿命を延ばすことができると共に、濃度検出の信頼性
をより高めることができる。
計によれば、合成樹脂材により形成された第1、第2の
管路を流れる液体の誘電率を非接触で計測でき、また、
第1、第2の管路の厚さを均一にできるので、経年変化
により液体が浸透することを防止して導電率計測手段が
液体により腐蝕することを防止できる。そのため、セン
サ寿命を延ばすことができると共に、濃度検出の信頼性
をより高めることができる。
【0039】また、請求項2記載の発明の濃度計によれ
ば、第1、第2の管路と第1、第2の連通管路とを交差
させて第1の管路へ流入する液体を第2の管路、第2の
連通管路と第1の連通管路とに分流させることができ、
液体中に混入した気泡を非計測側の第2の管路へ導くこ
とができ、計測精度を高めることができる。また、請求
項3記載の発明の混合装置によれば、タンクで混合され
た混合液が流出される下流側管路に混合液の導電率から
濃度を測定する濃度計と、当該濃度計からの濃度情報に
基づいて所定の比率になるように成分の異なる液体のタ
ンクへの供給を制御する制御手段と、を設け、この濃度
計が合成樹脂材により形成された第1、第2の管路を流
れる液体の誘電率を非接触で計測できるので、経年変化
により液体が浸透することを防止して液体により腐蝕す
ることを防止できる。そのため、精度の高い濃度管理が
可能となると共に、混合装置から腐蝕により汚れた混合
液を流出させることが防止できるので、混合装置の信頼
性をより高めることができる。
ば、第1、第2の管路と第1、第2の連通管路とを交差
させて第1の管路へ流入する液体を第2の管路、第2の
連通管路と第1の連通管路とに分流させることができ、
液体中に混入した気泡を非計測側の第2の管路へ導くこ
とができ、計測精度を高めることができる。また、請求
項3記載の発明の混合装置によれば、タンクで混合され
た混合液が流出される下流側管路に混合液の導電率から
濃度を測定する濃度計と、当該濃度計からの濃度情報に
基づいて所定の比率になるように成分の異なる液体のタ
ンクへの供給を制御する制御手段と、を設け、この濃度
計が合成樹脂材により形成された第1、第2の管路を流
れる液体の誘電率を非接触で計測できるので、経年変化
により液体が浸透することを防止して液体により腐蝕す
ることを防止できる。そのため、精度の高い濃度管理が
可能となると共に、混合装置から腐蝕により汚れた混合
液を流出させることが防止できるので、混合装置の信頼
性をより高めることができる。
【0040】また、請求項4記載の発明の混合装置によ
れば、タンクで混合された混合液が流出される下流側管
路に混合液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当該
濃度計からの濃度情報に基づいて所定の比率になるよう
に成分の異なる液体のタンクへの供給を制御する制御手
段と、を設け、この濃度計が第1、第2の管路と第1、
第2の連通管路とを交差させて第1の管路へ流入する液
体を第2の管路、第2の連通管路と第1の連通管路とに
分流させることができ、液体中に混入した気泡を非計測
側の第2の管路へ導くことができる。そのため、制御手
段は、気泡が混入していない混合液の濃度情報に基づい
て濃度管理を行えるので、混合装置の濃度管理の精度を
高めることができる。
れば、タンクで混合された混合液が流出される下流側管
路に混合液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当該
濃度計からの濃度情報に基づいて所定の比率になるよう
に成分の異なる液体のタンクへの供給を制御する制御手
段と、を設け、この濃度計が第1、第2の管路と第1、
第2の連通管路とを交差させて第1の管路へ流入する液
体を第2の管路、第2の連通管路と第1の連通管路とに
分流させることができ、液体中に混入した気泡を非計測
側の第2の管路へ導くことができる。そのため、制御手
段は、気泡が混入していない混合液の濃度情報に基づい
て濃度管理を行えるので、混合装置の濃度管理の精度を
高めることができる。
【図1】本発明になる濃度計の一実施例が適用された混
合装置の構成図である。
合装置の構成図である。
【図2】濃度計46の概略構成を示す構成図である。
【図3】濃度計46の変形例を示す図であり、(A)は
横断面図、(B)は縦断面図、(C)は流出側からみた
側面図である。
横断面図、(B)は縦断面図、(C)は流出側からみた
側面図である。
【図4】従来の導電率計測手段の一例を示す図である。
10 混合装置 46 濃度計 47 流路 48 導電率センサ 49 流入口 50 第1の管路 53 流出口 54 第2の管路 55 第1の連通管路 56 第2の連通管路 57 演算部 62 シールドケース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 舟橋 達也 神奈川県川崎市川崎区富士見1丁目6番3 号 トキコ株式会社内 (72)発明者 中鉢 博 東京都足立区千住仲町40−12 株式会社テ ィ・アンド・シー・テクニカル内 (72)発明者 辻 元 東京都足立区千住仲町40−12 株式会社テ ィ・アンド・シー・テクニカル内 Fターム(参考) 2G053 AA01 BA05 BC14 CA02 CB13 DB05 3E083 AA20
Claims (4)
- 【請求項1】 液体の導電率を計測する電磁誘導式の導
電率計測手段を有し、導電率計測手段により計測された
導電率から液体の濃度を求める濃度計において、 前記液体が流れる流路に、互いに平行に配され、相互に
連通された樹脂製の第1、第2の管路を設け、 前記導電率計測手段を前記第1の管路または第2の管路
の外周に設けたことを特徴とする濃度計。 - 【請求項2】 液体の導電率を計測する電磁誘導式の導
電率計測手段を有し、導電率計測手段により計測された
導電率から液体の濃度を求める濃度計において、 一端に液体が流入する流入口を有する第1の管路と、 該第1の管路と平行に延在形成され、一端に液体が流出
する流出口を有する第2の管路と、 前記第1の管路の他端と交差して前記第2の管路の流出
口側とを連通する第1の連通管路と、 前記第2の管路の他端と交差して前記第1の管路の流入
口側とを連通する第2の連通管路と、を有し、 前記導電率計測手段を前記第1の管路または第2の連通
管路の外周に設けたことを特徴とする濃度計。 - 【請求項3】 成分の異なる液体を所定の比率でタンク
にて混合させる混合装置において、 前記タンクで混合された混合液が流出される下流側管路
に前記混合液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当
該濃度計からの濃度情報に基づいて前記所定の比率にな
るように前記成分の異なる液体のタンクへの供給を制御
する制御手段と、を設け、 前記濃度計は、 前記液体が流れる流路に、互いに平行に配され、相互に
連通された樹脂製の第1、第2の管路を設け、 前記導電率計測手段を前記第1の管路または第2の管路
の外周に設けたことを特徴とする混合装置。 - 【請求項4】 成分の異なる液体を所定の比率でタンク
にて混合させる混合装置において、 前記タンクで混合された混合液が流出される下流側管路
に前記混合液の導電率から濃度を測定する濃度計と、当
該濃度計からの濃度情報に基づいて前記所定の比率にな
るように前記成分の異なる液体のタンクへの供給を制御
する制御手段と、を設け、 前記濃度計は、 一端に液体が流入する流入口を有する第1の管路と、 該第1の管路と平行に延在形成され、一端に液体が流出
する流出口を有する第2の管路と、 前記第1の管路の他端と交差して前記第2の管路の流出
口側とを連通する第1の連通管路と、 前記第2の管路の他端と交差して前記第1の管路の流入
口側とを連通する第2の連通管路と、を有し、 前記導電率計測手段を前記第1の管路または第2の連通
管路の外周に設けたことを特徴とする混合装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34083599A JP2001153844A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | 濃度計及び混合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP34083599A JP2001153844A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | 濃度計及び混合装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001153844A true JP2001153844A (ja) | 2001-06-08 |
Family
ID=18340756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005189208A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 導電率計用検出器 |
JP2005299459A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Diesel United:Kk | 運動機関 |
EP2015062A1 (en) * | 2006-04-28 | 2009-01-14 | Diesel United, Ltd. | Conductive material concentration measuring device and magnetic material concentration measuring material |
JP2013513784A (ja) * | 2009-12-11 | 2013-04-22 | イーコラブ インコーポレイティド | ファウリング検出機構及びファウリングを検出する方法 |
JP2014224770A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-04 | 学校法人東京理科大学 | 電気特性測定装置、電気特性測定方法およびプログラム |
JP2015158402A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 導電率計、その製造方法およびコアの取付構造 |
JPWO2021033238A1 (ja) * | 2019-08-19 | 2021-02-25 |
-
1999
- 1999-11-30 JP JP34083599A patent/JP2001153844A/ja active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005189208A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 導電率計用検出器 |
JP2005299459A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Diesel United:Kk | 運動機関 |
WO2005100757A1 (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Diesel United, Ltd. | 運動機関 |
KR101320912B1 (ko) | 2006-04-28 | 2013-10-21 | 가부시키가이샤 디젤 유나이티드 | 도전체 농도 계측 장치 및 자성체 농도 계측 장치 |
EP2015062A1 (en) * | 2006-04-28 | 2009-01-14 | Diesel United, Ltd. | Conductive material concentration measuring device and magnetic material concentration measuring material |
EP2015062A4 (en) * | 2006-04-28 | 2010-04-21 | Diesel United Ltd | DEVICE FOR MEASURING THE CONCENTRATION IN CONDUCTIVE MATERIAL AND DEVICE FOR MEASURING THE CONCENTRATION IN MAGNETIC MATERIAL |
US8037740B2 (en) | 2006-04-28 | 2011-10-18 | Diesel United, Ltd. | Conductive material concentration measuring device and magnetic material concentration measuring device |
JP2013513784A (ja) * | 2009-12-11 | 2013-04-22 | イーコラブ インコーポレイティド | ファウリング検出機構及びファウリングを検出する方法 |
JP2014224770A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-04 | 学校法人東京理科大学 | 電気特性測定装置、電気特性測定方法およびプログラム |
JP2015158402A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 導電率計、その製造方法およびコアの取付構造 |
JPWO2021033238A1 (ja) * | 2019-08-19 | 2021-02-25 | ||
WO2021033238A1 (ja) * | 2019-08-19 | 2021-02-25 | 株式会社Ihi原動機 | 磁性体濃度計測装置 |
JP7245916B2 (ja) | 2019-08-19 | 2023-03-24 | 株式会社Ihi原動機 | 磁性体濃度計測装置 |
US11906465B2 (en) | 2019-08-19 | 2024-02-20 | Mitsui E&S Du Co., Ltd. | Magnetic material concentration measuring device |
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