JP2010107315A - 熱式流量センサ - Google Patents
熱式流量センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010107315A JP2010107315A JP2008278748A JP2008278748A JP2010107315A JP 2010107315 A JP2010107315 A JP 2010107315A JP 2008278748 A JP2008278748 A JP 2008278748A JP 2008278748 A JP2008278748 A JP 2008278748A JP 2010107315 A JP2010107315 A JP 2010107315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit chip
- chip
- sensor
- flow rate
- thermal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
【解決手段】一面に、被検出流体の流量を検出する流量検出部が形成されたセンサチップと、流量検出部の入出力を制御する制御回路が形成された回路チップと、該回路チップを搭載する樹脂からなる搭載部材と、を備える熱式流量センサであって、センサチップにおける一面の裏面全面が、回路チップの一面と対向するように、センサチップが回路チップ上に配置され、センサチップにおける裏面の一部を接続部位として、センサチップが回路チップの一面に機械的に接続されている。
【選択図】図1
Description
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係る熱式流量センサの概略構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線に沿う断面図である。図3は、センサチップの概略構成を示す平面図である。図4は、回路チップの保護膜を説明するための部分断面図である。図5は、図1のV−V線に沿う断面図である。なお、図1においては、便宜上、封止樹脂を省略している。また、以下においては、被検出流体の流れ方向を、単に流れ方向と示す。
20・・・接着剤
33・・・バンプ
50・・・回路チップ
54・・・保護膜
56・・・金属層
70・・・リード
71・・・支持部材
90・・・モールド部材
100・・・熱式流量センサ
Claims (11)
- 一面に、被検出流体の流量を検出する流量検出部が形成されたセンサチップと、
前記流量検出部の入出力を制御する制御回路が形成された回路チップと、
該回路チップを搭載する搭載部材と、を備える熱式流量センサであって、
前記センサチップにおける一面の裏面全面が、前記回路チップの一面と対向するように、前記センサチップが前記回路チップ上に配置され、前記センサチップにおける裏面の一部を接続部位として、前記センサチップが前記回路チップの一面に機械的に接続されていることを特徴とする熱式流量センサ。 - 前記センサチップは、ボンディングワイヤを介して、前記回路チップと電気的に接続されており、
前記センサチップにおける前記流量検出部の形成領域とは異なる領域の裏面部位が前記接続部位とされ、
接着剤を介して、前記センサチップが前記回路チップに機械的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の熱式流量センサ。 - 前記センサチップは、前記流量検出部と電気的に接続され、前記一面とその裏面を貫く貫通電極を有しており、
前記貫通電極の裏面部位が前記接続部位として、バンプを介して前記回路チップと機械的且つ電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の熱式流量センサ。 - 前記搭載部材には、該搭載部材よりも熱伝導に優れた材料によって形成され、前記回路チップが配置される支持部材が埋設されおり、
前記支持部材における前記回路チップの配置面の裏面の一部が、前記搭載部材によって被覆されていることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載の熱式流量センサ。 - 前記センサチップと前記回路チップは、同一材料によって形成されていることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載の熱式流量センサ。
- 前記回路チップの一面が、絶縁樹脂によって被覆・保護されていることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の熱式流量センサ。
- 前記絶縁樹脂は、前記搭載部材の一部であることを特徴とする請求項6に記載の熱式流量センサ。
- 前記回路チップの一面には、前記回路チップを保護する保護膜が形成されており、
該保護膜は、前記絶縁樹脂としての第1絶縁層と、該第1絶縁層に積層され、電位が一定とされた金属層と、該金属層を被覆・保護する第2絶縁層と、を有していることを特徴とする請求項6に記載の熱式流量センサ。 - 前記搭載部材は、前記センサチップにおける被検出流体の通常時の流れ方向に対して上流側の端面に隣接配置された上流側整流部と、前記センサチップにおける下流側の端面に隣接配置された下流側整流部と、を有しており、
前記上流側整流部及び前記下流側整流部それぞれの上面が、前記センサチップの形成面と、略面一になっていることを特徴とする請求項1〜8いずれか1項に記載の熱式流量センサ。 - 前記上流側整流部における上流側の端部が、前記上面に対して略垂直な方向に沿う径の長さが、前記下流から前記上流に向けて縮径するテーパ状となっていることを特徴とする請求項9に記載の熱式流量センサ。
- 前記下流側整流部における下流側の端部が、前記上面に対して略垂直な方向に沿う径の長さが、前記上流から前記下流に向けて縮径するテーパ状となっていることを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の熱式流量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008278748A JP5093052B2 (ja) | 2008-10-29 | 2008-10-29 | 熱式流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008278748A JP5093052B2 (ja) | 2008-10-29 | 2008-10-29 | 熱式流量センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010107315A true JP2010107315A (ja) | 2010-05-13 |
JP5093052B2 JP5093052B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=42296905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008278748A Expired - Fee Related JP5093052B2 (ja) | 2008-10-29 | 2008-10-29 | 熱式流量センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5093052B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013170997A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Denso Corp | 流量センサ |
WO2015162853A1 (ja) * | 2014-04-24 | 2015-10-29 | 株式会社デンソー | 物理量センサ、および物理量センサの製造方法 |
JP2016080485A (ja) * | 2014-10-15 | 2016-05-16 | 株式会社デンソー | 流量センサ |
JP2016085227A (ja) * | 2016-01-11 | 2016-05-19 | 株式会社デンソー | 流量センサ |
CN113490837A (zh) * | 2019-03-04 | 2021-10-08 | 日立安斯泰莫株式会社 | 流量测定装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6406396B2 (ja) * | 2017-06-07 | 2018-10-17 | 株式会社デンソー | 流量センサ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1114422A (ja) * | 1997-06-26 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | 空気流量測定装置及び自動車用電子回路装置 |
JP2001091322A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-04-06 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量センサ |
JP2001153708A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Denso Corp | センシング部を有する半導体装置 |
JP2002357467A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-12-13 | Denso Corp | フローセンサ及びその製造方法 |
WO2003063258A1 (fr) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Dispositif semi-conducteur |
JP2008175780A (ja) * | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Denso Corp | 熱式流量センサ |
-
2008
- 2008-10-29 JP JP2008278748A patent/JP5093052B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1114422A (ja) * | 1997-06-26 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | 空気流量測定装置及び自動車用電子回路装置 |
JP2001091322A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-04-06 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量センサ |
JP2001153708A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Denso Corp | センシング部を有する半導体装置 |
JP2002357467A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-12-13 | Denso Corp | フローセンサ及びその製造方法 |
WO2003063258A1 (fr) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Dispositif semi-conducteur |
JP2008175780A (ja) * | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Denso Corp | 熱式流量センサ |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013170997A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Denso Corp | 流量センサ |
WO2015162853A1 (ja) * | 2014-04-24 | 2015-10-29 | 株式会社デンソー | 物理量センサ、および物理量センサの製造方法 |
JP2015215331A (ja) * | 2014-04-24 | 2015-12-03 | 株式会社デンソー | 物理量センサ、および物理量センサの製造方法 |
JP2016080485A (ja) * | 2014-10-15 | 2016-05-16 | 株式会社デンソー | 流量センサ |
JP2016085227A (ja) * | 2016-01-11 | 2016-05-19 | 株式会社デンソー | 流量センサ |
CN113490837A (zh) * | 2019-03-04 | 2021-10-08 | 日立安斯泰莫株式会社 | 流量测定装置 |
CN113490837B (zh) * | 2019-03-04 | 2024-04-23 | 日立安斯泰莫株式会社 | 流量测定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5093052B2 (ja) | 2012-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5271997B2 (ja) | 吸気温度センサ | |
JP5743871B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP3583773B2 (ja) | 熱式空気流量計 | |
JP5093052B2 (ja) | 熱式流量センサ | |
JP4952428B2 (ja) | センサ装置 | |
JP4894531B2 (ja) | 熱式流量センサ | |
US9989390B2 (en) | Thermal airflow measuring device | |
JP4210122B2 (ja) | 発熱抵抗体式流量測定装置 | |
TWI408379B (zh) | 導線架電流感應器 | |
WO2014097723A1 (ja) | 物理量センサ | |
JP5916637B2 (ja) | 流量センサおよびその製造方法 | |
JP5353229B2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
JP5675716B2 (ja) | 熱式空気流量センサ | |
JP2009270930A (ja) | 熱式流量センサ | |
WO2003063258A1 (fr) | Dispositif semi-conducteur | |
JP5243348B2 (ja) | 流量検出装置 | |
JP6043833B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP2010204005A (ja) | 熱式流量計 | |
JP6134840B2 (ja) | 熱式流量計 | |
US20160341689A1 (en) | Component part having a mecs component on a mounting carrier | |
JP2010133865A (ja) | 熱式フローセンサの製造方法及び熱式フローセンサ | |
JP5492834B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP2008292508A (ja) | 発熱抵抗体式流量測定装置 | |
JP5779487B2 (ja) | 圧力センサモジュール | |
JP5092936B2 (ja) | 熱式流量センサ及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100622 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120605 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120725 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120821 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120903 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5093052 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |