JP2010104107A - 静電型アクチュエータ制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電型アクチュエータ200は、バイアス電圧の値が上昇するに従って、共振周波数が上昇する特性を有する。バイアス電圧は、ピークツーピーク電圧を増減することにより増減される。そのため、ピークツーピーク電圧を増減することにより、静電型アクチュエータ200の共振周波数を制御できる。言い換えると、交流電圧の振動中心値を増減することにより、静電型アクチュエータ200の共振周波数を制御できる。つまり、ピークツーピーク電圧を増減すると、従来技術における直流バイアス値を増減させたのと同様の効果を得ることができる。
【選択図】図3
Description
Gd=20・log10(θ/V)
ここで、θはディグリーで表される可動部220の振れ角度、Vは印加される交流電圧のピークツーピークの値である。
Ga=θ/V
ここで、θはディグリーで表される可動部220の振れ角度、Vは印加される交流電圧のピークツーピークの値である。
110 温度センサ
120 DSP
121 演算器
122 波形発生器
130 駆動電源
200 静電型アクチュエータ
Claims (8)
- 交流電圧を印加して静電型アクチュエータを所定の振れ角度で揺動させる静電型アクチュエータ制御装置であって、
前記静電型アクチュエータに印加する交流電圧波の特性を決定する演算手段と、
前記演算手段が決定した前記特性を有し、直流成分を実質的に含まない交流電圧波を生成して前記静電型アクチュエータに印加する電源手段とを備え、
前記電源手段が生成した交流電圧波を印加することにより、前記静電型アクチュエータの振動特性を制御する静電型アクチュエータ制御装置。 - 前記演算手段は、前記交流電圧波の振動中心値を決定し、
前記振動中心値に応じた交流電圧波を印加することにより、前記静電型アクチュエータの共振周波数を制御する請求項1に記載の静電型アクチュエータ制御装置。 - 前記静電型アクチュエータは、印加される交流電圧波のピークツーピーク値に応じて振れ角度が変化し、
前記算出手段は、前記静電型アクチュエータの振れ角度が所定の振れ角度となるように前記交流電圧波のピークツーピーク値を決定する請求項1に記載の静電型アクチュエータ制御装置。 - 前記静電型アクチュエータ制御装置は、前記静電型アクチュエータの温度を測定する温度測定手段をさらに備え、
前記演算手段は、前記温度測定手段が測定した温度を用いて、前記特性を決定する請求項1に記載の静電型アクチュエータ制御装置。 - 前記演算手段は、前記温度測定手段が測定した温度を用いて、前記交流電圧波の振動中心値を決定する請求項4に記載の静電型アクチュエータ制御装置。
- 前記演算手段は、前記温度測定手段が測定した温度を用いて、前記交流電圧波の振動周波数を決定する請求項4に記載の静電型アクチュエータ制御装置。
- 前記静電型アクチュエータは、印加される交流電圧波のピークツーピーク値に応じて振れ角度が変化し、
前記算出手段は、前記温度測定手段が測定した温度を用いて、前記交流電圧波のピークツーピーク値を決定する請求項1に記載の静電型アクチュエータ制御装置。 - 前記演算手段は、前記静電型アクチュエータの共振周波数よりも高くなるように前記交流電圧波の周波数を決定する請求項1に記載の静電型アクチュエータ制御装置。
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