JP2010103917A - 圧電振動板の周波数調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 多数個の水晶振動板2,2,・・・が一体形成されたウエハ200において、各水晶振動板2の表裏主面に形成された電極膜23の質量を削減することによって水晶振動板の周波数の調整を行う周波数調整方法であって、ウエハ200の全ての電極膜に対してイオンビームを一括照射して該電極膜の質量を削減する。そして、目的の周波数範囲に達した水晶振動板に対して、該水晶振動板の電極膜を覆う遮蔽体を形成して該電極膜の質量が削減されないようにする。
【選択図】 図6
Description
2 水晶振動板
200 水晶ウエハ
21 水晶振動板の一主面
22 水晶振動板の他主面
23 励振電極
3 第1蓋部材
4 第2蓋部材
5 接合材
6 遮蔽体
Claims (3)
- 多数個の圧電振動板が一体形成されたウエハにおいて、各圧電振動板の表裏主面には電極膜が形成されてなり、該電極膜の質量を削減することにより該圧電振動板の周波数調整を行う圧電振動板の周波数調整方法であって、
前記ウエハの全ての電極膜に対してエネルギービームを一括照射して該電極膜の質量を削減し、目的の周波数範囲に達した圧電振動板に対し、該圧電振動板の電極膜を覆う遮蔽体を形成して該電極膜の質量が削減されないようにすることを特徴とする圧電振動板の周波数調整方法。 - 前記一括照射が間欠照射であり、エネルギービームの照射停止時に前記圧電振動板の周波数を測定することを特徴とする請求項1に記載の圧電振動板の周波数調整方法。
- 前記一括照射において、エネルギービームは前記ウエハ表裏面に対して斜め上方および斜め下方から照射され、ウエハを挟んで略対向した位置関係にあることを特徴とする請求項1乃至2に記載の圧電振動板の周波数調整方法。
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