JP2010093128A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体発光素子10は、下部電極層11、半導体基板12、下部クラッド層13、活性層16、キャップ層17、段差閉じ込め層19、電流狭窄構造21A,21B、および上部電極層23を含む。段差閉じ込め層19は、半導体基板12に対して1%以上の圧縮歪み量を有する。キャップ層17は、活性層16よりも広いバンドギャップを有し、段差閉じ込め層19のバンドギャップは、活性層16のバンドギャップよりも広く、かつキャップ層17のバンドギャップよりも狭い。
【選択図】図5
Description
図5は、本発明に係る第1の実施形態であるリッジ導波路型の半導体レーザ素子(半導体発光素子)10の概略構成を示す断面図である。この半導体レーザ素子10は、n型III族窒化物半導体基板12の主面上に、第1導電型(n型)のクラッド層(下部クラッド層)13、活性層16を含む発光層14、段差閉じ込め層19、第1導電型とは逆の第2導電型(p型)のクラッド層(上部クラッド層)20および第2導電型(p型)のコンタクト層22が順次積層された構造を有する。また、発光層14は、n型光ガイド層15、活性層16、p型キャップ層17およびp型光ガイド層18がこの順で積層された構造を有している。p型コンタクト層22上にはp側電極23が設けられており、n型III族窒化物半導体基板12の裏面にはn側電極11が設けられている。このn側電極11は、n型III族窒化物半導体基板12を介してn型クラッド層13と電気的に接続されている。
次に、発明に係る第2の実施形態について説明する。図8は、第2の実施形態であるインナーストライプ導波路型の半導体レーザ素子(半導体発光素子)30の概略構成を示す断面図である。この半導体レーザ素子30は、n型III族窒化物半導体基板32の主面上に、n型III族窒化物半導体層33、第1導電型(n型)のクラッド層(下部クラッド層)34、活性層37を含む発光層35、段差閉じ込め層40、電流狭窄層41A,41B、第1導電型とは逆の第2導電型(p型)のクラッド層(上部クラッド層)42およびp型コンタクト層43が順次積層された構造を有する。また、発光層35は、n型光ガイド層36、活性層37、p型キャップ層38およびp型光ガイド層39がこの順で積層された構造を有している。p型コンタクト層43上にはp側電極44が設けられており、n型III族窒化物半導体基板32の裏面にはn側電極31が設けられている。このn側電極31は、n型III族窒化物半導体基板32とn型III族窒化物半導体層33とを介してn型クラッド層34と電気的に接続されている。
次に、本発明に係る第3の実施形態について説明する。図9は、第3の実施形態である半導体レーザ素子(半導体発光素子)10Cの概略構造を示す断面図である。この半導体レーザ素子10Cは、n型クラッド層13と発光層14との間に段差閉じ込め層(以下、下部段差閉じ込め層と呼ぶ。)19Bを有している。この下部段差閉じ込め層19Bよりも上部の構成は、第1の実施形態の発光層14、段差閉じ込め層19U、p型クラッド層20、絶縁膜21A,21B、p型コンタクト層22およびp側電極23からなる構成と同じである。段差閉じ込め層19Uは、図5の段差閉じ込め層19と同じ構成を有している。
第1実施例の構造は、図7に示した半導体レーザ素子10Bの構造である。n型III族窒化物半導体基板12として、c面を主面とするn型GaN基板を用いた。また、半導体レーザ素子10Bの作製には、MOVPE法を用いた。キャリアガスには水素と窒素の混合ガスを用い、Ga、Al、Inソースとしてそれぞれトリメチルガリウム(TMG)、トリメチルアルミニウム(TMA)、トリメチルインジウム(TMI)を使用した。n型ドーパントを導入するためにシラン(SiH4)を使用し、p型ドーパントを導入するためにビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)を使用した。
第2実施例の構造は、図8に示した半導体レーザ素子30の構造である。n型III族窒化物半導体基板32〜段差閉じ込め層40の製造工程は、第1実施例のn型III族窒化物半導体基板12〜段差閉じ込め層19の製造工程と同じである。
第3実施例の構造は、図9に示した半導体レーザ素子10Cの構造である。n型III族窒化物半導体基板12として、c面を主面とするn型GaN基板を用いた。CVD法により、この基板12の全面上にシリコン酸化膜を形成した。その後、フォトリソグラフィ工程とエッチング工程により、幅30μmおよび周期400μmを持つストライプ状マスク40A,40Bを形成した。
11 n側電極
12 n型III族窒化物半導体基板
12B,12C n型III族窒化物半導体層
13 n型クラッド層
14 発光層
15 n型光ガイド層
16 活性層
17 p型キャップ層
18 p型光ガイド層
19,19U 段差閉じ込め層
19B 下部段差閉じ込め層
20 p型クラッド層
21A,21B 絶縁膜
22 p型コンタクト層
23 p側電極
25 段差
31 n側電極
32 n型III族窒化物半導体基板
33 n型III族窒化物半導体層
34 n型クラッド層
35 発光層
36 n型光ガイド層
37 活性層
38 p型キャップ層
39 p型光ガイド層
40 段差閉じ込め層
41A,41B 電流狭窄層
42 p型クラッド層
43 p型コンタクト層
44 p側電極
Claims (12)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、かつ第1導電型を有する下部クラッド層と、
前記下部クラッド層上に形成された活性層と、
前記活性層上に形成され、かつ前記第1導電型とは逆の第2導電型を有するキャップ層と、
前記キャップ層上に形成された電流狭窄構造と、
前記電流狭窄構造上に形成された上部電極層と、
前記下部クラッド層と電気的に接続された下部電極層と、
前記活性層と前記電流狭窄構造との間に介在する段差閉じ込め層と、
を含み、
前記段差閉じ込め層は、前記半導体基板に対して1%以上の圧縮歪み量を有し、
前記キャップ層は、前記活性層よりも広いバンドギャップを有し、
前記段差閉じ込め層のバンドギャップは、前記活性層のバンドギャップよりも広く、かつ前記キャップ層のバンドギャップよりも狭い、半導体発光素子。 - 請求項1に記載の半導体発光素子であって、前記段差閉じ込め層は、AlxGayIn1−x−yN材料(0<x<1;0<y<1;0<x+y<1)からなる、半導体発光素子。
- 請求項1または2に記載の半導体発光素子であって、前記段差閉じ込め層の厚みが1.5nm以上である、半導体発光素子。
- 請求項1から3のうちのいずれか1項に記載の半導体発光素子であって、前記活性層は、AlkGazIn1−k−zN材料(0≦k≦1;0≦z≦1;0≦z+k≦1)からなる、半導体発光素子。
- 請求項1から4のうちのいずれか1項に記載の半導体発光素子であって、前記上部電極層と前記段差閉じ込め層との間に介在し、かつリッジ部を有する上部クラッド層を含む半導体発光素子。
- 請求項5に記載の半導体発光素子であって、前記上部クラッド層のリッジ部の両側面を被覆するように絶縁膜が形成されており、前記絶縁膜は前記電流狭窄構造を構成する、半導体発光素子。
- 請求項1から4のうちのいずれか1項に記載の半導体発光素子であって、前記電流狭窄構造と前記上部電極層との間に介在し、かつ前記電流狭窄構造を被覆する上部クラッド層を含む半導体発光素子。
- 請求項1から7のうちのいずれか1項に記載の半導体発光素子であって、ファブリ・ペロー型レーザダイオードの光共振器を構成する2つの劈開端面を有する半導体発光素子。
- 請求項1から8のうちのいずれか1項に記載の半導体発光素子であって、前記活性層と前記下部クラッド層との間に介在する裏面側段差閉じ込め層を更に含み、
前記裏面側段差閉じ込め層は、前記半導体基板に対して1%以上の圧縮歪みを有し、
前記裏面側段差閉じ込め層のバンドギャップは、前記活性層のバンドギャップよりも広く、かつ前記キャップ層のバンドギャップよりも狭い、半導体発光素子。 - 請求項1から9のうちのいずれか1項に記載の半導体発光素子であって、前記半導体基板は、III族窒化物半導体基板、もしくは、下地基板上にIII族窒化物半導体層を成長させてなるテンプレート基板である、半導体発光素子。
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、かつ第1導電型を有する下部クラッド層と、
前記下部クラッド層上に形成された段差閉じ込め層と、
前記段差閉じ込め層上に形成された活性層と、
前記活性層上に形成され、かつ前記第1導電型とは逆の第2導電型を有するキャップ層と、
前記キャップ層上に形成された電流狭窄構造と、
前記電流狭窄構造上に形成され、かつ前記第2導電型を有する上部クラッド層と、
前記上部クラッド層と電気的に接続された上部電極層と、
前記下部クラッド層と電気的に接続された下部電極層と、
を含み、
前記段差閉じ込め層は、前記半導体基板に対して1%以上の圧縮歪み量を有し、
前記キャップ層は、前記活性層よりも広いバンドギャップを有し、
前記段差閉じ込め層のバンドギャップは、前記活性層のバンドギャップよりも広く、かつ前記キャップ層のバンドギャップよりも狭い、半導体発光素子。 - 請求項11記載の半導体発光素子であって、前記段差閉じ込め層は、AlxGayIn1−x−yN材料(0<x<1;0<y<1;0<x+y<1)からなる、半導体発光素子。
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