JP2010084909A - 流体軸受装置およびこれを備えたスピンドルモータ、情報装置 - Google Patents

Abstract

【課題】機器の小型化・大容量化に伴い、軸受剛性が重視され、構造上潤滑流体溜まり部を形成するトップカバーを軸方向に設けることができず、この溜まり部をスリーブに内蔵する構造とする必要がある。この場合、潤滑流体溜まり部がスリーブに内包されているため潤滑流体量が可視化できず、製造工程における管理が困難となっていた。
【解決手段】スリーブは、潤滑流体溜り部における潤滑流体の気液境界面を外部から観察可能とするように、少なくとも一部が透光性材料で形成される。
【選択図】図１

Description

本発明は、ハードディスク駆動装置等に搭載される流体軸受装置およびこれを備えたスピンドルモータ、情報装置に関する。

近年、ハードディスク駆動装置（以下、ＨＤＤ）等のディスク駆動装置に搭載されるスピンドルモータは、非接触回転によって低ＮＲＲＯ（Non-Repetitive Run Out）や低騒音が実現できる動圧流体軸受（以下、流体軸受装置と示す。）が用いられている。

このような流体軸受装置では、流体軸受装置の角度剛性を向上させるために、軸とスリーブとの間の隙間に形成されるラジアル軸受部の長さをできるだけ長く確保した構成を採用することが望ましい。一方で、スピンドルモータの薄型化の要求も存在することから、ラジアル軸受部の長さを十分に確保しながら、流体軸受装置の厚みが増大しないような構成が必要とされている。

また、軸受部分における潤滑流体切れを防止するために、軸受部分に対して潤滑流体を供給する潤滑流体溜り部を設けた流体軸受装置がある。このような流体軸受装置では、十分な量の潤滑流体を貯留するために、例えば、スリーブの周辺に略円環状の潤滑流体溜り部が設けられる。

この潤滑流体溜り部は、貯留される潤滑流体の量を適正に調整するために、外部から観測可能であることが望ましい。

特許文献１には、トップカバーとスリーブ上端部との間の隙間に、潤滑流体溜り部を設けた流体軸受装置について開示されている。ここでは、トップカバーの一部に透光性の部材を用いることで、潤滑流体溜り部内の潤滑流体の気液境界面の位置を外部から観察しながら、適正な液量調整を行なうことができる。
特開２００６−１７０２３０号公報（平成１８年６月２９日公開） 特開２００６−１６２０２９号公報（平成１８年６月２２日公開） 特開２００４−００３５８２号公報（平成１６年１月８日公開）

しかしながら、上記従来の流体軸受装置では、以下に示すような問題点を有している。

すなわち、上記公報に開示された流体軸受装置では、例えば、軸受の高剛性化を図るためにラジアル軸受の長さを十分確保した構成を採用した場合には、軸受上部に潤滑流体溜り部を配置できないため、外部から観察できない位置（例えば、スリーブ内部等）に潤滑流体溜り部を移動させる必要がある。この場合には、潤滑流体溜り部を外部から観察することができなくなり、潤滑流体溜り部における潤滑流体溜り部を適正に調整することが困難になる。

本発明は、通常は外部から観察不能な潤滑流体溜り部内における潤滑流体の貯留量を高精度に管理することが可能な流体軸受装置およびスピンドルモータ、情報装置を提供することにある。

第１の発明に係る流体軸受装置（請求項１）は、軸と、前記軸が装填される軸受孔を有するスリーブと、前記軸と前記スリーブとの間の隙間に配置された動圧軸受部と、前記動圧軸受部を含む隙間に充填される潤滑流体と、前記スリーブの内部または外周部近傍に配置され、前記動圧軸受部に対して供給される前記潤滑流体を貯留する潤滑流体溜り部と、前記潤滑流体溜り部と外気とを連通させる換気路と、前記軸の一端に固定され、前記軸と一体的に回転すると共に、前記スリーブとの対向面から突出した略円環状の垂下部を有するハブと、前記潤滑流体溜り部と連通しかつ外気とも連通する、前記スリーブの外周面と前記ハブの垂下部の内周面との間の隙間に配置され、前記潤滑流体を保持するシール部と、前記スリーブの少なくとも一部に形成されており、前記潤滑流体溜り部における前記潤滑流体の気液境界面を外部から観察可能とするように、透光性材料で形成された透光部と、を備えている流体軸受装置である。
これにより、潤滑流体溜り部の気液境界面を観察しながら、適正な潤滑流体量に調整することができる。

第２の発明に係る流体軸受装置（請求項１０）は、軸と、前記軸が装填される軸受孔を有するスリーブと、前記軸と前記スリーブとの間の隙間に配置された動圧軸受部と、前記動圧軸受部を含む隙間に充填される潤滑流体と、前記スリーブの内部または外周部近傍に配置され、前記動圧軸受部に対して供給される前記潤滑流体を貯留する潤滑流体溜り部と、前記潤滑流体溜り部と外気とを連通させる換気路と、前記軸の一端に固定され、前記軸と一体的に回転すると共に、前記スリーブとの対向面から突出した略円環状の垂下部を有するハブと、前記潤滑流体溜り部と連通しかつ外気と連通する、前記スリーブの外周面と前記ハブの垂下部の内周面との間の隙間に配置され、前記潤滑流体を保持するシール部と、前記ハブの垂下部の少なくとも一部に形成されており、前記シール部における前記潤滑流体の気液境界面を外部から観察可能とするように、透光性材料で形成された透光部と、を備えている流体軸受装置である。
これにより、シール部の気液境界面を観察しながら、適正な潤滑流体量に調整することができる。

第３の発明に係る流体軸受装置（請求項１５）は、軸と、前記軸が装填される軸受孔を有するスリーブと、前記軸と前記スリーブとの間の隙間に配置された動圧軸受部と、前記スリーブの内部または外周部近傍に配置され、前記動圧軸受部に対して供給される潤滑流体を貯留する潤滑流体溜り部と、前記軸の一端に固定され、前記軸と一体的に回転すると共に、前記スリーブとの対向面から突出した略円環状の垂下部を有するハブと、前記潤滑流体溜り部と連通しかつ外気とも連通する、前記スリーブの外周面と前記ハブの垂下部の内周面との間の隙間に配置され、前記潤滑流体を保持するシール部と、前記潤滑流体溜り部と外気とを連通させ、前記ハブの垂下部の端面と、前記シール部と、前記スリーブの外周面とからなる領域に軸受内部に充填する量の潤滑流体を給液した状態で、保持した前記潤滑流体によって閉塞される位置に形成される換気路と、を備えている流体軸受装置である。
これにより、必要な量の潤滑流体を流体軸受装置内に注油することが可能となる。
第４の発明に係る流体軸受装置の製造装置（請求項１６）は、軸と、前記軸が装填される軸受孔を有するスリーブと、前記軸と前記スリーブとの間の隙間に配置された動圧軸受部と、前記動圧軸受部を含む隙間に充填される潤滑流体と、前記スリーブの端部または外周部近傍に配置され、前記動圧軸受部に対して供給される前記潤滑流体を貯留する潤滑流体溜り部と、前記軸の一端に固定され、前記軸と一体的に回転すると共に、前記スリーブの外周部との対向面から突出した略円環状の垂下部を有するハブと、前記潤滑流体溜り部と連通しかつ外気と連通する、前記スリーブの外周面と前記ハブの垂下部の内周面との間の隙間に配置され、前記潤滑流体を保持するシール部と、前記ハブの垂下部の少なくとも一部に形成されており、前記シール部における前記潤滑流体の気液境界面を外部から観察可能とするように、透光性材料で形成された透光部と、を備えている流体軸受装置である。
これにより、シール部の気液境界面を観察しながら、適正な潤滑流体量に調整することができる。

第５の発明に係る流体軸受装置の製造装置（請求項２１）は、軸と、前記軸が装填される軸受孔を有するスリーブと、前記軸と前記スリーブとの間の隙間に配置された動圧軸受部と、前記スリーブの内部または外周部近傍に配置され、前記動圧軸受部に対して供給される潤滑流体を貯留する潤滑流体溜り部と、前記潤滑流体溜り部と外気とを連通させる換気路と、前記軸の一端に固定され、前記軸と一体的に回転すると共に、前記スリーブとの対向面から突出した略円環状の垂下部を有するハブと、前記潤滑流体溜り部と連通しかつ外気とも連通する、前記スリーブの外周面と前記ハブの垂下部の内周面との間の隙間に配置され、前記潤滑流体を保持するシール部と、を備えた流体軸受装置の製造装置であって、前記流体軸受装置に必要な量より多い潤滑流体を軸受内に注油した後、余分な潤滑流体を除去して適正量に調整する工程において使用され、適正量に相当する気液境界面の位置近傍に配置された観測撮影装置を、備えている流体軸受装置の製造装置である。
これにより、曲面を有するスリーブの外周側からでも潤滑流体溜り部の気液境界面を観察しながら、適正な潤滑流体量に調整することができる。

本発明に係る流体軸受装置によれば、ラジアル軸受部の軸方向長さを十分に確保して軸受の角度剛性を向上させる流体軸受装置であって、潤滑流体溜り部の潤滑流体の気液境界面が通常では観察できない位置に設けられていても、スリーブの少なくとも一部に透光性を有する透光部が設けられているため、気液境界面を容易に観察できる構成となっている。

（実施の形態１）
本発明の一実施形態に係る流体軸受装置２０を搭載したスピンドルモータ１０について、図１〜図４を用いて説明する。

［スピンドルモータ１０全体の構成］
本実施形態に係るスピンドルモータ１０は、図１に示すように、ロータマグネット１６、複数のコイルが巻回されたステータコア１７、ベース１８および流体軸受装置２０を備えている。

ロータマグネット１６は、流体軸受装置２０に含まれるロータハブ（ハブ）１５の内周面側において、円周方向に多極着磁されて取り付けられている。そして、ロータマグネット１６は、対向配置されたステータコア１７のコイルに順次通電させてステータコア１７との間に回転磁界を発生させることで、シャフト１２を中心としてロータハブ１５を回転させる。

ベース１８は、ステータコア１７や吸引板１９等の静止側部材が配置されている。そして、その略中心部分には、スリーブ１１を固着するための中空円筒部１８ａおよびその中心に開けられた中央穴１８ｂが設けられている。そのベース１８の中空円筒部１８ａの外周部１８ｃには、コイルが巻線されたステータコア１７が接着または圧入等によって固定されている。

流体軸受装置２０は、シャフト１２を中心として磁気記録ディスク４０を回転させるために、磁気記録ディスク４０が搭載されたロータハブ１５を含む回転側の部材を固定側の部材（スリーブ１１等）に対して互いに非接触の状態で支持し、スムーズに回転させる。流体軸受装置２０には、オイル、高流動性グリス、イオン性液体等の潤滑流体２６が充填されている。なお、流体軸受装置２０の構成については、以下に詳述する。

［流体軸受装置２０の構成］
流体軸受装置２０は、図２に示すように、スリーブ１１（本実施の形態においては、３１および３２から構成）、シャフト１２、スラストフランジ１３、スラスト板１４、ロータハブ１５、テーパシール部２１、および第１流体溜り部（第１潤滑流体溜り部）２７、第２流体溜り部（第２潤滑流体溜り部）２２等を有している。

（スリーブ１１）
スリーブ１１は、軸受孔１１ａを有し、鉄、鉄合金、銅、銅合金等の金属材料等によって形成される２つの部材（第１、第２スリーブ部材３１、３２）によって構成され、ベース１８に対して接着等で固定されている。また、スリーブ１１は、図２に示すように、軸方向に沿って形成された連通孔１１ｂと、シャフト１２の外周面と対向する軸受孔１１ａの内周面側に形成されたラジアル動圧発生溝（ラジアル軸受部）１１ｃと、ロータハブ１５との対向面に形成されたスラスト動圧発生溝３２ａと、を有している。さらに、スリーブ１１は、図２および図３に示すように、略円環状に形成される第１流体溜まり部（第１潤滑流体溜まり部）２７を内包している。また、スリーブ１１は、この第１流体溜まり部２７を外気と連通させる換気孔２８を外周面に有している。

第１スリーブ部材３１は、スリーブ１１におけるシャフト１２の外周面と対向する内側に配置されるインナースリーブとして構成されている。第１スリーブ部材３１は、全体として略円環状の部材であって、軸方向に沿った断面が略Ｌ字型の形状を有している。また、第１スリーブ部材３１は、シャフト１２の外周面と対向する内周面に、ラジアル動圧発生溝１１ｃを有している。

第１スリーブ部材３１は、略Ｌ字型の断面をシャフト１２のスラストフランジ１３を互いに当接させるようにして組立てられる。これにより、例えば、流体軸受装置２０に対して軸方向に大きな衝撃や振動が付与され、回転側部材が固定側部材に対して軸方向に急激に移動しようとした場合でも、シャフト１２のスラストフランジ１３部分が第１スリーブ部材３１に係合して、軸方向にずれてしまうことを回避することができる。

第２スリーブ部材３２は、第１スリーブ部材３１の外周側でかつ開放端側に当接するように配置される略円環状の部材である。第２スリーブ部材３２は、図２および図４に示すように、ロータハブ１５と対向する面における径方向外側の位置に、スラスト動圧発生溝３２ａを有している。また、第２スリーブ部材３２は、第１スリーブ部材３１との間の隙間に、後述する第１流体溜まり部２７を外気と連通させる換気路２８を形成する。換気路２８は第１スリーブ部材３１または第２スリーブ部材３２に形成された溝であってもよいし、第２スリーブ部材３２の内周面と外周面を貫通する孔であってもよい。

連通孔１１ｂは、スリーブ１１を軸方向に貫通するように形成された貫通穴であって、上述した第１スリーブ部材３１に形成される。連通孔１１ｂは、非対称なラジアル動圧発生溝１１ｃ等によって生成される潤滑流体２６の循環力によって、軸受部を含む隙間内において潤滑流体２６を循環させる。

ラジアル動圧発生溝１１ｃは、上下に分かれて配置される２組のヘリングボーン形状の動圧発生溝であって、回転側であるシャフト１２が回転することにより動圧を発生させる。また、ラジアル動圧発生溝１１ｃは、少なくとも１組は軸方向において非対称のヘリングボーン形状となっている。このため、スリーブ１１とシャフト１２との間の隙間（ラジアル軸受部）において所望の方向へ潤滑流体２６の流れが形成される（本実施例の場合には、図２においてラジアル軸受部内を上から下に向いて循環する流れが形成される）。これにより、流体軸受装置２０内において効率よく潤滑流体２６を循環させて、潤滑流体２６内に混入した気泡を効果的にラジアル軸受部外へと排出することができる。

スラスト動圧発生溝３２ａは、上述した第２スリーブ部材３２におけるロータハブ１５との対向面（上面）に円環状に形成されている。また、スラスト動圧発生溝３２ａは、第２スリーブ部材３２の上面における径方向外側寄りに形成されている。動圧の発生方向は外周から内周に向かう方向である。これにより、本実施形態の流体軸受装置２０では、スラストフランジ１３とスラスト板１４との対向面にスラスト動圧発生溝を形成した場合と比較して、さらに径方向外側の位置において動圧を発生させて、シャフト１２の外乱による傾きを補正する角度剛性を大きくすることができる。

ラジアル動圧発生溝（ラジアル軸受部）１１ｃを含むシャフト１２とスリーブ１１の軸受孔１１ａとの間、スラスト動圧発生溝（スラスト軸受部）３２ａを含むロータハブ１５とスリーブ１１との間の隙間には、潤滑流体２６が充填されている。この潤滑流体２６は、シャフト１２を含む回転側部材が回転すると、動圧発生溝内に流入してポンピング圧力を発生させる。
また、第１スリーブ部材３１と第２スリーブ部材３２の嵌合部には、連通路３２ｂが形成されている。連通路３２ｂは第１スリーブ部材３１の外周部または第２スリーブ部材３２の内周部に形成された溝であってもよい。
このような構造によって、潤滑流体２６は、ラジアル軸受部→連通路１１ｂ→第１流体溜り部２７→連通路３２ｂ→第２流体溜り部２２→ラジアル軸受部という循環経路で循環する。ラジアル軸受部等で発生した気泡は第１流体溜り部において気液分離され、換気路２８から排出される。

なお、ラジアル動圧発生溝１１ｃは、スリーブ１１の内周面側ではなく、シャフト１２の外周面側に形成されていてもよい。また、ラジアル動圧発生溝１１ｃとしては、ヘリングボーン形状ではなく、２つのスパイラル形状（略ハの字形状）であってもよい。さらに、ラジアル軸受部とスラスト軸受部の双方の特性を備える円錐軸受でもよい。

（シャフト１２）
シャフト１２は、金属材料で構成された、直径が約２．０〜４．０ｍｍの円筒状の外周面を有する部材（例えば、円柱状部材、円筒状部材）であって、軸受孔１１ａ内に回転可能な状態で挿入されている。また、シャフト１２の下端部には、中心部分に円形の開口を有する円板状のスラストフランジ１３がカシメ、圧入、溶接等によって接合される。なお、スラストフランジ１３は、シャフト１２と一体成形されていてもよい。シャフト１２は回転中心の軸として用いられることから、例えば、ＳＵＳ等の比較的硬度が高いものが使われており、切削および研磨等によって加工される。

（スラストフランジ１３）
スラストフランジ１３は、略円板状の部材であって、上述したように、シャフト１２に対して固定、または一体的に設けられている。そして、スラストフランジ１３は、スリーブ１１とスラスト板１４とで囲まれた空間に収納されている。

スラストフランジ１３の上面周辺部は、スリーブ１１の下方に形成された段部（第１スリーブ部材３１の底面部）に対向している。
上述のように、スラスト軸受部をロータハブ１５とスリーブ１１との間の隙間に形成する場合は、このスラストフランジ１３は単に抜け止め部材として機能すればよいので、薄く形成することができる。
また、スラスト軸受部をこのスラストフランジ１３と後述のスラスト板１４との間の隙間に形成する場合は、互いに対向するスラストフランジ１３の下面側またはスラスト板１４の上面側にスラスト動圧発生溝を形成する。

（スラスト板１４）
スラスト板１４は、流体軸受装置２０の下部開口を覆うように取り付けられた略円板状の部材である。
上述のように、スラスト軸受部をロータハブ１５とスリーブ１１との間の隙間に形成する場合は、このスラスト板１４は単に気密を保って封止される閉塞部材として機能すればよいので、薄く形成することができる。

（ロータハブ１５）
ロータハブ１５は、略カップ状の形状であって、略中心部分に貫通孔を有している。この貫通孔には、シャフト１２の上端部が圧入接着やレーザ溶接等によって固着されている。ロータハブ１５には、スピンドルモータ１０のロータマグネット１６が取り付けられており、ステータ１７に対して半径方向において対向している。また、ロータハブ１５には、磁気記録ディスク４０等の記録メディアが固定され、全体としてハードディスク装置のような磁気記録再生装置を構成する。さらに、ロータハブ１５は、スリーブ１１と対向する側の面から軸方向に沿って突出した垂下部１５ａを有している。

垂下部１５ａは、スリーブ１１（第３スリーブ部材３３）の外周側に近接するように、軸方向に沿って突出している。そして、垂下部１５ａは、第３スリーブ部材３３の外周面との間の隙間において、テーパシール部２１を形成する。

テーパシール部２１は、図２に示すように、垂下部１５ａとの間の隙間が軸方向下向きに広がるように傾斜した第２スリーブ部材３２の外周面とによって形成されている。テーパシール部２１は、軸方向上向きに隙間が狭くなっていくため、第２流体溜まり部２２に貯留された潤滑流体２６を表面張力の作用によって保持することができる。

（第１流体溜まり部２７）
第１流体溜まり部２７は、図２、図３および図４に示すように、第１スリーブ部材３１と第２スリーブ部材３２とを組み合わせた状態で、スリーブ１１に内包されるように形成された略円環状の隙間である。また、第１流体溜まり部２７は、軸方向に沿って形成された連通孔１１ｂに対して一部が略垂直に交差している。さらに、第１流体溜まり部２７は、図２および図３に示すように、周方向に沿って径方向における隙間の大きさが変化するように形成されている。

具体的には、図３に示すように、第１流体溜まり部２７を外気と連通させる換気孔２８に近接する位置から周方向に沿って離間していくほど、径方向における隙間（断面積）が小さくなる周方向に湾曲したテーパシール構造３０が形成されている。つまり、第１流体溜まり部２７は、換気孔２８から最も離間した位置に最小隙間部２７ａ、換気孔２８に最も近接する位置に最大隙間部２７ｂを有している。

最小隙間部２７ａは、径方向隙間が最小隙間ｄとなっている。一方、最大隙間部２７ｂは、径方向隙間が最大隙間Ｄとなっており、両者の関係はＤ＞ｄである。

すなわち、第１流体溜まり部２７は、図３に示すように、周方向において径方向隙間の大きさが、換気孔２８から徐々に小さくなっていくテーパシール構造３０を有している。このため、第１流体溜まり部２７に貯留された潤滑流体２６には、最も隙間が大きい換気孔２８側から最も隙間が小さい連通孔１１ｂ側に向かって表面張力の作用によって吸引力が働く。よって、本実施形態では、第１流体溜まり部２７内において、流体軸受装置の姿勢に関わらず、図３に示すように、気液境界面２６ａを境として、潤滑流体２６を安定的に保持することができる。この結果、第１流体溜まり部２７が換気孔２８を介して外気と連通している構成であっても、貯留された潤滑流体２６が換気孔２８から外部へ漏れ出すことを防止することができる。

また、非対称なラジアル動圧発生溝１１ｃによって生成される潤滑流体２６の循環力によって連通孔１１ｂ内には、潤滑流体２６が循環している。そして、第１流体溜まり部２７と連通孔１１ｂとは、最小隙間部２７ａの位置において一部が連通した状態で交差している。

（第２流体溜まり部２２）
第２流体溜まり部２２は、図２に示すように、スリーブ１１とロータハブ１５との対向面間の隙間に形成されている。また、第２流体溜まり部２２に貯留された潤滑流体２６は、上述した垂下部１５ａと第３スリーブ部材３３との間に形成されたテーパシール部２１において外気と連通している。よって、潤滑流体２６は、第２流体溜まり部２２において、含まれる気泡を外気へと排出することができる。

本実施形態では、スリーブ１１に内包される略円環状の第１流体溜まり部２７に加えて、ロータハブ１５とスリーブ１１との対向面間にも第２流体溜まり部２２を設けている。

これにより、従来の流体軸受装置と比較して、潤滑流体溜まり部の容積を増大させ、より多くの潤滑流体２６を装置内に貯留することができる。また、第１・第２流体溜まり部２７，２２の双方が、外気と連通するように形成されている。よって、装置内を循環する潤滑流体２６が各潤滑流体溜まり部に流れ込んだ際には、潤滑流体２６内に含まれる気泡を効果的に外気へと排出することができる。

［流体軸受装置２０の潤滑流体の注油］
図５を用いて本実施の形態の流体軸受装置２０への潤滑流体２６の注油方法とそれに関する構造を説明する。
まず、ロータハブ１５を含んだ流体軸受装置２０を、減圧した真空チャンバー内に配置する。（第１の圧力）その後、図５の潤滑流体５０を給液装置（図示せず）からディスペンサ（図示せず）等を介して滴下する。このとき、ロータハブ１５の垂下部１５ａの端面最外周部には突出部１５ｂを設けてもよい。これによって、所定量の潤滑流体５０を垂下部１５ａから漏れ出すことなく保持できる。またはこの突出部１５ｂの代わりに撥油剤を塗布してもよい。
また、このとき潤滑流体５０によって、スリーブ１１に設けた換気路２８が塞がれていることが必要である。
その後、真空チャンバー内を第１の圧力よりも高い圧力（第２の圧力）に昇圧して、潤滑流体５０を軸受内に押し込む。通常は大気圧に戻している。このとき、スリーブ１１に設けた換気路２８は塞がれているので、潤滑流体５０はテーパ部２１から軸受内に入り込む。
十分な量の潤滑流体が軸受内に行きわたった後で、換気路２８が開くような位置関係とすることが望ましい。このときは必ずしも換気路２８は開く必要はない。
次に、軸受内外の余分な潤滑流体を吸引することで適正な量に調整する。

［流体軸受装置２０の潤滑流体量の調整］
図１１、１２および図６、７を用いて、本発明の潤滑流体量の調整方法とそれに関する構造について説明する。

潤滑流体を注油した後、テーパ部２１に吸引管を差し込んで、余分な潤滑流体を吸引する。そのためには、第１流体溜まり部２７の気液境界面２６ａを観察しなければならない。そのために本発明においては、第２スリーブ部材３２を透光性を有する材料で形成している。具体的には、例えば透光性樹脂である。透光性樹脂としては、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）やポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）が考えられる。もちろん第２スリーブ部材３２の全体を透光性を有する材料で形成する必要はなく、少なくとも一部を透光性を有する材料で形成した透光部を有していればよい。この透光部は潤滑流体量の調整のために、気液境界面２６ａが観察できることが必要である。
図１１は、観測撮影装置６０とその光源６１を表す。観測撮影装置６０と光源６１は、例えば、最適な潤滑流体量のときの気液境界面２６ａの位置近傍に配置する。最適な潤滑流体量とは、潤滑流体が温度上昇による熱膨張や振動・衝撃によって換気路２８から漏れ出さない量をいう。
観測撮影装置６０と光源６１は、図１１に示すように観測撮影装置６２と光源６３をさらに配置してもよい。
２つの気液境界面２６ａが適正位置に入ったときに、前記の吸引管からの吸引を停止する。
もちろん、１つの気液境界面２６ａのみを観察してもよい。
生産上はこの吸引管は換気路２８の反対側に配置することが、自動化作業をやり易くする。
光源６１、６３は、第２スリーブ部材３２の外周が曲面を形成しているので、多点照明を使用することが望ましい。これによって、観測画像の中央付近に軸方向にできる暗い筋の影響をなくすことができ、より正確な観察ができる。
また、図１２に示すように、スリーブ１１の外方にはロータマグネット１６が配置されており、観察スペースが小さい。よって、図１２に示すように、反射板６５を用いて観測撮影装置６４で観察することが有効である。

次に、気液境界面２６ａをより観察し易くする構造を説明する。図６は第２スリーブ部材３２の外周部に凸状部５１を形成してレンズ効果を持たせ、透光性材料を通して観測される気液境界面２６ａを拡大して観察する構造である。
図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は第２スリーブ部材３２の外周部の一部に平面部を設けて、さらに観察をし易くしたものである。図７（ａ）は、換気路２８を含む外周曲面を一部切り欠きして第１の平面部５２を形成したものである。これにより、通常の光源を使用して容易に気液境界面２６ａを観察することができる。また、図７（ｃ）は、最適な気液境界面２６ａが前記第１の平面部５２の範囲外に位置する場合である。このときは、切り欠きを多くすると平面部は広がるが第２スリーブ部材３２の肉厚が薄くなってしまう。このため、
第２の平面部５３および第３の平面部５４をさらに形成する。これによって、同様に通常の光源を使用して容易に気液境界面２６ａを観察することができる。なお、平面は１面または３面に限らず、多面であってもよい。
なお、この構造において、適正な潤滑流体量を観察できるように垂下部１５ａの少なくとも一部は、透光性を有する材料で形成してもよい。具体的には、例えば透光性樹脂である。透光性樹脂としては、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）やポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）が考えられる。

（実施の形態２）
本発明の他の実施の形態を、図８を用いて説明する。
前述の実施の形態１との相違点は、スリーブ１１１の構成である。他は実施の形態１と同様なので説明は省略する。

［流体軸受装置７０の構成］
流体軸受装置７０は、図８、９に示すように、スリーブ１１１（本実施の形態においては、１３１、１３２および１３３から構成）、シャフト１１２、スラストフランジ１１３、スラスト板１１４、ロータハブ１１５、テーパシール部１２１、および第１流体溜り部（第１潤滑流体溜り部）１２７、第２流体溜り部（第２潤滑流体溜り部）１２２等を有している。

（スリーブ１１１）
スリーブ１１１は、軸受孔１１１ａを有し、鉄、鉄合金、銅、銅合金等の金属材料等によって形成される３つの部材（第１、第２、第３スリーブ部材１３１、１３２、１３３）によって構成され、ベース１１８に対して接着等で固定されている。また、スリーブ１１１は、図９に示すように、軸方向に沿って形成された連通孔１１１ｂと、シャフト１１２の外周面と対向する軸受孔１１１ａの内周面側に形成されたラジアル動圧発生溝（ラジアル軸受部）１１１ｃと、ロータハブ１１５との対向面に形成されたスラスト動圧発生溝１３２ａと、を有している。さらに、スリーブ１１１は、図８および図９に示すように、略円環状に形成される第１流体溜まり部（第１潤滑流体溜まり部）１２７を内包している。また、スリーブ１１１は、この第１流体溜まり部１２７を外気と連通させる換気孔１２８を外周面に有している。

第１スリーブ部材１３１は、スリーブ１１１におけるシャフト１１２の外周面と対向する内側に配置されるインナースリーブとして構成されている。第１スリーブ部材１３１は、全体として略円環状の部材であって、軸方向に沿った断面が略Ｌ字型の形状を有している。また、第１スリーブ部材１３１は、シャフト１１２の外周面と対向する内周面に、ラジアル動圧発生溝１１１ｃを有している。

第１スリーブ部材１３１は略Ｌ字型の断面を有し、第２スリーブ部材１３２の有する同じく略Ｌ字型の断面とを互いに当接させるようにして組立てられる。これにより、例えば、流体軸受装置７０に対して軸方向に大きな衝撃や振動が付与され、回転側部材が固定側部材に対して軸方向に急激に移動しようとした場合でも、シャフト１１２のスラストフランジ１１３部分が第１スリーブ部材１３１に係合して、軸方向にずれてしまうことを回避することができ、それをさらにベース１１８に固定された第２スリーブ部材１３２で受け止めている。

第２スリーブ部材１３２は、第１スリーブ部材１３１の外周側でかつ開放端側に当接するように配置される略円環状の部材である。連通路１１１ｂは、スリーブ１１１を軸方向に貫通するように形成された貫通穴であって、上述した第１スリーブ部材１３１と第２スリーブ部材１３２との間に形成される。連通路１１１ｂは第１スリーブ部材１３１または第２スリーブ部材１３２に形成された溝であってもよい。

第３スリーブ部材１３３は、図９に示すように、ロータハブ１１５と対向する面における径方向外側の位置に、スラスト動圧発生溝１３３ａを有している。また、第３スリーブ部材１３３は、第１スリーブ部材１３１との間の隙間に、第１流体溜まり部１２７を外気と連通させる換気路１２８を形成する。換気路１２８は第１スリーブ部材１３１または第３スリーブ部材１３３に形成された溝であってもよいし、第２スリーブ部材１３２の内周面と外周面を貫通する孔であってもよい。

連通孔１１１ｄは、スリーブ１１を軸方向に貫通するように形成された貫通穴であって、上述した第１スリーブ部材１３１と第３スリーブ部材１３３との間に形成される。連通路１１１ｄは第１スリーブ部材１３１または第３スリーブ部材１３３に形成された溝であってもよい。

これらの連通孔１１１ｂ、１１１ｄは、非対称なラジアル動圧発生溝１１１ｃ等によって生成される潤滑流体１２６の循環力によって、軸受部を含む隙間内において潤滑流体１２６を循環させる。このような構造によって、潤滑流体１２６は、ラジアル軸受部→連通路１１１ｂ→第１流体溜り部１２７→連通路１１１ｄ→第２流体溜り部１２２→ラジアル軸受部という循環経路で循環する。ラジアル軸受部等で発生した気泡は第１流体溜り部１２７において気液分離され、換気路１２８から排出される。

なお、ラジアル動圧発生溝１１１ｃは、スリーブ１１１の内周面側ではなく、シャフト１１２の外周面側に形成されていてもよい。また、ラジアル動圧発生溝１１１ｃとしては、ヘリングボーン形状ではなく、２つのスパイラル形状（略ハの字形状）であってもよい。さらに、ラジアル軸受部とスラスト軸受部の双方の特性を備える円錐軸受でもよい。

［流体軸受装置７０の潤滑流体の注油］
図１０を用いて本実施の形態の流体軸受装置７０への潤滑流体１２６の注油方法とそれに関する構造を説明する。
まず、ロータハブ１１５を含んだ流体軸受装置７０を、減圧した真空チャンバー内に配置する。（第１の圧力）その後、図１０の潤滑流体１５０を給液装置（図示せず）からディスペンサ（図示せず）等を介して滴下する。このとき、ロータハブ１１５の垂下部１１５ａの端面最外周部には突出部１１５ｂを設けてもよい。これによって、所定量の潤滑流体１５０を垂下部１１５ａから漏れ出すことなく保持できる。またはこの突出部１１５ｂの代わりに撥油剤を塗布してもよい。
また、このとき潤滑流体１５０によって、スリーブ１１１に設けた換気路１２８が塞がれていることが必要である。
その後、真空チャンバー内を第１の圧力よりも高い圧力（第２の圧力）に昇圧して、潤滑流体１５０を軸受内に押し込む。通常は大気圧に戻している。このとき、スリーブ１１１に設けた換気路１２８は塞がれているので、潤滑流体１５０はテーパ部１２１から軸受内に入り込む。
十分な量の潤滑流体が軸受内に行きわたった後で、換気路１２８が開くような位置関係とすることが望ましい。このときは必ずしも換気路１２８は開く必要はない。
次に、軸受内外の余分な潤滑流体を吸引することで適正な量に調整する。

［流体軸受装置７０の潤滑流体量の調整］
潤滑流体量の調整は、図１１、１２で説明した方法と同様である。

潤滑流体を注油した後、テーパ部１２１に吸引管を差し込んで、余分な潤滑流体を吸引する。そのためには、第１流体溜まり部１２７の気液境界面１２６ａを観察しなければならない。そのために本発明においては、第３スリーブ部材１３３を透光性を有する材料で形成している。具体的には、例えば透光性樹脂である。透光性樹脂としては、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）やポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）が考えられる。もちろん第３スリーブ部材１３３の全体を透光性を有する材料で形成する必要はなく、少なくとも一部を透光性を有する材料で形成した透光部を有していればよい。この透光部は潤滑流体量の調整のために、気液境界面１２６ａが観察できることが必要である。
なお、この構造において、適正な潤滑流体量を観察できるように垂下部１１５ａの少なくとも一部は、透光性を有する材料で形成してもよい。具体的には、例えば透光性樹脂である。透光性樹脂としては、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）やポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）が考えられる。

（実施の形態３）
本発明の他の実施の形態を、図１３を用いて説明する。

［流体軸受装置８０の構成］
流体軸受装置８０は、図１３に示すように、スリーブ２１１、シャフト２１２、スラストフランジまたは抜け止め板２１３、スラスト板２１４、ロータハブ２１５、テーパシール部２２１、および流体溜り部（潤滑流体溜り部）２２２等を有している。スリーブ２１１の内周面とシャフト２１２の外周面の少なくとも一方にはラジアル動圧軸受溝２１１ｃが形成されている。スリーブ２１１の上部外周面を覆うようにロータハブ２１５から垂下部２１５ａが形成されている。この構造においては、適正な潤滑流体量を観察できるように垂下部２１５ａの少なくとも一部は、透光性を有する材料で形成している。具体的には、例えば透光性樹脂である。透光性樹脂としては、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）やポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）が考えられる。

（他の実施の形態）
（Ａ）
上記実施形態では、ロータハブとスリーブとの対向面の間の隙間にスラスト軸受部（スラスト動圧発生溝）を配置した例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、ロータハブとスリーブとの対向面の間にスラスト軸受部を配置することなく、シャフトと一体的に回転するスラストフランジとスラスト板との対向面の間、あるいはスラストフランジとスリーブとの対向面の間にスラスト軸受部を配置してもよい。

ただし、流体軸受装置における力点にできる限り近い位置、かつ径方向において最大の位置において動圧を発生させることで回転側部材のバランスをとりやすくするという点では、上記実施形態のように、ロータハブとスリーブとの対向面の間にスラスト軸受部を配置することがより好ましい。

（Ｂ）
上記実施形態では、シャフトに対してスラストフランジが取り付けられた、いわゆるフランジタイプの流体軸受装置を例として挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、シャフトに対してフランジ部がない、いわゆるフランジレスタイプの流体軸受装置であってもよい。この場合には、連通穴が形成された抜け止め部材を設けることにより、シャフトがスリーブの軸受孔内から抜けてしまうことを回避することができる。

（Ｃ）
上記実施形態では、第１流体溜まり部におけるシール機能を、径方向隙間の大きさを周方向において変化させることで付与した例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、上記シール機構としては、第１潤滑流体溜まり部の径方向に沿った断面積の大きさを周方向において変化させることで付与すればよい。すなわち、周方向において大きさを変化させるのは、径方向隙間の大きさ以外にも、軸方向隙間の大きさであってもよいし、径方向および軸方向の双方の隙間であってもよい。

（Ｄ）
上記実施形態では、流体軸受装置内の隙間に充填された潤滑流体を循環させる循環力を付与するために、ラジアル動圧発生溝を非対称溝として形成した例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、スラスト動圧発生溝を非対称溝として形成してスラスト軸受部側において循環力を発生させるような構成であってもよい。あるいは、ラジアル・スラスト動圧発生溝の双方を非対称溝として形成し、潤滑流体に対して装置内で循環する力を付与するような構成であってもよい。

（Ｅ）
上記実施形態では、スリーブを構成する材料として、鉄、鉄合金、銅、銅合金等の金属材料を用いた例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、上記金属材料以外にも、アルミ等の焼結金属やＳＵＳ、真鍮、鍛造品等を用いることができる。

（Ｆ）
上記実施形態では、ラジアル軸受部およびスラスト軸受部を含む流体軸受装置を例として挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、コニカル軸受を含む流体軸受装置に対して、本発明を適用することも可能である。

（Ｇ）
上記実施形態では、本発明に係る流体軸受装置２０を、スピンドルモータ１０に対して搭載した例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、図１４に示すように、記録再生ディスク９１に対して記録再生を行う記録ヘッド９２を有する磁気記録再生装置（記録再生装置、情報処理装置）９０に搭載されるスピンドルモータ９３（流体軸受装置９４）に対しても本発明の適用は当然に可能である。

また、記録再生装置としては、磁気記録再生装置に限らず、例えば、光ディスク等の他の記録再生装置に対しても搭載可能である。

さらには、情報処理装置として、ＣＰＵに搭載される冷却ファンを回転させるスピンドルモータに含まれる流体軸受装置としても本発明の適用は可能である。

本発明の流体軸受装置は、ラジアル軸受部の軸方向長さを十分に確保して軸受の角度剛性を向上させることができるとともに、スリーブ内部等に潤滑流体溜り部が形成されても、気液境界面を観察しながら潤滑流体量の調整ができるという効果を奏することから、各種情報処理装置に搭載される流体軸受装置に対して広く適用可能である。

本発明の一実施形態に係る流体軸受装置を搭載したスピンドルモータの構成を示す断面図 図１のスピンドルモータに搭載された流体軸受装置の構成を示す拡大断面図 図２のＡ−Ａ線矢視断面図 図２の流体軸受装置に含まれるスリーブ内に形成される連通路と第１潤滑流体溜り部とが交差する構成を示す概念図 本発明の一実施形態に係る流体軸受装置の潤滑流体の滴下状態を表す断面図 本発明の一実施形態に係る流体軸受装置の構成を示す断面図 本発明の一実施形態に係る流体軸受装置の構成を示す断面図 本発明の第２の実施形態に係る流体軸受装置を搭載したスピンドルモータの構成を示す断面図 図８のスピンドルモータに搭載された流体軸受装置の構成を示す拡大断面図 本発明の一実施形態に係る流体軸受装置の潤滑流体の滴下状態を表す断面図 本発明の一実施形態に係る流体軸受装置の潤滑流体の観察状態を表す断面図 本発明の一実施形態に係る流体軸受装置の潤滑流体の観察状態を表す断面図 本発明の第３の実施形態に係る流体軸受装置を搭載したスピンドルモータの構成を示す断面図 情報装置を表す断面図

符号の説明

１１ スリーブ
１１ａ 軸受孔
１１ｂ 連通路
１１ｃ ラジアル動圧発生溝（動圧軸受部を形成）
１２ シャフト（軸）
１３ スラストフランジ（または抜け止め板）
１４ スラスト板（または閉塞版）
１５ ロータハブ
１５ａ 垂下部
１６ ロータマグネット
１７ ステータコア
１８ ベース
１９ 吸引板
２０ 流体軸受装置
２１ シール部
２２ 潤滑流体溜り部（第２潤滑流体溜り部）
２６ 潤滑流体
２７ 潤滑流体溜り部（第１潤滑流体溜り部）
２８ 換気路
３１ 第１スリーブ部材
３２ 第２スリーブ部材
３２ａ スラスト動圧発生溝（動圧軸受部を形成）
３２ｂ 連通路
４０ ディスク（記録再生ディスク）
４１ ディスクスペーサ

Claims (23)

1. 軸と、
   前記軸が装填される軸受孔を有するスリーブと、
   前記軸と前記スリーブとの間の隙間に配置された動圧軸受部と、
   前記動圧軸受部を含む隙間に充填される潤滑流体と、
   前記スリーブの内部または外周部近傍に配置され、前記動圧軸受部に対して供給される前記潤滑流体を貯留する潤滑流体溜り部と、
   前記潤滑流体溜り部と外気とを連通させる換気路と、
   前記軸の一端に固定され、前記軸と一体的に回転すると共に、前記スリーブとの対向面から突出した略円環状の垂下部を有するハブと、
   前記潤滑流体溜り部と連通しかつ外気とも連通する、前記スリーブの外周面と前記ハブの垂下部の内周面との間の隙間に配置され、前記潤滑流体を保持するシール部と、
   前記スリーブの少なくとも一部に形成されており、前記潤滑流体溜り部における前記潤滑流体の気液境界面を外部から観察可能とするように、透光性材料で形成された透光部と、
   を備えている流体軸受装置。
2. 前記潤滑流体溜り部は、前記スリーブ一部に軸方向に沿っての内部に設けられており、前記潤滑流体を略円環状の空間内に貯留する、
   請求項１に記載の流体軸受装置。
3. 前記スリーブにおける前記軸受孔の開放端側と閉鎖端側とを連通させる連通路を、さらに備えており、
   前記潤滑流体溜り部は、前記スリーブの一部に軸方向に沿って形成されており、前記連通路と交差している
   請求項１または２に記載の流体軸受装置。
4. 前記潤滑流体溜り部は、前記連通路と交差する位置の近傍において、径方向に沿った断面が最小となる最小隙間部を有する、
   請求項３に記載の流体軸受装置。
5. 前記潤滑流体溜り部は、前記換気路の近傍において、径方向に沿った断面が最大となる最大隙間部を有する、
   請求項３または４に記載の流体軸受装置。
6. 前記潤滑流体溜り部は、周方向に沿って、前記換気路側から前記連通路側に向かって、径方向に沿った断面が小さくなっていくように形成されている、
   請求項３から５のいずれか１項に記載の流体軸受装置。
7. 前記スリーブは、複数の部材を組み合わせて構成されている、
   請求項１から６のいずれか１項に記載の流体軸受装置。
8. 前記透光性材料は、透光性樹脂である、
   請求項１から７のいずれか１項に記載の流体軸受装置。
9. 前記透光性樹脂は、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）またはポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）である、
   請求項８に記載の流体軸受装置。
10. 軸と、
    前記軸が装填される軸受孔を有するスリーブと、
    前記軸と前記スリーブとの間の隙間に配置された動圧軸受部と、
    前記動圧軸受部を含む隙間に充填される潤滑流体と、
    前記スリーブの内部または外周部近傍に配置され、前記動圧軸受部に対して供給される前記潤滑流体を貯留する潤滑流体溜り部と、
    前記潤滑流体溜り部と外気とを連通させる換気路と、
    前記軸の一端に固定され、前記軸と一体的に回転すると共に、前記スリーブとの対向面から突出した略円環状の垂下部を有するハブと、
    前記潤滑流体溜り部と連通しかつ外気と連通する、前記スリーブの外周面と前記ハブの垂下部の内周面との間の隙間に配置され、前記潤滑流体を保持するシール部と、
    前記ハブの垂下部の少なくとも一部に形成されており、前記シール部における前記潤滑流体の気液境界面を外部から観察可能とするように、透光性材料で形成された透光部と、
    を備えている流体軸受装置。
11. 前記透光性材料は、透光性樹脂である、
    請求項１０に記載の流体軸受装置。
12. 前記透光性樹脂は、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）またはポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）である、
    請求項１１に記載の流体軸受装置。
13. 前記スリーブの外周の少なくとも一部に形成されており、前記潤滑流体の気液境界面を外部から拡大して観察可能とするように、光を屈折させる凸部または凹部を、さらに備えている、
    請求項１から１２のいずれか１項に記載の流体軸受装置。
14. 前記スリーブの外周面の前記換気路の近傍に形成されており、前記潤滑流体の気液境界面を乱反射なく外部から観察可能とするように、平面部または多角形面部を、さらに備えている、
    請求項１から１２のいずれか１項に記載の流体軸受装置。
15. 軸と、
    前記軸が装填される軸受孔を有するスリーブと、
    前記軸と前記スリーブとの間の隙間に配置された動圧軸受部と、
    前記スリーブの内部または外周部近傍に配置され、前記動圧軸受部に対して供給される潤滑流体を貯留する潤滑流体溜り部と、
    前記軸の一端に固定され、前記軸と一体的に回転すると共に、前記スリーブとの対向面から突出した略円環状の垂下部を有するハブと、
    前記潤滑流体溜り部と連通しかつ外気とも連通する、前記スリーブの外周面と前記ハブの垂下部の内周面との間の隙間に配置され、前記潤滑流体を保持するシール部と、
    前記潤滑流体溜り部と外気とを連通させ、前記ハブの垂下部の端面と、前記シール部と、前記スリーブの外周面とからなる領域に軸受内部に充填する量の潤滑流体を給液した状態で、保持した前記潤滑流体によって閉塞される位置に形成される換気路と、
    を備えている流体軸受装置。
16. 軸と、
    前記軸が装填される軸受孔を有するスリーブと、
    前記軸と前記スリーブとの間の隙間に配置された動圧軸受部と、
    前記動圧軸受部を含む隙間に充填される潤滑流体と、
    前記スリーブの端部または外周部近傍に配置され、前記動圧軸受部に対して供給される前記潤滑流体を貯留する潤滑流体溜り部と、
    前記軸の一端に固定され、前記軸と一体的に回転すると共に、前記スリーブの外周部との対向面から突出した略円環状の垂下部を有するハブと、
    前記潤滑流体溜り部と連通しかつ外気と連通する、前記スリーブの外周面と前記ハブの垂下部の内周面との間の隙間に配置され、前記潤滑流体を保持するシール部と、
    前記ハブの垂下部の少なくとも一部に形成されており、前記シール部における前記潤滑流体の気液境界面を外部から観察可能とするように、透光性材料で形成された透光部と、
    を備えている流体軸受装置。
17. 前記透光性材料は、透光性樹脂である、
    請求項１６に記載の流体軸受装置。
18. 前記透光性樹脂は、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）またはポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）である、
    請求項１７に記載の流体軸受装置。
19. 請求項１から１８のいずれか１項に記載の流体軸受装置と、
    前記流体軸受装置の回転側部材に取り付けられたロータマグネットと、
    前記ロータマグネットに対して回転力を付与する、複数のコイルが巻回されたステータコアと、
    を備えたスピンドルモータ。
20. 請求項１９に記載のスピンドルモータを備えている情報装置。
21. 軸と、
    前記軸が装填される軸受孔を有するスリーブと、
    前記軸と前記スリーブとの間の隙間に配置された動圧軸受部と、
    前記スリーブの内部または外周部近傍に配置され、前記動圧軸受部に対して供給される潤滑流体を貯留する潤滑流体溜り部と、
    前記潤滑流体溜り部と外気とを連通させる換気路と、
    前記軸の一端に固定され、前記軸と一体的に回転すると共に、前記スリーブとの対向面から突出した略円環状の垂下部を有するハブと、
    前記潤滑流体溜り部と連通しかつ外気とも連通する、前記スリーブの外周面と前記ハブの垂下部の内周面との間の隙間に配置され、前記潤滑流体を保持するシール部と、
    を備えた流体軸受装置の製造装置であって、
    前記流体軸受装置に必要な量より多い潤滑流体を軸受内に注油した後、余分な潤滑流体を除去して適正量に調整する工程において使用され、適正量に相当する気液境界面の位置近傍に配置された観測撮影装置を、
    備えている流体軸受装置の製造装置。
22. 前記観測撮影装置の照明は、多点照明または複数照明である、
    請求項２１に記載の流体軸受装置の製造方法。
23. 前記観測撮影装置の観測撮影は、気液境界面を反射ミラーを用いて観測撮影する、
    請求項２１または２２に記載の流体軸受装置の製造装置。
    

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