JP2010080622A - 半導体集積回路 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 83
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 110
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 109
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 25
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 abstract 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
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- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
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- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/823481—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type isolation region manufacturing related aspects, e.g. to avoid interaction of isolation region with adjacent structure
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- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0248—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
- H01L27/0251—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices
- H01L27/0266—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices using field effect transistors as protective elements
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- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0248—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
- H01L27/0251—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices
- H01L27/0266—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices using field effect transistors as protective elements
- H01L27/027—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices using field effect transistors as protective elements specially adapted to provide an electrical current path other than the field effect induced current path
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Abstract
【解決手段】半導体集積回路は、基板37上に設けられた第1導電型のウエル35と、基板37の上方に設けられた第1の外部端子10、第2の外部端子11、及び第3の外部端子12と、第1の外部端子10と第2の外部端子11との電気経路上に設けられた第1の保護回路20と、第2の外部端子11と第3の外部端子12との電気経路上に設けられた第2の保護回路21と、第3の外部端子12と第1の外部端子10との電気経路上に設けられた第3の保護回路22とを備えている。ウエル35内に連続的に設けられたガードリング40は、ウエル35上に設けられた第1の保護回路20、第2の保護回路21、第3の保護回路30のうち少なくとも2つを囲む。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体集積回路におけるESD保護素子の回路構成を示す図であり、図2は、本発明の第1の実施形態に係る半導体集積回路におけるESD保護素子のレイアウト(上図)及び縦断面(下図)を示す図である。なお、本実施形態の半導体集積回路の特徴は、ESD保護素子のレイアウトにある。
図3は、本発明の第2の実施形態に係る半導体集積回路におけるESD保護素子のレイアウト(上図)及び縦断面(下図)を示す図である。本実施形態のESD保護素子の回路構成は図1に示す第1の実施形態のESD保護素子と同一であるため、以下ESD保護素子のレイアウトについて詳しく説明する。
図4は、本発明の第3の実施形態に掛かる半導体集積回路におけるESD保護素子のレイアウト(上図)及び縦断面(下図)を示す図である。本実施形態のESD保護素子の回路構成は図1に示す第1の実施形態のESD保護素子と同一であるため、以下ESD保護素子のレイアウトについて詳しく説明する。
3a 第1の不純物拡散領域
3b 第2の不純物拡散領域
5a 第3の不純物拡散領域
5b 第4の不純物拡散領域
7a 第5の不純物拡散領域
7b 第6の不純物拡散領域
10 第1の外部端子
11 第2の外部端子
12 第3の外部端子
20 第1の保護回路
21 第2の保護回路
22 第3の保護回路
30、31、32 抵抗体
35 ウエル
37 半導体基板
40 ガードリング
50 第1のゲート電極
52 第2のゲート電極
54 第3のゲート電極
Claims (8)
- 半導体基板上に設けられた第1導電型のウエルと、
前記半導体基板の上方に設けられた第1の外部端子、第2の外部端子、及び第3の外部端子と、
前記ウエルの第1の領域に設けられ、共に第2導電型であって、前記第1の外部端子と前記第2の外部端子とにそれぞれ電気的に接続された第1の不純物拡散領域及び第2の不純物拡散領域を有する第1の保護回路と、
前記ウエルの第2の領域に設けられ、共に第2導電型であって、前記第2の外部端子と前記第3の外部端子とにそれぞれ電気的に接続された第3の不純物拡散領域及び第4の不純物拡散領域を有する第2の保護回路と、
前記ウエルの第3の領域に設けられ、共に第2導電型であって、前記第1の外部端子と前記第3の外部端子とにそれぞれ電気的に接続された第1の不純物拡散領域及び第2の不純物拡散領域を有する第3の保護回路と、
前記ウエル内に設けられ、前記第1の領域、前記第2の領域、及び前記第3の領域を囲む素子分離領域と、
前記ウエル内に連続的に設けられ、前記素子分離領域を挟んで前記第1の領域、前記第2の領域、及び前記第3の領域のうち少なくとも互いに隣接する2つの領域を囲むガードリングとを備えている半導体集積回路。 - 前記第1の領域、前記第2の領域、及び前記第3の領域はそれぞれ前記素子分離領域により個別に電気的に分離されており、
前記ガードリングは前記素子分離領域を挟んで少なくとも前記第1の領域、前記第2の領域、及び前記第3の領域の全体を囲んでいることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。 - 前記第1の領域と前記第2の領域とは一部が重複し、前記第2の領域と前記第3の領域とは一部が重複しており、
前記第2の不純物拡散領域と前記第3の不純物拡散領域は前記第1の領域と前記第2の領域との重複領域に設けられた同一の領域であり、
前記第4の不純物拡散領域と前記第5の不純物拡散領域は前記第2の領域と前記第3の領域との重複領域に設けられた同一の領域であり、
前記ガードリングは前記第1の領域、前記第2の領域、及び前記第3の領域の全体を囲んでいることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。 - 前記第1の領域、前記第2の領域、及び前記第3の領域はそれぞれ前記素子分離領域により個別に電気的に分離されており、
前記ガードリングは前記素子分離領域を挟んで前記第1の領域、前記第2の領域、及び前記第3の領域の全体を囲むと共に、前記第1の領域と前記第2の領域との間、及び前記第2の領域と前記第3の領域との間のウエル内にも連続的に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。 - 前記第1の外部端子、前記第2の外部端子、及び前記第3の外部端子にはそれぞれ異なる電圧の電源電圧が供給され、
前記第1の保護回路は、前記第1の不純物拡散領域と、前記第2の不純物拡散領域と、前記第1の不純物拡散領域と前記第2の不純物拡散領域に挟まれた前記半導体基板上に設けられた第1のゲート電極とを有する第1のNチャネル型MOSトランジスタで構成されており、
前記第2の保護回路は、前記第3の不純物拡散領域と、前記第4の不純物拡散領域と、前記第3の不純物拡散領域と前記第4の不純物拡散領域に挟まれた前記半導体基板上に設けられた第2のゲート電極とを有する第2のNチャネル型MOSトランジスタで構成されており、
前記第3の保護回路は、前記第5の不純物拡散領域と、前記第6の不純物拡散領域と、前記第5の不純物拡散領域と前記第6の不純物拡散領域に挟まれた前記半導体基板上に設けられた第3のゲート電極とを有する第3のNチャネル型MOSトランジスタで構成されており、
前記第1のゲート電極、前記第2のゲート電極、及び前記第3のゲート電極は、前記第1の外部端子、前記第2の外部端子、及び前記第3の外部端子のうち最も低い電圧が供給される外部端子に接続されていることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の半導体集積回路。 - 前記第1の外部端子、前記第2の外部端子、及び前記第3の外部端子にはそれぞれ異なる電圧の電源電圧が供給され、
前記第1の保護回路は、前記第1の不純物拡散領域と、前記第2の不純物拡散領域と、前記第1の不純物拡散領域と前記第2の不純物拡散領域に挟まれた前記半導体基板上に設けられた第1のゲート電極とを有する第1のPチャネル型MOSトランジスタで構成されており、
前記第2の保護回路は、前記第3の不純物拡散領域と、前記第4の不純物拡散領域と、前記第3の不純物拡散領域と前記第4の不純物拡散領域に挟まれた前記半導体基板上に設けられた第2のゲート電極とを有する第2のPチャネル型MOSトランジスタで構成されており、
前記第3の保護回路は、前記第5の不純物拡散領域と、前記第6の不純物拡散領域と、前記第5の不純物拡散領域と前記第6の不純物拡散領域に挟まれた前記半導体基板上に設けられた第3のゲート電極とを有する第3のPチャネル型MOSトランジスタで構成されており、
前記第1のゲート電極、前記第2のゲート電極、及び前記第3のゲート電極は、前記第1の外部端子、前記第2の外部端子、及び前記第3の外部端子のうち最も高い電圧が供給される外部端子に接続されていることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の半導体集積回路。 - 前記第1のゲート電極、前記第2のゲート電極、及び前記第3のゲート電極と前記第1のゲート電極、前記第2のゲート電極、及び前記第3のゲート電極に接続される外部端子との間の経路上にそれぞれ設けられた抵抗体をさらに備えていることを特徴とする請求項5または6に記載の半導体集積回路。
- 前記半導体基板の上方には、前記第1の外部端子、前記第2の外部端子、及び前記第3の外部端子を含み、P種類(Pは3以上の整数)の電源電圧がそれぞれ供給される複数の外部端子が設けられ、
N=P(P−1)/2とするとき、前記ウエル内には前記第1の領域、前記第2の領域、及び前記第3の領域を含むN個の領域が設けられており、
前記N個の領域のそれぞれには1つずつ保護回路が設けられており、
前記ガードリングは前記素子分離領域を挟んで前記N個の領域の全体を囲んでいることを特徴とする請求項1〜7のうちいずれか1つに記載の半導体集積回路。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008246242A JP2010080622A (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 半導体集積回路 |
PCT/JP2009/003136 WO2010035374A1 (ja) | 2008-09-25 | 2009-07-06 | 半導体集積回路 |
US12/710,762 US8232600B2 (en) | 2008-09-25 | 2010-02-23 | Semiconductor integrated circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008246242A JP2010080622A (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 半導体集積回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010080622A true JP2010080622A (ja) | 2010-04-08 |
Family
ID=42059390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008246242A Pending JP2010080622A (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 半導体集積回路 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8232600B2 (ja) |
JP (1) | JP2010080622A (ja) |
WO (1) | WO2010035374A1 (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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