JP2010080254A - X線発生装置及びx線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線発生装置1は、略直方体をなし、上部に開口部10aを有した金属製の容器10と、X線管12と、容器10内の底に設けられ、X線管12を支持している支持部材11と、容器10内に充填され、X線管12を浸漬して冷却する絶縁油13と、開口部10aにおける容器10内部側の外縁に接合され、容器10の内外を連通させている筒状部材14と、開口部10aを密閉する蓋部材15と、容器10、絶縁油13及び蓋部材15に囲まれ、不活性ガスが充填されている空間16とを備えている。
【選択図】図2
Description
以下、図面を用いて、本発明の実施形態に係るX線発生装置について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るX線発生装置を搭載したX線検査装置の斜視概略図である。図2は、図1のX線発生装置の断面図である。ここで、図1におけるX線発生装置1は、設置位置を示すための大まかな概略図を表示したものであり、詳細な概略図は図2に示したものである。
次に、図4を用いて、本発明の第2実施形態に係るX線発生装置について説明する。なお、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明し、同様の部分に関しては、説明を省略する。特に、符号23、26の部分は、順に、第1実施形態の符号13、16の部分と同様であるので、説明を省略する場合がある。
次に、図5を用いて、本発明の第2実施形態の変形例1に係るX線発生装置について説明する。図5は、本発明の第2実施形態の変形例1に係るX線発生装置の概略断面図であって、蓋部材を筒状部材に螺合する前の状態を示す図である。なお、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明し、同様の部分に関しては、説明を省略する。特に、符号32〜34、36、37の部分は、順に、第2実施形態の符号22〜24、26、27の部分と同様であるので、説明を省略する場合がある。
次に、図6を用いて、本発明の第2実施形態の変形例2に係るX線発生装置について説明する。図6は、本発明の第2実施形態の変形例2に係るX線発生装置の概略断面図であって、蓋部材を筒状部材に螺合する前の状態を示した図である。なお、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明し、同様の部分に関しては、説明を省略する。特に、符号42〜44、46、47の部分は、順に、第2実施形態の符号22〜24、26、27の部分と同様であるので、説明を省略する場合がある。
2 X線発生装置収納部
2a 扉
2b タッチパネル
3 X線検査部
3a 入口
3b 出口
4 ベルトコンベア
5 X線検出器
10、21、31、41 容器
10a、21a、21b、31a、31b、41a、41b 開口部
11、22、32、42 支持部材
12、23、33、43 X線管
13、24、34、44 絶縁油
14、25、28、35、38、45、48 筒状部材
15、26、36、46 蓋部材
16、27、37、47 空間
23a、33a、43a X線照射窓
100 X線検査装置
Claims (7)
- 開口部を有しており、X線管を内包し支持している容器と、
一端が前記開口部における前記容器内部側に設けられている筒状部材と、
前記容器内の前記X線管を浸漬して絶縁している絶縁油と、
前記容器内に封入されている不活性ガスと、
前記開口部を密閉している蓋部材とを備えていることを特徴とするX線発生装置。 - 少なくとも前記筒状部材の下端部まで前記絶縁油が注入されており、
前記筒状部材、前記容器、及び、前記絶縁油に囲まれた空間に前記不活性ガスが封入されていることを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。 - 前記容器内のガスを不活性ガスと置換した後、前記容器内に前記絶縁油を注入してなることを特徴とする請求項1又は2に記載のX線発生装置。
- 前記容器内にゼオライトが投入されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のX線発生装置。
- 請求項1に記載のX線発生装置の製造方法であって、
前記容器内のガスを不活性ガスと置換する不活性ガス置換工程と、
前記不活性ガス置換工程後、前記絶縁油を前記容器内に注入する絶縁油注入工程と、
前記絶縁油注入工程後、前記蓋部材を前記開口部に装着する蓋部材装着工程とを有していることを特徴とするX線発生装置の製造方法。 - 前記不活性ガス置換工程において、不活性ガスが噴出している管を前記開口部から前記容器内に挿入することを特徴とする請求項5に記載のX線発生装置の製造方法。
- 前記各工程が、不活性ガス雰囲気下で行われていることを特徴とする請求項4又は5に記載のX線発生装置の製造方法。
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