JP2010073816A - 表面保護用シート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る表面保護用シートは、表面に回路が形成された半導体ウエハの裏面研削時に該ウエハ表面に仮着される表面保護用シートであって、ウエハに仮着されるシート面が、プローブタック値100mN未満の樹脂からなり、該シート面の保持時間が70000秒以上であることを特徴としている。
【選択図】 図3
Description
(1)表面に回路が形成された半導体ウエハの裏面研削時に該ウエハ表面に仮着される表面保護用シートであって、
ウエハに仮着されるシート面が、プローブタック値100mN未満の樹脂からなり、
該シート面の保持時間が70000秒以上である表面保護用シート。
(2)前記樹脂からなる単層シートである(1)に記載の表面保護用シート。
(3)前記樹脂からなる層が基材上に設けられてなる(1)に記載の表面保護用シート。
(4)前記樹脂がエチレン・酢酸ビニル共重合体からなる(1)〜(3)の何れかに記載の表面保護用シート。
(5)エチレン・酢酸ビニル共重合体の酢酸ビニル単位含量が50重量%以上である(4)に記載の表面保護用シート。
(6)表面に回路が形成された半導体ウエハの裏面研削時に該ウエハ表面に仮着される表面保護用シートであって、
ウエハに仮着されるシート面が、エチレン・酢酸ビニル共重合体からなり、
前記エチレン・酢酸ビニル共重合体の酢酸ビニル単位含量が50重量%以上である表面保護用シート。
実施例および比較例における各種物性値は以下のように評価した。
実施例および比較例で作成した表面保護用シートの樹脂層において、理学工業社製 PROBE TACK TESTERを用い、JIS Z0237:1991 参考5に準拠して測定した。具体的には、表面保護用シートを25mm×25mmの試験片に切り取り、23℃の環境下、その試験片のウエハに貼付する面に直径5mmのステンレス製プローブを10秒間、接触荷重0.98N/cm2で接触させた後、プローブを10mm/秒の速度で試験片から離し、その際に必要な力を測定した。
圧着回数1回で試験板(SUS304鋼板)に表面保護用シート(幅25mm、長さ150mm)の樹脂層を25mm×25mmの面積が接するように貼り付け、JIS Z0237:2000の保持力試験に準拠して測定した。
表面保護用シートを幅25mm、長さ100mmに切り出し、樹脂層をシリコンウエハの鏡面に貼付し20分放置後、オリエンテック社製テンシロン RTA−100を用いて、300mm/分のピール速度でJIS Z0237:2000に準拠して測定した。なお、ピール強度が極端に低い場合には、上記の測定値においては、シートのコシ(基材を180°湾曲させるための力)の影響が大きくなる。
幅15mm、長さ100mmに切り出した樹脂層をオリエンテック社製テンシロン RTA−100を用いて速度200mm/分で引っ張り、得られたStress−Strain曲線よりヤング率を求めた。
樹脂層にエチレン・酢酸ビニル共重合体を使用する場合には、共重合体の酢酸ビニル単位含量を13C−NMRにて測定した。
また、本発明の表面保護用シートを用いたウエハの裏面研削において、「ウエハの割れ」、「研削水の浸入」および「残留パーティクル」を以下のように評価した。
厚さ725μmの8インチシリコンウエハに室温でリンテック社製RAD−3500を用いて表面保護用シートの樹脂層を仮着し、ディスコ社製DGP−8760を用いてウエハ厚み100μmまで研削した。研削後、ウエハの割れ、研削水浸入の有無を確認した。表面保護用シートを剥離後、日立エンジニアリング社製パーティクルカウンター(型式:LS6600)を用いてシリコンウエハ表面上の残渣物(サイズ:0.27〜0.5μm)をカウントした。
日本合成化学社製エチレン・酢酸ビニル共重合体(品名:ソアレックスSE−830、酢酸ビニル単位含量86.4%)を固形濃度20%になるようにトルエンにて希釈した塗布液を、厚み38μmの剥離処理したポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、乾燥後の厚みが5μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。エチレン・酢酸ビニル共重合体層と、厚み110μmの低密度ポリエチレンフィルム基材とを貼り合わせ、剥離処理したPETフィルムを剥がして、樹脂層がエチレン・酢酸ビニル共重合体層からなる半導体ウエハの表面保護用シートを作製し評価した。
日本合成化学社製エチレン・酢酸ビニル共重合体(品名:ポリエースS−4306、酢酸ビニル単位含量69.6%)を固形濃度20%になるようにトルエンにて希釈した塗布液を、厚み38μmの剥離処理したPETフィルム上に、乾燥後の厚みが5μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。エチレン・酢酸ビニル共重合体層と、厚み110μmの低密度ポリエチレンフィルム基材とを貼り合わせ、剥離処理したPETフィルムを剥がして、樹脂層がエチレン・酢酸ビニル共重合体層からなる半導体ウエハの表面保護用シートを作製し評価した。
日本合成化学社製エチレン・酢酸ビニル共重合体(品名:ポリエースS−4305、酢酸ビニル単位含量59.4%)を固形濃度20%になるようにトルエンにて希釈した塗布液を、厚み38μmの剥離処理したPETフィルム上に、乾燥後の厚みが5μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。エチレン・酢酸ビニル共重合体層と、厚み110μmの低密度ポリエチレンフィルム基材とを貼り合わせ、剥離処理したPETフィルムを剥がして、樹脂層がエチレン・酢酸ビニル共重合体層からなる半導体ウエハの表面保護用シートを作製し評価した。
基材として、重量平均分子量3800のウレタンアクリレート系オリゴマー(荒川化学社製)40重量部と、イソボルニルアクリレート40重量部とフェニルヒドロキシプロピルアクリレート20重量部と、光重合開始剤(チバスペシャルティケミカルズ社製ダロキュアD−1173)0.5重量部を配合して樹脂組成物を作製後、ファウンテンダイ方式によりポリウレタンフィルム(110μm厚)を得た。日本合成化学社製エチレン・酢酸ビニル共重合体(品名:ソアレックスSE−830)を固形濃度20%になるようにトルエンにて希釈した塗布液を、厚み38μmの剥離処理したPETフィルム上に、乾燥後の厚みが5μmになるように塗布し、100℃で1分間乾燥した。エチレン・酢酸ビニル共重合体層と、ポリウレタンフィルム基材とを貼り合わせ、剥離処理したPETフィルムを剥がして、樹脂層がエチレン・酢酸ビニル共重合体層からなる半導体ウエハの表面保護用シートを作製し評価した。
日本合成化学社製エチレン・酢酸ビニル共重合体(品名:ソアレックスSE−830)を固形濃度20%になるようにトルエンにて希釈し、厚み38μmの剥離処理したPETフィルム上に、乾燥後の厚みが100μmの厚みになるように塗布し、70℃で3分間乾燥した。さらにエチレン・酢酸ビニル共重合体上に厚み38μmの剥離処理したPETフィルムを貼り合せた。その後、エチレン・酢酸ビニル共重合体の両面に貼られたPETフィルムをそれぞれ剥離し、樹脂層がエチレン・酢酸ビニル共重合体層からなる半導体ウエハの表面保護用シートを作製し評価した。
エチレン・酢酸ビニル共重合体として、三井デュポン社製エチレン・酢酸ビニル共重合体(品名:エバフレックスEV45X、酢酸ビニル単位含量45.8%)を用いた以外は実施例1と同様にして半導体ウエハの表面保護用シートを作製し評価した。
エチレン・酢酸ビニル共重合体として、積水フーラー社製エチレン・酢酸ビニル共重合体(品名:エスダイン#1210、酢酸ビニル単位含量33.0%)を用いた以外は実施例1と同様にして半導体ウエハの表面保護用シートを作製し評価した。
エチレン・酢酸ビニル共重合体として、三井デュポン社製エチレン・酢酸ビニル共重合体(品名:エバフレックスEV150、酢酸ビニル単位含量42.0%)を用いた以外は実施例1と同様にして半導体ウエハの表面保護用シートを作製し評価した。
表面保護用シートとして、リンテック社製再剥離性粘着シート(品名:Adwill P−1600B)を用いた以外は実施例1と同様にして評価した。
エチレン・酢酸ビニル共重合体の代わりに、アクリル系粘着剤(ブチルアクリレート/アクリル酸=90/10)を用いた以外は実施例1と同様にして半導体ウエハの表面保護用シートを作製し評価した。
表面保護用シートとして、PET基材25μm/エチレン・酢酸ビニル共重合体120μm/オレフィン系樹脂350μmの積層フィルムを用いた以外は実施例1と同様にして評価した。なお、シリコンウエハの回路面には表面保護用シートのオレフィン系樹脂側を仮着した。
表1に表面保護用シートの特性値を示し、表2に裏面研削結果を示す。
2…基材
10…ウエハ表面保護用シート
11……半導体ウエハ
12…回路
13…回路表面内周部
14…余剰部分
20…グラインダー
Claims (6)
- 表面に回路が形成された半導体ウエハの裏面研削時に該ウエハ表面に仮着される表面保護用シートであって、
ウエハに仮着されるシート面が、プローブタック値100mN未満の樹脂からなり、
該シート面の保持時間が70000秒以上である表面保護用シート。 - 前記樹脂からなる単層シートである請求項1に記載の表面保護用シート。
- 前記樹脂からなる層が基材上に設けられてなる請求項1に記載の表面保護用シート。
- 前記樹脂がエチレン・酢酸ビニル共重合体からなる請求項1〜3の何れかに記載の表面保護用シート。
- エチレン・酢酸ビニル共重合体の酢酸ビニル単位含量が50重量%以上である請求項4に記載の表面保護用シート。
- 表面に回路が形成された半導体ウエハの裏面研削時に該ウエハ表面に仮着される表面保護用シートであって、
ウエハに仮着されるシート面が、エチレン・酢酸ビニル共重合体からなり、
前記エチレン・酢酸ビニル共重合体の酢酸ビニル単位含量が50重量%以上である表面保護用シート。
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