JP2010073272A - 転写用原盤及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微細な凹凸状パターンが形成された原盤(26)の表面に、密度7.5〜8.9g/cm3の導電性膜(Ni膜)による初期層(16)を形成し、その後、電鋳法により金属層(28)を形成する。こうして、少なくとも初期層(16)と金属層(28)の2層を有して一体となった複版(30)を原盤(26)から剥離し、金属層(28)の凹凸面に初期層(16)が積層形成された複版(30)である転写用原盤を得る。磁気転写用マスターディスク、ディスクリート・トラック媒体(DTM)用のモールド、光ディスク用のスタンパーなど様々な転写用原盤に適用できる。
【選択図】 図5
Description
「転写原盤」には、磁気転写用のマスターディスク、ディスクリート・トラック媒体の製造におけるモールド、光ディスク等の製造におけるスタンパーなど、各種の原盤が含まれる。
図1は本発明の実施形態に係る磁気転写用マスターディスクの部分拡大斜視図である。図2は磁気転写用マスターディスクの平面図である。なお、各図は説明の便宜上、実際の寸法とは異なる比率で示している。
次に、マスターディスク10の製造方法を図3に基づいて説明する。先ず、図3(a)に示されるように、表面が平滑なシリコンウエハーである原板20(ガラス板、石英ガラス板でもよい)の上に、電子線レジスト液をスピンコート法等により塗布して(レジスト塗布工程)、レジスト層22を形成し、ベーキング処理(プレベーク)を行う。
図4は、Ni複版凸部の台形形状の模式図である。図示のように、凸部の「高さ」と、「半値幅」、台形斜面の「傾斜角」を定義する。半値幅は、半分の高さ位置での凸部幅である。また、ここでは、凸部の台形形状のアスペクト比を「高さ/半値幅」と定義する。
図3で説明したマスターディスク10の製造工程において、電鋳工程の後に原盤26から複版30を剥がす際の剥離性、すなわち、複版30における凹凸のパターン形成性は、初期層16の膜物性に依存する。
多数の微細な凹凸状パターンが形成されたSi原盤(「反転型原盤」に相当)の表面に、スパッタ法にて密度が8.7g/cm3であるNiからなる厚さ9nmの初期層を形成し、次いで、同じくスパッタ法にて、FeCoからなる磁性を有する厚さ60nmの主層を形成した。このNi初期層(9nm)とFeCo主層(60nm)の2層からなる導電層を形成したSi原盤の表面にNiを電鋳することにより、厚さ150μmのNi複版を形成した。この複版をSi原盤から剥離することにより、その表面に凹凸状の反転パターンを有するとともに当該反転パターンの表面に磁性層が形成された反転板である磁気転写用マスターディスクを得る。
次に、本実施形態に係る磁気転写用マスターディスク10を用いた磁気転写方法について説明する。ここでは、ハードディスク装置に用いられる垂直磁気記録媒体に対して、サーボ信号等を転写する場合を例示する。
Claims (5)
- 転写する情報に対応した凹凸パターンを有する転写用原盤の製造方法であって、
反転凹凸パターンを有する反転型原盤の表面に密度8.3〜8.9g/cm3のニッケル(Ni)膜による初期層を形成する初期層形成工程と、
前記初期層の形成後に、電鋳法により前記反転型原盤の前記初期層に重ねて金属層を形成する電鋳工程と、
前記電鋳工程の後、少なくとも前記初期層と前記金属層の2層を有して一体となった複版を前記反転型原盤から剥離し、前記金属層の凹凸面に前記初期層とが積層形成された前記複版である転写用原盤を得る剥離工程と、
を備えることを特徴とする転写用原盤の製造方法。 - 前記初期層の形成後に、前記反転型原盤の前記初期層の表面に磁性を有する主層を形成する主層形成工程において主層形成を行い、
前記主層の形成後に、前記電鋳工程において電鋳を行い、
前記剥離工程により、前記金属層の凹凸面に前記主層と前記初期層とが積層形成された前記複版である前記転写用原盤を得ることを特徴とする請求項1に記載の転写用原盤の製造方法。 - 転写する情報に対応した凹凸パターンを有する転写用原盤であって、
電鋳によって形成された金属盤の凹凸パターン上に、前記電鋳を行うときの導電層となる密度8.3〜8.9g/cm3のニッケル(Ni)膜による初期層が積層形成されていることを特徴とする転写用原盤。 - 前記金属盤の凹凸パターン上に、磁性を有する主層が形成され、該主層の上に、前記初期層が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の転写用原盤。
- 前記初期層の膜厚は、1〜100nmであることを特徴とする請求項3又は4に記載の転写用原盤。
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