JP2010067909A - ピエゾファンおよび放熱モジュール - Google Patents
ピエゾファンおよび放熱モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010067909A JP2010067909A JP2008235073A JP2008235073A JP2010067909A JP 2010067909 A JP2010067909 A JP 2010067909A JP 2008235073 A JP2008235073 A JP 2008235073A JP 2008235073 A JP2008235073 A JP 2008235073A JP 2010067909 A JP2010067909 A JP 2010067909A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- free end
- end side
- side portion
- blower plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【課題】設置空間を実質的に削減できるピエゾファンを提供する。
【解決手段】ピエゾファン10は、一端部が固定された圧電素子11と、その圧電素子11によって振動させられて空気流を生じさせる送風板12を備えている。前記送風板12は、固定端側部分13が前記圧電素子11に重ねて接着されているとともに、自由端側部分14が圧電素子11から突出するように延びており、圧電素子11を越えて延びた送風板12の自由端側部分14は、前記固定端側部分13の延長方向に対して所定角度で曲がる屈曲部を有し、その屈曲部15より自由端側の部分がその板厚方向に振動して空気流を生じさせるように構成されている。
【選択図】図1
【解決手段】ピエゾファン10は、一端部が固定された圧電素子11と、その圧電素子11によって振動させられて空気流を生じさせる送風板12を備えている。前記送風板12は、固定端側部分13が前記圧電素子11に重ねて接着されているとともに、自由端側部分14が圧電素子11から突出するように延びており、圧電素子11を越えて延びた送風板12の自由端側部分14は、前記固定端側部分13の延長方向に対して所定角度で曲がる屈曲部を有し、その屈曲部15より自由端側の部分がその板厚方向に振動して空気流を生じさせるように構成されている。
【選択図】図1
Description
この発明は、圧電素子とこれに重ねて設けられた送風板とを備えたピエゾファンと、このピエゾファンを用いた放熱モジュールに関する。
従来、図13および図14に示す構成のピエゾファンが知られている。ここに示すピエゾファン50は、圧電素子51と、これに重ねて設けられた送風板52とで構成され、図14に示すように、一方の端部が固定された圧電素子51に交流電圧を印加すると、圧電素子51の伸縮によって送風板52が振動する。圧電素子51と、送風板52の圧電素子51に接着されている固定端側部分との変位量は小さいが、この構造の一次共振によって送風板52の自由端側の部分が、図14の点線で示すように、大きく振動し、矢示53の空気の流れを発生することが可能である。
従来のピエゾファンは、図示されたように、送風板の自由端側部分は、圧電素子の延びる方向に平行に延びている。そしてこの圧電素子を越えて延びる自由端側部分には、ある程度の長さがないと、要求される振幅や共振周波数などの性能が得られない。このため、ピエゾファンとしては全長が比較的長いものとなり、設置空間としてもそれに対応した長い空間を電子機器の中に確保しなければならないという問題があった。
また、ピエゾファンが発生する風の方向も、圧電素子の延びる方向の延長上であり、送風板の自由端付近で風が最も強くなるので、ここに熱源を配置するか、ここに配置されたヒートシンクを併用する必要があった。したがって、熱源或いはヒートシンクの設置位置が制限され、電子機器の設計上の自由度を小さくしていた。
更に、一つのピエゾファンによって得られる送風方向は一つであり、最近の電子機器のように放熱対策の必要な部分が複数ある場合には、複数のピエゾファンを設置しなければならず、コストおよび設置空間を大きくする問題があった。ノートパソコンを例にあげれば、CPUの他に、グラフィック・プロセシング・ユニット(GPU)、チップセット、通信モジュールなどにも放熱対策が必要である。
この発明は、このような従来のピエゾファンが有していた問題点に鑑みて成されたもので、設置空間を実質的に削減できるピエゾファンを提供することを主要な目的としている。加えて、電子機器の設計上の自由度を向上できるピエゾファンを提供することを他の目的としている。また、一つのピエゾファンで複数の熱源を冷却できるピエゾファンを提供することも目的としている。
上記の目的の下に成されたこの発明のうち、請求項1の発明は、一端部が固定された圧電素子と、その圧電素子によって振動させられて空気流を生じさせる送風板とを備えたピエゾファンにおいて、前記送風板は、固定端側の部分が前記圧電素子に重ねて接着されているとともに、自由端側の部分が圧電素子から突き出るように延びており、その圧電素子から延びた送風板の自由端側部分には、前記固定端側部分の延長方向に対して所定角度で曲がる屈曲部を有し、その屈曲部から自由端までの部分が前記圧電素子に対してその板厚方向に振動して空気流を生じさせるように構成されていることを特徴とするものである。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記送風板における前記圧電素子に接着されている固定端側部分と前記圧電素子から延び出ている自由端側部分との境界部分に形成されていることを特徴とするピエゾファンである。
請求項3の発明は、請求項1又は2の発明において、前記屈曲部には、該屈曲部に沿わせて配置した支持ブロックが更に設けられていることを特徴とするピエゾファンである。
請求項4の発明は、請求項3の発明において、前記支持ブロックは、前記屈曲部の曲率半径の方向で外面側と内面側との少なくとも一方に沿わせられ、かつ接着されていることを特徴とするピエゾファンである。
請求項5の発明は、請求項1ないし4のいずれかの発明において、前記送風板の前記自由端側部分は、前記屈曲部から自由端に亘って形成されたスリットによって複数の分割送風板に分岐していることを特徴とするピエゾファンである。
請求項6の発明は、請求項5の発明において、前記複数の分割送風板のそれぞれは、異なる方向に延びていることを特徴とするピエゾファンである。
更に、請求項7の発明は、請求項1に記載のピエゾファンと、複数の放熱フィンを有するヒートシンクとで構成された放熱モジュールであって、前記圧電素子と前記送風板の固定端側部分とが前記ヒートシンクの外部に設置され、前記送風板の自由端側部分が前記ヒートシンクの前記放熱フィンの間に延びていることを特徴とする放熱モジュールである。
請求項8の発明は、請求項7の発明において、前記屈曲部は、前記送風板における前記圧電素子に接着されている固定端側部分と前記圧電素子から延び出ている自由端側部分との境界部分に形成されていることを特徴とする放熱モジュールである。
請求項9の発明は、請求項7又は8の発明において、前記屈曲部には、該屈曲部に沿わせて配置した支持ブロックが更に設けられていることを特徴とする放熱モジュールである。
請求項10の発明は、請求項9の発明において、前記支持ブロックは、前記屈曲部の曲率半径の方向で外面側と内面側との少なくとも一方に沿わせられ、かつ接着されていることを特徴とする放熱モジュールである。
請求項11の発明は、請求項7の発明において、前記送風板の前記自由端側部分は、前記屈曲部から自由端部に亘って形成されたスリットによって複数の分割送風板に分岐し、かつ前記分割送風板のそれぞれが隣り合う放熱フィンの間に延びていることを特徴とする放熱モジュールである。
請求項1の発明によれば、圧電素子から延びている送風板の自由端側部分には屈曲部が形成されていて、圧電素子に接着されている固定端側部分の延長方向に対して所定角度で曲がっているので、一直線上に配置される部分が少なくなってピエゾファンの全長を短いものにできる。また、放熱対策が必要な熱源やヒートシンクは、圧電素子の延長上ではなく、送風板の自由端側が延びている方向の延長上に配置することができる。この結果としてピエゾファンの設置空間を実質的に削減し、電子機器の小型化に寄与する。また、送風板の固定端側部分と自由端側部分との角度を適宜に設定することにより、熱源やヒートシンクの設置場所の選択の幅が広くなる。このため、電子機器の設計に大きな自由度を与えることができる。
請求項2の発明によれば、屈曲部が圧電素子の自由端に可及的に近くなるので、送風板の自由端側を振動させた際の振幅を大きくし、送風量を増大させることができる。
請求項3および請求項4の発明によれば、支持ブロックの内面すなわち送風板に接する面の角度を適宜に設定することにより、ここに接触する送風板を綺麗に屈曲させることができ、またその屈曲角度を維持させることができ、さらには送風板を確実に振動させて送風量を増大させることができる。
請求項5の発明によれば、送風板の自由端側部分にスリットを設けて、自由端側部分を複数の分割送風板に分岐させてあるので、一つのピエゾファンで複数箇所に風を送ることができる。したがって、放熱対策が必要な部分が複数存在する電子機器に対して一つのピエゾファンで対応することができる。
請求項6の発明によれば、複数の分割送風板が、それぞれ異なる方向に延びているので、複数の熱源やヒートシンクが離れた場所にある機器の放熱対策に対応することができる。
請求項7の発明によれば、放熱モジュールが、請求項1のピエゾファンと複数の放熱フィンを有するヒートシンクとで構成され、圧電素子と送風板の固定端側部分とをヒートシンクの外部に設置し、送風板の自由端側部分がヒートシンクの放熱フィンの間に延びているので、圧電素子と送風板の固定端側部分とをヒートシンクの外面に沿って配置した構造とすることができる。この結果、放熱モジュールの体積をヒートシンクの体積と略等しくすることができ、体積の増加を避けることができる。
請求項8の発明によれば、上記請求項2の発明による効果と同様の効果を得ることができる。
請求項9および請求項10の発明によれば、上記請求項3あるいは請求項4の発明による効果と同様の効果を得ることができる。
請求項11の発明によれば、複数の放熱フィン間隙に、分岐した分割送風板の一つずつが延びている構成なので、ヒートシンクの放熱を効率良くすることができる。
以下、この発明の実施の形態を図を参照しながら説明する。図1および図2は、この発明の第1の実施形態のピエゾファン10を示している。一方の端部が固定された薄い長方形状の圧電素子11に、圧電素子11より長い長方形状の送風板12の固定端側部分13が重ねられて接着により一体化されている。送風板12の他方の端部は自由端となっており、その自由端側部分14は圧電素子11から突出して延びている。送風板12の固定端側部分13と自由端側部分14とは、自由端側部分14の途中の屈曲部15を経て角度θを成して連なっている。送風板12の固定端側部分13と自由端側部分14とが成す角度は、図示した例では略直角とされているが、この角度に限定されるものではない。直角より大きい角度とすることもできる。
このように構成されたピエゾファン10では、圧電素子11および送風板12の固定端部を固定し、圧電素子11の厚さ方向で交流電圧を印加すると、圧電素子11が長手方向(図2の左右の方向)で伸縮し、振動する。この振動によって、送風板12の自由端側部分14も図2に点線で示すように振動し、矢示16の方向に風を送ることができる。圧電素子11に交流電圧を印加した直後は、送風板12側に伝達される振動エネルギーのうち無効の分力が大きく、自由端側部分14の振動の振幅は小さいが、振幅は徐々に大きくなり、それに従って、無効の分力は小さくなり、屈曲部15が設けられていない従来のピエゾファンと同等の振幅で振動させることができる。
従来のピエゾファンと同等の振幅で振動するこの発明のピエゾファンを用いると、熱源やヒートシンクは、圧電素子の延長上ではなく、圧電素子と角度を成している送風板の自由端側の延長上に配置することができる。このことを説明しているのが図3である。従来のピエゾファンでは、図3(b)のように、圧電素子11および送風板12の延長上に熱源20を配置しなければならなかった。したがって、電子機器の筐体21には熱源20の設置空間をピエゾファンの延長上に確保しなければならなかった。これに対してこの発明のピエゾファン10では、図3(a)のように、筐体21の真中付近に熱源20を配置することも可能である。送風板12の自由端側部分14と固定端側部分13との成す角度θを選定し、そして自由端側部分14の延長上に配置することが可能である。こうすることで、図3(a)に点線およびハッチングで示した部分22をなくすることも可能であり、ピエゾファン10の設置空間を実質的に削減し、電子機器の小型化を図ることができる。
送風板12の自由端側部分14の途中に設けた屈曲部15の設置位置と、屈曲部15を形成する曲げ形状について検討した。図4に示すように、圧電素子11の自由端側の端面11aから屈曲部15までの距離をd、屈曲部15を形成する曲率半径をRとして、有限要素法で解析した。結果は、距離dおよび曲率半径Rを限りなく「0」に近い値にしたとき、すなわち圧電素子11に接着されている固定端側部分13と自由端側部分14との境界部に屈曲部15を設けると、送風板12の自由端側部分14の振幅が最大であった。距離dが0.5mm増すと、共振周波数が5Hz低下し、振幅が2mm減少した。また、曲率半径Rが0.1mm増すと、振幅が4mm減少することが判明した。結論として、屈曲部15は、圧電素子11の自由端の端面に至近の距離、好ましくは1mm以下の距離に設けることで、ピエゾファンとして必要な振幅を確保し、十分な送風能力が得られる。
屈曲部15の曲率半径Rを限りなく「0」に近づけることが好ましく、また設計上設定した角度を維持させることが好ましい。また、圧電素子11の振動が屈曲部15で吸収されることなく自由端側部分14に伝達されることが好ましい。このような要請に応えるためには、屈曲部15に、相対的に剛性の高い支持ブロック17を沿わせて配置することが有効である。
支持ブロック17を設けたこの発明の第2の実施形態が図5および図6に示されている。支持ブロック17には、重ねられた圧電素子11と送風板12の固定端側部分13を隙間なく収容できる第1溝18と、送風板12の自由端側部分14を隙間なく収容できる第2溝19が略直角の角度を成して形成されている。送風板12の自由端側部分14の外面に当接して支持する支持ブロック17側の支持面19aが、第2溝19の内壁で構成され、圧電素子11の延びる方向に対して略直角の方向となっている。この支持ブロック17を圧電素子11の自由端部に装着して屈曲部15を支持ブロック17の中に配置してある。また、圧電素子11の自由端側の端面11aと送風板12の自由端側部分14の一面14aを当接させ、接着剤で被着してある。
この図5のピエゾファン10を構成した支持ブロック17は、屈曲部15の曲率半径Rを実質的に「0」とし、あるいは設計上設定した製造当初の角度に維持でき、また屈曲部15の全体としての剛性が高くなることにより、送風板12の自由端側部分14の振動の振幅を大きくすることができる。送風板に湾曲部を設けない従来のピエゾファンの送風板の自由端側の振幅が25mmであったのに対し、屈曲部15を設けて支持ブロック17内に収容した実施形態のピエゾファン10では自由端側部分14の振動の振幅を22mmに維持することができた。
圧電素子11の自由端側の端面11aと送風板12の自由端側部分14の一方の面14aの接着は、圧電素子11の振動エネルギーを送風板14に損失なく伝達するのに有効である。この接着部分には、自由端側部分14の振動で剥離応力が働く。支持ブロック17はこの剥離応力に対抗する点でも有効で、圧電素子11の振動エネルギーの損失のない伝達を持続させることができる。また、支持ブロック17は送風板12とは別個に加工することができ、したがってその屈曲角度を正確に設定することができる。そのため、このような支持ブロック17を使用することにより、送風板12を綺麗に屈曲させることができる。
なお、支持ブロック17は、図5に示す例では、屈曲部15において、送風板12および圧電素子11を表裏両面側から挟み付けているが、この発明における支持ブロックは、屈曲部15に沿わさせて配置されることにより、その屈曲形状を維持させ、またその部分の剛性を他の部分よりも大きくできるものであればよく、したがって屈曲部15における送風板12の外面(屈曲部15の曲率半径の方向で外周側の面)に接着された構成のもの、あるいは屈曲部15の内側(屈曲部15の曲率半径の方向で内側)で、圧電素子11および送風板12に亘らせてこれらの接着された構成のもののいずれであってもよい。
次に、この発明の第3の実施形態を図7に示した。圧電素子11を越えて延びている送風板12の自由端側部分14が、屈曲部15から自由端に至るスリットで分割されて、2つの分割送風板23,24とされている。この実施形態のピエゾファン10では、各分割送風板23,24の延長方向に矢示25,25のように送風が可能である。したがって、一つのピエゾファン10で2箇所の冷却が可能である。各分割送風板23,24の固定端側部分13との成す角度は異なっている。分割送風板23と固定端側部分13との成す角度は約90度であり、分割送風板24と固定端側部分13の成す角度は約270度である。この場合、分割送風板24の長さを分割送風板23の長さより短くすることで、共振周波数を揃えることが可能である。すなわち、送風板12を折り曲げる角度が大きいほど、その共振周波数が高くなることが実験で確認されている。
図8は分割送風板を更に増やした第4の実施形態を示している。送風板12の自由端側が7枚の分割送風板26,27,…32に分割されている。送風板12の自由端側部分13との成す角度が大きくなるに従って(26,27,…の順)、長さが短くされて、各送風板の共振周波数が揃うようにされ、圧電素子11から与えられる振動エネルギーの損失が少なくなるようにされている。
図9および図10は、放熱モジュール40の実施形態を示している。放熱モジュール40は、図10に示したピエゾファン10と、ヒートシンク41とで構成されている。ピエゾファン10は、圧電素子11と、送風板12と、支持ブロック17とで構成されている。送風板12は、固定端側部分13と自由端側部分14とが屈曲を経て角度を成して連なっている。そして、屈曲部が圧電素子11の自由端部に装着した支持ブロック17の中に収容されている。ここまでは前記図5の実施形態と略同様である。圧電素子11を越えて延びている送風板12の自由端側部分14は、固定端側部分13に対して略直角の角度をなし、そして屈曲部から自由端に至るスリット33で複数の分割送風板34,34とされている。
ヒートシンク41は、互いに平行な複数の放熱フィン42が並列して設けられている。前記ピエゾファン10は、圧電素子11と送風板12の固定端側部分13とが、並列した放熱フィン42の上に載せられて、固定部材43で固定されている。圧電素子の自由端を越えて延びている分割送風板34,34が一枚づつ、対向した放熱フィン42,42の間に進入するように配置されている。
以上のように構成される放熱モジュール40によれば、ピエゾファン10の設置によって突出する部分はないので、その体積をヒートシンク41の体積に略等しくすることができる。従来のピエゾファンでも図12に示したように送風板の自由端側部分を複数の分割送風板34,34に分割し、これらをヒートシンク41の放熱フィン42の間に進入するように設置することができる。しかしながら、送風板の自由端側と固定端側とは一直線上に並んでいるので、圧電素子と送風板の固定端側は、図11に示すように、放熱フィン42から外部に突出するのが避けられなかった。このため、放熱モジュールとしても体積の大きなものとなり、筐体には大きな設置空間を必要としていた。この発明の放熱モジュールでは体積の増加を避けて設置空間を小さくすることができる。
10…ピエゾファン、 11…圧電素子、 11a…自由端側の端面、 12…送風板、 13…固定端側部分、 14…自由端側部分、 14a…端面、 15…屈曲部、 17…支持ブロック、 18…第1溝、 19…第2溝、 19a…支持面、 20…熱源、 21…筐体、 23,24…分割送風板、 26,〜32…分割送風板、 33…スリット、 34…分割送風板、 40…放熱モジュール、 41…ヒートシンク、 42…放熱フィン、 43…固定部材。
Claims (11)
- 一端部が固定された圧電素子と、その圧電素子によって振動させられて空気流を生じさせる送風板とを備えたピエゾファンにおいて、
前記送風板は、固定端側の部分が前記圧電素子に重ねて接着されているとともに、自由端側の部分が圧電素子から突き出るように延びており、その圧電素子から延びた送風板の自由端側部分には、前記固定端側部分の延長方向に対して所定角度で曲がる屈曲部を有し、その屈曲部から自由端までの部分が前記圧電素子に対してその板厚方向に振動して空気流を生じさせるように構成されていることを特徴とするピエゾファン。 - 前記屈曲部は、前記送風板における前記圧電素子に接着されている固定端側部分と前記圧電素子から延び出ている自由端側部分との境界部分に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のピエゾファン。
- 前記屈曲部には、該屈曲部に沿わせて配置した支持ブロックが更に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のピエゾファン。
- 前記支持ブロックは、前記屈曲部の曲率半径の方向で外面側と内面側との少なくとも一方に沿わせられ、かつ接着されていることを特徴とする請求項3に記載のピエゾファン。
- 前記送風板の前記自由端側部分は、前記屈曲部から自由端部に亘って形成されたスリットによって複数の分割送風板に分岐していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のピエゾファン。
- 前記複数の分割送風板のそれぞれは、異なる方向に延びていることを特徴とする請求項5に記載のピエゾファン。
- 請求項1に記載のピエゾファンと、複数の放熱フィンを有するヒートシンクとで構成された放熱モジュールであって、前記圧電素子と前記送風板の固定端側部分とが前記ヒートシンクの外部に設置され、前記送風板の自由端側部分が前記ヒートシンクの前記放熱フィンの間に延びていることを特徴とする放熱モジュール。
- 前記屈曲部は、前記送風板における前記圧電素子に接着されている固定端側部分と前記圧電素子から延び出ている自由端側部分との境界部分に形成されていることを特徴とする請求項7に記載の放熱モジュール。
- 前記屈曲部には、該屈曲部に沿わせて配置した支持ブロックが更に設けられていることを特徴とする請求項7又は8に記載の放熱モジュール。
- 前記支持ブロックは、前記屈曲部の曲率半径の方向で外面側と内面側との少なくとも一方に沿わせられ、かつ接着されていることを特徴とする請求項9に記載の放熱モジュール。
- 前記送風板の前記自由端側部分は、前記屈曲部から自由端部に亘って形成されたスリットによって複数の分割送風板に分岐し、かつ前記分割送風板のそれぞれが隣り合う放熱フィンの間に延びていることを特徴とする請求項7ないし10のいずれかに記載の放熱モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008235073A JP2010067909A (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | ピエゾファンおよび放熱モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008235073A JP2010067909A (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | ピエゾファンおよび放熱モジュール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010067909A true JP2010067909A (ja) | 2010-03-25 |
Family
ID=42193210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008235073A Pending JP2010067909A (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | ピエゾファンおよび放熱モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010067909A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011027704A1 (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-10 | 株式会社村田製作所 | 圧電ファン及びこの圧電ファンを用いた空冷装置 |
JP2011127588A (ja) * | 2009-11-20 | 2011-06-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電ファン及び冷却装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6263200A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電フアン |
JPS6282399U (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-26 | ||
US20070037506A1 (en) * | 2005-08-09 | 2007-02-15 | Seri Lee | Rake shaped fan |
-
2008
- 2008-09-12 JP JP2008235073A patent/JP2010067909A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6263200A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電フアン |
JPS6282399U (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-26 | ||
US20070037506A1 (en) * | 2005-08-09 | 2007-02-15 | Seri Lee | Rake shaped fan |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011027704A1 (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-10 | 株式会社村田製作所 | 圧電ファン及びこの圧電ファンを用いた空冷装置 |
JP5304899B2 (ja) * | 2009-09-01 | 2013-10-02 | 株式会社村田製作所 | 圧電ファン及びこの圧電ファンを用いた空冷装置 |
US9368426B2 (en) | 2009-09-01 | 2016-06-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric fan and air cooling apparatus using the piezoelectric fan |
JP2011127588A (ja) * | 2009-11-20 | 2011-06-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電ファン及び冷却装置 |
US8581471B2 (en) | 2009-11-20 | 2013-11-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric fan and cooling device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5136641B2 (ja) | 圧電ファン及び圧電ファンを用いた空冷装置 | |
JP5605174B2 (ja) | 冷却装置 | |
JP5170238B2 (ja) | 圧電ファン装置及びこの圧電ファン装置を用いた空冷装置 | |
KR101472627B1 (ko) | 방열 모듈 | |
US8430644B2 (en) | Synthetic jet ejector for the thermal management of PCI cards | |
JP5083322B2 (ja) | 冷却装置 | |
JP4375242B2 (ja) | 半導体用の放熱器 | |
JP5304899B2 (ja) | 圧電ファン及びこの圧電ファンを用いた空冷装置 | |
JP5051255B2 (ja) | 圧電ファン及び冷却装置 | |
US20060208613A1 (en) | Small piezoelectric air pumps with unobstructed airflow | |
US7642698B2 (en) | Dual direction rake piezo actuator | |
JP2015226058A (ja) | 電子機器システムのためのサーマルクランプ装置 | |
JP2013223818A (ja) | 圧電アクチュエータ、電子機器 | |
EP2995821B1 (en) | Piezo fan | |
TWI679525B (zh) | 熱管理系統及製造熱管理系統的方法 | |
JP2010029759A (ja) | 圧電ファン装置 | |
JP2011144743A (ja) | 冷却装置 | |
JP5089538B2 (ja) | 圧電ファン付きヒートシンク | |
JP4507984B2 (ja) | 冷却構造 | |
JP2010067909A (ja) | ピエゾファンおよび放熱モジュール | |
JP2012077678A (ja) | 圧電ファン及びそれを用いた放熱装置 | |
JP2009174420A (ja) | 圧電ファン装置 | |
JP2007073744A (ja) | 放熱構造体、電子機器 | |
TW200917944A (en) | Electronic apparatus and method of fixing cooling fan | |
JP2009231701A (ja) | 電子機器用冷却装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20110610 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120911 |