JP2010062254A - 窒化物半導体素子 - Google Patents
窒化物半導体素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010062254A JP2010062254A JP2008224843A JP2008224843A JP2010062254A JP 2010062254 A JP2010062254 A JP 2010062254A JP 2008224843 A JP2008224843 A JP 2008224843A JP 2008224843 A JP2008224843 A JP 2008224843A JP 2010062254 A JP2010062254 A JP 2010062254A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type
- contact layer
- layer
- nitride semiconductor
- concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】窒化物半導体層上にp型コンタクト層を有し、前記p型コンタクト層がp型電極11側から順にp型第一コンタクト層10とp型第二コンタクト層9によって構成される窒化物半導体素子1において、前記第一コンタクト層10がp型不純物を1.0×1020cm-3以上2.0×1020cm-3以下含有したInxGa1-xN(0<x≦0.2)からなり、前記p型第二コンタクト層9はp型不純物を前記p型第一コンタクト層より低濃度で含有し、In組成比が前記p型第一コンタクト層10より低いInyGa1-yN(0≦y<0.2)からなるものである。
【選択図】図1
Description
実施例1では、図1の窒化物半導体素子1を用いた窒化物半導体レーザを作製した。
実施例2では、図3に示す構造の窒化物半導体素子30を用いた窒化物半導体発光ダイオードを作製した。
9 p型InyGa1-yN第二コンタクト層
10 p型InxGa1-xN第一コンタクト層
11 p型電極
Claims (5)
- 窒化物半導体層上にp型コンタクト層を有し、前記p型コンタクト層がp型電極側から順にp型第一コンタクト層とp型第二コンタクト層によって構成される窒化物半導体素子において、
前記第一コンタクト層がp型不純物を1.0×1020cm-3以上2.0×1020cm-3以下含有したInxGa1-xN(0<x≦0.2)からなり、前記p型第二コンタクト層はp型不純物を前記p型第一コンタクト層より低濃度で含有し、In組成比が前記p型第一コンタクト層より低いInyGa1-yN(0≦y<0.2)からなることを特徴とする窒化物半導体素子。 - 前記p型第一コンタクト層の膜厚が2nm以上20nm以下である請求項1に記載の窒化物半導体素子。
- 前記p型第二コンタクト層が、前記p型第二コンタクト層の下層側のp型窒化物半導体層よりもp型不純物を高濃度で含有した請求項1又は2に記載の窒化物半導体素子。
- 前記p型第一コンタクト層と前記p型第二コンタクト層に含まれているp型不純物が、マグネシウム(Mg)である請求項1〜3いずれかに記載の窒化物半導体素子。
- 前記p型電極が、少なくともパラジウム(Pd)を含む請求項1〜4いずれかに記載の窒化物半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008224843A JP5334501B2 (ja) | 2008-09-02 | 2008-09-02 | 窒化物半導体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008224843A JP5334501B2 (ja) | 2008-09-02 | 2008-09-02 | 窒化物半導体素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010062254A true JP2010062254A (ja) | 2010-03-18 |
JP5334501B2 JP5334501B2 (ja) | 2013-11-06 |
Family
ID=42188760
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008224843A Expired - Fee Related JP5334501B2 (ja) | 2008-09-02 | 2008-09-02 | 窒化物半導体素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5334501B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012101856A1 (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-02 | 住友電気工業株式会社 | 窒化物半導体素子の製造方法 |
JP2013021173A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Toyoda Gosei Co Ltd | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
JP2013033930A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-02-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物半導体素子、及び、iii族窒化物半導体素子の製造方法 |
CN104392916A (zh) * | 2014-11-17 | 2015-03-04 | 中国科学院半导体研究所 | 制备低比接触电阻率的p-GaN欧姆接触的方法 |
KR20170077512A (ko) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 및 조명장치 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0897468A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
JPH10242587A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-11 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体素子及び半導体レーザダイオード |
JP2002305358A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-10-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 窒化物系半導体レーザ素子およびその形成方法 |
JP2005150511A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Toshiba Corp | 半導体レーザ素子および半導体レーザ装置 |
JP2007227832A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体素子 |
-
2008
- 2008-09-02 JP JP2008224843A patent/JP5334501B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0897468A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
JPH10242587A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-11 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体素子及び半導体レーザダイオード |
JP2002305358A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-10-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 窒化物系半導体レーザ素子およびその形成方法 |
JP2005150511A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Toshiba Corp | 半導体レーザ素子および半導体レーザ装置 |
JP2007227832A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体素子 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012101856A1 (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-02 | 住友電気工業株式会社 | 窒化物半導体素子の製造方法 |
JP2013033930A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-02-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物半導体素子、及び、iii族窒化物半導体素子の製造方法 |
JP2013021173A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Toyoda Gosei Co Ltd | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
US8980657B2 (en) | 2011-07-12 | 2015-03-17 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Method for producing a group III nitride semiconductor light-emitting device |
CN104392916A (zh) * | 2014-11-17 | 2015-03-04 | 中国科学院半导体研究所 | 制备低比接触电阻率的p-GaN欧姆接触的方法 |
KR20170077512A (ko) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 및 조명장치 |
KR102445539B1 (ko) | 2015-12-28 | 2022-09-23 | 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 발광소자 및 조명장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5334501B2 (ja) | 2013-11-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3609661B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP5533744B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子 | |
KR20120081249A (ko) | 질화물 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법 | |
US8211726B2 (en) | Method of manufacturing nitride semiconductor light emitting device | |
JP2008078186A (ja) | 窒化物系化合物半導体の結晶成長方法 | |
JP2007115887A (ja) | 窒化物半導体素子およびその製法 | |
JP5334501B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP3441329B2 (ja) | 窒化ガリウム系半導体素子 | |
JP2007201424A (ja) | GaN系発光ダイオードの製造方法 | |
JP2006313890A (ja) | 窒化ガリウム系半導体素子及びその製造方法 | |
JP3620292B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2016149399A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP4457691B2 (ja) | GaN系半導体素子の製造方法 | |
JP5533093B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP4720519B2 (ja) | p型窒化物半導体の製造方法 | |
KR100475005B1 (ko) | 질화물반도체소자 | |
JP4423969B2 (ja) | 窒化物半導体積層基板およびそれを用いた窒化物半導体デバイス、窒化物半導体レーザ素子 | |
JP2005129923A (ja) | 窒化物半導体、それを用いた発光素子、発光ダイオード、レーザー素子およびランプ並びにそれらの製造方法 | |
JP3496480B2 (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP4628651B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP2010080741A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2015115343A (ja) | 窒化物半導体素子の製造方法 | |
JP4200115B2 (ja) | カーボンドープ半導体膜、半導体素子、及びこれらの製造方法 | |
JP2005303333A (ja) | 半導体発光素子の転位密度低減方法 | |
JP2009164489A (ja) | 化合物半導体の製造方法、半導体レーザダイオード及びAlGaN系超格子構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110826 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121106 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130723 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130730 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5334501 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |