JP2010059443A - 石英ヒーター及び成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 発熱体23が埋設され、被処理基板載置面21a上に被処理基板Wが載置される有色石英ヒーター本体21を備え、有色石英ヒーター本体21の熱放射率を、被処理基板W上に成膜される薄膜の熱放射率以上とする。
【選択図】図1
Description
図1は、この発明の第1の実施形態に係る石英ヒーターを備えた成膜装置の一例を概略的に示す断面図である。
図5は、この発明の第2の実施形態に係る石英ヒーターを備えた成膜装置の一例を概略的に示す断面図である。
図7は、この発明の第3の実施形態に係る石英ヒーターを備えた成膜装置の一例を概略的に示す断面図である。
Claims (10)
- 発熱体が埋設され、被処理基板載置面上に被処理基板が載置される有色石英ヒーター本体を備え、
前記有色石英ヒーター本体の熱放射率が、前記被処理基板上に成膜される薄膜の熱放射率以上であることを特徴とする石英ヒーター。 - 前記有色石英ヒーター本体が酸化ニオブを含有していることを特徴とする請求項1に記載の石英ヒーター。
- 前記有色石英ヒーター本体を支持する有色石英支持柱を、さらに備え、
前記有色石英支持柱の熱放射率が前記薄膜の熱放射率以上であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の石英ヒーター。 - 前記有色石英支持柱が酸化ニオブを含有していることを特徴とする請求項3に記載の石英ヒーター。
- 発熱体が埋設され、被処理基板載置面上に被処理基板が載置される石英ヒーター本体と、
前記石英ヒーター本体の、前記被処理基板載置面と反対側の面に設けられた、有色石英部材と、を備え、
前記有色石英部材の熱放射率が、前記被処理基板上に成膜される薄膜の熱放射率以上であることを特徴とする石英ヒーター。 - 前記有色石英部材が酸化ニオブを含有していることを特徴とする請求項5に記載の石英ヒーター。
- 前記石英ヒーター本体が、透明石英製であることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の石英ヒーター。
- 前記石英ヒーター本体を支持する有色石英支持柱を、さらに備え、
前記有色石英支持柱の熱放射率が前記薄膜の熱放射率以上であることを特徴とする請求項5乃至請求項7いずれか一項に記載の石英ヒーター。 - 前記有色石英支持柱が酸化ニオブを含有していることを特徴とする請求項8に記載の石英ヒーター。
- 被処理基板を収容するチャンバと、
前記チャンバ内に設けられ、前記被処理基板が載置される、請求項1乃至請求項9いずれか一項に記載された石英ヒーターを含む基板載置台と、
前記チャンバ内で前記被処理基板に所定の膜を成膜処理する成膜処理部と、
を具備することを特徴とする成膜装置。
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JP2007201406A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置、成膜方法、プリコート層及びその形成方法 |
JP2007335425A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Tokyo Electron Ltd | 載置台構造及び熱処理装置 |
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