JP2010056357A - クリーニング機能付パネルおよびそれを用いた基板処理装置のクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
クリーニング機能付パネルを基板処理装置に通過させるクリーニング方法であって、異物の捕集性と前記クリーニング機能付パネルの良好な搬送性とを両立させた、クリーニング方法を提供することを課題とする。
【解決手段】
基板処理装置のクリーニング方法であって、
該基板処理装置に、
支持体と、
該支持体の少なくとも一方の表面上に部分的に貼付された、粘着力(該粘着力は、試験法JIS Z0237に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度:300mm/分、剥離角度:90°の条件で測定される。)が0.10N/20mm以上であるクリーニング部材と、
該クリーニング部材が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材と、
を有するクリーニング機能付パネルを、
通過させることを特徴とするクリーニング方法。
【選択図】図1
Description
これらの問題を解決するため、基板処理装置内に、粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物を除去する方法が提案されている(例えば、特開平10−154686号公報)。
しかしながらクリーニング層に粘着性物質を使用した場合、その粘着性が高すぎると、粘着性物質と搬送系の接触部とが強く接着して剥離ができなくなり搬送不良が生じるという問題があった。これは特に基板吸着用ステージなどのように、基板との密着性が高い箇所で問題となる。また、この問題は、基板の面積が大きいほど、大きくなる。
しかし、例えば、真空チャック方式の基板吸着ステージを備えた基板処理装置では、クリーニング部材のわずかな凹凸がチャッキングに影響を与え、異物の捕集および搬送のスムーズが不十分になる場合があることが明らかになった。
そこで、本発明者らは、更なる検討の結果、支持体のクリーニング部材が貼付されていない部分に非粘着性ないし微粘着性部材を貼付することにより、基板吸着ステージにおける良好なチャッキングを可能にし、本発明を完成するに至った。これにより、多種多様な基板処理装置における異物の捕集性と良好な搬送性の両立が実現される。
基板処理装置のクリーニング方法であって、
該基板処理装置に、
支持体と、
該支持体の少なくとも一方の表面上に部分的に貼付された、粘着力(該粘着力は、試験法JIS Z0237に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度:300mm/分、剥離角度:90°の条件で測定される。)が0.10N/20mm以上であるクリーニング部材と、
該クリーニング部材が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材と、
を有するクリーニング機能付パネルを、
通過させることを特徴とするクリーニング方法を提供するものである。
支持体と、
該支持体の少なくとも一方の表面上に部分的に貼付された、粘着力(該粘着力は、試験法JIS Z0237に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度:300mm/分、剥離角度:90°の条件で測定される。)が0.10N/20mm以上であるクリーニング部材と、
該クリーニング部材が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材と、
を有するクリーニング機能付パネルを提供するものである。
本明細書中、「処理装置」なる語は、製造装置および検査装置を包含することを意図して用いられる。
本明細書中、「基板処理装置に通過させる」なる句は、基板処理装置の全体を通過させることのみではなく、基板処理装置の一部を通過させることをも意味することを意図して用いられる。
本明細書中、「粘着力」とは、試験法JIS Z0237に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度:300mm/分、剥離角度:90°の条件で測定された粘着力を意味する。
図1および図5を参照しつつ、クリーニング機能付パネルの全体の構成を説明する。図1は、本発明のクリーニング機能付パネルの好ましい一態様の概略を示す、断面図である。図5は、クリーニング機能付パネルの好ましい組み合わせの一態様および本発明のクリーニング方法の一態様の概略を示す図である。
支持体1と、
該支持体1の一方の表面上に部分的に貼付されたクリーニング部材2と、
該クリーニング部材2が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材3と、
を有する。
クリーニング部材2の支持体1とは反対側の面、および非粘着性ないし微粘着性部材3の支持体1とは反対側の面には、全面にわたってカバーシート4が貼付されている。
前記クリーニング部材2の粘着力は、0.10N/20mm以上である。クリーニング部材2の粘着力は、捕集しようとする異物のサイズが大きい場合には、異物の捕集性を担保するために、高く設定される。一方、クリーニング部材2の面積が広い場合は、良好な搬送性を担保するために、低く設定される。したがって、クリーニング部材2の粘着力は、両者のバランスによって設定される。前記クリーニング部材2の粘着力は、好ましくは、0.50N/20mm〜3N/20mmである。
前記クリーニング部材2および前記非粘着性ないし微粘着性部材3の形態は、好ましくは、一定の厚さを有する長方形(テープ状)である。
なお、隣接するクリーニング部材2と非粘着性ないし微粘着性部材3との隙間の幅は、クリーニング機能付パネル100の表面の凹凸を極力少なくするために、好ましくは10mm以内、より好ましくは5mm以内)である。
隣接するクリーニング部材2と非粘着性ないし微粘着性部材3との隙間の幅が広いと、真空チャック方式の基板吸着ステージにおいて、クリーニング機能付パネル100のチャッキングが不十分になる可能性がある。
本明細書中、「クリーニング部材の厚さ」および「非粘着性ないし微粘着性部材の厚さ」とは、使用時における「厚さ」を意味する。したがって、換言すれば、後述の態様のようにクリーニング部材2および/または非粘着性ないし微粘着性部材3がセパレータを有している場合、これらの語はそれぞれ、セパレータを取り除いた後の厚さを意味する。
クリーニング部材の厚さおよび非粘着性ないし微粘着性部材の厚さは、それぞれ、通常、500μm以下、好ましくは3〜300μm程度、さらに好ましくは5〜250μm程度である。
支持体1としては、特に限定されず、対象とする装置で通常搬送されている基板(例、ガラス基板、プラスチック基板,セラミック基板)などを用いればよい。
支持体1の厚みもまた、本発明のクリーニング機能付パネル100を適用する基板処理装置で処理される基板とほぼ同一の厚み、ないし、その厚みからクリーニング部材2の厚みを差し引いた厚みが好ましい。支持体1の厚みは、本発明を適用する基板処理装置によって異なるが、通常、50mm以下、好ましくは2〜40mm程度、さらに好ましくは5〜20mm程度である。
図2を参照しつつ、クリーニング部材2を説明する。図2は、クリーニング部材2の好ましい一態様の概略を示す、断面図である。
クリーニング部材用支持基材21と、
該クリーニング部材用支持基材21の支持体1の反対側の表面上に設けられた、粘着力(該粘着力は、試験法JIS Z0237に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度:300mm/分、剥離角度:90°の条件で測定される。)が0.10N/20mm以上であるクリーニング層22と、
該クリーニング部材用支持基材21の支持体1側の表面上に設けられたクリーニング部材用接着層23と、
を有する。
クリーニング部材2は、クリーニング部材用接着層23によって、支持体1に接着されている。
また、クリーニング層22のクリーニング部材用支持基材21とは反対側の面には、クリーニング部材用セパレータ24が貼付されている。クリーニング部材用セパレータ24は、クリーニング層22の粘着面を保護するためのものであり、クリーニング機能付パネル100の使用時には取り除かれる。
このような粘着剤としては、例えば、ゴム系、アクリル系、ビニルアルキルエーテル系、シリコーン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ウレタン系、およびスチレン・ジエンブロック共重合体系の粘着剤、ならびに、その他の公知の粘着剤(例えば特開昭56−61468号公報、特開昭61−174857号公報、特開昭63−17981号公報、または特開昭56−13040号公報などに記載の接着剤)の1種又は2種以上を用いることができる。なお、該粘着剤は、架橋剤、架橋促進剤、粘着付与剤、可塑剤、充点剤、および老化防止剤などの適当な添加剤を含有してもよい。
クリーニング層22の粘着力(すなわち、クリーニング部材2の粘着力)は、前記の通り、捕集しようとする異物のサイズが大きい場合には、異物の捕集性を担保するために、高く設定される。一方、クリーニング層22の面積が広い場合は、良好な搬送性を担保するために、低く設定される。したがって、クリーニング層22の粘着力は、両者のバランスによって設定される。
クリーニング層22の粘着力の調整は、粘着剤成分の種類および量の選択の他に、紫外線硬化性化合物及び紫外線重合開始剤を添加して紫外線照射処理すること、または熱膨張性微小球を添加して加熱処理することなどの適当な方法によって、実施することもできる。
天然ゴムや各種の合成ゴムをベースポリマーとするゴム系粘着剤;または
炭素数が20以下のアルキル基(例、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、2−エチルヘキシル基、イソオクチル基、イソデシル基、ドデシル基、ラウリル基、トリデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基、オクタデシル基、ノナデシル基、およびエイコシル基)をそれぞれ有するアクリル酸およびメタクリル酸等のエステルであるアクリル酸系アルキルエステルの1種又は2種以上を用いたアクリル系共重合体をベースポリマーとするアクリル系粘着剤など
が用いられる。
カルボキシル基含有モノマー(例、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシルエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イコタン酸、マレイン酸、フマール酸、クロトン酸);
酸無水物モノマー(例、無水マレイン酸、無水イコタン酸);
ヒドロキシル基含有モノマー(例、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシオクチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシデシル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシラウリル、(4−ヒドロキシメチルシクロヘキシル)−メチルメタアクリレート);
スルホン酸基含有モノマースチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、2−(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスホン酸、(メタ)アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸);
(N−置換)アミド系モノマー(例、(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−メチロールプロパン(メタ)アクリルアミド);
(メタ)アクリル酸アルキリアミノ系モノマー(例、(メタ)アクリル酸アミノエチル、(メタ)アクリル酸アミノエチル、(メタ)アクリル酸N,N−ジメチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸t−ブチルアミノエチル);
(メタ)アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー(例、(メタ)アクリル酸メトキシエチル、(メタ)アクリル酸エトキシエチル);
N−シクロヘキシルマレイミド、N−イソプロピルマレイミド、N−ラウリルマレイミド、マレイミド系モノマー(例、N−フェニルマレイミド);
イタコンイミド系モノマー(例、N−メチルイタコンイミド、N−エチルイタコンイミド、N−ブチルイタコンイミド、N−オクチルイタコンイミド、N−2−エチルヘキシルイタコンイミド、N−シクロヘキシルイタコンイミド、N−ラウリルイタコンイミド);
スクシンイミド系モノマー(例、N−(メタ)アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、N−(メタ)アクルロイル−6−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、N−(メタ)アクリロイル−8−オキシオクタメチレンスクシンイミド);
ビニル系モノマー(例、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、N−ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ブニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、N−ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α−メチルスチレン、N−ビニルカプロラクタム);
シアノアクリレートモノマー(例、アクリロニトリル、メタクリロニトリル);
エポキシ基含有アクリル系モノマー(例、(メタ)アクリル酸グリシジル);
グリコール系アクリルエステルモノマー(例、(メタ)アクリル酸ポリエチレングリコール、(メタ)アクリル酸ポリプロピレングリコール、(メタ)アクリル酸メトキシエチレングリコール、(メタ)アクリル酸メトキシポリプロピレングリコール);
アクリル酸エステル系モノマー(例、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素(メタ)アクリレート、シリコーン(メタ)アクリレート、2−メトキシエチルアクリレート);
多官能モノマー(例、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート);
オレフィン系モノマー(例、イソプレン、ブタジエン、イソブチレン);および
ビニルエーテル等から選択される適当なモノマー成分の1種又は2種以上と共重合していてもよい。
紫外線硬化性化合物の具体的な例としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、1,4−ブチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、およびポリエチレングリコールジアクリレートなどが挙げられる。
前記紫外線硬化性化合物としては紫外線硬化性樹脂を用いてもよく、例えば、分子末端に(メタ)アクリロイル基を有するエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、メラミン(メタ)アクリレート、アクリル樹脂(メタ)アクリレート、分子末端にアリル基を有するチオール−エン付加型樹脂、光カチオン重合型樹脂、ポリビニルシンナマートなどのシンナモイル基含有ポリマー、ジアゾ化したアミノノボラック樹脂、およびアクリルアミド型ポリマー等の感光性反応基含有ポリマーもしくはオリゴマーなどが挙げられる。
さらに、紫外線硬化性化合物としては、紫外線で反応するポリマー(例、エポキシ化ポリブタジエン、不飽和ポリエステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリビニルシロキサンなど)も、使用できる。
また、紫外線硬化前後に適切な弾性率を得るために、熱重合開始剤などの適当な添加剤を用いてもよい。該熱重合開始剤としては、特に限定されず、ベンゾイルパーオキサイド,アゾビスイソブチロニトリルなどの公知の熱重合開始剤を用いればよい。
前記殻形成物質としては、熱溶融性物質または熱膨張で破壊される物質であれば特に限定されないが、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、およびポリスルホンなどが挙げられる。
クリーニング部材用接着層23の厚さ(乾燥後)は、通常、10〜50μmである。
また、クリーニング部材用セパレータ24の厚さは、通常、10〜300μm、好ましくは20〜100μmである。
図3および図4を用いて、非粘着性ないし微粘着性部材3を説明する。図3は、本発明のクリーニング機能付パネルの非粘着性の部材を用いた一態様における、非粘着性部材3aの一態様の概略を示す断面図であり、図4は、本発明のクリーニング機能付パネルの微接着性の部材を用いた一態様における、微粘着性部材3bの一態様の概略を示す断面図である。図3における非粘着性部材3aおよび図4における微粘着性部材3bは、図1における、非粘着性ないし微粘着性部材3に包含される。
非粘着性部材3aは、
非粘着性部材用支持基材3a1と、
該非粘着性部材用支持基材3a1の支持体1側の表面上に設けられた、非粘着性部材用接着層3a3と、
を有する。
非粘着性部材3aは非粘着性部材用接着層3a3によって、支持体1に接着されている。
前記非粘着性部材用支持基材3a1の厚みは、クリーニング部材2の厚みと非粘着性部材3aの厚みとがほぼ同じになるように、決定されるが、通常、500μm以下、好ましくは3〜300μm程度、さらに好ましくは5〜250μm程度である。
前記非粘着性部材用接着層3a3の厚さ(乾燥後)は、通常、前記クリーニング部材用接着層23の厚みとほぼ同じであり、具体的には、通常、10〜50μmである。
微粘着性部材3bは、
微粘着性部材用支持基材3b1と、
該微粘着性部材用支持基材3b1の支持体1とは反対側の表面上に設けられた、粘着力(該粘着力は、試験法JIS Z0237に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度:300mm/分、剥離角度:90°の条件で測定される。)が、前記クリーニング部材2の前記粘着力の1/2以下である微粘着層3b2と、
該微粘着性部材用支持基材3b1の支持体1側の表面上に設けられた微粘着性部材用接着層3b3と、
を有する。
微粘着性部材3bは微粘着性部材用接着層3b3によって、支持体1に接着されている。
また、微粘着層3b2の微粘着性部材用接着層3b3とは反対側の面には、微粘着性部材用セパレータ3b4が貼付されている。微粘着性部材用セパレータ3b4は、微粘着層3b2の微粘着面を保護するためのものであり、クリーニング機能付パネル100の使用時には取り除かれる。
前記微粘着性部材用支持基材3b1の厚みは、クリーニング部材2の厚みと非粘着性部材3aの厚みとがほぼ同じになるように決定されるが、通常、500μm以下、好ましくは3〜300μm程度、さらに好ましくは5〜250μm程度である。
前記微粘着層3b2の粘着力は、前記クリーニング部材2の前記粘着力の1/2以下、好ましくは1/3以下である。本発明において、前記微粘着層3b2の粘着力には下限はなく、粘着力が0N/20mmでも本発明の目的は達成しうる。前記微粘着層3b2の粘着力は、クリーニング機能付パネル100の全面のトータルの粘着力が好ましい強さになるように、設定される。
前記微粘着層3b2の粘着力の調製は、前記クリーニング層22の粘着力の調整と同様の方法で実施することができる。
前記微粘着層3b2の厚さ(乾燥後)は特に限定されないが、通常、5〜200μm程度である。
前記微粘着性部材用接着層3b3の材質としては、前記クリーニング部材用接着層23について例示したものと同様のものが挙げられるが、これに限定されるものではない。
前記微粘着性部材用接着層3b3の厚さ(乾燥後)は、通常、前記クリーニング部材用接着層23の厚みとほぼ同じであり、具体的には、通常、10〜50μmである。
また、前記微粘着性部材用セパレータ3b4は、通常、10〜300μm、好ましくは20〜100μmである。
カバーシート4は、前記クリーニング部材2および微粘着性部材3bのセパレータ(クリーニング部材用セパレータ24、微粘着性部材用セパレータ3b4)を一括剥離するためのものであり、セパレータを剥離できるテープ(例、感圧粘着テープ)であれば、特に限定されるものではない。カバーシート4は、本発明のクリーニング機能付パネルの使用時には、セパレータとともに取り除かれる。
クリーニングしようとする基板処理装置に、本発明のクリーニング機能付パネル100を、該基板処理装置の処理の対象となる基板と同様に通過させることにより、該基板処理装置のクリーニングを行うことができる。
基板処理装置内をクリーニング機能付パネル100が搬送されて、被クリーニング部位に接触しながら移動させられることにより、前記装置内に付着する異物を、搬送トラブルを生じることなく簡便かつ確実にクリーニング除去できるものである。
本発明のクリーニング機能付パネルおよび本発明のクリーニング方法は、基板吸着用ステージ(例、真空キャスト方式の基板吸着用ステージ)を備える基板処理装置にも、好適に適用することができる。
好ましくは、クリーニング部材2の通過経路の組み合わせが、クリーニングしようとする全域をカバーするように、前記基板処理装置に、複数枚の前記クリーニング機能付パネル100を、通過させる。
具体的には、図5に示すように、クリーニング部材2の位置が異なる複数枚の前記クリーニング機能付パネル100のセット(100a、100b、100c)を、クリーニング部材2の通過経路の組み合わせがクリーニングしようとする全域をカバーするように、順にクリーニング対象領域を、例えば、a、b、cの順に、白(オープン)矢印の方向に移動させる。これにより、クリーニング対象全領域を漏れなくクリーニングすることができる。図5において、左端の図は、クリーニング機能付パネル100の上面図であり、真ん中の図はクリーニング機能付パネル100の側面図であり、右の図はクリーニング機能付パネル100によって搬送ローラーをクリーニングする方法の概略を示す図である。
また、クリーニング部材および非粘着性ないし微粘着性部材が基材レスである場合は、これらを溶剤で溶解させて取り除き、支持体をクリーニング機能付パネル100の生産に再利用することができる。
アクリル酸−2−エチルヘキシル 70部,アクリル酸エチル 30部,及びヒドロキシエチルアクリレート 5部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー(重量平均分子量50万)100部に対して、イソシアネート系架橋剤(ジフェニルメタンジイソシアネート)3部,錫系架橋促進剤(ジ−n−オクチルスズラウリン酸塩)0.02部を含むトルエン溶液(以下、トルエン溶液Aと称する)を乾燥後の厚さが10μmとなるよう厚さ50μmのポルエステルフィルムの片面に塗布し(クリーニング層)、その表面に厚さ38μmのポリエステル系セパレータを貼り合せた。
続いて、アクリル酸−2−エチルヘキシル 70部,アクリル酸エチル 30部,及びヒドロキシエチルアクリレート 5部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー(重量平均分子量50万)100部に対して、イソシアネート系架橋剤(ジフェニルメタンジイソシアネート)2部,錫系架橋促進剤(ジ−n−オクチルスズラウリン酸塩)0.02部を含むトルエン溶液(以下、トルエン溶液Bと称する)を、ポリエステルフィルムの反対面に乾燥後の厚さが30μmとなるように塗布し(クリーニング部材用接着層)、その表面に厚さ50μmのポリエステル系セパレータを貼り合せて、クリーニング部材を作成した。このクリーニング部材のクリーニング層粘着力(試験法JIS Z0237に準じる,対シリコンミラーウエハ,剥離速度:300mm/分,剥離角度:90°)を測定したところ、1.50N/20mmであった。
続いて、前記トルエン溶液Bを、乾燥後の厚さが40μmとなるように厚さ50μmのポリエステルフィルムの片面に塗布し、その表面に厚さ38μmのポリエステル系セパレータを貼り合せて、非粘着部材を作成した。
次に、厚さ5mm,長さ300mm,幅200mmのガラス板に、図5のように幅20mmのクリーニング部材および非粘着部材をクリーニング部材の位置が重複しないように貼り合せた5枚のクリーニング機能付搬送部材を作製した。
一方、ガラス基板処理装置の吸着ステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で、0.3μm以上の異物を測定したところ、300mm×200mmのエリア内で一つは22000個であった。
次いで、前記で得た5枚のクリーニング機能付搬送部材のクリーニング層側のセパレータを剥がし、順に上記の22000個の異物が付着していたステージを持つ基板処理装置内を搬送させたところ、支障なく搬送できた。その後、ウェハステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で0.3μm以上の異物を測定したところ、エリア内で1100個であり、クリーニング前に付着していた異物数の3/4以上を除去することができた。
アクリル酸−2−エチルヘキシル 75部,アクリル酸メチル 20部,及びアクリル酸 5部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー(重量平均分子量70万)100部に対して、ウレタンアクリレート 50部、ベンジルメチルケタール 3部,及びジフェニルメタンジイソシアネート3部を均一に混合し、紫外線硬化型の粘着剤溶液Cとした。この紫外線硬化型の粘着剤溶液Cを、厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥後の厚さが30μmとなるように塗布・乾燥・紫外線照射(1000mJ/cm2)を行い、その表面に厚さ38μmのポリエステル系セパレータを貼り合せた(クリーニング層)。その後、ポリエステルフィルムの反対面に乾燥後の厚さが20μmとなるように実施例1記載のトルエン溶液Bを塗布し(クリーニング部材用接着剤)、その表面に厚さ50μmのポリエステル系セパレータを貼り合せて、クリーニング部材を作成した。このクリーニング部材の粘着力(試験法JIS Z0237に準じる,対シリコンミラーウエハ,剥離速度:300mm/分,剥離角度:90°)を測定したところ、0.65N/20mmであった。
続いて、実施例1記載のトルエン溶液Bを、乾燥後の厚さが50μmとなるように厚さ75μmのポリエステルフィルムの片面に塗布し、その表面に厚さ38μmのポリエステル系セパレータを貼り合せて、非粘着部材を作成した。
次に、厚さ5mm,長さ300mm,幅200mmのガラス板に、幅50mmのクリーニング部材および非粘着部材をクリーニング部材の位置が重複しないように実施例1に準じて貼り合せた、2枚のクリーニング機能付搬送部材を作製した。
一方、ガラス基板処理装置の吸着ステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で、0.3μm以上の異物を測定したところ、300mm×200mmのエリア内で一つは29000個であった。
次いで、前記で得た2枚のクリーニング機能付搬送部材のクリーニング層側のセパレータを剥がし、順に上記の29000個の異物が付着していたステージを持つ基板処理装置内を搬送させたところ、支障なく搬送できた。その後、ウェハステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で0.3μm以上の異物を測定したところ、エリア内で2200個であり、クリーニング前に付着していた異物数の3/4以上を除去することができた。
アクリル酸−2−エチルヘキシル 70部,アクリル酸エチル 30部,及びヒドロキシエチルアクリレート 5部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー(重量平均分子量50万)100部に対して、イソシアネート系架橋剤(ジフェニルメタンジイソシアネート)3部,錫系架橋促進剤(ジ−n−オクチルスズラウリン酸塩)0.02部を含む実施例1記載のトルエン溶液Aを乾燥後の厚さが10μmとなるよう厚さ50μmのポルエステルフィルムの片面に塗布してクリーニング層を形成させ、その表面に厚さ38μmのポリエステル系セパレータを貼り合せた。その後、実施例1記載のトルエン溶液Bをポリエステルフィルムの反対面に乾燥後の厚さが30μmとなるように塗布し、(クリーニング部材用接着剤)、その表面に厚さ50μmのポリエステル系セパレータを貼り合せて、クリーニング部材を作成した。このクリーニング部材のクリーニング層粘着力(試験法JIS Z0237に準じる,対シリコンミラーウエハ,剥離速度:300mm/分,剥離角度:90°)を測定したところ、1.50N/20mmであった。
続いて、トルエン溶液Bを厚さ25μmのポリエステルフィルムの片面に、乾燥後の厚さが10μmとなるように塗布し(微粘着部材用接着剤)、その表面に厚さ50μmのポリエステル系セパレータを貼り合せた。その後、そのポリエステルフィルムの反対面に、アクリル酸−2−エチルヘキシル 50部,アクリル酸エチル 50部,及びヒドロキシエチルアクリレート 5部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー(重量平均分子量45万)100部に対して、熱膨張性微微小球(マツモトマイクロスフェア F50D)30部,イソシアネート系架橋剤(ジフェニルメタンジイソシアネート)3部,錫系架橋促進剤(ジ−n−オクチルスズラウリン酸塩)0.02部を含むトルエン溶液Dを膨張加熱処理後の厚さが55μmになるように塗布・乾燥し(微粘着層(未膨張処理))、その表面に厚さ50μmのポリエステル系セパレータを貼り合せた。さらに、微粘着層を膨張させるための加熱処理(120℃×5分)を行い、微粘着部材を作製した。この微粘着部材の微粘着層粘着力(試験法JIS Z0237に準じる,対シリコンミラーウエハ,剥離速度:300mm/分,剥離角度:90°)を測定したところ、0.02N/20mmであった。
次に、厚さ5mm,長さ300mm,幅200mmのガラス板に、図5のように幅20mmのクリーニング部材および微粘着部材をクリーニング部材の位置が重複しないように貼り合せた5枚のクリーニング機能付搬送部材を作製した。
一方、ガラス基板処理装置の吸着ステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で、0.3μm以上の異物を測定したところ、300mm×200mmのエリア内で一つは28000個であった。
次いで、前記で得た5枚のクリーニング機能付搬送部材のクリーニング層側のセパレータを剥がし、順に上記の22000個の異物が付着していたステージを持つ基板処理装置内を搬送させたところ、支障なく搬送できた。その後、ウェハステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で0.3μm以上の異物を測定したところ、エリア内で1500個であり、クリーニング前に付着していた異物数の3/4以上を除去することができた。
アクリル酸−2−エチルヘキシル 75部,アクリル酸メチル 20部,及びアクリル酸 5部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー(重量平均分子量70万)100部に対して、ウレタンアクリレート 30部、ベンジルメチルケタール 3部,及びジフェニルメタンジイソシアネート3部を均一に混合し、紫外線硬化型の粘着剤溶液Eとした。この紫外線硬化型の粘着剤溶液Eを、厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥後の厚さが30μmとなるように塗布・乾燥・紫外線照射(1000mJ/cm2)を行い、その表面に厚さ38μmのポリエステル系セパレータを貼り合せた(クリーニング層)。その後、ポリエステルフィルムの反対面に乾燥後の厚さが20μmとなるように実施例1記載のトルエン溶液Bを塗布し(クリーニング部材用接着剤)、その表面に厚さ50μmのポリエステル系セパレータを貼り合せて、クリーニング部材を作製した。このクリーニング部材のクリーニング層粘着力(試験法JIS Z0237に準じる,対シリコンミラーウエハ,剥離速度:300mm/分,剥離角度:90°)を測定したところ、0.90N/20mmであった。
続いて、アクリル酸−2−エチルヘキシル 75部,アクリル酸メチル 20部,及びアクリル酸 5部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー(重量平均分子量70万)100部に対して、ウレタンアクリレート 200部、ベンジルメチルケタール 3部,及びジフェニルメタンジイソシアネート3部を均一に混合し、紫外線硬化型の粘着剤溶液Fとした。この紫外線硬化型の粘着剤溶液Fを、厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥後の厚さが35μmとなるように塗布・乾燥・紫外線照射を行い、その表面に厚さ38μmのポリエステル系セパレータを貼り合せた(微粘着層)。その後、そのポリエステルフィルムの反対面に乾燥後の厚さが40μmとなるように実施例1記載のトルエン溶液Bを塗布し(微粘着部材用接着剤)、その表面に厚さ50μmのポリエステル系セパレータを貼り合せて、微粘着部材を作成した。この微粘着部材の微粘着層粘着力(試験法JIS Z0237に準じる,対シリコンミラーウエハ,剥離速度:300mm/分,剥離角度:90°)を測定したところ、0.06N/20mmであった。
次に、厚さ5mm,長さ300mm,幅200mmのガラス板に、幅50mmのクリーニング部材および微粘着部材をクリーニング部材の位置が重複しないように実施例1に準じて貼り合せた、2枚のクリーニング機能付搬送部材を作製した。
一方、ガラス基板処理装置の吸着ステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で、0.3μm以上の異物を測定したところ、300mm×200mmのエリア内で一つは27000個であった。
次いで、前記で得た2枚のクリーニング機能付搬送部材のセパレータを剥がし、順に上記の27000個の異物が付着していたステージを持つ基板処理装置内を搬送させたところ、支障なく搬送できた。その後、ウェハステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で0.3μm以上の異物を測定したところ、エリア内で2100個であり、クリーニング前に付着していた異物数の3/4以上を除去することができた。
ガラス板全面に実施例1記載のクリーニング部材を貼り合せクリーニング層付搬送部材を作製した。次いで、前記吸着ステージを持つ基板処理装置内を搬送したところ、ウェハステージに固着し、搬送できなくなった。
ガラス板全面に実施例2記載のクリーニング部材を貼り合せクリーニング層付搬送部材を作製した。次いで、前記吸着ステージを持つ基板処理装置内を搬送したところ、ウェハステージに固着し、搬送できなくなった。
2 クリーニング部材
3 非粘着性ないし微粘着性部材
3a 非粘着性部材
3b 微粘着性部材
4 カバーシート
21 クリーニング部材用支持基材
22 クリーニング層
23 クリーニング部材用接着層
24 クリーニング部材用セパレータ
3a1 非粘着性部材用支持基材
3a3 非粘着性部材用接着層
3b1 微粘着性部材用支持基材
3b2 微粘着層
3b3 微粘着性部材用接着層
3b4 微粘着性部材用セパレータ
5 搬送ローラー
100 クリーニング機能付パネル
Claims (7)
- 基板処理装置のクリーニング方法であって、
該基板処理装置に、
支持体と、
該支持体の少なくとも一方の表面上に部分的に貼付された、粘着力(該粘着力は、試験法JIS Z0237に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度:300mm/分、剥離角度:90°の条件で測定される。)が0.10N/20mm以上であるクリーニング部材と、
該クリーニング部材が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材と、
を有するクリーニング機能付パネルを、
通過させることを特徴とするクリーニング方法。 - 前記非粘着性ないし微粘着性部材の厚さが、前記クリーニング部材の厚さに対して、90%〜110%であることを請求項1記載のクリーニング方法。
- 前記クリーニング部材および前記非粘着性ないし微粘着性部材が、前記クリーニング機能付パネルが前記基板処理装置を通過する進行方向における、該クリーニング機能付パネルの前端から後端までにわたって前記支持体の表面上に貼付されている、請求項1記載のクリーニング方法。
- 前記非粘着性ないし微粘着性部材の粘着力(該粘着力は、試験法JIS Z0237に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度:300mm/分、剥離角度:90°の条件で測定される。)が、前記クリーニング部材の前記粘着力の1/2以下である、請求項1記載のクリーニング方法。
- 前記クリーニング部材の通過経路の組み合わせが、クリーニングしようとする全域をカバーするように、前記基板処理装置に、複数枚の前記クリーニング機能付パネルを、通過させることを特徴とする請求項1記載のクリーニング方法。
- 前記基板処理装置が基板吸着用ステージを備える、請求項1記載のクリーニング方法。
- 支持体と、
該支持体の少なくとも一方の表面上に部分的に貼付された、粘着力(該粘着力は、試験法JIS Z0237に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度:300mm/分、剥離角度:90°の条件で測定される。)が0.10N/20mm以上であるクリーニング部材と、
該クリーニング部材が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材と、
を有するクリーニング機能付パネル。
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