JP2010056356A - 電子基板、電子基板の製造方法、および表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】層間絶縁膜を介して配線された上下の導電パターンが、これらの導電パターン形成後に接続配線によって接続された構成において、接続抵抗の上昇を防止でき、さらにこの構成を製造する際のプロセスタクトタイムの削減が図られる電子基板を提供する。
【解決手段】基板1上に設けられた第1導電パターン3と、これを覆う状態で基板1上に設けられた層間絶縁膜5と、第1導電パターン3上に一部を重ねた状態で層間絶縁膜5上に設けられた第2導電パターン9とを備えている。第2導電パターン9と第1導電パターン3とが重なる位置には、第2導電パターン9および層間絶縁膜5に開口部31が設けられている。この開口部31は第1導電パターン3を底面としており、この開口部31の内壁を覆う接続配線33により、第2導電パターン9と第1導電パターン3とが結線されている。
【選択図】図1
【解決手段】基板1上に設けられた第1導電パターン3と、これを覆う状態で基板1上に設けられた層間絶縁膜5と、第1導電パターン3上に一部を重ねた状態で層間絶縁膜5上に設けられた第2導電パターン9とを備えている。第2導電パターン9と第1導電パターン3とが重なる位置には、第2導電パターン9および層間絶縁膜5に開口部31が設けられている。この開口部31は第1導電パターン3を底面としており、この開口部31の内壁を覆う接続配線33により、第2導電パターン9と第1導電パターン3とが結線されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、上下層に配置された配線が結線された構成を有する電子基板とその製造方法、さらにはこの結線構造を有する表示装置に関する。
近年、平面型表示装置(Flat Panel Display:FPD)の高精細化、大型化にともない、薄膜トランジスタ(thin film transistor:TFT)等を有する表示駆動回路が形成されたバックプレーン用の電子基板においては、配線の微細化が進んでいる。
このように配線の微細化が進んだ電子基板においては、層間絶縁膜を介して配置された配線間を接続するために、層間絶縁膜に形成される接続孔の開口幅が縮小される。このため、接続孔の開口不良が発生し易く、接続孔を介しての配線同士の接続不良が多発している。この一例を以下に説明する。
図17には、表示装置の1画素分に対応する表示駆動回路部分の平面図、A1−A1’断面図、A2−A2’断面図、およびB−B’断面図を示す。これらの図に示す表示駆動回路部分は、次のような層構造となっている。すなわち、基板1上には、第1導電パターン3がパターン形成され、これを覆う状態で層間絶縁膜5が設けられている。この層間絶縁膜5上には、この層間絶縁膜5をゲート絶縁膜とした半導体層7が設けられ、さらに半導体層7に一部が積層された状態で第2導電パターン9が設けられている。この第2導電パターン9上は上層絶縁膜11で覆われ、この上方にここでの図示を省略した表示素子が配置される。
以上のような層構造においては、B−B’断面図に示すように、層間絶縁膜5に形成した接続孔5aを介して、第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続が図られる。しかしながら、配線の微細化によって接続孔5aの開口幅が縮小されると、A1−A1’断面図に示すように層間絶縁膜5の必要部分に接続孔が設けられない開口不良が発生するのである。
このような接続孔の開口不良にともなう上下層の導電パターン3−9の接続不良の修復は、A1−A1’断面図およびA2−A2’断面図に示すように、次のように行なわれている。先ず、ZAPPINGプロセスを利用し、レーザ照射によって、上層絶縁膜11および層間絶縁膜5の一部を除去し、第1導電パターン3を露出させる開口部91と、第2導電パターン9を露出させる開口部93とをそれぞれ形成する。次に、レーザCVD技術を適用した接続配線95のパターン形成により、開口部91,93を介して第1導電パターン3と第2導電パターン9とを結線する。(以上例えば下記特許文献1参照)。
しかしながら、図17のA1−A1’断面図およびA2−A2’断面図に示したような、上下層の導電パターン3,9の結線構造は、2つの開口部91−93間にわたって接続配線95を引き回す構成である。このため、2つの開口部91,93を形成する必要性があること、また接続配線95の結線長が長いこと等、接続不良を修復するための結線形成にある程度のタクトタイムを要する。
また、接続配線95は、第2導電パターン9および第1導電パターン3のパターン部分を乗り越えて引き回される。このため、例えば段差の大きな第2導電パターン9の側壁においては、接続配線95の段切れが発生し易く接続抵抗を上昇させる要因となる。
そこで本発明は、層間絶縁膜を介して配線された上下の導電パターンが、これらの導電パターン形成後に接続配線によって接続された構成において、接続抵抗の上昇を防止でき、さらにプロセスタクトタイムの削減を図ることが可能な電子基板およびその製造方法を提供すること、さらにはこの電子基板を用いた表示装置を提供することを目的とする。
このような目的を達成するための本発明の電子基板は、基板上に設けられた第1導電パターンと、これを覆う状態で基板上に設けられた層間絶縁膜と、第1導電パターン上に一部を重ねた状態で層間絶縁膜上に設けられた第2導電パターンとを備えている。またさらに、第2導電パターンと第1導電パターンとが重なる位置には、当該第1導電パターンを底面とした開口部が設けられている。そしてこのような開口部の内壁を覆うことにより、当該第2導電パターンと当該第1導電パターンとを結線する接続配線が備えられている。
また本発明の電子基板の製造方法は、上述した構成の電子基板の製造方法でもあり、次の手順を行なう。先ず第1工程では、基板上の第1導電パターンを覆う状態で層間絶縁膜を形成する。次の第2工程では、第1導電パターン上に一部を重ねる状態で層間絶縁膜上に第2導電パターンを形成する。その後第3工程では、第2導電パターンと前記第1導電パターンとが重なる位置に第1導電パターンを底面とする開口部を形成する。次の第4工程では、開口部の内壁を覆うことにより、当該第2導電パターンと当該第1導電パターンとを結線する接続配線を形成する。
また本発明の表示装置は、上述した構成の電子基板を用いた表示装置であり、第2導電パターンを覆う絶縁膜上に画素駆動用電極を設けた構成である。
上述した構成の電子基板では、第1導電パターンと第2導電パターンとが重なる位置において、当該第1導電パターンを底部にした1つの開口部が設けられ、この内壁を覆う接続配線によって第1導電パターンと第2導電パターンとが接続される。このため、接続配線は、複数の開口部間で引き回されることなく、最小レイアウトで第1導電パターンと第2導電パターンとを接続するものとなる。また開口部は、第1導電パターンおよび第2導電パターンの形成とは別の工程で形成されるため、第1導電パターンおよび第2導電パターンの側壁形状とは関係なく、開口上部を広くした断面テーパ形状に形成することができる。したがって、この開口部の内壁を覆う接続配線が、開口部の段差で段切れすることを防止できる。
以上説明したように本発明によれば、1つの開口部の内壁を覆う最小レイアウトの接続配線によって第1導電パターンと第2導電パターンとを接続することが可能である。このため、接続配線形成においてのプロセスタクトタイムの削減を図ることが可能でると共に、開口部を断面テーパ形状に形成することができるため接続配線の段切れによる接続抵抗の上昇を防止できる。またこの結果、例えば第1導電パターンと第2導電パターンとの接続不良を、上述した開口部と接続配線の形成によって修復する場合に、修復に係るタクトタイムの削減を図ると共に、確実な修復を行なうことが可能になる。
以下、本発明を適用した実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下の実施形態においては、有機電界発光素子を用いた表示装置を例にとり、この表示装置を構成する電子基板の構成、表示装置の構成、および電子基板の作製方法をこの順に説明する。
≪電子基板≫
図1には、実施形態の電子基板の構成を示す平面図、平面図におけるA−A’断面図、B−B’断面図、およびC−C’断面図を示す。これらの図に示す電子基板20は、表示装置における表示駆動回路が形成された電子基板20であり、2画素分に対応する表示駆動回路を図示している。尚、図17を用いて説明した従来技術の構成と同様の構成要素には同一の符号を付している。また絶縁膜は断面図のみに図示し、断面図においての図示を省略している。
図1には、実施形態の電子基板の構成を示す平面図、平面図におけるA−A’断面図、B−B’断面図、およびC−C’断面図を示す。これらの図に示す電子基板20は、表示装置における表示駆動回路が形成された電子基板20であり、2画素分に対応する表示駆動回路を図示している。尚、図17を用いて説明した従来技術の構成と同様の構成要素には同一の符号を付している。また絶縁膜は断面図のみに図示し、断面図においての図示を省略している。
先ず、これらの図に示す電子基板20の表示駆動回路の構成を説明する。
これらの図に示すように、基板1上には、水平方向に走査線21が延設され、垂直方向に信号線23が延設されている。そして、各走査線21と各信号線23との交差部に対応して1つの画素に対応する表示駆動回路aが設けられた構成となっている。
各表示駆動回路aは、例えばスイッチング用の薄膜トランジスタTr1、駆動用の薄膜トランジスタTr2、および容量素子Csとで構成されている。そして、容量素子Csと駆動用の薄膜トランジスタTr2とに、ここでの図示を省略した有機電界発光素子を駆動するための画素駆動用電極(例えば画素電極)が接続される構成になっている。また、駆動用の薄膜トランジスタTr2と容量素子Csとは、共通の電源供給線(Vcc)25に接続されている。
そして、走査線21の駆動により、スイッチング用の薄膜トランジスタTr1を介して信号線23から書き込まれた映像信号が容量素子Csに保持され、保持された信号量に応じた電流が駆動用の薄膜トランジスタTr2から有機電界発光素子の画素駆動用電極に供給され、この電流値に応じた輝度で有機電界発光素子を発光させる構成となっている。
以上のように構成された表示駆動回路を有する電子基板20は、次のような層構造となっている。
すなわち例えばガラス材料からなる基板1上には、第1導電パターン3が設けられている。この第1導電パターン3は、上述した走査線21、薄膜トランジスタTr1,Tr2のゲート電極、容量素子Csの下部電極、および信号線23の一部を構成している。このような第1導電パターン3は、上層の形成プロセスに影響されることのないように、例えばモリブデン(Mo)のような高融点金属を用いて構成されていることとする。
また基板1上には、第1導電パターン3を覆う状態で層間絶縁膜5が設けられている。この層間絶縁膜5は、薄膜トランジスタTr1,Tr2のゲート絶縁膜を兼ねており、例えば酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層構造からなる。この層間絶縁膜5上には、薄膜トランジスタTr1,Tr2のチャネル部を構成する半導体層7が設けられている。半導体層7は、例えばアモルファスシリコン薄膜からなる。
また層間絶縁膜5上には、半導体層7に一部が積層された状態で第2導電パターン9が設けられている。この第2導電パターン9は、上述した信号線23の一部、薄膜トランジスタTr1,Tr2のソース/ドレイン電極、および電源供給線(Vcc)25を構成している。この第2導電パターン9は、アルミニウム(Al)のような導電性の良好な材料を用いて構成されることが好ましく、例えばチタン(Ti)薄膜で挟持されたアルミニウム膜で構成されていることとする。
尚、以上のように、信号線23の一部を第1導電パターン3で構成することにより、第2導電パターン9で構成された電源供給線(Vcc)と信号線23とを交差させたレイアウトにすることが可能である。またこれにより、信号線23の大部分と電源供給線(Vcc)との両方を、導電性の良好な第2導電パターン9で構成することが可能である。
以上のような第2導電パターン9上は、パッシベーションとなる上層絶縁膜11で覆われていることとする。このような上層絶縁膜11は、例えば窒化シリコン膜からなる。そしてこの上層絶縁膜11の上方に、ここでの図示を省略した有機電界発光素子(以降に説明する)を駆動するための画素駆動用電極(例えば画素電極)が設けられる。
以上のような層構造においては、B−B’断面図に示すように、層間絶縁膜5に形成した接続孔5aを介して、信号線23を構成する第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続が図られている。この場合、配線の微細化によって接続孔5aの開口幅が縮小されると、層間絶縁膜5の必要部分に接続孔5aが設けられない開口不良が発生し、第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続不良が発生する場合がある。
このような接続不良個所においては、A−A’断面図に示す構成よって、第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続が図られている。すなわち、第2導電パターン9と第1導電パターン3とが重なる位置には、上層絶縁膜11、第2導電パターン9、および層間絶縁膜5に、開口部31が設けられている。この開口部31は、第1導電パターン3を底面としている。そして、この開口部31の内壁を接続配線33で覆うことにより、この接続配線33によって、第2導電パターン9の側壁部分と、開口部31の底面に露出する第1導電パターン3の上面部分とが接続されて1本の信号線23を構成している。
ここで開口部31は、側壁テーパ形状に形成されていることとする。そして、好ましくは、開口部31の側壁は、開口上部ほど開口幅が広い階段状に形成されていることとする。この階段状は、層間絶縁膜5部分の開口幅よりも第2導電パターン9の開口幅が一回り大きく、さらに第2導電パターン9部分の開口幅よりも上層絶縁膜11部分の配向幅が一回り大きい階段状であることとする。特に、第2導電パターン9部分の開口幅よりも上層絶縁膜11部分の配向幅が一回り大きいことにより、第2導電パターン9の側壁から上面に掛けてが広く露出され、これによって第2導電パターン9と接続配線33とが十分に接続された構成であることが好ましい。尚、階段状を構成するそれぞれの層の側壁も、開口上部に向かって開口幅が広くなるテーパ形状であることとし、これにより開口部31の内壁においての接続配線33の段切れが防止される。
接続配線33は、例えば開口部31の内壁に沿って成膜されている。この接続配線33は、開口部31よりも一回り大きい平面形状を有しており、開口部31の開口上部において開口部31よりも一回り大きく開口部31からはみ出して形成されていることが好ましい。これにより、第2導電パターン9と接続配線33とを最大限の有効面積でムダ無く接続させることができる。尚、このような構成の接続配線33は、例えばレーザCVD法によってパターン形成されたものであることとする。
尚、以上のように説明した電子基板20においては、上層配絶縁膜11を設けずに、第2導電パターン9と層間絶縁膜5とに開口部31を形成し、この開口部31の内壁を覆う状態で接続配線33を設けても良い。
また、開口部31は、底部に第1導電パターン3が露出し、側壁に第2導電パターン9が露出していれば良い。このため、開口部31の側壁の全周にわたって第2導電パターン9が露出している必要はない。ただし、開口部31の内壁における第1導電パターン3および第2導電パターン9の露出面積が大きいほど、接続配線33によるこれらの導電パターン3,9の接続を確実に行なえることになる。
≪表示装置≫
図2には、以上のような構成の電子基板を用いた表示装置の構成を説明するための要部断面図を示す。尚、図2の要部断面図は、図1の平面図におけるD−D’断面に対応している。
図2には、以上のような構成の電子基板を用いた表示装置の構成を説明するための要部断面図を示す。尚、図2の要部断面図は、図1の平面図におけるD−D’断面に対応している。
この図に示す表示装置40は、次のように構成されている。
すなわち、この表示装置40は、図1を用いて説明した構成の電子基板20を用いて構成されており、第1導電パターン3と第2導電パターン9の一部が開口部31の内壁に設けた接続配線33によって接続された信号線23を備えている。この電子基板20の上部は、例えば表面平坦な絶縁膜41で覆われている。この絶縁膜41には、薄膜トランジスタTr2のソース/ドレイン電極を構成する第2導電パターン9に達する接続孔41aが設けられている。
そして、絶縁膜41上の各画素に、接続孔41aを介して有機薄膜トランジスタTr2に接続された有機電界発光素子ELが設けられている。この有機電界発光素子ELは、絶縁膜41上に設けられた絶縁性パターン43で素子分離されている。
そして有機電界発光素子ELは、有機薄膜トランジスタTr2に接続された画素駆動用電極45を備えている。この画素駆動用電極45は、例えば各画素毎にパターン形成された画素電極であって、一例として陽極として用いられるものであり、光反射性を有して構成されていることとする。
そして、この画素駆動用電極45の周縁が、有機電界発光素子ELを素子分離するための絶縁性パターン43で覆われている。この絶縁性パターン43は、画素駆動用電極45を広く露出させる開口窓43aを備えており、この開口窓43aが有機電界発光素子ELの画素開口となる。このような絶縁性パターン43は、例えば感光性樹脂を用いて構成され、リソグラフィー法を適用してパターニングされたものであることとする。
そして、このような絶縁性パターン43から露出する画素駆動用電極45上を覆う状態で、有機層47が設けられている。この有機層47は、少なくとも有機発光層を備えた積層構造からなり、必要に応じて陽極(ここでは画素駆動用電極45)側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層、電子注入層、さらには他の層を積層してなる。また有機層37は、例えば各有機電界発光素子ELで発生させる発光光の波長毎に、少なくとも有機発光層を含む層が画素毎に異なる構成でパターン形成されていることとする。また、各波長の画素で共通の層を有していても良い。さらに、この有機電界発光素子ELが、微小共振器構造として構成されている場合、各有機電界発光素子ELから取り出す波長に合わせて有機層47の膜厚が調整されていることとする。
以上のような有機層47を覆い、画素駆動用電極45との間に有機層47を狭持する状態で、共通電極49が設けられている。この共通電極49は、有機電界発光素子ELの有機発光層で発生させた光を取り出す側の電極であり、光透過性を有する材料で構成されていることとする。またここでは、画素駆動用電極45が陽極として機能するものであるため、この共通電極49は、少なくとも有機層47に接する側が陰極として機能する材料を用いて構成されていることとする。さらに、この有機電界発光素子ELが、微小共振器構造として構成されている場合、この共通電極49は、半透過半反射性を有する構成であることとする。
そして、以上のような画素駆動用電極45と共通電極49との間に有機層47が挟持された各画素部分が、有機電界発光素子ELとして機能する部分となる。
またここでの図示は省略したが、各有機電界発光素子ELの形成面側は、光透過性材料からなる封止樹脂で覆われ、さらにこの封止樹脂を介して光透過性材料からなる対向基板が張り合わされた状態で表示装置40が構成されている。
≪電子基板の作製方法−1≫
図3には、以上のように構成された表示装置40用の電子基板20の作製手順を示すフローチャートである。以下、図3のフローチャートに沿って、先の図1を参照しつつ、電子基板20の作製手順の一例を説明する。
図3には、以上のように構成された表示装置40用の電子基板20の作製手順を示すフローチャートである。以下、図3のフローチャートに沿って、先の図1を参照しつつ、電子基板20の作製手順の一例を説明する。
先ず、ステップS1では基板1上に第1導電パターン3を形成し、次のステップS2では第1導電パターン3を覆う状態で層間絶縁膜5を成膜する。その後、ステップS3では、層間絶縁膜5に、第1導電パターン3の信号線23を構成する部分に達する接続孔5aを形成する。次にステップS4では、層間絶縁膜5上に薄膜トランジスタTr1,Tr2を構成する半導体層7を形成する。
次いでステップS5では、半導体層7上に一部を重ねた第2導電パターン9を形成する。この第2導電パターン9の一部は、層間絶縁膜5に形成した接続孔5aを介して第1導電パターン3の一部に接続させる。以上により、第1導電パターン3、半導体層7、および第2導電パターンで構成された、各表示駆動回路aを形成する。
そして次のステップS6では、半導体層7および第2導電パターン9を覆う状態で上層絶縁膜11を成膜する。
以上の後、ステップS7では、第1導電パターン3、半導体層7、および第2導電パターンで構成された表示駆動回路aの検査を行なう。ここでは、例えば光学画像の比較で欠陥検出を行う光学式検査を行ない、次に画素毎のチャージ量比較で欠陥検出を行う電気式検査を行なう。
そして次のステップS8では、以上の検査結果から、各画素において第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続部分に欠陥があるか否かを判断する。そして、欠陥が無い(Yes)と判断された場合には、次のステップS9に進んで電子基板20を完成させる。一方、欠陥が有る(No)と判断された場合いは、ステップS10に進む。
ステップS10では、欠陥個所の修復を行う。ここで、図4の平面図、およびこの平面図におけるA−A’断面図に示すように、上記検査結果から、1本の信号線23を構成する第1導電パターン3と第2導電パターン9との間の接続不良が検知されたとする。この接続不良は、例えば、第1導電パターン3と第2導電パターン9との間の層間絶縁膜5に形成される接続孔(5a)の開口不良による。そこで、ステップS10においては、レーザを用いて欠陥修正を行うレーザリペアを適用し、図5の断面工程図に示す手順で次のように欠陥個所の修復を行なう。尚、図5の断面工程図は、図4のA−A’断面部分に対応している。
先ず図5(1)に示すように、第1導電パターン3と第2導電パターン9とが積層された位置において、上層絶縁膜11の一部を除去する。これにより、上層絶縁膜11に開口部11bを形成する。このような上層絶縁膜11の部分的な除去は、いわゆるZAPPINGプロセスを適用したレーザ照射によって行なう。これにより、側壁テーパ形状の開口部11bが形成される。
ここでは例えば、レーザ光の照射サイズ(スリットサイズ)を8.5μm×8.5μm角とし、短いパルス波のレーザ光を照射して上層絶縁膜11を除去する。この際、第2導電パターン9が露出する程度に加工深さを制御することにより、上部絶縁膜11のみを除去する。
次に、図5(2)に示すように、上層絶縁膜11に形成した開口部11bの底部において、第2導電パターン9の一部を除去する。これにより、第2導電パターン9に開口部9bを形成する。このような第2導電パターン9の部分的な除去は、いわゆるZAPPINGプロセスを適用したレーザ照射によって行なう。これにより、側壁テーパ形状の開口部9bが形成される。
この際、上層絶縁膜11に形成した開口部11bよりも、第2導電パターン9の開口部9bが一回り小さな開口径となるように、第2導電パターン9の一部を除去する。ここでは例えば、レーザ光の照射サイズ(スリットサイズ)を6.5μm×6.5μm角とし、短いパルス波のレーザ光を照射して第2導電パターン9を除去する。
このような第2導電パターン9のレーザ照射による除去は、レーザパルス幅が10psec以下のレーザを用い、できるだけ低エネルギーで熱拡散を抑えて行われることとする。これにより、これにより、下層の第1導電パターン3に対して影響を及ぼすこと無く、第2導電パターン9の除去をナノメートルオーダーで加工深さを制御しつつ行う。
尚、以上のような、ZAPPINGプロセスを適用した第2導電パターン9の除去は、上層絶縁膜11の除去よりも低エネルギーで行われる。このため、より高エネルギーを必要とする上層絶縁膜11の除去とは別工程に分け、必要最小限の低エネルギーで第2導電パターン9の除去を行うようにする。これにより、第2導電パターン9よりも下層への影響を抑えて開口部9bを形成することができる。
次に、図5(3)に示すように、第2導電パターン9に形成した開口部9bの底部において、層間絶縁膜5の一部を除去する。これにより、層間絶縁膜5に開口部5bを形成し、開口部5bの底部に第1導電パターン3を露出させる。このような層間絶縁膜5の部分的な除去は、いわゆるZAPPINGプロセスを適用したレーザ照射によって行なう。これにより、側壁テーパ形状の開口部5bが形成される。
またこの際、第2導電パターン9に形成した開口部9bよりも、層間絶縁膜5の形成開口部5bが一回り小さな開口径となるように、層間絶縁膜5の一部を除去する。ここでは例えば、レーザ光の照射サイズ(スリットサイズ)を4μm×4μm角とし、短パルス波のレーザ光を照射して層間絶縁膜5を除去する。
以上のようにして、開口部11b,9b,5bで構成された開口部31を形成する。この開口部31は、第1導電パターン3を底部とし、開口上部ほど開口幅が広い階段状で、かつ階段状を構成するそれぞれの層の側壁が開口上部に向かって開口幅が広くなるテーパ形状として形成される。
次に、図5(4)に示すように、開口部31の内壁を覆う形状の接続配線33を、開口部31の内壁に沿って形成する。ここでは、例えばレーザCVD法を適用することにより、所望の位置に接続配線33をパターン形成する。この接続配線33は、開口部31よりも一回り大きい平面形状で、開口部31の開口上部において開口部31よりも一回り大きく開口部31からはみ出す形状に形成する。
ここでは例えば、材料ガスとしてタングステンカルボニル[W(CO)6]を供給した条件下において、開口部31にレーザ光を照射する。これにより、レーザ光の照射部に、タングステン(W)を接続配線33としてCVD成膜する。この際、レーザ光の照射サイズ(スリットサイズ)を10μm×10μm角とし、開口部31の底面および内壁とこれよりも一回り大きい平面形状部分にレーザ光を照射して接続配線33をパターン形成する。
以上により、開口部31の内壁を覆う状態で接続配線33がパターン形成され、この接続孔33によって第2導電パターン9の側壁部分と開口部31の底面に露出する第1導電パターン3の上面部分とを接続し、信号線23の接続不良個所を修復する。
≪電子基板の作製方法−2≫
図3のフローチャートにおけるステップS10で行なう欠陥個所の修復の他の例を、図6の断面工程図に基づいて説明する。尚、図6の断面工程図は、図4のA−A’断面部分に対応している。
図3のフローチャートにおけるステップS10で行なう欠陥個所の修復の他の例を、図6の断面工程図に基づいて説明する。尚、図6の断面工程図は、図4のA−A’断面部分に対応している。
先ず図6(1)に示すように、第1導電パターン3と第2導電パターン9とが積層された位置において、上層絶縁膜11の一部および第2導電パターン9の一部を除去する。これにより、上層絶縁膜11に開口部11bを形成すると共に、これに連続して第2導電パターン9に開口部9bを形成する。このように、レーザ光のビームプロファイルを変化させずに、開口部11b,9bを連続して形成することで、工程手順の短縮が図れられる。また、下地層であるゲート絶縁膜を兼ねた層間絶縁膜5の損傷を、先の例より低く抑えることが可能となり、より成功率の高いプロセスとなる。このような上層絶縁膜11および第2導電パターン9の部分的な除去は、いわゆるZAPPINGプロセスを適用したレーザ照射によって行なう。これにより、側壁テーパ形状の開口部11b,9bが形成される。
ここでは例えば、レーザ光の照射サイズ(スリットサイズ)を6.5μm×6.5μm角とし、短いパルス波のレーザ光を照射して上層絶縁膜11および第2導電パターン9を除去する。この際、層間絶縁膜5の損傷が十分に抑えられるように、必要最小限の低エネルギーで上層絶縁膜11および第2導電パターン9の除去を行うようにする。これにより、第2導電パターン9よりも下層への影響を抑えて開口部9bを形成することができる。
次に、図6(2)に示すように、第2導電パターン9に形成した開口部9bの底部において、層間絶縁膜5の一部を除去する。これにより、層間絶縁膜5に開口部5bを形成し、開口部5bの底部に第1導電パターン3を露出させる。このような層間絶縁膜5の部分的な除去は、いわゆるZAPPINGプロセスを適用したレーザ照射によって行なう。これにより、側壁テーパ形状の開口部5bが形成される。
またこの際、上層絶縁膜11に形成した開口部11bが、第2導電パターン9に形成した開口部9bよりも一回り大きな開口径となるように、層間絶縁膜5の一部と共に上層絶縁膜11も除去する。ここでは例えば、レーザ光の照射サイズ(スリットサイズ)を8.5μm×8.5μm角とし、短パルス波のレーザ光を照射して層間絶縁膜5を除去すると共に、上層絶縁膜11を除去して開口部11Bの開口幅を広げる。
以上のようにして、開口部11b,9b,5bで構成された開口部31を形成する。この開口部31は、第1導電パターン3を底部とし、開口上部ほど開口幅が広い階段状で、かつ階段状を構成するそれぞれの層の側壁が開口上部に向かって開口幅が広くなるテーパ形状として形成される。
以上の後には、先の例と同様に、図6(3)に示すように、開口部31の内壁を覆う形状の接続配線33を、開口部31の内壁に沿って形成する。ここでは、例えばレーザCVD法を適用することにより、所望の位置に接続配線33をパターン形成する。この接続配線33は、開口部31よりも一回り大きい平面形状で、開口部31の開口上部において開口部31よりも一回り大きく開口部31からはみ出す形状に形成する。
ここでは例えば、材料ガスとしてタングステンカルボニル[W(CO)6]を供給した条件下において、開口部31にレーザ光を照射する。これにより、レーザ光の照射部に、タングステン(W)を接続配線33としてCVD成膜する。この際、レーザ光の照射サイズ(スリットサイズ)を10μm×10μm角とし、開口部31の底面および内壁とこれよりも一回り大きい平面形状部分にレーザ光を照射して接続配線33をパターン形成する。
以上により、開口部31の内壁を覆う状態で接続配線33がパターン形成され、この接続孔33によって第2導電パターン9の側壁部分と開口部31の底面に露出する第1導電パターン3の上面部分とを接続し、信号線23の接続不良個所を修復する。
以上説明した実施形態によれば、第1導電パターン3と第2導電パターン9とが重なる位置において、第1導電パターン3を底部にした1つの開口部31を設け、この開口部31の内壁を覆う接続配線33によって第1導電パターン3と第2導電パターン9とが接続される。このため、接続配線33は、複数の開口部間で引き回されることなく、最小レイアウトで第1導電パターン3と第2導電パターン9とを接続するものとなる。したがって、例えば第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続不良を、上述した開口部31と接続配線33の形成によって修復する場合に、修復に係るタクトタイムを最小限に抑えることが可能になる。
また開口部31は、第1導電パターン3および第2導電パターン9の形成とは別の工程で形成される。このため、第1導電パターン3および第2導電パターン9の形成工程とは関係なく、開口部31の側壁の形状を開口上部ほど広くした断面テーパ形状に形成することができる。したがって、この開口部31の内壁を覆う接続配線33が、開口部31の段差で段切れすることを防止できる。したがって、例えば第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続不良を、上述した開口部31と接続配線33の形成によって修復する場合に、確実な修復を行なうことが可能になる。また、接続配線33の膜厚が安定化するため、接続配線33の抵抗値のバラツキを抑えることも可能である。
さらに、図17に示す従来の構成と比較して、開口部の数を半減できると共に接続配線の引き回しもない。このため、第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続部が過密にレイアウトされている構成であっても、互いの修復部分が干渉し合うことがない。したがって、確実に修復可能であると共に、修復部における二次的な欠陥の発生を防止することも可能である。
≪レーザ装置の構成≫
図7には、以上説明した電子基板の作製方法に用いるレーザ装置50の構成図を示し、図8にはこのレーザ装置50における要部平面図を示す。
図7には、以上説明した電子基板の作製方法に用いるレーザ装置50の構成図を示し、図8にはこのレーザ装置50における要部平面図を示す。
これらの図に示すように、レーザ装置50は、パルスレーザ光源51、CWレーザ光源52、これらから発生させたレーザ光Lhを集光するミラー53およびレンズ54を備えている。また集光されたレーザ光Lhの光路上には、局所排気装置55と、加工対象となる基板1の載置台56とがこの順に設けられている。
このうち局所排気装置55は、載置台56上の基板1の表面に対して相対的に変位可能に構成されている。この局所排気装置55には、レーザ光Lhの光路上に材料ガスを供給する材料ガス供給路61、およびパージガスを供給するパージガス供給路63を備えている。また載置台56上の基板1に対向して配置されるリング状圧縮気体供給路65、このリング状圧縮気体供給路56からの圧縮気体を載置台56上の基板1に噴出させるリング状の多孔質通気手段67、さらにはリング状吸引溝69を備えている。またレーザ光Lhの光路上に位置して、局所排気部71および透明窓73を備えている。
このような局所排気装置55を備えたレーザ装置50は、パルスレーザ光源51からのレーザ光Lhのパルス照射によって薄膜を除去する機能と共に、材料ガス供給路61から材料ガスを流した状態にてCWレーザ光源52からレーザ光Lhを照射することにより材料ガス成分からなる膜をレーザCVD法によって成膜する機能とを併せ持つ。
このようなレーザ装置50を用いたレーザ加工は、次のように行われる。先ず、載置台56上に基板1を載置固定し、局所排気装置55の下部に移動させる。
この状態で、リング状圧縮気体供給路65に例えば0.2Mpaの圧縮窒素を供給し、多孔質通気手段67を通過させて局所排気装置55を静圧浮上させる。これにより、局所排気装置55と基板1との接触を回避して基板1の損傷を防止する。
次に、透明窓73への金属などの付着を防ぐため、パージガス供給路63にアルゴン50ccmを導入した後、リング状吸引溝69を通して排気することにより、局所排気装置55を基板1表面から10μmの高さに浮上させる。
次に、レーザCVD用の材料ガスとして例えばタングステンカルボニルを、キャリアガス(Ar50sccm)と共に材料ガス供給路61に導入する。
次に、基板1に対するレーザ照射位置を、局所排気装置55の透明窓73を通して観察しながら載置台56上で走査し、所望の欠陥修正位置に移動させる。移動させた位置において、基板1にレーザ光を照射することにより、上述した電子基板20の作製においての各層の除去やレーザCVD成膜が行われる。
≪適用例≫
尚、図2を用いて説明した本発明に係る表示装置は、図9に開示したような、封止された構成のモジュール形状のものをも含む。例えば、基板1上の画素アレイ部である表示領域1aを囲むようにシーリング部71が設けられ、このシーリング部71を接着剤として、透明なガラス等の対向部(封止基板72)に貼り付けられ形成された表示モジュールが該当する。この透明な封止基板72には、カラーフィルタ、保護膜、遮光膜等が設けられてもよい。尚、表示領域1aが形成された表示モジュールとしての基板1には、外部から表示領域1a(画素アレイ部)への信号等を入出力するためのフレキシブルプリント基板73が設けられていても良い。
尚、図2を用いて説明した本発明に係る表示装置は、図9に開示したような、封止された構成のモジュール形状のものをも含む。例えば、基板1上の画素アレイ部である表示領域1aを囲むようにシーリング部71が設けられ、このシーリング部71を接着剤として、透明なガラス等の対向部(封止基板72)に貼り付けられ形成された表示モジュールが該当する。この透明な封止基板72には、カラーフィルタ、保護膜、遮光膜等が設けられてもよい。尚、表示領域1aが形成された表示モジュールとしての基板1には、外部から表示領域1a(画素アレイ部)への信号等を入出力するためのフレキシブルプリント基板73が設けられていても良い。
また以上説明した本発明に係る表示装置は、図10〜図14に示す様々な電子機器、例えば、デジタルカメラ、ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置、ビデオカメラなど、電子機器に入力された映像信号、若しくは、電子機器内で生成した映像信号を、画像若しくは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置に適用することが可能である。以下に、本発明が適用される電子機器の一例について説明する。
図10は、本発明が適用されるテレビを示す斜視図である。本適用例に係るテレビは、フロントパネル102やフィルターガラス103等から構成される映像表示画面部101を含み、その映像表示画面部101として本発明に係る表示装置を用いることにより作成される。
図11は、本発明が適用されるデジタルカメラを示す図であり、(A)は表側から見た斜視図、(B)は裏側から見た斜視図である。本適用例に係るデジタルカメラは、フラッシュ用の発光部111、表示部112、メニュースイッチ113、シャッターボタン114等を含み、その表示部112として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。
図12は、本発明が適用されるノート型パーソナルコンピュータを示す斜視図である。本適用例に係るノート型パーソナルコンピュータは、本体121に、文字等を入力するとき操作されるキーボード122、画像を表示する表示部123等を含み、その表示部123として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。
図13は、本発明が適用されるビデオカメラを示す斜視図である。本適用例に係るビデオカメラは、本体部131、前方を向いた側面に被写体撮影用のレンズ132、撮影時のスタート/ストップスイッチ133、表示部134等を含み、その表示部134として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。
図14は、本発明が適用される携帯端末装置、例えば携帯電話機を示す図であり、(A)は開いた状態での正面図、(B)はその側面図、(C)は閉じた状態での正面図、(D)は左側面図、(E)は右側面図、(F)は上面図、(G)は下面図である。本適用例に係る携帯電話機は、上側筐体141、下側筐体142、連結部(ここではヒンジ部)143、ディスプレイ144、サブディスプレイ145、ピクチャーライト146、カメラ147等を含み、そのディスプレイ144やサブディスプレイ145として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。
≪実施例1≫
本発明を適用して第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続を修復した電子基板の作製手順の実施例1を、図5の断面工程図に基づいて説明する。
本発明を適用して第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続を修復した電子基板の作製手順の実施例1を、図5の断面工程図に基づいて説明する。
先ず、図5(1)に示すように、ガラス材料からなる基板1上に、Mo(膜厚100nm)からなる第1導電パターン3を形成し、これをSiO/SiN(膜厚300nm)の積層構造からなる層間絶縁膜5で覆った。この層間絶縁膜5上に、Ti/Al/Ti層(膜厚50/900/50nm)の積層構造からなる第2導電パターン9を形成し、これをSiN(膜厚300nm)からなる上層絶縁膜11で覆った。第1導電パターン3と第2導電パターン9とは、層間絶縁膜5を介して絶縁された状態となっている。
次に、レーザ照射によって、上層絶縁膜11を部分的に除去して開口部11bを形成し、下層のTi/Al/Tiからなる第2導電パターン9を露出させた。この際、波長400nmのレーザ光を、照射サイズ(スリットサイズ)8.5μm×8.5μm角、パルス幅3ピコ秒、加工パワー0.2J/cm2として、SiNからなる上層絶縁膜11に1ショット照射した。照射位置は、第2導電パターン9と第1導電パターン3とが積層される位置とした。
次に、図5(2)に示すように、レーザ照射によって、下地層である層間絶縁膜5への損傷を最小限に抑えつつ、Ti/Al/Tiからなる第2導電パターン9を部分的に除去して開口部9bを形成し、SiO/SiNからなる層間絶縁膜5を露出させた。この際、波長400nmのレーザ光を、照射サイズ(スリットサイズ)6.5μm×6.5μm角、パルス幅3ピコ秒、加工パワー0.03J/cm2、周波数500Hz、1000ショットの条件で、第2導電パターン9に照射した。照射位置は、上層絶縁膜11の開口部11bの底面とした。
次に、図5(3)に示すように、レーザ照射によって、SiO/SiNからなる層間絶縁膜5を部分的に除去して開口部5bを形成し、下層のMoからなる第1導電パターン3を露出させた。この際、波長400nmのレーザ光を、照射サイズ(スリットサイズ)4μm×4μm角、パルス幅3ピコ秒、加工パワー0.2J/cm2として、SiO/SiNからなる層間絶縁膜5に1ショット照射した。照射位置は、第2導電パターン9の開口部9bの底面とした。
以上により、開口部5b、9b、11bからなる側壁階段状の開口部31を形成した。
その後、図5(4)に示すように、レーザCVD法により、開口部31の内壁を覆う接続配線33を形成した。この際、波長355nmのレーザ光を、照射サイズ(スリットサイズ)10μm×10μm角、パルス幅5ナノ秒、周波数20kHzの擬似CWレーザのパワー密度が3800W/cm2になるように調整し、8秒間の静止状態でレーザCVD成膜を行い、膜厚約500nmのW膜からなる接続配線33を成膜した。
以上により形成された結線構造を図15に示す。この図に示すように、層間絶縁膜5を介して積層された第1導電パターン3と第2導電パターン9とが、開口部31の内壁を覆う接続配線33によって結線された。第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続部分の抵抗値は20Ω、開口部31の形成および接続配線33の形成に要する結線形成のプロセス時間は約10秒であった。
≪実施例2≫
本発明を適用して第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続を修復した電子基板の作製手順の実施例2を、図6の断面工程図に基づいて説明する。
本発明を適用して第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続を修復した電子基板の作製手順の実施例2を、図6の断面工程図に基づいて説明する。
先ず、図6(1)に示すように、ガラス材料からなる基板1上に、Mo(膜厚100nm)からなる第1導電パターン3を形成し、これをSiO/SiN(膜厚300nm)の積層構造からなる層間絶縁膜5で覆った。この層間絶縁膜5上に、Ti/Al/Ti層(膜厚50/900/50nm)の積層構造からなる第2導電パターン9を形成し、これをSiN(膜厚300nm)からなる上層絶縁膜11で覆った。第1導電パターン3と第2導電パターン9とは、層間絶縁膜5を介して絶縁された状態となっている。
次に、レーザ照射によって、上層絶縁膜11を部分的に除去して開口部11bを形成し、さらに続けて下層のTi/Al/Tiからなる第2導電パターン9を部分的に除去して開口部9bを形成し、層間絶縁膜5を露出させた。この際、波長400nmのレーザ光を、照射サイズ(スリットサイズ)6.5μm×6.5μm角、パルス幅3ピコ秒、加工パワー0.03J/cm2、周波数500Hz、1000ショットの条件で、上層絶縁膜11に照射した。照射位置は、第2導電パターン9と第1導電パターン3とが積層される位置とした。
次に、図6(2)に示すように、レーザ照射によって、SiO/SiNからなる層間絶縁膜5を部分的に除去して開口部5bを形成し、下層のMoからなる第1導電パターン3を露出させ、また上層絶縁膜11における開口部11bの開口幅を広げた。この際、波長400nmのレーザ光を、照射サイズ(スリットサイズ)8.5μm×8.5μm角、パルス幅3ピコ秒、加工パワー0.2J/cm2として、SiNからなる上層絶縁膜11とSiO/SiNからなる層間絶縁膜5に1ショット照射した。照射位置は、上層絶縁膜11の開口部11bを中心とする位置にした。
以上により、開口部5b、9b、11bからなる側壁階段状の開口部31を形成した。
その後、図6(3)に示すように、レーザCVD法により、開口部31の内壁を覆う接続配線33を形成した。この際、波長355nmのレーザ光を、照射サイズ(スリットサイズ)10μm×10μm角、パルス幅5ナノ秒、周波数20kHzの擬似CWレーザのパワー密度が3800W/cm2になるように調整し、8秒間の静止状態でレーザCVD成膜を行い、膜厚約500nmのW膜からなる接続配線33を成膜した。
以上により形成された結線構造を図16に示す。この図に示すように、層間絶縁膜5を介して積層された第1導電パターン3と第2導電パターン9とが、開口部31の内壁を覆う接続配線33によって結線された。第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続部分の抵抗値は20Ω、開口部31の形成および接続配線33の形成に要する結線形成のプロセス時間は約10秒であった。
≪比較例≫
本発明を適用せずに第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続を修復した電子基板の作製手順を、図17に基づいて説明する。
本発明を適用せずに第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続を修復した電子基板の作製手順を、図17に基づいて説明する。
実施例と同様に、第1導電パターン3と第2導電パターン9とが層間絶縁膜5を介して絶縁された層構造を形成した。
次に、レーザ照射によって、SiNからなる上層絶縁膜11を部分的に除去して開口部93を形成し、下層のTi/Al/Tiからなる第2導電パターン9を露出させた。この際、波長400nmのレーザ光を、照射サイズ(スリットサイズ)4μm×4μm角、パルス幅3ピコ秒、加工パワー0.2J/cm2として、1ショット照射した。照射位置は、第2導電パターン9の上部とした。
次に、レーザ照射によって、SiNからなる上層絶縁膜11およびSiO/SiNからなる層間絶縁膜5を除去して開口部91を形成し、下層のMoからなる第1導電パターン3を露出させた。この際、波長400nmのレーザ光を、照射サイズ(スリットサイズ)4μm×4μm角、パルス幅3ピコ秒、加工パワー0.2J/cm2として、1ショット照射した。照射位置は、第2導電パターン9が積層されていない、第1導電パターン3の上部とした。
その後、レーザCVD法により、開口部91から開口部93に掛けて接続配線95を形成した。この際、波長355nmのレーザ光を、照射サイズ(スリットサイズ)5μm×5μm角、パルス幅5ナノ秒、周波数20kHzの擬似CWレーザのパワー密度が3800W/cm2になるように調整し、スキャン速度10μm/s、スキャン数4回の走査を行なった。これにより、結線長さ50μm、膜約200nmのW膜をからなる接続配線95を形成した。
以上のようなレーザCVD技術を適用した接続配線95のパターン形成により、開口部91,93を介して第1導電パターン3と第2導電パターン9とが結線された。第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続部分の抵抗値は100Ω、開口部91,93の形成および接続配線95の形成に要する結線形成のプロセス時間は約30秒であった。
≪評価結果≫
本発明を適用した実施例1および実施例2では、第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続部分の抵抗値は20Ω、結線形成のプロセス時間は約10秒であった。これに対して本発明の適用のない比較例では、第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続部分の抵抗値は100Ω、結線形成のプロセス時間は約30秒であった。これらの値の比較から、本発明を適用することによって、第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続不良を修復する結線形成に係るタクトタイムの削減が図られ、接続抵抗の低い確実な修復が行われることが確認された。
本発明を適用した実施例1および実施例2では、第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続部分の抵抗値は20Ω、結線形成のプロセス時間は約10秒であった。これに対して本発明の適用のない比較例では、第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続部分の抵抗値は100Ω、結線形成のプロセス時間は約30秒であった。これらの値の比較から、本発明を適用することによって、第1導電パターン3と第2導電パターン9との接続不良を修復する結線形成に係るタクトタイムの削減が図られ、接続抵抗の低い確実な修復が行われることが確認された。
1…基板、3…第1導電パターン、5…層間絶縁膜、7…半導体層、9…第2導電パターン、11…上層絶縁膜、20…電子基板、31…開口部、33…接続配線、40…表示装置、41…絶縁膜、45…画素駆動用電極、Tr1,Tr2…薄膜トランジスタ
Claims (15)
- 基板上に設けられた第1導電パターンと、
前記第1導電パターンを覆う状態で前記基板上に設けられた層間絶縁膜と、
前記第1導電パターン上に一部を重ねた状態で前記層間絶縁膜上に設けられた第2導電パターンと、
前記第2導電パターンと前記第1導電パターンとが重なる位置において当該第1導電パターンを底面とする開口部の内壁を覆うことにより、当該第2導電パターンと当該第1導電パターンとを結線する接続配線とを備えた
電子基板。 - 前記開口部は、側壁テーパ形状に形成されている
請求項1記載の電子基板。 - 前記第2導電パターンを覆う状態で前記層間絶縁膜上に上層絶縁膜が設けられており、
前記開口部は、前記上層絶縁膜と共に、前記第2導電パターンおよび前記層間絶縁膜に設けられ、
前記接続配線は、前記開口部の内壁に露出する前記第2導電パターンの側壁部分と、当該開口部の底面に露出する前記第1導電パターンの上面部分とに接続されている
請求項1または2に記載の電子基板。 - 前記開口部の側壁は、開口上部ほど開口幅が広い階段状に形成されている
請求項1〜3の何れか1項に記載の電子基板。 - 前記接続配線は、前記開口部よりも一回り大きい平面形状を有している
請求項1〜4の何れか1項に記載の電子基板。 - 前記基板上には、前記第1導電パターンと前記第2導電パターンと層間に設けられた半導体層と、前記層間絶縁膜からなるゲート絶縁膜とを用いて構成された薄膜トランジスタが設けられている
請求項1〜5の何れか1項に記載の電子基板。 - 基板上の第1導電パターンを覆う状態で層間絶縁膜を形成する第1工程と、
前記第1導電パターン上に一部を重ねる状態で前記層間絶縁膜上に第2導電パターンを形成する第2工程と、
前記第2導電パターンと前記第1導電パターンとが重なる位置において当該第2導電パターンおよび前記層間絶縁膜に当該第1導電パターンを底面とする開口部を形成する第3工程と、
前記開口部の内壁を覆うことにより、当該第2導電パターンと当該第1導電パターンとを結線する接続配線を形成する第4工程とを行なう
電子基板の製造方法。 - 前記第1工程では、前記第1導電パターンに達する接続孔を備えた前記層間絶縁膜を形成し、
前記第2工程では、前記接続孔を介して前記第1導電パターンに接続される第2導電パターンを形成し、
前記第2工程の後、前記第1導電パターンと第2導電パターンとが接続されていない場合に、前記第3工程と前記第4工程とを行なう判断工程を有する
請求項7記載の電子基板の製造方法。 - 前記第3工程では、レーザ光の照射によって、前記第2導電パターンおよび前記層間絶縁膜を除去して前記開口部を形成する
請求項7または8に記載の電子基板の製造方法。 - 前記第3工程では、開口部の側壁が、開口上部ほど開口幅が広い階段状となるように、前記レーザ光を照射する
請求項7〜9の何れか1項に記載の電子基板の製造方法。 - 前記第4工程では、レーザCVD法により前記接続配線を形成する
請求項7〜10の何れか1項に記載の電子基板の製造方法。 - 前記第2工程と第3工程との間に前記第2導電パターンを覆う上層絶縁膜を形成する工程を行ない、
前記第3工程では、前記上層絶縁膜のエッチング、前記第2導電パターンのエッチング、および前記層間絶縁膜のエッチングを3段階で行なうことによって前記開口部を形成する
請求項7〜11の何れか1項に記載の電子基板の製造方法。 - 前記第2工程と第3工程との間に前記第2導電パターンを覆う上層絶縁膜を形成する工程を行ない、
前記第3工程では、前記層間絶縁膜をストッパにした前記上層絶縁膜および第2導電パターンのエッチングと、前記第1導電パターンをストッパにした前記層間絶縁膜のエッチングとの2段階のエッチングを行なうことによって前記開口部を形成する
請求項7〜11の何れか1項に記載の電子基板の製造方法。 - 基板上に設けられた第1導電パターンと、
前記第1導電パターンを覆う状態で前記基板上に設けられた層間絶縁膜と、
前記第1導電パターン上に一部を重ねた状態で前記層間絶縁膜上に設けられた第2導電パターンと、
前記第2導電パターンと前記第1導電パターンとが重なる位置において当該第1導電パターンを底面とする開口部の内壁を覆うことにより、当該第2導電パターンと当該第1導電パターンとを結線する接続配線と、
前記接続配線が形成された前記基板上を覆う絶縁膜と、
前記絶縁膜に形成された接続孔を介して前記第1導電パターンまたは第2導電パターンに接続された状態で当該絶縁膜上に設けられた画素駆動用電極とを備えた
表示装置。 - 前記基板上には、前記第1導電パターンと前記第2導電パターンと層間に設けられた半導体層と、前記層間絶縁膜からなるゲート絶縁膜とを用いて構成された薄膜トランジスタが設けられている
請求項14に記載の表示装置。
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