JP2010056233A - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の露光装置は、構造体を収容する真空容器と、真空容器内の真空度を高めるための真空ポンプと、構造体に対して輻射により熱交換を行う輻射部材と、構造体の温度を検出する温度検出手段と、温度検出手段の検出温度に基づいて輻射手段を制御する制御手段とを有し、輻射手段は、真空ポンプと構造体の間の輻射による熱交換を遮蔽しない位置に配置されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
(a1)輻射部材10の輻射板21の重心とダクト22の開口部との最短距離が、開口部の直径よりも短いこと。ただし、1つの真空ポンプ(ターボ分子ポンプ5)に対して複数の輻射板21が配置される場合は、複数の輻射板21に基づいて輻射板の重心を求めるものとする。
(b1)輻射部材10の輻射板21の面積はダクト22の開口部の面積の10倍以下であること。
(c1)輻射部材10の輻射板21とダクト22の開口部の最短距離が開口部の直径よりも短いこと。
(a2)輻射部材10の輻射板21の重心とクライオポンプ8の冷却面25との最短距離が、冷却面25の直径よりも短いこと。ただし、1つのクライオポンプ8の冷却面25に対して、複数の輻射板21が配置される場合は、複数の輻射板21に基づいて輻射板の重心を求めるものとする。
(b2)輻射部材10の輻射板21の面積はクライオポンプ8の冷却面25の面積の10倍以下であること。
(c2)輻射部材10の輻射板21と冷却面25の最短距離が冷却面25の直径よりも短いこと。
2 レチクルステージ
3 ウエハステージ
4 ウエハ(基板)
5 ターボ分子ポンプ
7 投影光学系空間
8 クライオポンプ
9 レチクル
10 輻射部材
11 温度制御器
12 光源
13 温度センサ
14 基準温度部材
15 ミラー
16 鏡筒
17 ミラー保持部材
18 チラー
19 冷却ジャケット
20 ペルチェ素子
21 輻射板
22 ダクト
23 配管
25 冷却面
26 照明光学系空間
27 レチクルステージ空間
28 ウエハステージ空間
Claims (17)
- 構造体を収容する真空容器と、該真空容器内の真空度を高めるための真空ポンプと、前記構造体に対して輻射により熱交換を行う輻射部材と、前記構造体の温度を検出する温度検出手段と、該温度検出手段の検出温度に基づいて前記輻射手段を制御する制御手段とを有し、前記輻射手段は、前記真空ポンプと前記構造体の間の輻射による熱交換を遮蔽しない位置に配置されていることを特徴とする露光装置。
- 前記真空ポンプはクライオポンプであって、前記輻射手段は前記クライオポンプの冷却面を遮蔽しない位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記輻射手段の輻射板は前記クライオポンプの冷却面の周囲に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記輻射手段の輻射板の重心と前記冷却面との距離は、前記冷却面の直径よりも短いことを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- 前記輻射手段の輻射板の面積は前記冷却面の面積の10倍以下であることを特徴とする請求項3または4に記載の露光装置。
- 前記輻射手段の輻射板と前記クライオポンプの冷却面の最短距離は、前記冷却面の直径よりも短いことを特徴とする請求項3乃至5に記載の露光装置。
- 前記真空ポンプはターボ分子ポンプであって、前記ターボ分子ポンプと前記真空容器はダクトで連結されており、前記輻射手段は前記ダクトの開口部を遮蔽しない位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記輻射手段は前記ダクトの開口部の周囲に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の露光装置。
- 前記輻射手段の輻射板の重心と前記開口部との距離は、前記開口部の直径より短いことを特徴とする請求項8に記載の露光装置。
- 前記輻射手段の輻射板の面積は前記開口部の面積の10倍以下であることを特徴とする請求項8または9に記載の露光装置。
- 前記輻射手段の輻射板と前記開口部との最短距離は、前記開口部の直径よりも短いことを特徴とする請求項8乃至10に記載の露光装置。
- 前記真空ポンプはターボ分子ポンプであって、前記ターボ分子ポンプと前記真空容器はダクトで連結されており、前記輻射手段は前記ダクトの内部に配置されており、前記輻射手段の輻射板と前記ダクトの壁面が平行であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記構造体は光学系を保持する鏡筒であることを特徴とする請求項1乃至12に記載の露光装置。
- 前記構造体はレチクルステージであることを特徴とする請求項1乃至12に記載の露光装置。
- 前記構造体はウエハステージであることを特徴とする請求項1乃至12に記載の露光装置。
- 構造体を収容する真空容器と、該真空容器内の真空度を高めるためのポンプと、該ポンプと前記構造体の間に配置される基準温度部材と、前記構造体および前記基準温度部材に対して輻射による熱交換を行う輻射手段と、該基準温度部材の温度を検出する温度検出手段と、該温度検出手段の検出温度に基づいて前記輻射手段を制御する制御手段とを有し、前記輻射手段は、前記真空ポンプと前記構造体の間の輻射による熱交換を遮蔽しない位置に配置されていることを特徴とする露光装置。
- 請求項1乃至16のいずれか1項に記載の露光装置を用いて露光する工程を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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