JP2010050941A - 音叉型屈曲水晶振動素子及び水晶振動子並びに水晶発振器 - Google Patents
音叉型屈曲水晶振動素子及び水晶振動子並びに水晶発振器 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】振動腕部の表主面と裏主面のどちらか一方の主面又は両面に少なくとも1つ第1の凹部が形成されており、更に第1の凹部内部の底面に少なくとも1つ第2の凹部が形成されている音叉型屈曲水晶振動素子、及びその音叉型水晶振動素子を搭載した水晶振動子並びに水晶発振器。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の一例を示したものであり、図1(a)は音叉型屈曲水晶振動素子の表主面側を示した図であり、図1(b)は裏主面を示した図である。図2は、図1(a)のC−C′断面図である。又、図3は、図1(a)のD−D′断面図で示した電極形成方法の一例である。図4は、図1に記載の音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片を示した図であり、図4(a)は水晶片の表主面を示した図であり、図4(b)は裏主面を示した図である。
図5は、本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片を示した図であり、図5(a)は水晶片の表主面を示した図であり、図5(b)は裏主面を示した図である。
図6は、本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片を示した図であり、図6(a)は水晶片の表主面を示した図であり、図6(b)は裏主面を示した図である。
図7は、本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片を示した図であり、図7(a)は水晶片の表主面を示した図であり、図7(b)は裏主面を示した図である。
図8は、本発明の第五の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片を示した図であり、図8(a)は水晶片の表主面を示した図であり、図8(b)は裏主面を示した図である。
図9は、本発明の第六の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片を示した図であり、図9(a)は水晶片の表主面を示した図であり、図9(b)は裏主面を示した図である。
11・・・基部
12・・・第1の振動腕部
13・・・第2の振動腕部
20、21、22、23、45・・・第1の凹部
24a、24b、25a、25b、26a、26b、27a、27b、44・・・第2の凹部
30、31、32、33・・・電極部
34、35・・・配線部
36、37・・・外部接続用電極部
38a、38b・・・バンド部
39・・・金属膜
40・・・水晶基板
41・・・耐食性膜
42・・・フォトレジスト
43・・・外形形状
46・・・電極膜
50・・・水晶片
Claims (7)
- 基部と、前記基部の側面より同一方向に延びる、2本1対の振動腕部と、前記振動腕部の表主面と裏主面のどちらか一方の主面又は両面に少なくとも1つ、前記振動腕部の長さ方向に沿って厚み方向に形成された第1の凹部と、前記第1の凹部内部の底面に少なくとも1つ、前記振動腕部の長さ方向に沿って厚み方向に形成された第2の凹部と、前記基部及び前記振動腕部の表面、第1の凹部内部、及び第2の凹部内部に所望のパターンで形成された、複数個の電極部及び前記電極部間を電気的に接続する配線部により構成されることを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子。
- 前記第1の凹部の深さ寸法が、前記振動腕部の厚さ寸法に対して1/1000〜1/10の比率となり、前記第2の凹部の深さ寸法が、前記振動腕部の厚さ寸法に対して20/100〜45/100の比率となり、前記第2の凹部の表主面と裏主面の凹部の底面が前記振動腕部内で対向しないことを特徴とする請求項1に記載の音叉型屈曲水晶振動素子。
- 前記第1の凹部の深さ寸法が、前記振動腕部の厚さ寸法に対して1/1000〜1/10の比率となり、前記第2の凹部の深さ寸法が、前記振動腕部の厚さ寸法に対して5/10〜9/10の比率となり、前記第2の凹部の表主面と裏主面の凹部の底面が前記振動腕部内で対向することを特徴とする請求項1に記載の音叉型屈曲水晶振動素子。
- 請求項1、請求項2、又は請求項3に記載の音叉型屈曲水晶振動素子と、一方の主面にキャビティ部を有し、前記音叉型屈曲水晶振動素子を搭載するパッド及びこの搭載パッドと接続する外部接続用電極部を備えた容器体と、前記キャビティ部に被せて気密封止するための蓋体とで構成されることを特徴とする水晶振動子。
- 請求項4に記載の水晶振動子と電気的に接続した発振回路を備えて構成されていることを特徴とする水晶発振器。
- 水晶基板の両面に耐食性膜を薄膜形成する工程と、前記耐食性膜上にフォトレジスト外形パターンを形成する工程と、露出している耐食性膜をエッチングする工程と、フォトレジストを剥離する工程と、前記耐食性膜上にフォトレジスト電極パターンを形成する工程と、音叉型屈曲水晶振動素子の外形と第2の凹部を一度に又は別々にエッチングする工程と、露出している耐食性膜をエッチングする工程と、前記耐食性膜エッチングで露出した水晶面をエッチングすることにより第1の凹部を形成する工程と、露出している前記音叉型屈曲水晶振動素子外形に電極膜を形成する工程と、リフトオフ法を用いてフォトレジストを除去すると同時にフォトレジスト上の電極膜を除去する工程と、耐食性膜を除去する工程を有することを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子の製造方法。
- 水晶基板の両面に耐食性膜を薄膜形成する工程と、前記耐食性膜上にフォトレジスト外形パターンを形成する工程と、露出している耐食性膜をエッチングする工程と、フォトレジストを剥離する工程と、前記耐食性膜上にフォトレジスト電極パターンを形成する工程と、音叉型屈曲水晶振動素子の外形と第2の凹部を一度に又は別々にエッチングする工程と、露出している耐食性膜をエッチングする工程と、前記耐食性膜エッチングで露出した水晶面をエッチングすることにより第1の凹部を形成する工程と、露出している前記音叉型屈曲水晶振動素子外形に電極膜を形成する工程と、リフトオフ法を用いて耐食性膜を除去すると同時に耐食性膜上のフォトレジストと電極膜を除去する工程を有することを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子の製造方法。
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