JP2010045349A - プローブ試験および選別装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試験区26を有し、試験区26はプローブ試験装置を有し、プローブ試験装置はウェハーリング上のチップに試験を行なう。試験済みのウェハーリングは搬送装置22によって試験区26から選別区24に搬送される。選別区24は選別装置を有し、選別装置は試験結果に基づいてウェハーリング上のチップを複数の選別容器中に分配する。
【選択図】図2
Description
図2は、本発明の第一実施形態によるプローブ試験および選別装置を示す配置図である。試験待ちのウェハーリングがプローブ試験および選別装置20に搬入された後、試験区26は試験待ちのウェハーリングに試験を行い、試験が完了した後、搬送装置22は試験済みのウェハーリングを選別区24に搬送し、選別を進め、最後に搬出する。本実施形態はウェハーリングに電気的試験を行なうことである。言い換えれば、試験区26は一次処理によってウェハー全体のチップに電気的試験を行なうため、試験速度を上げることが可能である。試験済みのウェハーリングは直接選別区24に搬送され、選別されるため、ブルーテープの収縮現象を最小限に減少させることが可能である。本実施形態において、搬送装置22は機械アームまたはレールによって構成される。
図4は、本発明の第二実施形態によるプローブ試験および選別装置を示す配置図である。ウェハーリングがプローブ試験および選別装置30内の配置区32に搬入された後、搬送装置304は配置区32上のウェハーリングを試験区34に搬送する。試験区34はプローブ試験装置を有し、プローブ試験装置によってウェハーリング上のチップに試験を行う。試験が完了した後、搬送装置304は、試験済みのウェハーリングをウェハーリング保管区36に搬送する。選別装置302は、ウェハーリング保管区36中の試験済みのウェハーリングからチップを取り上げ、試験結果に基づいて選別容器保管区38内の選別容器に分配する。選別工程が完了すると、チップは選別容器保管区38から搬出される。本実施形態において、配置区32は緩衝作用を果たすことが可能である。チップの外観に欠陥があるか否かを検査するために、試験区、ウェハーリング保管区または選別装置に外観検査システムに配置すればこのましい。試験対象物の搬入および搬出方式を多様化することが可能である。例えば、ウェハーリングおよび選別容器の搬入および搬出は配置区内に設計されることが可能であり、選別済みのウェハーリングおよび選別容器は搬送装置304によって配置区へ搬送され、そののち搬出されることが可能である。選別工程が完了した後、搬送装置304によって選別が完了した選別容器を試験区34に搬送し、そののち選別済みのチップにプローブ試験または抜き取り検査を行なうことによってチップ選別の良質の度合を確認し、そして搬送装置304によって良質の度合が低すぎた選別容器をウェハーリング保管区36に搬送し、再び選別工程を行なうことが可能である。別の実施形態は、配置区においてウェハーリングの搬入および搬出を行い、選別容器保管区において選別容器の搬入及び搬出を行なうことが可能である。
Claims (8)
- 試験待ちのウェハーリングを載せるのに用いられる配置区と、
試験待ちのウェハーリング上のチップに試験を行なうのに用いるプローブ試験装置を有する試験区と、
試験済みのウェハーリングの保管に用いられるウェハーリング保管区と、
試験待ちのウェハーリングを配置区から試験区に搬送し、かつ試験済みのウェハーリングをウェハーリング保管区に搬送する搬送装置と、
試験済みのウェハーリング上のチップを選別し、かつウェハーリング保管区から選別容器保管区内の選別容器に分配する選別装置と、
を備えることを特徴とするプローブ試験および選別装置。 - さらに試験区、選別装置またはウェハーリング保管区のうちの一つに配置される外観検査システムを備えることを特徴とする請求項1に記載のプローブ試験および選別装置。
- さらに複数のウェハーリングを収容し、試験待ちのウェハーリングを配置区に自動搬入することができる搬入装置を備えることを特徴とする請求項1に記載のプローブ試験および選別装置。
- 選別装置は、真空吸引力を供給可能なアームによってウェハーリング保管区中のウェハーリングからチップを取り上げ、続いてチップのグレードによって選別容器保管区内の選別容器に分配することを特徴とする請求項1に記載のプローブ試験および選別装置。
- 搬送装置は、機械アームまたはレールを有することを特徴とする請求項1に記載のプローブ試験および選別装置。
- 搬送装置は、選別容器を配置区、試験区、ウェハーリング保管区または選別容器保管区のうちの一つに搬送することを特徴とする請求項1に記載のプローブ試験および選別装置。
- 搬送装置は、配置区または選別容器保管区から選別容器を試験区に搬送することを特徴とする請求項1に記載のプローブ試験および選別装置。
- 選別容器に載せたチップは、選別装置によって選別され、選別工程が完了したチップであることを特徴とする請求項7に記載のプローブ試験および選別装置。
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