JP2010040788A - リフト装置、及び、基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の昇降に用いられるリフト装置10において、水平方向(矢印D1)の変位を垂直方向(矢印D2)の変位に変換する変位変換手段(15)と、この変位変換手段(15)によって変換された垂直方向(矢印D2)の変位により垂直方向に移動し、基板を昇降させるリフトピン16と、を備える構成とする。
【選択図】図2
Description
図1Aは、本発明の一実施の形態に係る基板検査装置1を示す斜視図であり、図1Bは、一部の浮上プレート2aを取り除いた状態の基板検査装置1´を示す斜視図である。
各分割浮上ステージ2には、図2に示すリフト装置10がそれぞれ配置されている。
図3は、本発明の一実施の形態に係るリフト装置10の動作を説明するための説明図である。
図2に示すように、各リフト装置10は、リフト装置フレーム11、駆動源12、スライダ連結アーム13、水平スライダ(水平駆動部)14、変位変換手段としての略L字形状を呈する揺動アーム(L字カム)15、リフトピン16、ピン台座部17等を備える。
基板保持部20は、浮上プレート2aの間に配置された当接部(パッド)21によって、リフトピン16を用いて搬送ロボット等から受け取った基板19の底面を、浮上プレート2a上で浮上させたまま、スプリング(弾性体)22の弾性力によって接触保持する。図1A及び図1Bに示す基板検査装置1は、ガラス基板を浮上させた状態で浮上ステージ2上に固定する基板固定方式であるため、顕微鏡6による基板19観察中(検査中)に浮上したガラス基板が移動しないように当接部21をガラス基板の裏面に接触させて静止させる。
2 浮上ステージ
2a 浮上プレート
3 プレート支持フレーム
4 ベース部
5 ガントリ
6 顕微鏡
7 ガントリ用ガイドレール
10 リフト装置
11 リフト装置フレーム
11a プレート
11b 揺動軸
11c 垂直ガイド
12 駆動源
13 スライダ連結アーム
14 水平スライダ
14a ガイド部
14b 長孔
14c ピン
15 揺動アーム
16 リフトピン
17 ピン台座部
17a ガイド部
17b 溝部
17c カムフォロア
17d 垂直スライダ
18 ピン高さ調整ネジ部
18a ナット
19 基板
20 基板保持部
21 当接部
22 スプリング
23 高さ調整片
24 保持部材高さ調整部
24a ボルト
Claims (6)
- 基板の昇降に用いられるリフト装置において、
水平方向の変位を垂直方向の変位に変換する変位変換手段と、
該変位変換手段によって変換された垂直方向の変位により垂直方向に移動し、前記基板を昇降させるリフトピンと、
を備えることを特徴とするリフト装置。 - 複数の前記リフトピンと、
該複数のリフトピンのそれぞれに接続された複数の前記変位変換手段と、
該複数の変位変換手段に接続され水平方向に直進運動する水平スライダと、
を備えることを特徴とする請求項1記載のリフト装置。 - 複数の前記水平スライダと、
該複数の水平スライダを一括して駆動する駆動源と、
を備えることを特徴とする請求項2記載のリフト装置。 - 前記リフトピンの高さを調整するピン高さ調整ネジ部を更に備えることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項記載のリフト装置。
- 請求項1から請求項4のいずれか1項記載のリフト装置と、
該リフト装置の前記リフトピンによって昇降する前記基板が載置される基板載置台と、
を含み、
前記リフト装置の前記リフトピンは、前記基板載置台の間を通って前記基板の受け渡しを行う位置と、該受け渡しを行う位置から退避した位置とに移動する、
ことを特徴とする基板検査装置。 - 前記基板載置台は、前記基板に対しエアを吐出する浮上プレートを備え、
前記基板検査装置は、前記エアによって浮上した基板上を水平2軸方向に移動しながら検査する検査部と、
前記検査部による検査中の前記基板を弾性体の弾性力によって保持する基板保持部と、
を更に含むことを特徴とする請求項5記載の基板検査装置。
Priority Applications (1)
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JP2008202430A JP2010040788A (ja) | 2008-08-05 | 2008-08-05 | リフト装置、及び、基板検査装置 |
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JP2010040788A true JP2010040788A (ja) | 2010-02-18 |
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09191015A (ja) * | 1996-01-11 | 1997-07-22 | Canon Inc | 熱処理装置 |
JP2002231792A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JP2002246450A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-30 | Nikon Corp | 基板保持装置及び基板搬送方法 |
JP2004342771A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Hoya Corp | 基板保持具、基板処理装置、基板検査装置及びこれらの使用方法 |
JP2006073876A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Seiko Epson Corp | リフター機構、これを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
JP2006269498A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Olympus Corp | 基板保持装置及び基板の保持方法 |
-
2008
- 2008-08-05 JP JP2008202430A patent/JP2010040788A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09191015A (ja) * | 1996-01-11 | 1997-07-22 | Canon Inc | 熱処理装置 |
JP2002231792A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JP2002246450A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-30 | Nikon Corp | 基板保持装置及び基板搬送方法 |
JP2004342771A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Hoya Corp | 基板保持具、基板処理装置、基板検査装置及びこれらの使用方法 |
JP2006073876A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Seiko Epson Corp | リフター機構、これを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
JP2006269498A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Olympus Corp | 基板保持装置及び基板の保持方法 |
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