JP2010037631A - 原料回収方法、トラップ機構、排気系及びこれを用いた成膜装置 - Google Patents

原料回収方法、トラップ機構、排気系及びこれを用いた成膜装置 Download PDF

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Abstract

【課題】特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を用いて被処理体の表面に薄膜を形成するに際して、未反応の原料を簡単に且つ容易に回収することが可能なトラップ機構を提供する。
【解決手段】特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器10より排出される排気ガス中から原料を回収するトラップ機構において、排気ガスを冷媒120と接触させて冷却することにより未反応の原料ガスを凝固させて原料を再析出させる凝固ユニット72と、凝固ユニット内の冷媒を濾過することにより再析出された原料を冷媒から分離して回収する濾過回収ユニット74とを備える。これにより、排気ガス中の未反応の原料を簡単に且つ容易に回収する。
【選択図】図1

Description

本発明は、成膜装置より排出される排気ガス中の未反応の原料ガスを回収する原料回収方法、トラップ機構、排気系及びこれを用いた成膜装置に関する。
一般に、ICなどの集積回路や論理素子を形成するためには、半導体ウエハ、LCD基板等の表面に、所望の薄い成膜を施す行程やこれを所望のパターンにエッチングする行程が繰り返して行なわれる。
ところで、成膜工程を例にとれば、この工程においては、所定の処理ガス(原料ガス)を処理容器内にて反応させることによってシリコンの薄膜、シリコンの酸化物や窒化物の薄膜、或いは金属の薄膜、金属の酸化物や窒化物の薄膜等を被処理体の表面に形成するが、この成膜反応と同時に余分な反応副生成物が発生し、これが排気ガスと共に排出されてしまう。また、未反応の処理ガスも排出される。
この反応副生成物や未反応の処理ガスは、そのまま大気中に放出されると環境汚染等の原因になることから、これを防止するために一般的には処理容器から延びる排気系にトラップ機構を介設し、これにより排気ガス中に含まれている反応副生成物や未反応の処理ガス等を捕獲して除去するようになっている。
このトラップ機構の構成は、捕獲除去すべき反応副生成物等の特性に応じて種々提案されているが、例えば常温で凝縮(液化)、凝固(固化)する反応副生成物を除去する場合には、このトラップ機構はその一例として排気ガスの導入口と排出口を有する筐体内に多数のフィンを設けて構成されている。そして、このフィンは、排気ガスの流れる方向に対して、順次配列してこれらのフィン間を排気ガスが通過する時に排気ガス中の反応副生成物等をフィン表面に付着させて捕獲するようになっている。また、このフィンを冷却媒体等により冷却して捕獲効率を上げることも行なわれている(例えば特許文献1)。
また、最近にあっては、配線抵抗やコンタクト抵抗の低減化等の目的のために銀、金、ルテニウム等の金属を含む有機金属化合物の原料(ソースガス)を用いて薄膜を成膜装置で形成することも行われており、この場合にも排気ガスを冷却してガスを凝縮等して未反応の原料を含む副生成物を回収し、更に、この副生成物を精製することにより未反応原料を得るように回収方法も提案されている(例えば特許文献2)。
特開2001−214272号公報 特開2001−342566号公報
ところで、上述した有機金属化合物の中には、カルボニル系の有機金属化合物などのように水に溶解し難く、且つ原料そのものの分解により発生する反応副生成物以外の生成物が発生しないような反応形態もある。このような場合にも、特許文献2等で開示されたような精製工程を含む回収方法を適用すると全体的に複雑な工程になり過ぎる、という問題があった。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を用いて被処理体の表面に薄膜を形成するに際して、未反応の原料を簡単に且つ容易に回収することが可能な原料回収方法、トラップ機構、排気系及びこれを用いた成膜装置を提供することにある。
また本発明の他の目的は、特定の溶媒に溶解する有機金属化合物の原料を用いて被処理体の表面に薄膜を形成するに際して、未反応の原料を簡単に且つ容易に回収することが可能な原料回収方法、トラップ機構、排気系及びこれを用いた成膜装置を提供することにある。
請求項1の発明は、特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器より排出される排気ガス中から前記原料を回収する原料回収方法において、前記排気ガスを前記冷媒と接触させて冷却することにより未反応の原料ガスを凝固させて前記原料を再析出させる凝固工程と、前記凝固工程で再析出された前記原料を前記冷媒から分離して回収する回収工程と、を有することを特徴とする原料回収方法である。
このように、特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を用いて被処理体の表面に薄膜を形成するに際して、排気ガスを冷媒と接触させて冷却することにより未反応の原料ガスを凝固させて原料を再析出させ、この原料を冷媒から分離するようにしたので、未反応の原料を簡単に且つ容易に回収することができる。
請求項2の発明は、請求項1記載の発明において、前記回収工程では、前記冷媒を濾過する濾過法、或いは前記冷媒を蒸発させる蒸発法を用いることを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1又は2記載の発明において、前記冷媒は、冷却水であることを特徴とする。
請求項4の発明は、特定の溶媒に溶解する有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器より排出される排気ガス中から前記原料を回収する原料回収方法において、前記排気ガスを前記溶媒と接触させることにより未反応の原料ガスを溶解させる溶解工程と、前記溶媒を蒸発させることによって前記溶媒中に溶解している原料を再析出させて回収する回収工程と、を有することを特徴とする。
このように、特定の溶媒に溶解する有機金属化合物の原料を用いて被処理体の表面に薄膜を形成するに際して、排気ガスを溶媒と接触させることにより未反応の原料ガスを溶解し、この溶媒を蒸発させて原料を再析出させるようにしたので、未反応の原料を簡単に且つ容易に回収することができる。
請求項5の発明は、請求項4記載の発明において、前記溶媒は、アルコール類、アルカン類、エーテル類、芳香族炭化水素よりなる群から選択される1以上のものよりなることを特徴とする。
請求項6の発明は、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の発明において、前記有機金属化合物は、カルボニル系の有機金属化合物であることを特徴とする。
請求項7の発明は、請求項6記載の発明において、前記カルボニル系の有機金属化合物は、Ru (CO)12、W(CO) 、Ni(CO) 、Mo(CO) 、Co (CO) 、Rh (CO)12、Re (CO)10、Cr(CO) 、Os (CO)12、Ta(CO) よりなる群から選択される1又は複数の材料よりなることを特徴とする。
請求項8の発明は、特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器より排出される排気ガス中から前記原料を回収するトラップ機構において、前記排気ガスを前記冷媒と接触させて冷却することにより未反応の原料ガスを凝固させて前記原料を再析出させる凝固ユニットと、前記凝固ユニット内の前記冷媒を濾過することにより前記再析出された原料を前記冷媒から分離して回収する濾過回収ユニットと、を備えたことを特徴とするトラップ機構である。
請求項9の発明は、請求項8記載の発明において、前記凝固ユニットは、前記冷媒として冷却水を用いることを特徴とする。
請求項10の発明は、請求項9記載の発明において、前記凝固ユニットは、スクラバー装置、水封ポンプ装置及びバブリング装置よりなる群より選択されるいずれか1つの装置よりなることを特徴とする。
請求項11の発明は、請求項8乃至10のいずれか一項に記載の発明において、前記濾過回収ユニットは、途中に循環ポンプが介設されて前記凝固ユニット内の再析出された原料を含む前記冷媒を循環させる循環通路と、前記循環通路に介設されて前記冷媒中から前記再析出された原料を濾過により回収するフィルタを有する回収容器と、よりなることを特徴とする。
請求項12の発明は、請求項11記載の発明において、前記フィルタを有する回収容器は、前記循環通路に対して選択的な使用が可能なように並列的に複数個介設されていることを特徴とする。
請求項13の発明は、特定の溶媒に溶解する有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器より排出される排気ガス中から前記原料を回収するトラップ機構において、前記排気ガスを前記溶媒と接触させて前記排気ガス中の未反応の原料ガスを溶解させる溶解ユニットと、前記溶解ユニットから取り出した前記溶媒を蒸発させることにより溶解していた前記原料を再析出させて回収する蒸発回収ユニットと、を備えたことを特徴とするトラップ機構である。
請求項14の発明は、請求項13記載の発明において、前記溶解ユニットは、スクラバー装置、液体封止ポンプ装置及びバブリング装置よりなる群より選択されるいずれか1つの装置よりなることを特徴とする。
請求項15の発明は、請求項8乃至14のいずれか一項に記載の発明において、前記有機金属化合物は、カルボニル系の有機金属化合物であることを特徴とする。
請求項16の発明は、請求項15記載の発明において、前記カルボニル系の有機金属化合物は、Ru (CO)12、W(CO) 、Ni(CO) 、Mo(CO) 、Co (CO) 、Rh (CO)12、Re (CO)10、Cr(CO) 、Os (CO)12、Ta(CO) よりなる群から選択される1又は複数の材料よりなることを特徴とする。
請求項17の発明は、特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器に接続した排気系において、前記処理容器の排気口に接続された排気通路と、前記排気通路に介設された真空ポンプ部と、前記排気通路に介設された請求項8乃至16のいずれか一項に記載のトラップ機構と、前記トラップ機構よりも下流側に介設されて前記排気ガス中の有害ガスを除害する除害装置と、を備えたことを特徴とする排気系である。
請求項18の発明は、請求項17記載の発明において、前記トラップ機構の上流側には、前記排気ガスを冷却して排気ガス中に含まれる未反応の原料ガスを回収する補助トラップ機構が介設されていることを特徴とする。
請求項19の発明は、請求項18記載の発明において、前記補助トラップ機構は、クライオポンプよりなることを特徴とする。
請求項20の発明は、請求項17乃至19のいずれか一項に記載の発明において、前記排気通路に介設されて前記処理容器内の圧力を制御する圧力調整弁を有することを特徴とする。
請求項21の発明は、被処理体に対して成膜処理を施すための成膜装置において、真空排気が可能になされた処理容器と、前記処理容器内で前記被処理体を保持する保持手段と、前記被処理体を加熱する加熱手段と、前記処理容器内へガスを導入するガス導入手段と、前記ガス導入手段に接続された原料ガスの供給系と、前記処理容器に接続された請求項17乃至20のいずれか一項に記載の排気系と、を備えたことを特徴とする。
本発明に係る原料回収方法、トラップ機構、排気系及びこれを用いた成膜装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
請求項1及びこれを引用する請求項の発明によれば、特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を用いて被処理体の表面に薄膜を形成するに際して、排気ガスを冷媒と接触させて冷却することにより未反応の原料ガスを凝固させて原料を再析出させ、この原料を冷媒から分離するようにしたので、未反応の原料を簡単に且つ容易に回収することができる。
請求項4及びこれを引用する請求項の発明によれば、特定の溶媒に溶解する有機金属化合物の原料を用いて被処理体の表面に薄膜を形成するに際して、排気ガスを溶媒と接触させることにより未反応の原料ガスを溶解し、この溶媒を蒸発させて原料を再析出させるようにしたので、未反応の原料を簡単に且つ容易に回収することができる。
以下に、本発明に係る原料回収方法、トラップ機構、排気系及びこれを用いた成膜装置の好適な一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。
図1は本発明に係るトラップ機構を有する成膜装置を示す概略構成図、図2はトラップ機構の凝固ユニットの一例を示す断面構成図である。ここでは有機金属化合物の原料としてカルボニル系の有機金属化合物であるRu (CO)12を用い、キャリアガスとしてCO(一酸化炭素)を用いてRu金属膜よりなる薄膜を成膜する場合を例にとって説明する。
図1に示すように、本発明に係る成膜装置2は、被処理体としての半導体ウエハWに対して成膜処理を実際に施す成膜装置本体4と、この成膜装置本体4に対して成膜用の原料ガスを供給する原料ガスの供給系6と、上記成膜装置本体4からの排気ガスを排出する排気系8とにより主に構成されている。
まず、上記成膜装置本体4について説明する。この成膜装置本体4は、例えばアルミニウム合金等よりなる筒体状の処理容器10を有している。この処理容器10内には、被処理体である半導体ウエハWを保持する保持手段12が設けられる。具体的には、この保持手段12は、容器底部より支柱14により起立された円板状の載置台16よりなり、この載置台16上にウエハWが載置される。そして、この載置台16は、例えばAlN(窒化アルミニウム)等のセラミック材よりなり、この中には、例えばタングステンワイヤ等よりなる加熱手段18が設けられており、上記ウエハWを加熱するようになっている。ここで上記加熱手段18としては、タングステンワイヤ等に限定されず、例えば加熱ランプを用いてもよい。
この処理容器10の底部には、排気口20が設けられ、この排気口20には上記排気系8が接続されて、処理容器10内の雰囲気を真空排気できるようになっている。この排気系8については後述する。この処理容器10の側壁には、ウエハWを搬出入する開口22が形成されており、この開口22には、これを気密に開閉するためのゲートバルブ24が設けられている。
そして、この処理容器10の天井部には、例えばシャワーヘッド26よりなるガス導入手段28が設けられており、下面に設けたガス噴出孔30より処理容器10内へ必要なガスを供給するようになっている。そして、このシャワーヘッド26のガス入口26Aに、上記原料ガスの供給系6や他に必要なガスがある場合には、そのガスの供給系が接続されている。用いるガス種によっては、このシャワーヘッド26内では原料ガスと他のガスが混合される場合もあるし、シャワーヘッド26内へ別々に導入されて別々に流れて処理容器10内で混合される場合もある。ここでは、ガス導入手段28としてシャワーヘッド26を用いているが、これに代えて単なるノズル等を用いてもよい。
次に、上記原料ガスの供給系6について説明する。まず、この原料ガスの供給系6は、固体原料又は液体原料を貯留する原料タンク32を有している。ここでは、この原料タンク32内には、有機金属化合物の原料である例えば固体原料34が貯留されており、この固体原料34としては、前述したようにRu (CO)12が用いられている。この固体原料34は、一般的には蒸気圧が非常に低くて蒸発し難い特性を有している。尚、上記固体原料34に代えてバブリング等により原料ガスが形成される液体原料を用いてもよい。
そして、この原料タンク32の天井部に設けたガス出口36に一端を接続し、上記成膜装置本体4のシャワーヘッド26のガス入口26Aに他端を接続して原料通路38が設けられており、上記原料タンク32にて発生した原料ガスを供給できるようになっている。そして、上記原料通路38の原料タンク32に近い部分には開閉弁40が介設されている。
また、上記原料タンク32の下面側には、上記原料タンク32にキャリアガスを供給するためのキャリアガス管42が接続されている。このキャリアガス管42の途中には、マスフローコントローラのような流量制御器44とキャリアガス開閉弁46とが順次介設されており、キャリアガスを流量制御しつつ供給して上記固体原料34を加熱することにより、この固体原料34を気化させて原料ガスを形成するようになっている。
また原料タンク32の内部には、上記キャリアガス管42が設置された側の近傍に、多孔板48が設置され、上記固体原料34を上記多孔板48の上に保持すると共に、上記キャリアガス管42から供給されるキャリアガスが、上記多孔板48に形成された孔部を介して、上記原料タンク32内に均一に供給される構造となっている。上記キャリアガスとしてここではCO(一酸化炭素)ガスが用いられている。
そして、上記原料タンク32には、これを加熱するためのタンク加熱手段50がタンク全体を覆うようにして設けられており、固体原料34の気化を促進させるようになっている。この場合、固体原料34の加熱温度は、分解温度未満の温度である。また、上記キャリアガス管42のキャリアガス開閉弁46よりも上流側と上記原料通路38の開閉弁40の下流側とを連通してバイパス管52が設けられると共に、このバイパス管52には、バイパス開閉弁54が介設されており、必要に応じて原料タンク32をバイパスさせてキャリアガスを流すことができるようになっている。また、上記原料通路38には、テープヒータのような加熱手段(図示せず)が設けられており、これを加熱して原料ガスが再固化することを防止するようになっている。
次に排気系8について説明する。この排気系8は上記処理容器10の排気口20に接続された排気通路60を有しており、この排気通路60に沿って処理容器10内の雰囲気を排気するようになっている。具体的には、この排気通路60には、その上流側から下流側に向けて圧力調整弁62、真空ポンプ部64、補助トラップ機構66、本発明の特徴とするトラップ機構68及び除害装置70が順次介設されている。
上記圧力調整弁62は例えばバタフライ弁よりなり、上記処理容器10内の圧力を調整する機能を有している。上記真空ポンプ部64は、ここでは上流側に設けたターボ分子ポンプ64Aとこの下流側に設けたドライポンプ64Bとよりなり、処理容器10内の雰囲気を真空引きできるようになっている。この場合、成膜時の設定プロセス圧力に応じて、上記2つのポンプ64A、64Bの内のいずれか一方のみを設けるようにしてもよい。
上記補助トラップ機構66は、流れてくる排気ガスを冷却して排気ガス中に含まれる未反応の原料ガスを回収するものであるが、ここでは主たるトラップ機構68の前段に設けてあるように、未反応の原料ガスの一部を回収するものであり、未反応の原料ガスが多い場合や後段の主たるトラップ機構68の回収能力が十分に大きくない場合に特に有効に作用する。従って、未反応の原料ガスが少ない場合や後段の主たるトラップ機構68の回収能力が十分に大きい場合には、この補助トラップ機構66を設けなくてもよい。この補助トラップ機構66としては、例えば極低温になされたクライオパネルを有するクライオポンプ等を用いることができ、このクライオパネルに未反応の原料ガスを冷却して吸着させる。
また本発明のトラップ機構68は、上記補助トラップ機構66と同様に、流れてくる排気ガスを冷却して排気ガス中に含まれる未反応の原料ガスを回収するものであり、ここでは未反応の原料ガス、すなわちRu (CO)12 ガスのほとんど全てを回収するようにする。この構成については後述する。
また除害装置70は、排気ガス中の有害ガスを無害化するものであり、ここでは上記原料ガスの分解によりCO(一酸化炭素)が発生し、また、キャリアガスとして同じCOを用いているので、このCOを例えば燃焼してCO (二酸化炭素)として有害化して大気中へ放散するようになっている。
次に上記発明のトラップ機構68について説明する。このトラップ機構68は、上記排気ガスを冷媒と接触させて冷却することにより未反応の原料ガスを凝固させて原料を再析出させる凝固ユニット72と、この凝固ユニット72内の冷媒を濾過することにより、上記再析出された原料を上記冷媒から分離して回収する濾過回収ユニット74とにより主に構成されている。
上記凝固ユニット72は、図2(A)にも示すようにここでは例えばスクラバー装置73よりなる。具体的には、この凝固ユニット72は、筒体状になされた凝固容器76を有しており、この凝固容器76の側壁の上部にガス入口78を設けると共に、このガス入口78に排気通路60の一方側を接続し、上記ガス入口78に対向する側壁の中央部、或いはそれよりも少し下部側にガス出口80を設けると共に、このガス出口80に排気通路60の他方側を接続している。
これにより、上記ガス入口78より凝固容器76内に排気ガスを流入させて上記ガス出口80より流出させるようになっている。尚、この凝固容器76内に適宜バッフル板等を設けてこの凝固容器76内において排気ガスが流れる経過長を更に長く設定するようにしてもよい。
また、この凝固容器76内の天井部側には複数のノズル82Aを有するシャワーヘッド82が設けられており、このシャワーヘッド82に液体供給管84を接続してこれに冷媒を流すようになっている。従って、上記凝固容器76内では、上記シャワーヘッド82の各ノズル82Aから冷媒がシャワー状に放出され、これと排気ガスとを接触させて冷却し得るようになっている。
この冷媒としては、原料に対して不溶性、又は難溶性の冷媒、ここでは例えば冷却水が用いられており、冷却によって排気ガス中の未反応の原料ガスを凝固させて原料であるRu (CO)12を再析出させるようになっている。この冷媒として冷却水を用いる理由は、Ru (CO)12は冷却水(水)に対して分解せずに安定した特性を有しているからである。
また、この凝固容器76の底部76Bには、液出口86と液入口88とが設けられている。この場合、凝固容器76の底部76Bを、図2(B)に示すように、下方向に突状になった逆角錐形状、或いは逆多角錐形状とし、最下端部に液出口86を設けて再析出した原料を排出し易くするようにしてもよい。そして、上記濾過回収ユニット74は、上記流出口86と上記液入口88とを結ぶようにして連結した循環通路90に設けられており、この循環通路90の途中には循環ポンプ92(図1参照)が介設されて、上記凝固容器76内の再析出した原料94を含む冷媒を上記循環通路90内に循環させるようになっている。
また上記循環通路90の上記循環ポンプ92よりも上流側には、上記再析出している原料を冷媒中から回収する回収容器96が設けられている。ここでは上記循環通路90は、途中で2つの並行の分岐管90A、90Bになるように分岐されており、各分岐管90A、90Bのそれぞれに上記回収容器96A、96B(96)が介設されている。そして、この各回収容器96A、96Bの直ぐ上流側及び直ぐ下流側には、それぞれ2個の開閉弁98A、98Bが介設されており、この開閉弁98A、98Bを開閉操作することにより、上記各回収容器96A、96Bの選択的な使用が可能なようになされている。
そして、上記各回収容器96A、96B内には、それぞれフィルタ100A、100Bが交換可能に設けられており、このフィルタ100A、100Bにて上記冷媒を濾過させることにより再析出している原料を回収できるようになっている。
また上記循環ポンプ92と回収容器96との間の循環通路90からは、途中に排出用開閉弁102を介設した排出管104が分岐させて設けられており、必要に応じて過剰の冷媒を系外へ排出できるようになっている。ここで、上記処理容器10の排気口20から補助トラップ機構66(これを設けない場合にはトラップ機構68)までの排気通路60及びその途中に介設された各部材にはテープヒータ等の通路加熱ヒータ106が設けられており、これにより排気通路60内を流れている排気ガスを、使用する原料にもよるが、ここでは例えば110℃程度に加熱して途中で排気ガス中の未反応の原料ガスが凝縮或いは凝固することを防止するようになっている。
そして、このように構成された成膜装置2の全体の動作、例えばガスの供給の開始、停止、プロセス温度、プロセス圧力、トラップ機構68における冷媒の供給、冷媒の循環、濾過回収ユニット74の切り替え等の制御は、例えばコンピュータよりなる装置制御部108により行われることになる。
この制御に必要なコンピュータに読み取り可能なプログラムは記憶媒体110に記憶されており、この記憶媒体110としては、フレキシブルディスク、CD(CompactDisc)、CD−ROM、ハードディスク、フラッシュメモリ或いはDVD等を用いることができる。尚、上記補助トラップ機構66は、圧力調整弁62とターボ分子ポンプ64Aとの間、或いはターボ分子ポンプ64Aとドライポンプ64Bとの間に設置するようにしてもよい。
次に、以上のように構成された成膜装置2の動作について図3も参照して説明する。図3は本発明の原料回収方法を説明する工程図である。まず、図1に示すように、この成膜装置2の成膜装置本体4においては、排気系8の真空ポンプ部64のターボ分子ポンプ64A及びドライポンプ64Bが継続的に駆動されて、処理容器10内が真空引きされて所定の圧力に維持されており、また載置台16上の半導体ウエハWは加熱手段18により所定の温度に維持されている。また処理容器10の側壁及びシャワーヘッド26もそれぞれ容器側加熱手段(図示せず)により所定の温度に維持されている。
また、原料ガスの供給系6の全体は、タンク加熱手段50や通路加熱手段(図示せず)によって予め所定の温度に加熱されている。そして、成膜処理が開始すると、原料ガスの供給系6においては、原料タンク32内へはキャリアガス管42を介して流量制御されたキャリアガス(CO)を供給することにより、原料タンク32内に貯留されている固体原料34が加熱されて気化し、これにより原料ガスが発生する。
この発生した原料ガスは、キャリアガスと共に原料通路38内を下流側に向けて流れて行く。この原料ガスは、成膜装置本体4のシャワーヘッド26から減圧雰囲気になされている処理容器10内へ導入され、この処理容器10内で例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)によりウエハW上にRu金属の薄膜が成膜されることになる。この時のプロセス条件は、プロセス圧力が0.1Torr(13.3Pa)程度、ウエハ温度が200〜250℃程度、処理容器10の側壁の温度が75〜80℃程度である。
ここで固体原料34であるRu (CO)12は、蒸気圧が非常に低くて蒸発(気化)し難い原料であり、また成膜反応に寄与する量は非常に少なく、90%程度の原料ガスが未反応状態でキャリアガスであるCOと共に排気系8の排気通路60内を流下して行く。この時の反応は下記の化学式で示され、反応によってキャリアガスと同じガス種であるCO(一酸化炭素)が発生している。
Ru (CO)12 ⇔ Ru (CO)12
Ru (CO)12↑ ⇔ Ru (CO)12−x↑+XCO↑
Ru (CO)12−x↑+Q → 3Ru+(12−X)CO↑
Ru (CO)12↑+Q → 3Ru+12CO↑
ここで”⇔”は可逆的であることを示し、”↑”はガス状態であることを示し、”↑”が付いていないものは固体状態であることを示し、”Q”は熱量が加わることを示す。
上記排気通路60を流下する排気ガスは、圧力調整弁62、ターボ分子ポンプ64A、ドライポンプ64B、補助トラップ機構66、本発明に係るトラップ機構68及び除害装置70を順次経由した後に大気中に放散される。この場合、未反応の原料ガスが回収された後は、排気ガスとしてCOガスが残留するだけなので、このCOガスは上記除害装置70にて燃焼により除害されてCO となって大気放散されることになる。
ここで例えばクライオポンプよりなる補助トラップ機構66内を排気ガスが通過した時に、クライオパネルによって排気ガスが冷却されて一部の未反応の原料ガスが凝縮(凝固)し、再析出した原料がクライオパネルに付着することによって回収される。
そして、この補助トラップ機構66を流出した排気ガスは本発明のトラップ機構68に流入し、ここで排気ガスを冷媒と接触させることによって未反応の原料ガスがほとんど全て回収されることになる。この原料回収方法は、図3にも示すように、上記排気ガスを上記冷媒と接触させて冷却することにより未反応の原料ガスを凝固させて上記原料を再析出させる凝固工程(ステップS1)と、上記凝固工程で再析出された上記原料を上記冷媒から分離して回収する回収工程(ステップS2)とを有している。
具体的には、図2にも示すように、凝固ユニット72においてはガス入口78から凝固容器76内へ流入した排気ガスは、天井部に設けたシャワーヘッド82の各ノズル82Aより噴射される冷媒と接触して冷却され、その後、ガス出口80から排出されることになる。ここで上記排気ガスが冷媒、すなわちここでは冷却水と接触して冷却されると、排気ガス中に含まれていた未反応の原料ガスも冷却されて凝縮(凝固)して原料が再析出することになる。この場合、冷却水の温度は、原料の気化温度(昇華温度)等にもよるが、例えば0〜30℃程度であるのが好ましい。
また上記シャワーヘッド82を上下に複数段に亘って設けるようにしてもよい。ここで凝縮により再析出した原料94は、冷媒(冷却水)120と共に凝固容器76内の底部に溜ることになる。尚、キャリアガスであるCOは、冷却水中にはほとんど溶けない。
そして、この凝固容器76内の冷媒120は、濾過回収ユニット74の循環ポンプ92が駆動していることから、液出口86から循環通路90内へ流出して、この循環通路90内を流れた後に液入口88から再度凝固容器76内へ戻され、循環されている。この場合、循環通路90内を流れる冷媒120は、2つの回収容器96A、96Bの内のいずれか一方の回収容器、例えば回収容器96A内を流れて行く。すなわち、この時、開閉弁98Aは開状態であり、開閉弁98Bは閉状態となっており、回収容器96Aが選択されている。
この回収容器96A内に冷媒120が流れると、この冷媒120中に含まれていた再析出した原料94がフィルタ100Aにより濾過されてこのフィルタ100Aの部分に溜り、回収されることになる。この場合、上記原料であるRu (CO)12は冷媒である冷却水にほとんど溶けないので、上記冷媒中に混入し再析出した原料94は、ほとんど全てが上記フィルタ100Aにより濾過されて回収されることになる。
そして、ある程度の量の原料94をフィルタ100Aで回収したならば、両開閉弁98A、98Bを操作することにより、使用する回収容器を他方の回収容器96B側へ切り替えて、上述したと同様に冷媒を濾過して冷媒中の再析出した原料94を回収するようにする。このように、両回収容器96A、96Bを交互に取り替えて用いながら成膜処理は継続して行うことになる。この場合、上記回収容器96は1つでもよいし、3個以上並列に設けてもよいのは勿論である。また、ここで回収した原料94は、これに不純物が混入していないので、これを精製等する必要がなく、これを乾燥させた後にそのまま原料タンク32内の固体原料34として用いることができる。
このように、本発明によれば、特定の冷媒120に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料34を用いて被処理体、例えば半導体ウエハWの表面に薄膜を形成するに際して、排気ガスを冷媒と接触させて冷却することにより未反応の原料ガスを凝固させて原料を再析出させ、この原料を冷媒から分離するようにしたので、未反応の原料を簡単に且つ容易に回収することができる。また高価な原料を効率的に回収して再利用することができるので、その分、ランニングコストを削減することができる。
<凝固ユニットの変形実施形態>
次に凝固ユニットの変形実施形態について説明する。先の実施形態では凝固ユニット72としてスクラバー装置73を用いた場合を例にとって説明したが、これに限定されず、バブリング装置や水封ポンプ装置を用いてもよい。図4はこのような凝固ユニットの変形実施形態を示す概略断面図である。尚、図4中において、図2に示す構成部分と同一構成部分については同一参照符号を付してその説明を省略する。
図4(A)に示す場合は、凝固ユニット72としては、先のスクラバー装置73に替えてバブリング装置122とを用いている。このバブリング装置122では、凝固容器76の天井部にガス入口78とガス出口80とをそれぞれ設けている。そして、ガス入口78に連結させてバブリング管124を設け、このバブリング管124の下端の先端部を、凝固容器76内に貯っている冷媒(冷却水)120内に浸漬している。
これにより、このバブリング管124の下端部から排気ガスを冷媒120中に排出して冷却し、この排気ガス中に含まれる未反応の原料ガスを凝固させて原料94を再析出させるようになっている。この場合にも、先の実施形態と同様な作用効果を発揮することができる。
図4(B)に示す場合には、凝固ユニット72としては先のスクラバー装置73に替えて水封ポンプ装置126を用いている。この水封ポンプ126では、断面円形の円筒形のケーシングとなる凝固容器76の内部に、冷媒となる冷却水(図示省略)を入れ、上記円筒形の凝固容器76内に偏心させて回転するインペラー128を設けている。上記冷却水は、インペラー128を回転させると凝固容器76の内壁に沿って流れて円還流が生じ、その内側に三日月状の空間部130が生じることになる。
上記インペラー128の隣り合う2枚の羽根と円還流内面とによって形成される独立した気室はインペラー128の回転と共に拡大、縮小を繰り返すことになり、この気室の側面の部分に吸気口132と排気口134とをそれぞれ設けている。そして、上記吸気口132をガス入口78に接続し、上記排気口134をガス出口80に接続している。そして、ケーシングとなる凝固容器76の一部に、液出口86と液入口88とをそれぞれ設けている。この水封ポンプ装置126を用いた場合にも、冷却水と排気ガスとが効率的に接触して冷却され、この排気ガス中に含まれる未反応の原料ガスを凝固させて原料(図示せず)を再析出させるようになっている。この場合にも、先の実施形態と同様な作用効果を発揮することができる。
<トラップ機構68の変形実施形態>
次にトラップ機構68の変形実施形態について説明する。先の実施形態ではトラップ機構68に冷媒を用いたが、これに替えて未反応の原料ガスを溶解させる溶媒を用いるようにしてもよい。図5はこのような本発明のトラップ機構の変形実施形態を示す構成図、図6はトラップ機構の変形実施形態を用いた時の原料回収方法を説明するための工程図である。図5において、図1及び図2と同一構成部分については同一参照符号を付して、その説明を省略する。
図5に示すように、このトラップ機構68は、上記排気ガスを上記溶媒と接触させて上記排気ガス中の未反応の原料ガスを溶解させる溶解ユニット140と、上記溶解ユニット140から取り出した上記溶媒を蒸発させることにより溶解していた上記原料を再析出させて回収する蒸発回収ユニット142とを備えている。
上記溶解ユニット140としては、図1及び図2にて説明した凝固容器76(図2参照)と全く同じ構成の溶解容器144が用いられており、この溶解容器144内にシャワーヘッド146が設けられている。ここでは前述したように冷媒に替えて溶媒が用いられており、この溶媒を上記シャワーヘッド146から放出できるようになっている。この溶媒としては、例えばエチレングリコール、メタノール、エタノール、1−ブタノール、1−プロパノール、2−プロパノール等のアルコール類、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン等のアルカン類、ジエチルエーテル、THF等のエーテル類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素を用いることができ、具体的には上記列記した溶媒群から選択される1以上のものを用いることができる。
また、ここでは溶解容器144の底部には、液出口86しか設けておらず、これに接続される蒸発回収ユニット142の循環通路90の先端は、上記シャワーヘッド146に連結された液体供給管84に接続されており、上記溶解容器144内の溶媒を再度シャワーヘッド146側へ供給して循環使用するようになっている。
そして、この循環通路90には、その流れ方向に沿って開閉弁98、溶解貯留タンク148及び循環ポンプ92が順次介設されており、上記溶解貯留タンク148内には未反応の原料ガスを溶解した溶媒150を一時的に貯留できるようになっている。この溶解貯留タンク148の側壁の下部には液回収口152が設けられており、この液回収口152は回収管154を介して蒸発タンク156に接続されている。
そして、この回収管154の途中には、回収ポンプ158とこの両側に位置された開閉弁160とがそれぞれ介設されており、上記溶解貯留タンク148内の溶媒150を必要に応じて蒸発タンク156側へ抜き出すようになっている。この場合に、例えば蒸発タンク156を溶解貯留タンク148より低く設置するなどして、開閉弁160を開けば自動的に溶媒150が蒸発タンク156側に流れるのであれば、回収ポンプ158は設けなくともよい。そして、この蒸発タンク156には、蒸発用加熱ヒータ162が設けられており、上記蒸発タンク156内の溶媒を加熱して蒸発させることによって、上記溶媒に溶解していた原料を再析出させて回収するようになっている。
このように構成されたトラップ機構68にあっては、図6に示す工程図のように原料回収方法が実行される。すなわち、上記排気ガスを上記溶媒と接触させることにより未反応の原料ガスを溶解させる溶解工程(S11)と、上記溶媒を蒸発させることによって上記溶媒中に溶解している原料を再析出させて回収する回収工程(S12)とが順次行われる。具体的には、まず、溶解ユニット140内にて排気ガスとシャワーヘッド146から噴射された溶媒とを接触させて、この排気ガス中の未反応の原料ガスを溶媒中に溶解させることになる。尚、この溶媒としては、キャリアガス及び原料の分解によって発生するガスであるCOをほとんど溶かさない溶媒を用いる。
この溶媒は、蒸発回収ユニット142の循環通路90及び溶解貯留タンク148等を介して循環使用され、上記シャワーヘッド146が繰り返し溶解容器144内へ噴射される。そして、溶媒中に溶解している原料の濃度がある程度高くなったならば、上記溶媒貯留タンク148内の溶媒150の一部を回収管154の開閉弁160を開いて回収ポンプ158を駆動することにより、回収管154側へ抜き出してこれを蒸発タンク156内へ貯留する。
尚、抜き出しによって不足した溶媒は、別途追加して、成膜処理は連続して行われている。そして、上記蒸発タンク156内に抜き出した溶媒は、蒸発用加熱ヒータ162により加熱されることによって蒸発し、これによって溶媒に溶解していた原料が再析出することになり、これを回収することができる。
この場合には、上記原料は分解していないで単に溶媒中に溶解しているだけなので、原料を単独で回収することができる。従って、この場合にも、ここで回収した原料は、これに不純物が混入していないので、これを精製等する必要がなく、これを乾燥させた後にそのまま原料タンク32内の固体原料34として用いることができる。
このように、特定の溶媒に溶解する有機金属化合物の原料を用いて被処理体、例えば半導体ウエハの表面に薄膜を形成するに際して、排気ガスを溶媒と接触させることにより未反応の原料ガスを溶解し、この溶媒を蒸発させて原料を再析出させるようにしたので、未反応の原料を簡単に且つ容易に回収することができる。
上記図5において説明した場合には、溶媒を循環させて繰り返し使用するようにしたが、これに限定されず、溶解容器144内へ一度噴射したならば、すなわちワンパスさせたならば、この冷媒を直ちに、或いは溶媒貯留タンク148を経由して蒸発タンク156内へ導入して蒸発回収処理を行うようにしてもよい。
また、上記溶解ユニット140として、図4において説明したようなバブリング装置122、或いは水封ポンプ装置(液体封止ポンプ装置)126を用いてもよく、水封ポンプ装置126を用いる場合には、水に替えて溶媒を用いる。
さらに先の実施形態で説明した凝固ユニット72(スクラバー装置73、バブリング装置122、水封ポンプ装置126等)にて再析出した原料94を冷媒ごと蒸発タンク156内へ取出し、冷媒を蒸発用加熱ヒータ162により加熱することによって蒸発させ、原料94を回収してもよい。
<本発明の評価>
ここで本発明のトラップ機構を備えた成膜装置を用いて実験的に成膜処理を行ったので、その実験の評価結果について説明する。ここでは先に説明した実施形態の内、図4(A)に示すバブリング装置について評価を行った。図7はトラップ機構としてバブリング装置を用いて評価実験を行った時の装置例を示す図である。
この装置例では原料ガスの供給系180として、図1に示した原料ガスの供給系6と同じものを用いており、原料タンク32内の固体原料34であるRu (CO)12を気化させ、COよりなるキャリアガスで搬送した。この時の原料タンク32はオーブンで95℃に加熱し、タンク内の圧力を340Torr(45322Pa)に設定した。この評価実験では、19〜20℃程度に維持された水槽182内に2つのバブリング装置184A、184Bを設定し、これらを原料通路38で直列に接続し、下流側でドライポンプ186により真空引きし、原料ガスを流すようにした。この時、原料通路38は110℃程度に加熱し、内部で原料ガスが再凝縮(凝固)しないようにした。
このような装置例を用いて原料ガスを81.9時間流した。この時のCOガスの流量は1slmである。この結果、固体原料34の投入量は1.43gであった。また、第1段目のバブリング装置184Aの捕集量は1.36gであり、第2段目のバブリング装置184Bの捕集量は0.02gであった。この結果、捕集率は(1.36+0.02)/1.43=0.97(=97%)であり、Ru (CO)12を高い捕集率で回収できることを確認することができた。また、バブリング装置も複数段設ける必要がなく、1段で十分に原料を捕集できることも確認することができた。
また、上記2つのバブリング装置184A、184Bに替えて、2つの高性能のメンブレンフィルター(多孔質フィルム状フィルター)を設けて上述したと同じような捕集実験を15.5時間行ったところ、固体原料34の投入量は0.27gであるのに対して、上記2つのフィルターでの回収量は0.23g程度であった。この結果、捕集率は85%であり、この場合においても高い捕集率でRu (CO)12を回収できることを確認することができた。
このように、排気ガスを単に冷媒である水と接触させるだけで原料ガスを回収することができることを確認することができたので、図2に示すスクラバー装置や図4(B)に示す水封ポンプ装置の場合にも、十分に原料を捕集して回収することができることを、理解することができる。
尚、上記各実施形態においては、原料の有機金属化合物としてカルボニル系の有機金属化合物を用いたが、このカルボニル系の有機金属化合物としては、Ru (CO)12に限定されず、Ru (CO)12、W(CO) 、Ni(CO) 、Mo(CO) 、Co (CO) 、Rh (CO)12、Re (CO)10、Cr(CO) 、Os (CO)12、Ta(CO) よりなる群から選択される1又は複数の材料を用いることができる。
また、上記各実施形態において、図2に示すスクラバー装置や図4に示すバブリング装置や水封ポンプ装置を、それぞれ複数段に渡って直列に設け、これに排気ガスを順次流すことにより、原料の回収率を向上させるようにしてもよい。
また、ここでは被処理体として半導体ウエハを例にとって説明したが、この半導体ウエハにはシリコン基板やGaAs、SiC、GaNなどの化合物半導体基板も含まれ、更にはこれらの基板に限定されず、液晶表示装置に用いるガラス基板やセラミック基板等にも本発明を適用することができる。
本発明に係るトラップ機構を有する成膜装置を示す概略構成図である。 トラップ機構の凝固ユニットの一例を示す断面構成図である。 本発明の原料回収方法を説明する工程図である。 凝固ユニットの変形実施形態を示す概略断面図である。 本発明のトラップ機構の変形実施形態を示す構成図である。 トラップ機構の変形実施形態を用いた時の原料回収方法を説明するための工程図である。 トラップ機構としてバブリング装置を用いて評価実験を行った時の装置例を示す図である。
符号の説明
2 成膜装置
4 成膜装置本体
6 原料ガスの供給系
8 排気系
10 処理容器
12 保持手段
18 加熱手段
26 シャワーヘッド
28 ガス導入手段
32 原料タンク
34 固体原料
60 排気通路
62 圧力調整弁
64 真空ポンプ部
64A ターボ分子ポンプ
64B ドライポンプ
68 トラップ機構
70 除害装置
72 凝固ユニット
73 スクラバー装置
74 濾過回収ユニット
76 凝固容器
82 シャワーヘッド
90 循環通路
92 循環ポンプ
94 再析出した原料
96,96A,96B 回収容器
100A,100B フィルタ
120 冷媒(冷却水)
122 バブリング装置
126 水封ポンプ装置
140 溶解ユニット
142 蒸発回収ユニット
144 溶解容器
146 シャワーヘッド
148 溶媒貯留タンク
150 溶媒
156 蒸発タンク
162 蒸発用加熱ヒータ
W 半導体ウエハ(被処理体)

Claims (21)

  1. 特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器より排出される排気ガス中から前記原料を回収する原料回収方法において、
    前記排気ガスを前記冷媒と接触させて冷却することにより未反応の原料ガスを凝固させて前記原料を再析出させる凝固工程と、
    前記凝固工程で再析出された前記原料を前記冷媒から分離して回収する回収工程と、
    を有することを特徴とする原料回収方法。
  2. 前記回収工程では、前記冷媒を濾過する濾過法、或いは前記冷媒を蒸発させる蒸発法を用いることを特徴とする請求項1記載の原料回収方法。
  3. 前記冷媒は、冷却水であることを特徴とする請求項1又は2記載の原料回収方法。
  4. 特定の溶媒に溶解する有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器より排出される排気ガス中から前記原料を回収する原料回収方法において、
    前記排気ガスを前記溶媒と接触させることにより未反応の原料ガスを溶解させる溶解工程と、
    前記溶媒を蒸発させることによって前記溶媒中に溶解している原料を再析出させて回収する回収工程と、
    を有することを特徴とする原料回収方法。
  5. 前記溶媒は、アルコール類、アルカン類、エーテル類、芳香族炭化水素よりなる群から選択される1以上のものよりなることを特徴とする請求項4記載の原料回収方法。
  6. 前記有機金属化合物は、カルボニル系の有機金属化合物であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の原料回収方法。
  7. 前記カルボニル系の有機金属化合物は、Ru (CO)12、W(CO) 、Ni(CO) 、Mo(CO) 、Co (CO) 、Rh (CO)12、Re (CO)10、Cr(CO) 、Os (CO)12、Ta(CO) よりなる群から選択される1又は複数の材料よりなることを特徴とする請求項6記載の原料回収方法。
  8. 特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器より排出される排気ガス中から前記原料を回収するトラップ機構において、
    前記排気ガスを前記冷媒と接触させて冷却することにより未反応の原料ガスを凝固させて前記原料を再析出させる凝固ユニットと、
    前記凝固ユニット内の前記冷媒を濾過することにより前記再析出された原料を前記冷媒から分離して回収する濾過回収ユニットと、
    を備えたことを特徴とするトラップ機構。
  9. 前記凝固ユニットは、前記冷媒として冷却水を用いることを特徴とする請求項8記載のトラップ機構。
  10. 前記凝固ユニットは、スクラバー装置、水封ポンプ装置及びバブリング装置よりなる群より選択されるいずれか1つの装置よりなることを特徴とする請求項9記載のトラップ機構。
  11. 前記濾過回収ユニットは、
    途中に循環ポンプが介設されて前記凝固ユニット内の再析出された原料を含む前記冷媒を循環させる循環通路と、
    前記循環通路に介設されて前記冷媒中から前記再析出された原料を濾過により回収するフィルタを有する回収容器と、
    よりなることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか一項に記載のトラップ機構。
  12. 前記フィルタを有する回収容器は、前記循環通路に対して選択的な使用が可能なように並列的に複数個介設されていることを特徴とする請求項11記載のトラップ機構。
  13. 特定の溶媒に溶解する有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器より排出される排気ガス中から前記原料を回収するトラップ機構において、
    前記排気ガスを前記溶媒と接触させて前記排気ガス中の未反応の原料ガスを溶解させる溶解ユニットと、
    前記溶解ユニットから取り出した前記溶媒を蒸発させることにより溶解していた前記原料を再析出させて回収する蒸発回収ユニットと、
    を備えたことを特徴とするトラップ機構。
  14. 前記溶解ユニットは、スクラバー装置、液体封止ポンプ装置及びバブリング装置よりなる群より選択されるいずれか1つの装置よりなることを特徴とする請求項13記載のトラップ機構。
  15. 前記有機金属化合物は、カルボニル系の有機金属化合物であることを特徴とする請求項8乃至14のいずれか一項に記載のトラップ機構。
  16. 前記カルボニル系の有機金属化合物は、Ru (CO)12、W(CO) 、Ni(CO) 、Mo(CO) 、Co (CO) 、Rh (CO)12、Re (CO)10、Cr(CO) 、Os (CO)12、Ta(CO) よりなる群から選択される1又は複数の材料よりなることを特徴とする請求項15記載のトラップ機構。
  17. 特定の冷媒に対して分解せずに安定した特性を有している有機金属化合物の原料を気化させて得られた原料ガスを用いて被処理体の表面に金属膜の薄膜を形成するようにした処理容器に接続した排気系において、
    前記処理容器の排気口に接続された排気通路と、
    前記排気通路に介設された真空ポンプ部と、
    前記排気通路に介設された請求項8乃至16のいずれか一項に記載のトラップ機構と、
    前記トラップ機構よりも下流側に介設されて前記排気ガス中の有害ガスを除害する除害装置と、
    を備えたことを特徴とする排気系。
  18. 前記トラップ機構の上流側には、前記排気ガスを冷却して排気ガス中に含まれる未反応の原料ガスを回収する補助トラップ機構が介設されていることを特徴とする請求項17記載の排気系。
  19. 前記補助トラップ機構は、クライオポンプよりなることを特徴とする請求項18記載の排気系。
  20. 前記排気通路に介設されて前記処理容器内の圧力を制御する圧力調整弁を有することを特徴とする請求項17乃至19のいずれか一項に記載の排気系。
  21. 被処理体に対して成膜処理を施すための成膜装置において、
    真空排気が可能になされた処理容器と、
    前記処理容器内で前記被処理体を保持する保持手段と、
    前記被処理体を加熱する加熱手段と、
    前記処理容器内へガスを導入するガス導入手段と、
    前記ガス導入手段に接続された原料ガスの供給系と、
    前記処理容器に接続された請求項17乃至20のいずれか一項に記載の排気系と、
    を備えたことを特徴とする成膜装置。
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